JPS6126912A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6126912A JPS6126912A JP14839684A JP14839684A JPS6126912A JP S6126912 A JPS6126912 A JP S6126912A JP 14839684 A JP14839684 A JP 14839684A JP 14839684 A JP14839684 A JP 14839684A JP S6126912 A JPS6126912 A JP S6126912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic
- magnetic material
- substrate
- magnetic head
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、狭いトラック幅を有する磁気記録再生装置の
ヘッド用に適した薄膜磁気ヘッドに関する。
ヘッド用に適した薄膜磁気ヘッドに関する。
〈従来技術〉
磁気記録再生装置において記録密度を高めるには、記録
媒体におけるトラック幅を狭くする必要があり、用いら
れる磁気ヘッドとしてもギャップ部を構成する磁性材料
の厚さを小さくする必要がある。このような要求に対処
するために、種々７の磁気ヘッド用コアが開発されてお
り、特に、薄膜ヘッドは、小形、軽量で高集積化が可能
であり、量産によるコストの低減と特性の均一化を図れ
るとともに、最大磁束密度が大きく、周波数特性が良く
、更に磁界分布が急峻であることから記録密度の増大が
可能であるという特徴を有している。
媒体におけるトラック幅を狭くする必要があり、用いら
れる磁気ヘッドとしてもギャップ部を構成する磁性材料
の厚さを小さくする必要がある。このような要求に対処
するために、種々７の磁気ヘッド用コアが開発されてお
り、特に、薄膜ヘッドは、小形、軽量で高集積化が可能
であり、量産によるコストの低減と特性の均一化を図れ
るとともに、最大磁束密度が大きく、周波数特性が良く
、更に磁界分布が急峻であることから記録密度の増大が
可能であるという特徴を有している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかし、従来の薄膜ヘッドは、機械的に弱く、多数巻き
線が困難である為、放熱不足により起磁力を大きくする
ことが難しく、又、巻き線不足により再生出力が小さく
なるという問題点を有していた。
線が困難である為、放熱不足により起磁力を大きくする
ことが難しく、又、巻き線不足により再生出力が小さく
なるという問題点を有していた。
本発明は、上述のような機械的強度や再生出力等の全て
の問題点を解決し、長寿命化と、特性の改善を図った薄
膜磁気ヘッドを提供することを目的としてなされたもの
である。
の問題点を解決し、長寿命化と、特性の改善を図った薄
膜磁気ヘッドを提供することを目的としてなされたもの
である。
〈問題点を解決する為の手段〉
上記の目的を達成するために、本発明は、磁性材料の端
縁に非磁性材料が接着された複合材料を基板とし、この
基板の片面に蒸着等の薄膜形成技術によって磁性材料の
薄膜を形成し、この磁性薄膜を挟むように２枚の基板を
接合してコアユニットを構成し、このコアユニット２個
を非磁性材料の薄膜を介して接合し、基板を構成してい
る非磁性材料側において磁性薄膜が非磁性薄膜を介して
対向する部分をギャップ部とするとともに、両コアユニ
ットの接合面に基板の磁性材料と非磁性材料の両方にま
たがるように巻線窓を形成し、該巻線窓のギャップ部と
反対側に磁性材料側でバックギャップを形成したことを
特徴としている。
縁に非磁性材料が接着された複合材料を基板とし、この
基板の片面に蒸着等の薄膜形成技術によって磁性材料の
薄膜を形成し、この磁性薄膜を挟むように２枚の基板を
接合してコアユニットを構成し、このコアユニット２個
を非磁性材料の薄膜を介して接合し、基板を構成してい
る非磁性材料側において磁性薄膜が非磁性薄膜を介して
対向する部分をギャップ部とするとともに、両コアユニ
ットの接合面に基板の磁性材料と非磁性材料の両方にま
たがるように巻線窓を形成し、該巻線窓のギャップ部と
反対側に磁性材料側でバックギャップを形成したことを
特徴としている。
〈作用〉
上記の構成により、ギャップ部を形成する磁性材料は薄
ｌ！技術によって得られた薄膜であるため厚さは極めて
薄く、しかも両面の非磁性材料によって機械的に補強さ
れ、またバックギャップ側は選択する磁性材料によって
磁気特性が補完されるから、磁気特性と耐久性にすぐれ
た磁気ヘッド用コアが得られるのである。
ｌ！技術によって得られた薄膜であるため厚さは極めて
薄く、しかも両面の非磁性材料によって機械的に補強さ
れ、またバックギャップ側は選択する磁性材料によって
磁気特性が補完されるから、磁気特性と耐久性にすぐれ
た磁気ヘッド用コアが得られるのである。
〈実施例〉
以下、図示の一実施例について本発明を具体的に説明す
る。第１図は、完成した磁気ヘッド用コアの斜視図を、
第２図（ａ）（ｂＲｃ）’（ｄ）（ｅ）（ｆン（ｆ’ン
（ｇ）（ｈ）は、その製造工程の各工程におけるコア材
料の斜視図を夫々示す。
る。第１図は、完成した磁気ヘッド用コアの斜視図を、
第２図（ａ）（ｂＲｃ）’（ｄ）（ｅ）（ｆン（ｆ’ン
（ｇ）（ｈ）は、その製造工程の各工程におけるコア材
料の斜視図を夫々示す。
第２図の（ａ）は、基板１を示す図で、基板１は、例え
ば単結晶フェライトのような磁性材料２の端縁に例えば
セラミックスやガラスのような非磁性材料３を接着した
板状の複合材料であり、後述の薄膜形成のサブストレー
トとなるものである。次に、この基板１の両面に、ラッ
プ及びポリッシュ仕上げ等を施し、第２図の（ｂ）に示
すように、超仕上げ面４を形成する。超仕上げ面４は、
便宜上斜線を施して示してあ・る。
ば単結晶フェライトのような磁性材料２の端縁に例えば
セラミックスやガラスのような非磁性材料３を接着した
板状の複合材料であり、後述の薄膜形成のサブストレー
トとなるものである。次に、この基板１の両面に、ラッ
プ及びポリッシュ仕上げ等を施し、第２図の（ｂ）に示
すように、超仕上げ面４を形成する。超仕上げ面４は、
便宜上斜線を施して示してあ・る。
次に、超仕上げ面４を充分にクリーニングした後、その
片面にスパッタリング或は電子ビーム蒸着等の薄膜技術
により、磁気ヘッド材料としてすぐれた特性を有する材
料、例えば、ＭＯ−パーマロイ、パーマロイ、センダス
ト、アルパーム、アモルファス合金、Ｍｎ−Ｚｎ７．ｅ
ライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の磁性薄膜５を形成す
る［第２図（Ｃ）］。
片面にスパッタリング或は電子ビーム蒸着等の薄膜技術
により、磁気ヘッド材料としてすぐれた特性を有する材
料、例えば、ＭＯ−パーマロイ、パーマロイ、センダス
ト、アルパーム、アモルファス合金、Ｍｎ−Ｚｎ７．ｅ
ライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の磁性薄膜５を形成す
る［第２図（Ｃ）］。
このようにして作られたもの、即ち複合材料の基板１の
上に磁性薄膜５を形成したものを、磁性材料２と非磁性
材料３との接着面を一致させて、第２図（ｄ）のように
、複数枚積層接着してブロック６とし、充分固化した後
、破線で示すように、磁性薄膜５に対して垂直に、且つ
基板１の磁性材料２と非磁性材料３との接着面にも垂直
な方向に一定幅で切断し、第２図（ｅ）に示すブロック
ユニッ）６ａを得る。
上に磁性薄膜５を形成したものを、磁性材料２と非磁性
材料３との接着面を一致させて、第２図（ｄ）のように
、複数枚積層接着してブロック６とし、充分固化した後
、破線で示すように、磁性薄膜５に対して垂直に、且つ
基板１の磁性材料２と非磁性材料３との接着面にも垂直
な方向に一定幅で切断し、第２図（ｅ）に示すブロック
ユニッ）６ａを得る。
次に、ブロックユニッ）６ａの片面に超仕上げを施して
、斜線で示すギャップ面７を形成し、更に、一部のブロ
ックユニッ）６ａには、磁性材料２と非磁性材料３の接
着面の部分に沿って溝加工を施して、溝８を形成しく第
２図）、このギャップ面７を充分にクリーニングした後
、スパッタリング等の薄膜技術により、Ｓ ； ０２
、Ａ Ｉ ２０３等の材料からなる非磁性薄膜９を形成
する［第２図（ｇ月。この非磁性薄膜９の形成は、ブロ
ック二二ッ）６ｇのうち、溝８を形成したものか形成し
てないものかの何れか一方に対して行なわれる。又、ブ
ロック二二ッ）６ａの両方に形成しても差し支えない。
、斜線で示すギャップ面７を形成し、更に、一部のブロ
ックユニッ）６ａには、磁性材料２と非磁性材料３の接
着面の部分に沿って溝加工を施して、溝８を形成しく第
２図）、このギャップ面７を充分にクリーニングした後
、スパッタリング等の薄膜技術により、Ｓ ； ０２
、Ａ Ｉ ２０３等の材料からなる非磁性薄膜９を形成
する［第２図（ｇ月。この非磁性薄膜９の形成は、ブロ
ック二二ッ）６ｇのうち、溝８を形成したものか形成し
てないものかの何れか一方に対して行なわれる。又、ブ
ロック二二ッ）６ａの両方に形成しても差し支えない。
こうして得られた第２図（ｒ゛）及び（ｇ）に示すブロ
ン・クユニッ）６ａを、非磁性薄膜９を介して第２図（
ｈ）に示すように接着し、コアブロック１０とする。こ
の接着は、２つのブロックユニッ）６ａの磁性薄膜５の
各層が互いにずれることなくぴったり一致し、同時に２
つのブロックユニツ）６ａの磁性材料２と非磁性材料３
との接着面が互いにずれることなくぴったり一致するよ
うに行なわれることが必要である。コアブロック１０が
充分固化した後、破線で示すように磁性薄膜５と平行に
、且つ磁性薄膜５が厚みの中央に位置するように基板１
をスライスする。こうして、第１図に示す磁気ヘッド用
−ア１１が得られる。
ン・クユニッ）６ａを、非磁性薄膜９を介して第２図（
ｈ）に示すように接着し、コアブロック１０とする。こ
の接着は、２つのブロックユニッ）６ａの磁性薄膜５の
各層が互いにずれることなくぴったり一致し、同時に２
つのブロックユニツ）６ａの磁性材料２と非磁性材料３
との接着面が互いにずれることなくぴったり一致するよ
うに行なわれることが必要である。コアブロック１０が
充分固化した後、破線で示すように磁性薄膜５と平行に
、且つ磁性薄膜５が厚みの中央に位置するように基板１
をスライスする。こうして、第１図に示す磁気ヘッド用
−ア１１が得られる。
得られた磁気ヘッド用ファ１１は、磁性薄膜５が２枚の
基板で挾まれた長方形状あるいはコ字状のコアユニツ［
１ａ、ｌｌｂが非磁性薄膜９を介して接合されたものと
なっており、基板１の非磁性材料３側において磁性薄膜
５が非磁性薄膜９を介して対向する部分がキャップ部１
２となり、ブロックユニッ）６ａに形成された溝８の部
分が巻線窓１３となるのである。この巻線窓１３は、磁
性材料２と非磁性材料３の両方にまたがるような形状で
形成されており、ギャップ部１２が磁性材料２によって
磁気的に短絡されることはない。尚、溝８は、巻線窓１
３を形成するものであるから、組合わされる２個のブロ
ックユニッ）６ａの両方に溝８が設けられていても差支
えない。
基板で挾まれた長方形状あるいはコ字状のコアユニツ［
１ａ、ｌｌｂが非磁性薄膜９を介して接合されたものと
なっており、基板１の非磁性材料３側において磁性薄膜
５が非磁性薄膜９を介して対向する部分がキャップ部１
２となり、ブロックユニッ）６ａに形成された溝８の部
分が巻線窓１３となるのである。この巻線窓１３は、磁
性材料２と非磁性材料３の両方にまたがるような形状で
形成されており、ギャップ部１２が磁性材料２によって
磁気的に短絡されることはない。尚、溝８は、巻線窓１
３を形成するものであるから、組合わされる２個のブロ
ックユニッ）６ａの両方に溝８が設けられていても差支
えない。
更に、巻線窓１３のギャップ部１２と反対側には、基板
に使用される磁性材料と同じ、又は、異なる磁性材料を
適宜選択してバックギャップ１４が形成された後、巻線
を施すことにより所望の特性を有する薄膜磁気ヘッドが
得られる。
に使用される磁性材料と同じ、又は、異なる磁性材料を
適宜選択してバックギャップ１４が形成された後、巻線
を施すことにより所望の特性を有する薄膜磁気ヘッドが
得られる。
〈発明の効果〉
以上の説明から明らかなように、本発明の薄膜磁気ヘッ
ドは、薄膜技術によって形成された磁性薄膜がギャップ
部の磁性材料として利用されるものである為、トラック
幅を狭くすることが容易であり、又、ギャップ部は、磁
性薄膜の両面が基板の非磁性材料で補強された構造とな
る為、記録媒体との摺動に対する耐久性が向上するとと
もに、摺動条件を改善することができるほか、磁気的特
性がすぐれていても耐久性に問題があって通常使用する
ことが困難な磁気材料を用いることが容易となり、更に
、バックギャップ側の基板の磁性材料で構成されるので
、磁性材料の選択により磁性薄膜との磁気特性を補完さ
せることが可能となる等の利点が−あり、再生感度、周
波数特性等、磁気ヘッドとしての緒特性が優れ、又、機
械的にも強く、耐久性の優れたものが得られるのである
。
ドは、薄膜技術によって形成された磁性薄膜がギャップ
部の磁性材料として利用されるものである為、トラック
幅を狭くすることが容易であり、又、ギャップ部は、磁
性薄膜の両面が基板の非磁性材料で補強された構造とな
る為、記録媒体との摺動に対する耐久性が向上するとと
もに、摺動条件を改善することができるほか、磁気的特
性がすぐれていても耐久性に問題があって通常使用する
ことが困難な磁気材料を用いることが容易となり、更に
、バックギャップ側の基板の磁性材料で構成されるので
、磁性材料の選択により磁性薄膜との磁気特性を補完さ
せることが可能となる等の利点が−あり、再生感度、周
波数特性等、磁気ヘッドとしての緒特性が優れ、又、機
械的にも強く、耐久性の優れたものが得られるのである
。
又、第２図の実施例は製造工程の一例を示したものであ
るが、この実施例のように、磁性薄膜を形成した基板を
積層し、ブロック化したもめに対して各種の加工を一括
して施すことができる為、本発明の薄膜磁気ヘッドは、
大量生産に適した構造ということができ、１個当りの製
造コストを大幅に引き下げることが祿易となる利点もあ
る。
るが、この実施例のように、磁性薄膜を形成した基板を
積層し、ブロック化したもめに対して各種の加工を一括
して施すことができる為、本発明の薄膜磁気ヘッドは、
大量生産に適した構造ということができ、１個当りの製
造コストを大幅に引き下げることが祿易となる利点もあ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例の斜°視図、第２図（ａ）
’（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ ）（ｆ ’ ）（ｇ
）（１＋）は、同上、夫々、各製造工程におけるコア材
料の斜視図である。 。 １・・・基板 、２・・・・磁性材料３・・・非
磁性材料 、５・・・磁性薄膜９・・・非磁性薄膜 、
１１・・・磁気ヘッド用コア１１ａ、ｌｌｂ・・・コア
ユニット、 １２・・・ギャップ部 、１３・・・巻線窓１４・・・
バックギャップ
’（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ ）（ｆ ’ ）（ｇ
）（１＋）は、同上、夫々、各製造工程におけるコア材
料の斜視図である。 。 １・・・基板 、２・・・・磁性材料３・・・非
磁性材料 、５・・・磁性薄膜９・・・非磁性薄膜 、
１１・・・磁気ヘッド用コア１１ａ、ｌｌｂ・・・コア
ユニット、 １２・・・ギャップ部 、１３・・・巻線窓１４・・・
バックギャップ
Claims (1)
- 磁性材料の端縁に非磁性材料が接着されてなる２枚の基
板の一方の片面に薄膜技術によって磁性材料の薄膜を形
成し、この磁性薄膜を挟むように２枚の基板を接合して
構成されるコアユニット２個を非磁性材料の薄膜を介し
て接合し、基板の非磁性材料側において磁性薄膜が非磁
性薄膜を介して対向する部分をギャップ部とするととも
に、両コアユニットの接合面に基板の磁性材料と非磁性
材料の両方にまたがるように巻線窓を形成し、該巻線窓
のギャップ部と反対側に基板の磁性材料側でバックギャ
ップを形成した非磁性材料と磁性材料とから成る複合材
料を基板としたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14839684A JPS6126912A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14839684A JPS6126912A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6126912A true JPS6126912A (ja) | 1986-02-06 |
Family
ID=15451840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14839684A Pending JPS6126912A (ja) | 1984-07-16 | 1984-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6126912A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0386905A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-04-11 | Nec Corp | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
-
1984
- 1984-07-16 JP JP14839684A patent/JPS6126912A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0386905A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-04-11 | Nec Corp | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
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