JPS6125995A - Turbo-molecular pump - Google Patents
Turbo-molecular pumpInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ターボ分子ポンプに関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a turbomolecular pump.
（従来の技術）
ターボ分子ポンプは、Ｊ工８Ｚｇ／コク−／９ｇｌに説
明され、また石井博著「真空ポンプ」（真空技術講座第
２巻、昭和ｔｉｏ年−月コ５日初版、日刊工業新聞社発
行）およびジョンＦ、オノ・ロン著、野田保他−名訳「
真空技術マニュアル」 （昭和５ｇ年７月３０日初版、
産業図書株式会社発行）に開示されているように、ター
ビン形の羽根を持つロータおよびス嬰−夕からなる分子
ポンプであって、分子流領域での気体輸送に特に有効な
、運動量輸送式真空ポンプの１種でおる。(Prior art) Turbomolecular pumps are explained in J.Eng. published by a newspaper company) and by John F., Ron Ono, Tamotsu Noda et al.
Vacuum Technology Manual” (first edition July 30, 1939,
As disclosed in Sangyo Tosho Co., Ltd., it is a molecular pump consisting of a rotor with turbine-shaped blades and a vacuum pump, which is a momentum transport type vacuum pump that is particularly effective for gas transport in the molecular flow region. It is a type of pump.
その１例の一般的構造について、第３図を参照しながら
説明すると、円筒状内面ｉｏを有するステータｌ／の中
に、円筒状外面ノコを有するローター７３が、ステニタ
と同一の垂直軸線ムを有するように収容される。ステー
タｌ／の内面’／ ０とロータ１３の外面ノコとの間の
環状断面のポンプ空間／４’の中には、ロータ外面／、
２から半径方向外向きに多くのロータ羽根／Ｓが突出し
、ステータ内面ＩＯから半径方向内向きに多くのステー
タ羽根／６が突出する。ロータ羽根／Ｓは、軸線方向に
順次相離れたいくつかの段（図示の例では／、２段）と
して配列され、ロータ羽根ｉｓの各段は、周方向に等間
隔に順次相離れた多くのロータ羽根／Ｓからなる。ステ
ータ羽根１６は、軸線方向にロータ羽根１５の段と１つ
置き配置で順次相離れたいくつかの段（図示の例では７
２段）として配列され、ステータ羽根の各段も、周方向
に等間隔にｊ頃次相離れた多くのステータ羽根１６から
なる。The general structure of one example will be described with reference to FIG. 3. A rotor 73 having a cylindrical external saw is located in a stator l/ having a cylindrical inner surface io, and has the same vertical axis as the stencil. It is accommodated to have. Inside the pump space /4' of annular cross section between the inner surface of the stator l/0 and the outer saw of the rotor 13, there is a rotor outer surface /,
Many rotor blades /S protrude radially outward from 2, and many stator blades /6 protrude radially inward from the stator inner surface IO. The rotor blades /S are arranged in several stages (in the illustrated example, /, two stages) that are successively spaced apart in the axial direction, and each stage of the rotor blades is arranged in many stages that are successively spaced apart at equal intervals in the circumferential direction. It consists of rotor blades/S. The stator blades 16 are arranged every other step in the axial direction from the rotor blades 15 in several stages (7 in the illustrated example).
The stator blades 16 are arranged in two stages (two stages), and each stage of the stator blades is also made up of a number of stator blades 16 equally spaced in the circumferential direction and spaced about j times apart.
ステータ／ｌには、ポンプ空間ｌダの上方に連通する吸
気口ｌりと、ボーンプ空間／４’の下方に連通ずる排気
口１ｇとが取付けられる。ロータ１３は、モータ１９に
連結され、モータｉｑの駆動によって軸線Ａを中心とし
て高速回転する。An intake port 1g communicating with the upper part of the pump space 1' and an exhaust port 1g communicating with the lower part of the bone pump space 4' are attached to the stator /1. The rotor 13 is connected to a motor 19 and rotates at high speed around an axis A by driving the motor iq.
第一図には、ポンプ空間ｌダにおけるロータ羽根／Ｓお
よびステータ羽根１６の配置の１部分が展開図示される
６第一図において、矢印Ｂは、吸気口１７から排気口／
ざへ向う気体輸送方向を示し、矢印Ｃは、ロータ１３が
回転するときにロータ羽根ｉｓが進行する方向を示す。In FIG. 1, a part of the arrangement of the rotor blades/S and the stator blades 16 in the pump space L is shown in an exploded view. In FIG.
The arrow C indicates the direction in which the rotor blades travel when the rotor 13 rotates.
この図には、いくつかのロータ羽根段のうちの一段とい
くつかのステータ羽根段のうちの一段とが図示され、ま
た各羽根段に含まれる多くの羽根のうちの各５個が図示
される。各羽根ｉｓ、ｉｔは平坦な一枚板であって、気
体輸送方向Ｂおよびロータ羽根進行方向Ｃに対して傾斜
するように指向される。詳しく言えば、ロータ羽根／Ｓ
は、その気体輸送方向Ｂと反対方向の縁すなわち吸気口
ｌりの側の縁コ０が、ロータ羽根進行方向Ｃについて、
気体輸送方向Ｂの緑すなわち排気ロアｇの側の縁−７よ
りも先行するように指向され、また、ステータ羽根／６
は、気体輸送方向Ｂの縁すなわち排気口／ｇの側の縁、
２．２が、ロータ羽根進行方向Ｃについて、気体輸送方
向Ｂと反対方向の縁すなわち吸気口／７の側のに−３よ
りも先行するように指向される。This figure shows one of several rotor vane stages, one of several stator vane stages, and five of the many vanes included in each vane stage. Each blade is, it is a flat single plate and is oriented so as to be inclined with respect to the gas transport direction B and the rotor blade traveling direction C. To be more specific, rotor blade/S
, the edge in the opposite direction to the gas transport direction B, that is, the edge on the side opposite the intake port, is in the rotor blade traveling direction C,
It is oriented so as to precede the green in the gas transport direction B, that is, the edge -7 on the side of the exhaust lower g, and the stator blade /6
is the edge in the gas transport direction B, that is, the edge on the exhaust port/g side,
2.2 is oriented so as to precede -3 on the edge opposite to the gas transport direction B, ie, on the side of the intake port /7, with respect to the rotor blade traveling direction C.
このような羽根／！；、／１．の配置によれは、ロータ
１３を例えば毎分、２０．０００〜６０，０００回転さ
せたときに、特に分子流領域において、ロータ羽根１５
およびステータ羽根１６の表面に衝突する気体分子が、
衝突の際に、主として吸気口／りの側から排気口／ｇの
側へ向うような運動量を受け、これによって、全体とし
てＢで示したような方向に、気体が圧縮されながら輸送
される。A feather like this! ;, /1. Depending on the arrangement of the
And the gas molecules colliding with the surface of the stator blade 16,
At the time of collision, momentum is mainly directed from the intake port/g side to the exhaust port/g side, and as a result, the gas is transported while being compressed in the direction indicated by B as a whole.
（発明が解決しようとする問題点）
上述したターボ分子ポンプは、従来、特に水素のような
分子量の小さい軽量気体に対する圧縮比（すなわち、υ
ｉ気伸側圧力／吸気側圧力が著しく小きく、従って、輸
送すべき気体が＠景気体を含有していれば、ターボ分子
ポンプの吸気側で到達できる最低圧力が、軽量気体の小
さな圧縮比に支配されて、充分に低くはならない、とい
う欠点を有する。この欠点を除去するために、ロータの
回転速度を上けてロータ羽根の進行速度を犬にし、これ
によって圧縮比を増大させることも考えられるが、前述
り、たようにロータの回転速度はすでにかなシ大きいの
で、これをさらに地太させることは、ロータの強度、軸
受の強度、モータのトルク、モータの制御などの点で制
約を受け、実除上、技術的に困難である。(Problems to be Solved by the Invention) Conventionally, the above-mentioned turbo-molecular pump has a high compression ratio (i.e., υ
If the gas expansion side pressure/suction side pressure is extremely small, and therefore the gas to be transported contains gas, the lowest pressure that can be reached on the suction side of the turbomolecular pump is due to the small compression ratio of the lightweight gas. has the disadvantage that it cannot be sufficiently low. In order to eliminate this drawback, it is conceivable to increase the rotational speed of the rotor to increase the advancing speed of the rotor blades, thereby increasing the compression ratio, but as mentioned above, the rotational speed of the rotor is already Since the radius is large, making it even thicker is technically difficult due to limitations in terms of rotor strength, bearing strength, motor torque, motor control, etc.
（問題点を解決するための手段）
上述した従来の問題点を解決するため、この発明では、
通常のターボ分子ポンプの作動条件において特に軽量気
体について、
「気体分子の分子量をｍ１ボルツマンの常数をに１気体
の絶対温度をＴ１０一タ羽根の進行速度をｖｂとしたと
きに
５−ｖｂ７ｖ’丁ロＺ１
で定義される羽根速度比Ｓが
ｋｉ
なる関係を満たす。」という条件が成立つことを考慮し
、場らに、Ｓ≦ｌが成立つ場合には、実験によれは、従
来では平坦な版状体であったロータ羽根およびステータ
羽根またはそのいずれかの形状を特定の実質上三角形の
断面を有する形状に変えることによって、圧縮比が増大
するという事実に着目して、
「ロータ羽根およびステータ羽根またはそのいずれかが
実質的に三角形の断面形状を備え、前記三角形において
、その第一頂点および第３頂点かいずれも、気体輸送方
向について第１頂点より吸気口側に位置し、第３頂点が
、気体輸送方向について第２頂点より排気口側に位置し
、さらに第１頂点と第３ＪｊＩ点を結ぶ辺の長でか、第
一頂点と第３頂点を結ぶ辺の長畑より大きいことを特徴
とするターボ分子ポンプ」
が提供される。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned conventional problems, in this invention,
Under normal operating conditions of a turbomolecular pump, especially for light gases, ``5-vb7v' when the molecular weight of the gas molecule is m1, Boltzmann's constant is 1, the absolute temperature of the gas is T10, and the advancing speed of the blade is vb. The blade speed ratio S defined by Z1 satisfies the relationship ki.'' If S≦l holds, experiments show that the slope is flat in the conventional case. Focusing on the fact that the compression ratio can be increased by changing the shape of the rotor blades and/or stator blades, which were previously plate-like shapes, to a shape with a specific substantially triangular cross section, The stator blade or any one of the stator blades has a substantially triangular cross-sectional shape, and in the triangular shape, either the first apex or the third apex is located closer to the intake port than the first apex in the gas transport direction, and The apex is located closer to the exhaust port than the second apex in the gas transport direction, and the length of the side connecting the first apex and the third JjI point is greater than the long field of the side connecting the first apex and the third apex. A turbo-molecular pump with special features is provided.
（作用）
上述したように構成された分子ポンプにおいては、特に
Ｓ≦ｌの場合に、気体分子が羽根（ロータ羽根またはス
テータ羽根）との衝突によって排気口側へ向うような運
動量を受ける確率が、平坦な版状の羽根を備えた従来の
ターボ分子ポンプよりも大きく、従って圧縮比が従来の
ものより大になる。圧縮比が増大すれば、ターボ分子ポ
ンプの吸気側で到達できる最低圧力が低くなる。(Function) In the molecular pump configured as described above, especially when S≦l, there is a probability that gas molecules will receive momentum toward the exhaust port due to collision with the blades (rotor blades or stator blades). , larger than conventional turbomolecular pumps with flat plate-like blades, and therefore the compression ratio is larger than conventional ones. As the compression ratio increases, the minimum pressure that can be reached on the suction side of the turbomolecular pump decreases.
（実施例）
以下、図面を参照しながらこの発明の実施例について説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
この発明のターボ分子ポンプは、ロータ羽根／３および
ステータ羽根１６またはそのいずれかの断面形状を除い
て、第３図および第二図に図示したものと全く同一に構
成できる。The turbomolecular pump of the present invention can be configured identically to that shown in FIGS. 3 and 2, except for the cross-sectional shapes of the rotor blades/3 and/or stator blades 16.
ロータ羽根１５が第一図に図示されるような平坦状とは
異なる場合には、このロータ羽根１５の実施例は、第１
図に図示されるように冥質的に三角形の断面を有する。If the rotor blade 15 differs from the flat shape shown in FIG.
It has a subtly triangular cross section as shown in the figure.
この譲１図には、１つのロータ羽根段に属する相並ぶ３
個のロータ羽根１５が示される。ロータ羽根１５の断面
三角形は、第１頂点、２ダ、第一頂点、２５および第３
頂点２乙の３個の頂点を有し、
この断面三角形において、
（１）棺コ頂点コＳおよび第３頂点２乙はいずれも、気
体輸送方向Ｂについて、第１頂点２ダより吸気口／りの
側に位置し、かつ、ロータ羽根ｌＳの進行方向Ｃについ
て、第１頂点、２ダより萌方に位置し、
（２）第１頂点２４ｔと第一頂点−５を結ぶ辺コダ、−
５が、ロータ羽根の進行方向Ｃについて、ｆａ、ｌ頂点
、２ダと第３頂点コＡを結ぶ辺コｑ、コロよル前方に位
置し、
（３）第３頂点コロが、気体輸送方向Ｂについて、第一
頂点、２５より排気口１ｇの側に位置し、（４）第１頂
点コダと第３頂点λ６を結ぶ辺２１．コ乙の長嘔が、第
一頂点２ｓｈ第３頂点＝６を結ぶ辺コＳ、ツ乙の長ざよ
り犬になっている。This figure shows three adjacent rotor blades belonging to one rotor blade stage.
rotor blades 15 are shown. The triangular cross-section of the rotor blade 15 has a first apex, a second apex, a first apex, a 25th apex, and a third apex.
In this triangular cross-section, (1) the coffin apex S and the third apex 2A are both connected to the air intake port from the first apex 2D in the gas transport direction B. (2) A side connecting the first apex 24t and the first apex -5, -
5 is located in front of the side co q connecting fa, l apex, 2 da and third apex co A with respect to the traveling direction C of the rotor blade, (3) the third apex roller is located in the gas transport direction Regarding B, the first vertex 25 is located closer to the exhaust port 1g, and (4) the side 21.B connects the first vertex Koda and the third vertex λ6. The long length of Kootto becomes a dog due to the long length of the side Koto S connecting the first vertex 2sh and the third vertex = 6.
かかる形状のロータ羽根／Ｓを有するターボ分子ポンプ
において、１つのロータ羽根ｌ！；と（ロータ羽根の進
行方向Ｃ）についてこれに後続するロータ羽根／ｊａと
の間の間隙ａりに向っ°〔、吸気口ｌりの側または排気
口ｉｓの側から気体分子が入射して来たとする。この気
体分子は、ロータ羽根の進行方向Ｃについてロータ羽根
／Ｓｈがロータ羽根１５に後続して移動しているので、
主として、ロータ羽根ｉｓの後側の面２５．コロ（辺２
６； 、２４を含む面を指す、以下同様）および、２ダ
、コ乙ではなぐロータ羽根／３ａの前側の面５ｌＩａ、
２ｓｈＫ＠突する。この衝突した気体分子は面一２ ’
Ｉ ａ ＊ −２！ｉ ａで反射されるが、前述した条
件によれば、面２１１ｈ 、コ５ａは面ｌ謬Ｌユニ２６
−よりも面、２Ｑ 、２Ａに向いているので、プた面２
１１、．２Ａが面コｊ、−ｉ！Ｊよりも大きいので、反
射した気体分子は、主としτ面一グ、コロに再衝突する
。この再衝突した気体分子は面、２ダ、コｔから再反射
されるが、辺、２ダ、２Ａが排気口ｉｇＯ側の間隙口を
見込む立体角が吸気口ｌりの側の間隙口を見込む立体角
よりも大きいので、再反射された気体分子は、主として
排気口／ｇの方向へ向う。かくして、以上に定性的に説
明したように、間隙、２７に入射する気体分子は、主と
して排気口／ざの側へ向うような運動量を衝突の際に受
け、その確率は、以上の説明から明らかなように、ロー
タ羽根１５が平坦な板状の場合（すなわち、頂点コロが
辺、２ダ１．２５に重なるまで三角形が平らになった場
合）の確率よりも大きい。このようにして、この発明の
ロータによれば圧縮比の大きいターボ分子ポンプが得ら
れる。In a turbomolecular pump having a rotor blade/S having such a shape, one rotor blade l! ; and the following rotor blade /ja with respect to the traveling direction C of the rotor blade. Suppose you come. Since the rotor blade/Sh is moving following the rotor blade 15 in the traveling direction C of the rotor blade, these gas molecules are
Primarily, the rear surface 25 of the rotor blade is. Coro (side 2
6; refers to the surface including 24, the same applies hereinafter) and the front surface 5lIa of the rotor blade/3a, which is not 2 da, ko.
2shK@Tsu. These colliding gas molecules are flush with 2'
I a * -2! However, according to the conditions mentioned above, the surface 211h and the surface 5a are reflected by the surface L uni 26
Since it is more suitable for faces, 2Q, and 2A than -, puta faces 2
11. 2A is face j, -i! Since it is larger than J, the reflected gas molecules mainly re-collide with the τ plane and the roller. These re-colliding gas molecules are re-reflected from the surfaces, 2da and 2A, but the solid angle where the sides, 2da and 2A look at the gap opening on the side of the exhaust port igO is the gap opening on the side of the intake port. Since the solid angle is larger than the expected solid angle, the re-reflected gas molecules mainly head in the direction of the exhaust port/g. Thus, as explained qualitatively above, the gas molecules that enter the gap 27 receive a momentum that mainly moves toward the exhaust port/gap side during the collision, and the probability of this is clear from the above explanation. This is greater than the probability when the rotor blade 15 is flat and plate-shaped (that is, when the triangle becomes flat until the apex roller overlaps the side 2 da 1.25). In this way, according to the rotor of the present invention, a turbomolecular pump with a high compression ratio can be obtained.
ステータ羽根１６が第二図に図示される平坦状とは異な
る場合には、相対的に言ってステータ羽根はロータ羽根
に対してＣ方向と逆の方向に進行すると見なすことがで
きるので、ステータ羽根１６の実施例は、要約すれば、
［実質的に三角形の断面形状を備え、前記三角形におい
て、その第一頂点および第３頂点がいずれも、気体＠ｊ
送方向について第１頂点より吸気口側にかつロータ羽根
の進行方向について第１頂点より後方に位置し、第１頂
点と第２頂点を結ぶ辺が、ロータ羽根の進行方向につい
て第１頂点と第３頂点を結ぶ辺より後方に位置し、また
第３頂点が気体輸送方向について第一頂点より排気口側
に位置し、さらに第１頂点と第３頂点を結ぶ辺の長さが
、第一頂点と第３頂点を結ぶ辺の長さより大きい」よう
に構成される。If the stator blades 16 are different from the flat shape shown in FIG. The 16 examples can be summarized as follows:
[It has a substantially triangular cross-sectional shape, and in the triangle, both the first apex and the third apex are gas @j
The side that connects the first apex and the second apex is located closer to the intake port side than the first apex in the feeding direction and behind the first apex in the direction of travel of the rotor blade, and the side connecting the first apex and the second apex The third vertex is located on the exhaust port side from the first vertex in the gas transport direction, and the length of the side connecting the first and third vertices is the first vertex. and the length of the side connecting the third vertex.
（発明の効果）
この発明によるターボ分子ポンプのロータは、ターボ分
子ポンプの圧縮比を特にｓｋｉの場合に増大させる効果
を有する。(Effects of the Invention) The rotor of the turbomolecular pump according to the present invention has the effect of increasing the compression ratio of the turbomolecular pump, especially in the case of ski.
モンテカルロシミュレーションによってさらに詳しく検
討した結果によれは、ロータ羽根の進行方向Ｃに対する
辺２’１．．２Ｓおよび辺２５．．２Ａの角度をそれぞ
れαおよびβとしく第１図）、進行方向Ｃに直交する面
に対する辺、２ダ、コ５の投影の長きおよび辺、２４’
、、２Ａの投影の長さをそれぞれＴおよびＳとした場合
に、羽根速度比Ｓ≦７として、
［（１）αが３５０であれば、β−２５°、Ｓ ／ Ｔ
−０，りＳのときに最大圧縮比が得られ、
（２）αが２０°であれば、β−ｌパ、Ｓ／Ｔ −０，
７３のときに最大圧縮比が得られる」
という結果が得られた。これらの条件において、７段の
ロータ羽根の圧縮比にと羽根速度比８の関係は、第弘図
のグラフ（１）および（２）に実線五で示す通シになっ
た。なお、これらグラフ（１）および（２）の破線ｐは
、従来の平坦な板状体のロータ羽根で、ロータ羽根の進
行方向Ｃに対するロータ羽根の面の角度をそれぞれ３５
°および一〇°としたときのＫとＳの関係を示す。According to the results of a more detailed study using Monte Carlo simulation, the sides 2'1. ．． 2S and side 25. ．． Let the angles of 2A be α and β, respectively (Fig. 1), and the length and side of the projection of side 2da and
,, 2A, when the projection lengths are T and S, respectively, and the blade speed ratio S≦7, [(1) If α is 350, β-25°, S/T
The maximum compression ratio is obtained when -0, riS, (2) If α is 20°, then β-lp, S/T -0,
The maximum compression ratio was obtained when the ratio was 73. Under these conditions, the relationship between the compression ratio of the 7-stage rotor blades and the blade speed ratio 8 was as shown by the solid line 5 in graphs (1) and (2) of Fig. 1. Note that the broken lines p in these graphs (1) and (2) indicate the angle of the surface of the rotor blade with respect to the traveling direction C of the rotor blade, respectively, for the conventional flat rotor blade.
The relationship between K and S when set at 10° and 10° is shown.
上述したグラフ（１）および（２）によれば、ロータの
直径が０．７ｍでロータの回転数が毎分５００００回の
標準的なターボ分子ポンプにおいて、この発明によれば
、ロータ羽根１段当りの圧縮比が、（１）の３５°羽根
の場合に、温゛度３０θ０にのＮ２に対してｓ、ｇ％、
また混層３００°にのＮ２に対して７４３％。According to graphs (1) and (2) above, in a standard turbomolecular pump with a rotor diameter of 0.7 m and a rotor rotation speed of 50,000 times per minute, according to the present invention, one stage of rotor blades is used. When the compression ratio per unit is 35° impeller (1), s, g% for N2 at a temperature of 30θ0,
Also, it is 743% for N2 in the mixed layer at 300°.
（２）の２０°羽根の場合に、温度３００°にのＮ２に
対してＳ、コチ、また温度３θＯ０にのＮ２に対して／
／、５チ、
だけ従来のものより増大することが判る。In the case of the 20° blade in (2), S and flathead for N2 at a temperature of 300°, and / for N2 at a temperature of 3θO0.
It can be seen that this increases by /, 5chi, compared to the conventional one.
これから判断すると、吸気口側に３５０羽根を６段（そ
のうちでｄ−夕羽根３段）また排気口側に一〇°羽根を
１ｇ段（そのうちでロータ羽根り段）を設けた典型的な
構成のターボ分子ポンプにおいて、ポンプ全体の圧縮比
が、この発明によれば従来のものと比べて温度、？ ０
００にのＮ２に対して３．５倍また温度３００°にのＮ
２に対してｉｏ、ｇ倍にできる。Judging from this, it is a typical configuration with 6 stages of 350 blades on the intake side (including 3 stages of d-vane blades) and 1g stage of 10° blades on the exhaust port side (among them the rotor blade stage). In the turbomolecular pump of , the compression ratio of the entire pump is lower than that of the conventional pump according to the present invention. 0
3.5 times the N2 at 00°C and N2 at a temperature of 300°
2 can be multiplied by io and g.
この値は、実験的にも確認された。This value was also confirmed experimentally.
第１図はこの発明によるロータのロータ羽根の１図、第
２図は従来のロータ羽根およびステータ羽根の断面図、
第３図はターボ分子ポンプの１例の垂直断面図、第４図
は圧縮比と羽根速度比の関係を示すグラフである。
図面において、／Ｓはロータ羽根、／６はステータ羽根
、１７は吸気口、７ｇは排シロ１．２４１は第１頂点、
２Ｓは第一頂点、コロは第３頂点、Ｂは気体輸送方向、
Ｃはロータ羽根の進行方向を示す。
第２図
Ｓ□
第４図FIG. 1 is a diagram of a rotor blade of a rotor according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional rotor blade and stator blade.
FIG. 3 is a vertical sectional view of an example of a turbo-molecular pump, and FIG. 4 is a graph showing the relationship between compression ratio and blade speed ratio. In the drawing, /S is the rotor blade, /6 is the stator blade, 17 is the intake port, 7g is the exhaust slope 1.241 is the first vertex,
2S is the first vertex, Koro is the third vertex, B is the gas transport direction,
C indicates the direction of movement of the rotor blades. Figure 2 S□ Figure 4
Claims (1)
が実質的に三角形の断面形状を備え、前記三角形におい
て、その第２頂点および第３頂点がいずれも、気体輸送
方向について第１頂点より吸気口側に位置し、第３頂点
が気体輸送方向について第一頂点より排気口側に位置し
、さらに第１頂点と第３頂点を結ぶ辺の長さが、第２頂
点と第３頂点を結ぶ辺の長さより大きいことを特徴とす
るターボ分子ポンプ。 ２、ロータ羽根の前記三角形において、その第２頂点お
よび第３頂点がいずれも、ロータ羽根の進行方向につい
て第１頂点より前方に位置し、第１頂点と第２頂点を結
ぶ辺が、ロータ羽根の進行方向について第１頂点と第３
頂点を結ぶ辺より前方に位置する特許請求の範囲第１項
に記載のターボ分子ポンプ。 ３、ステータ羽根の前記三角形において、その第２頂点
および第３頂点がいずれも、ロータ羽根の進行方向につ
いて第１頂点より後方に位置し、第１頂点と第２頂点を
結ぶ辺が、ロータ羽根の進行方向について第２頂点と第
３頂点を結ぶ辺より後方に位置する特許請求の範囲第１
項または第２項に記載の分子ポンプ。[Scope of Claims] 1. The rotor blades and/or the stator blades have a substantially triangular cross-sectional shape, and the second and third apexes of the triangle are both at the first point in the gas transport direction. The third vertex is located closer to the intake port than the first vertex in the gas transport direction, and the length of the side connecting the first vertex and the third vertex is the same as that of the second vertex and the third vertex. A turbo-molecular pump characterized by being larger than the length of the side connecting the vertices. 2. In the triangle of the rotor blade, both the second and third apexes are located forward of the first apex in the direction of travel of the rotor blade, and the side connecting the first and second apexes is The first vertex and the third
The turbo-molecular pump according to claim 1, which is located forward of the side connecting the vertices. 3. In the triangle of the stator blade, both the second and third apexes are located behind the first apex in the direction of travel of the rotor blade, and the side connecting the first and second apexes is located behind the rotor blade. Claim 1 located behind the side connecting the second vertex and the third vertex with respect to the traveling direction of
The molecular pump according to item 1 or 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14439284A JPS6125995A (en) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | Turbo-molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14439284A JPS6125995A (en) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | Turbo-molecular pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6125995A true JPS6125995A (en) | 1986-02-05 |
| JPH0381000B2 JPH0381000B2 (en) | 1991-12-26 |
Family
ID=15361079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14439284A Granted JPS6125995A (en) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | Turbo-molecular pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6125995A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017110627A (en) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | エドワーズ株式会社 | Vacuum pump, rotary vane installed on vacuum pump, and repelling mechanism |
| WO2017104541A1 (en) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | エドワーズ株式会社 | Vacuum pump, and rotating blade and reflection mechanism mounted on vacuum pump |
| GB2612781A (en) * | 2021-11-10 | 2023-05-17 | Edwards Ltd | Turbomolecular pump bladed disc |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS57191492A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Hitachi Ltd | Molecular turbo-pump |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP14439284A patent/JPS6125995A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57191492A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Hitachi Ltd | Molecular turbo-pump |
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| US11009029B2 (en) | 2015-12-15 | 2021-05-18 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, and rotor blade and reflection mechanism mounted in vacuum pump |
| GB2612781A (en) * | 2021-11-10 | 2023-05-17 | Edwards Ltd | Turbomolecular pump bladed disc |
| GB2612781B (en) * | 2021-11-10 | 2024-04-10 | Edwards Ltd | Turbomolecular pump bladed disc |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0381000B2 (en) | 1991-12-26 |
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