JPS61255079A - Ｃｏ↓２レ−ザ発振器 - Google Patents
Ｃｏ↓２レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61255079A JPS61255079A JP9640385A JP9640385A JPS61255079A JP S61255079 A JPS61255079 A JP S61255079A JP 9640385 A JP9640385 A JP 9640385A JP 9640385 A JP9640385 A JP 9640385A JP S61255079 A JPS61255079 A JP S61255079A
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- JP
- Japan
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- laser
- processing
- laser beam
- oscillator
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高出力レーザを金属、プラスチック。
木２紙等の加工、すなわちレーザ切断、レーザ溶接、レ
ーザ熱処理等に使用する場合の加工用高出力レーザに関
するものである。
ーザ熱処理等に使用する場合の加工用高出力レーザに関
するものである。
高出力レーザ利用分野は各種材料の切断、溶接。
表面熱処理など広範囲になっている。
なかでもＣ０２レーザの高出力化およびその実用化は急
速な進歩をとげ将来性の高い分野となっている。
速な進歩をとげ将来性の高い分野となっている。
高出力Ｃ０２レーザ装置の基本的構成を第１図に示す、
レーザ物質は炭酸ガス、窒素、ヘリウム等であり、これ
らの混合ガスをガス人口Ｇｉがらガス出口Ｇｏへ高速度
で循環させ、その途中に熱交換器をおいてガスを強制的
に冷却する。図中のＷｉおよびＷＯはそれぞれ冷却水の
入口および出口である。
レーザ物質は炭酸ガス、窒素、ヘリウム等であり、これ
らの混合ガスをガス人口Ｇｉがらガス出口Ｇｏへ高速度
で循環させ、その途中に熱交換器をおいてガスを強制的
に冷却する。図中のＷｉおよびＷＯはそれぞれ冷却水の
入口および出口である。
このレーザ装置において、直流高電圧源ＰＳよりを電極
端子Ｅ１＋Ｅ２間に高圧を加え、グロー放電させる。放
電部ＤＡからエネルギーを受けて又全反射！ＲＭと部分
反射鏡ＰＭの一対の反射鏡によってレーザ光は励起およ
び反射を繰り返し。
端子Ｅ１＋Ｅ２間に高圧を加え、グロー放電させる。放
電部ＤＡからエネルギーを受けて又全反射！ＲＭと部分
反射鏡ＰＭの一対の反射鏡によってレーザ光は励起およ
び反射を繰り返し。
レーザ物質によって増巾され、レーザ発振となる。
一部のレーザは部分反射ｆｉＰＭがら出力としてとり出
す。
す。
レーザ光には通常の光にない次の特徴がある。
（１）位相がそろっている。
（２）指向性がよい。
（３）単色性にすぐれている。
（４）高エネルギー密度が得られる。
ＣＯ２レーザ装置は、多くのレーザの中でも最も高い出
力を安定に発生できるものである。
力を安定に発生できるものである。
Ｃ０２レーザによる加ニジステムの一例を第２図に示す
。これにおいて、ＣＯ２レーザ発振器１０からのレーザ
光ＬＢＩは大気中を指向性よく。
。これにおいて、ＣＯ２レーザ発振器１０からのレーザ
光ＬＢＩは大気中を指向性よく。
ビームの発散が極めて少なく伝播し、加工物の位置へ、
ビーム折り曲げ鏡ＢＭＩ、ＢＭ２．ＢＭ３を介して搬送
され、レンズＬＮ等の光学部品によって集光され、小さ
なスポットのビームとなって高いエネルギー密度で加工
点に至すレーザ加工を行なう。
ビーム折り曲げ鏡ＢＭＩ、ＢＭ２．ＢＭ３を介して搬送
され、レンズＬＮ等の光学部品によって集光され、小さ
なスポットのビームとなって高いエネルギー密度で加工
点に至すレーザ加工を行なう。
レーザ加工ではレーザビームの焦点位置ＦＰと被加工機
２０の表面ＳＦとの関・係が重要であり、切断加工また
は溶接加工では、レーザビームの焦点色１ｉＦＰを被加
工機２０の表面ＳＦか表面直下にすることによって加工
性能が最適になる。
２０の表面ＳＦとの関・係が重要であり、切断加工また
は溶接加工では、レーザビームの焦点色１ｉＦＰを被加
工機２０の表面ＳＦか表面直下にすることによって加工
性能が最適になる。
本発明で説明上、ＣＯ２レーザのビームを図示している
が、波長は１０゜６μｍで実際には目視できない。
が、波長は１０゜６μｍで実際には目視できない。
レーザ加工でのレンズによるＣＯ２レーザビームの集光
状況を第３図に示す。
状況を第３図に示す。
Ｃ０２レーザビームＬＢＩの中心軸ｄ１とレンズＬＮの
中心軸Ｃ３の関係によって被加工機２゜の表面ＳＦでの
焦点位置が変化する。第３ａ図は双方の軸が合った場合
であり、第３ｂ図および第３ｃ図はＣ０２レーザ軸Ｃ１
とレンズ軸ｃ３がずれている場合であり、この場合レン
ズの中心軸上にＣＯ２レーザが集光されない。
中心軸Ｃ３の関係によって被加工機２゜の表面ＳＦでの
焦点位置が変化する。第３ａ図は双方の軸が合った場合
であり、第３ｂ図および第３ｃ図はＣ０２レーザ軸Ｃ１
とレンズ軸ｃ３がずれている場合であり、この場合レン
ズの中心軸上にＣＯ２レーザが集光されない。
ＣＯ２レーザビームは可視光でないので実際の加工をし
ないとＣＯ２レーザの集光位置はわからず、加工位置の
設定等のレーザ加工条件の設定が困難である。
ないとＣＯ２レーザの集光位置はわからず、加工位置の
設定等のレーザ加工条件の設定が困難である。
そこで従来法、ジェイ エムパルムギスト、ジェイエム
ミュニイッ；エンハンストプレシジョン レーザウエ
ルディングスルーオプティカルポジションデテクション
、プロシーティングオブザテクニイカルプログラム、エ
レクトローオプティクス／レーザ７７コンフエランスア
ンドエクスポジシヨンオクトーバー２５／２７ （１９
７７）（Ｊ、Ｍ、Ｐａｌｍｇｕｉｓｔ、Ｊ、Ｍ、Ｍｕｎ
ｉｚ ； Ｅ ｎｈａｎｃｅｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎ
Ｌａ５ｅｒ Ｗｅｌｄｉｎｇ Ｔ ｈｒｏｕｇｈ
Ｏｐ七１ｃａｌＰｏｓｉｔｉｏｎ Ｄｅｔｅｃｔ、
ｉｏｎ、 Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ ｏｆ ｔ、ｈｅＴｅ
ｃｈｎｉｃａｌ Ｐｒｏｇｒａｍ、Ｅｌｅｃｔｒｏ−
Ｏｐｔ、ｉｃｓ／Ｌａ５ｅｒ ７７Ｃｏｎｆｅｒｅｎ
ｃｅ ＆ Ｅｘｐｏｓｉｔｉｏｎ、 Ｏｃｔ、、
２５／２７ （１９７７） ）は、第４図、第５図
に示す如く、可視光であるＨｅ−Ｎｅレーザ１１を使用
し、ＣＯ２レーザビーム（不可視）ＬＢＩとＨｅ Ｎ
ｅレーザビーム（可視）ＬＢ２とをシャッターミラーＭ
１で切り換えて使用する。それぞれのビームの中心軸を
合せておき、Ｈａ−ＮｅレーザビームＬＢ２で照射位置
を設定してからＣＯ２レーザＬＢＩで加工を行なう。
ミュニイッ；エンハンストプレシジョン レーザウエ
ルディングスルーオプティカルポジションデテクション
、プロシーティングオブザテクニイカルプログラム、エ
レクトローオプティクス／レーザ７７コンフエランスア
ンドエクスポジシヨンオクトーバー２５／２７ （１９
７７）（Ｊ、Ｍ、Ｐａｌｍｇｕｉｓｔ、Ｊ、Ｍ、Ｍｕｎ
ｉｚ ； Ｅ ｎｈａｎｃｅｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎ
Ｌａ５ｅｒ Ｗｅｌｄｉｎｇ Ｔ ｈｒｏｕｇｈ
Ｏｐ七１ｃａｌＰｏｓｉｔｉｏｎ Ｄｅｔｅｃｔ、
ｉｏｎ、 Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ ｏｆ ｔ、ｈｅＴｅ
ｃｈｎｉｃａｌ Ｐｒｏｇｒａｍ、Ｅｌｅｃｔｒｏ−
Ｏｐｔ、ｉｃｓ／Ｌａ５ｅｒ ７７Ｃｏｎｆｅｒｅｎ
ｃｅ ＆ Ｅｘｐｏｓｉｔｉｏｎ、 Ｏｃｔ、、
２５／２７ （１９７７） ）は、第４図、第５図
に示す如く、可視光であるＨｅ−Ｎｅレーザ１１を使用
し、ＣＯ２レーザビーム（不可視）ＬＢＩとＨｅ Ｎ
ｅレーザビーム（可視）ＬＢ２とをシャッターミラーＭ
１で切り換えて使用する。それぞれのビームの中心軸を
合せておき、Ｈａ−ＮｅレーザビームＬＢ２で照射位置
を設定してからＣＯ２レーザＬＢＩで加工を行なう。
第４図は、ＣＯ２レーザｌＯの外部でＨｅ−Ｎｅレーザ
ＬＢ２との切り換えをするものであり、第５図はＣｏ２
Ｌ／−ザ１０（７）全反射ｆｉＲＭにＨｅ−Ｎｅレーザ
ビームＬＢ２の投入孔ＲＭＨを設け、投入窓Ｗを通し、
シャッターＭＩによって投入したＨｅ−Ｎｅレーザは、
ＣＯ２レーザ１ｏ内を通るので、ＣＯ２レーザビームＬ
ＢＩとＨｅ−ＮｅレーザビームＬＢ２の同軸性は比較的
に合いやすい。
ＬＢ２との切り換えをするものであり、第５図はＣｏ２
Ｌ／−ザ１０（７）全反射ｆｉＲＭにＨｅ−Ｎｅレーザ
ビームＬＢ２の投入孔ＲＭＨを設け、投入窓Ｗを通し、
シャッターＭＩによって投入したＨｅ−Ｎｅレーザは、
ＣＯ２レーザ１ｏ内を通るので、ＣＯ２レーザビームＬ
ＢＩとＨｅ−ＮｅレーザビームＬＢ２の同軸性は比較的
に合いやすい。
しかし、この場合、Ｃ０２レーザ１０が発振している場
合は、Ｈｅ−Ｎｅレーザビームの投入は出来ず、Ｃｏ２
レーザビームの発振状態と停止状態でＨｅ−Ｎｅレーザ
ビームの光路条件が変化する。
合は、Ｈｅ−Ｎｅレーザビームの投入は出来ず、Ｃｏ２
レーザビームの発振状態と停止状態でＨｅ−Ｎｅレーザ
ビームの光路条件が変化する。
第４図、第５図の方法はいずれにしてもＨｅ−Ｎｅレー
ザビームをガイドレーザとしているために、ＣＯ２レー
ザビームの波長１０．６μｍとＨｅ −Ｎ ｅレーザビ
ームの波長０．６μｍとの波長差（１８倍近く）により
伝播、屈折特性に差が生じる。
ザビームをガイドレーザとしているために、ＣＯ２レー
ザビームの波長１０．６μｍとＨｅ −Ｎ ｅレーザビ
ームの波長０．６μｍとの波長差（１８倍近く）により
伝播、屈折特性に差が生じる。
この波長差がＨｅ−Ｎｅレーザをガイドレーザとした場
合の大きな問題（従来法の問題点）となっている。
合の大きな問題（従来法の問題点）となっている。
ＣＯ２レーザビームＬＢＩとＨａ −Ｎ ｅレーザビー
ムＬＢ２の伝播路の媒質によって、それぞれの光路に変
化を生じ、同軸性が低下する。
ムＬＢ２の伝播路の媒質によって、それぞれの光路に変
化を生じ、同軸性が低下する。
第６図はレンズＬＮを用いてＣＯ２レーザビームＬＢＩ
とＨｅ−ＮｅレーザビームＬＢ２を集光した場合の、そ
れぞれの焦点色！！ＦＰＩとＦＰ２を示したものである
。ここでレンズＬＮの中心軸Ｃ３とｃｏ２レーザビーム
軸Ｃ１，Ｈｅ−Ｎｅレーザビーム軸Ｃ２は同軸で、ビー
ムは両方とも平行ビームとしている。
とＨｅ−ＮｅレーザビームＬＢ２を集光した場合の、そ
れぞれの焦点色！！ＦＰＩとＦＰ２を示したものである
。ここでレンズＬＮの中心軸Ｃ３とｃｏ２レーザビーム
軸Ｃ１，Ｈｅ−Ｎｅレーザビーム軸Ｃ２は同軸で、ビー
ムは両方とも平行ビームとしている。
第６ａ図および第６ｂ図は、Ｈｅ−Ｎｅレーザビームの
径の差異を示したものであるが、両図とも波長の短かい
Ｈｅ−ＮｅレーザビームＬＢ２の焦点ＦＰ２は位置Ｐ２
で、ＣＯ２レーザビームＬＢＩの焦点ＦＰＩの位置Ｐ１
より上にくる。この位置の差ΔＱが従来法で発生する為
に正確な焦点位置設定が出来ない欠点がある。
径の差異を示したものであるが、両図とも波長の短かい
Ｈｅ−ＮｅレーザビームＬＢ２の焦点ＦＰ２は位置Ｐ２
で、ＣＯ２レーザビームＬＢＩの焦点ＦＰＩの位置Ｐ１
より上にくる。この位置の差ΔＱが従来法で発生する為
に正確な焦点位置設定が出来ない欠点がある。
本発明は、高出力Ｃｏ２レーザ加工における。
ビーム伝搬路での安定伝播と、焦点位置設定の正確さを
計り加工性能の向上を目的とする。
計り加工性能の向上を目的とする。
上記目的を達成するために本発明においては。
計装用のガイドレーザとして加工用ＣＯ２レーザと同じ
波長で、極めて低出力のＣＯ２レーザ発振器と発振され
た低出力の００２レーザビームの位置を知るため、加工
位置近傍に設置されたＣＯ２レーザビーム検出素子（例
えばＡｕ−Ｇｅ等）及び検出信号表示部を有するＣｏ２
レーザビーム検出器とからなる計装用ガイドＣＯ２レー
ザシステム（以下計装用ガイドＣＯ２レーザシステムと
呼ぶ）を用いて、従来法でのレーザビームの波長差によ
って生じる問題を解決するものである。
波長で、極めて低出力のＣＯ２レーザ発振器と発振され
た低出力の００２レーザビームの位置を知るため、加工
位置近傍に設置されたＣＯ２レーザビーム検出素子（例
えばＡｕ−Ｇｅ等）及び検出信号表示部を有するＣｏ２
レーザビーム検出器とからなる計装用ガイドＣＯ２レー
ザシステム（以下計装用ガイドＣＯ２レーザシステムと
呼ぶ）を用いて、従来法でのレーザビームの波長差によ
って生じる問題を解決するものである。
第７図は本発明の一実施例の構成概要を示す断面図であ
る。これにおいては、ガイドレーザと加工レーザが同一
波長のＣＯ２レーザであり、第７図に示す如く、加工用
レーザ内でも従来法の第４図、第５図のように加工用レ
ーザ外でも構成が可能であり、第７図の場合、レーザ発
振器の温度変化が同様傾向があり、加工用レーザと計装
用レーザの温度変化による差異が極めて減少できる。
る。これにおいては、ガイドレーザと加工レーザが同一
波長のＣＯ２レーザであり、第７図に示す如く、加工用
レーザ内でも従来法の第４図、第５図のように加工用レ
ーザ外でも構成が可能であり、第７図の場合、レーザ発
振器の温度変化が同様傾向があり、加工用レーザと計装
用レーザの温度変化による差異が極めて減少できる。
本発明のもう１つの実施例を示す第８図では、加工用Ｃ
Ｏ２レーザ発振器１０．計装用ガイドＣＯ２レーザ１２
．ＣＯ２ビーム検知器１３．伝送路ＢＧＩ−ＢＧ４．ビ
ーム折り曲げミラーＢＭＩ〜ＢＭ３および集光レンズＬ
Ｎによるレーザ加ニジステムを示したものである。
Ｏ２レーザ発振器１０．計装用ガイドＣＯ２レーザ１２
．ＣＯ２ビーム検知器１３．伝送路ＢＧＩ−ＢＧ４．ビ
ーム折り曲げミラーＢＭＩ〜ＢＭ３および集光レンズＬ
Ｎによるレーザ加ニジステムを示したものである。
ＣＯ２ビーム検知器１３は、Ａｕ−Ｇｏ素子を用いたも
ので、伝送路ＢＧ４の保護筒に移動可能に取り付けられ
たものであり、ＣＯ２ビームの位置検出後、加工用ＣＯ
２レーザの照射前に、そのビーム光路の外へ退避させら
れる。
ので、伝送路ＢＧ４の保護筒に移動可能に取り付けられ
たものであり、ＣＯ２ビームの位置検出後、加工用ＣＯ
２レーザの照射前に、そのビーム光路の外へ退避させら
れる。
両レーザが同一波長であり、計装用ガイドＣＯ２レーザ
ＬＢ２と加工用Ｃ０２レーザＬＢ１を伝送系の入口で同
軸にすれば、計装用ガイドＣＯ２レーザシステムによっ
て伝送系、集光系全てにおいてビーム中心の調整および
集光系の調整および設定が可能となる。
ＬＢ２と加工用Ｃ０２レーザＬＢ１を伝送系の入口で同
軸にすれば、計装用ガイドＣＯ２レーザシステムによっ
て伝送系、集光系全てにおいてビーム中心の調整および
集光系の調整および設定が可能となる。
以上の通り本発明では実際のＣｏ２レーザ加工において
正確なレーザ照射位置の設定が可能になり、レーザ加工
性能を高めることが出来るとともに伝送系においても正
確に加工用Ｃｏ２レーザビームを伝送系中心軸を通し、
安全性を確保する事ができる。
正確なレーザ照射位置の設定が可能になり、レーザ加工
性能を高めることが出来るとともに伝送系においても正
確に加工用Ｃｏ２レーザビームを伝送系中心軸を通し、
安全性を確保する事ができる。
第１図は高出力Ｃｏ２レーザの基本的構成を示す断面図
、第２図はＣＯ２レーザの従来の加ニジステムの一例を
示す側面図、第３ａ図、第３ｂ図お、よび第３ｃ図はＣ
Ｏ２レーザの集光状況を示す側面図、第４図および第５
図はＨｅ−Ｎｅレーザを使用した従来のガイドレーザ付
高出力ＣＯ２レーザ発振器を示す断面図、第６図はレー
ザ波長差による焦点位置の差異を示す側面図である。 第７図および第８図は本発明の一実施例を示す断面図で
ある。 ｌＯ：加工用ＣＯ２レーザ １１：計装用Ｈｅ−Ｎｅレーザ １２：計装用ＣＯ２レーザ ＬＢＩ：加工用ＣＯ２レーザビーム ＬＢ２：計装用レーザビーム ＬＮ：レンズ ２０：被加工機ＳＦ：被
加被加工面 表面：全反射鏡（共振ミラー） ＰＭ二部分反射ｆｉ（共振ミラー） Ｍｌ：シャッター ＦＰ：焦点 第１■ 第３８■ 第３ｂ図 千３０図５Ｆ１４切 男５国 第６ａ司 第６ｂ図 ′Ｆ１７７ 弔８■ 手続補正書（自発） １゜事件の表示 昭和６０年特許願第０９６４０３号２
゜発明の名称 ｃｏ２レーザ発振器３゜補正をす
る者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区大手町二丁目６番３号名称
（６６５）新日本製鐵株式會社 （他１名）代
表者 武 １） 豊 ４、代理人 〒１０３ 電話 ０３−８６４−６０
５２５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄１
図面の簡単な説明の欄、および図面 ６゜補正の内容 （１）明細書の下記頁、行の誤とした部分を正とした内
容に（２）明細書の第１０頁の第１行〜第１０行の［第
１図は高出力Ｃｏ２レーザ・・・・・・示す断面図であ
る。」を次の文章に訂正する。 「第１図および第２図は本発明の一実施例を示す断面図
である。第３ａ図、第３ｂ図２第３ｃ図、第４図および
第５図はＨａ −Ｎ ｅレーザを使用した従来のガイド
レーザ付高出力Ｃｏ２レーザ発振器を示す断面図、第６
ａ図および第６ｂ図はレーザ波長差による焦点位置の差
異を示す側面図、第７図は高出力ＣＯ２レーザ基本的楕
成を示す断面図、第８図はＣＯ２レーザの従来の加ニジ
ステムの一例を示す側面図である。 」 （３）第１図、第２図、第７図、第８図を添付した別紙
の通りに訂正する。 ７、添付書類の目録 （１）図面・・・・・・２葉 肩１ 阿 尤２■
、第２図はＣＯ２レーザの従来の加ニジステムの一例を
示す側面図、第３ａ図、第３ｂ図お、よび第３ｃ図はＣ
Ｏ２レーザの集光状況を示す側面図、第４図および第５
図はＨｅ−Ｎｅレーザを使用した従来のガイドレーザ付
高出力ＣＯ２レーザ発振器を示す断面図、第６図はレー
ザ波長差による焦点位置の差異を示す側面図である。 第７図および第８図は本発明の一実施例を示す断面図で
ある。 ｌＯ：加工用ＣＯ２レーザ １１：計装用Ｈｅ−Ｎｅレーザ １２：計装用ＣＯ２レーザ ＬＢＩ：加工用ＣＯ２レーザビーム ＬＢ２：計装用レーザビーム ＬＮ：レンズ ２０：被加工機ＳＦ：被
加被加工面 表面：全反射鏡（共振ミラー） ＰＭ二部分反射ｆｉ（共振ミラー） Ｍｌ：シャッター ＦＰ：焦点 第１■ 第３８■ 第３ｂ図 千３０図５Ｆ１４切 男５国 第６ａ司 第６ｂ図 ′Ｆ１７７ 弔８■ 手続補正書（自発） １゜事件の表示 昭和６０年特許願第０９６４０３号２
゜発明の名称 ｃｏ２レーザ発振器３゜補正をす
る者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区大手町二丁目６番３号名称
（６６５）新日本製鐵株式會社 （他１名）代
表者 武 １） 豊 ４、代理人 〒１０３ 電話 ０３−８６４−６０
５２５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄１
図面の簡単な説明の欄、および図面 ６゜補正の内容 （１）明細書の下記頁、行の誤とした部分を正とした内
容に（２）明細書の第１０頁の第１行〜第１０行の［第
１図は高出力Ｃｏ２レーザ・・・・・・示す断面図であ
る。」を次の文章に訂正する。 「第１図および第２図は本発明の一実施例を示す断面図
である。第３ａ図、第３ｂ図２第３ｃ図、第４図および
第５図はＨａ −Ｎ ｅレーザを使用した従来のガイド
レーザ付高出力Ｃｏ２レーザ発振器を示す断面図、第６
ａ図および第６ｂ図はレーザ波長差による焦点位置の差
異を示す側面図、第７図は高出力ＣＯ２レーザ基本的楕
成を示す断面図、第８図はＣＯ２レーザの従来の加ニジ
ステムの一例を示す側面図である。 」 （３）第１図、第２図、第７図、第８図を添付した別紙
の通りに訂正する。 ７、添付書類の目録 （１）図面・・・・・・２葉 肩１ 阿 尤２■
Claims (2)
- （１）加工用にもちいられるＣＯ＿２レーザ発振器にお
いて、計装用ＣＯ＿２レーザを備えている事を特徴とす
る加工用ＣＯ＿２レーザ発振器。 - （２）計装用ＣＯ＿２レーザと加工用ＣＯ＿２レーザの
光軸を同軸にした前記特許請求の範囲第（１）項記載の
加工用ＣＯ＿２レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9640385A JPS61255079A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9640385A JPS61255079A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61255079A true JPS61255079A (ja) | 1986-11-12 |
| JPH0467799B2 JPH0467799B2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=14163994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9640385A Granted JPS61255079A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61255079A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010135769A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-06-17 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法 |
| JP2018101723A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | トヨタ自動車株式会社 | 光軸調整用装置 |
-
1985
- 1985-05-07 JP JP9640385A patent/JPS61255079A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010135769A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-06-17 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法 |
| JP2018101723A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | トヨタ自動車株式会社 | 光軸調整用装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0467799B2 (ja) | 1992-10-29 |
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