JPS61248753A - 板状部材 - Google Patents
板状部材Info
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- JPS61248753A JPS61248753A JP60090228A JP9022885A JPS61248753A JP S61248753 A JPS61248753 A JP S61248753A JP 60090228 A JP60090228 A JP 60090228A JP 9022885 A JP9022885 A JP 9022885A JP S61248753 A JPS61248753 A JP S61248753A
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- nickel
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- thin plate
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Classifications
-
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- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
1丘分立
本発明は、板状部材、より詳細には、シート状。
テープ状等の薄板上にフォトファブリケーション。
メッキ、蒸着等によって機能素子を形成する技術に関す
る。
る。
従米且玉
第2図は、従来技術によって製作されるインクジェット
記録装置用ノズルプレートの加工工程を説明するための
図で、該ノズルプレートは次のようにして製作される。
記録装置用ノズルプレートの加工工程を説明するための
図で、該ノズルプレートは次のようにして製作される。
(1)m、ステンレススチール等のエツチング可能な材
質よりなる基板(薄板)1の表面を脱脂処理、酸化膜除
去処理、研磨等の前処理をし、前記基板1上に塗布され
るフォトレジスト2が均一に、且つ密着良く塗布される
ようにする。
質よりなる基板(薄板)1の表面を脱脂処理、酸化膜除
去処理、研磨等の前処理をし、前記基板1上に塗布され
るフォトレジスト2が均一に、且つ密着良く塗布される
ようにする。
(2)基板10表面上に光線の照射(露光)により重合
硬化(又は分解)される材質よりなる感光剤であるフォ
トレジスト2を塗布する〔第2図(A)〕。
硬化(又は分解)される材質よりなる感光剤であるフォ
トレジスト2を塗布する〔第2図(A)〕。
(3)フォトレジスト2を充分加熱乾燥し、剥離や腐食
等の起きない状態にした後、オリフィス画像が焼き付け
されたフィルムマスク3を前−記フオトレジスト2のフ
ィルムマスク3よりの露出部を重合硬化(又は分解)す
る〔第2図(B)〕。
等の起きない状態にした後、オリフィス画像が焼き付け
されたフィルムマスク3を前−記フオトレジスト2のフ
ィルムマスク3よりの露出部を重合硬化(又は分解)す
る〔第2図(B)〕。
(4)光を照射されたフォトレジスト2を現像処理およ
び洗浄することによりインク噴射口であるオリフィス部
分のフォトレジスト2が残存するようにする(第2図(
C))。
び洗浄することによりインク噴射口であるオリフィス部
分のフォトレジスト2が残存するようにする(第2図(
C))。
(5)ニッケル電着液中に前述の処理を行った基板1を
浸し、電気化学的にニッケル薄膜4を析出させる。ここ
で前記フォトレジゑト2上にはニッケルは析出されない
〔第2図(D)〕。
浸し、電気化学的にニッケル薄膜4を析出させる。ここ
で前記フォトレジゑト2上にはニッケルは析出されない
〔第2図(D)〕。
(6)基板1の裏面側に(1)〜(4)の処理を行う(
第2図(E)〕。
第2図(E)〕。
(7)基板1の裏面側よりエツチングを行い基板1のフ
ォトレジスト2が添着されていない露出部からカップ状
に腐食させる〔第2図(F)〕。
ォトレジスト2が添着されていない露出部からカップ状
に腐食させる〔第2図(F)〕。
(8)フォトレジスト2を薬剤処理により除去し、オリ
フィス7を穿設した後ニッケル等の保護膜5を形成する
〔第2図(G)〕。
フィス7を穿設した後ニッケル等の保護膜5を形成する
〔第2図(G)〕。
第3図は、第2図(G)の一部を拡大して示したもので
あるが、上記従来の方法によって製作されるノズルプレ
ート或いは蒸着用メカニカルマスクの欠点は、ニッケル
薄I!14が基板1の片側にしかないため、ニッケルメ
ッキ薄膜の応力、或いは、基板lと薄膜4の熱膨係数の
違いなどによってそりが生じることである。
あるが、上記従来の方法によって製作されるノズルプレ
ート或いは蒸着用メカニカルマスクの欠点は、ニッケル
薄I!14が基板1の片側にしかないため、ニッケルメ
ッキ薄膜の応力、或いは、基板lと薄膜4の熱膨係数の
違いなどによってそりが生じることである。
貝m
本発明は、上述のごとき従来技術の欠点を解消するため
になされたもので、特に、シート状物体。
になされたもので、特に、シート状物体。
テープ状物体、基板等の板状部材の平面度を維持するこ
とを目的としてなされたものである。
とを目的としてなされたものである。
1威
本発明は、上記目的を達成するため、薄板功一方の面に
該薄板の材質と異なる材料が層状に付与。
該薄板の材質と異なる材料が層状に付与。
形成された板状部材において、該薄板の他方の面に前記
材料と同一又は類僚の物理的9機械的性質をもつ材料が
層状に付与、形成されていることを特徴としたものであ
る。以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
材料と同一又は類僚の物理的9機械的性質をもつ材料が
層状に付与、形成されていることを特徴としたものであ
る。以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
第1図は、本発明の一実施例を説明するための要部断面
図であるが、本発明は、第2図(D)の工程において、
基板1の表裏にニッケル*X*を析出させる点に特徴が
ある。それ以外は、従来の工程と同様であり、裏面にニ
ッケル薄膜があることにより、たとえば、第2図(E)
以降の工程で不都合が生じるようなことは全くない、な
ぜなら、基板1のエツチングに用いるエッチャント(主
に塩化第2鉄あるいは塩化第2銅溶液が用いられる)は
、基板1と同様にニッケルをも容易にエツチングするか
らである(エツチングレートは、銅の場合もニッケルの
場合もほとんど同じである)。
図であるが、本発明は、第2図(D)の工程において、
基板1の表裏にニッケル*X*を析出させる点に特徴が
ある。それ以外は、従来の工程と同様であり、裏面にニ
ッケル薄膜があることにより、たとえば、第2図(E)
以降の工程で不都合が生じるようなことは全くない、な
ぜなら、基板1のエツチングに用いるエッチャント(主
に塩化第2鉄あるいは塩化第2銅溶液が用いられる)は
、基板1と同様にニッケルをも容易にエツチングするか
らである(エツチングレートは、銅の場合もニッケルの
場合もほとんど同じである)。
また、第2図(D)の工程では、表面だけにニッケル薄
膜4を析出させるために、裏面には保護膜(フォトレジ
スト等が使用される)を形成しているが(ただし、第2
図では説明を簡単にするために、図示されていない)、
本発明によれば、その必要はなく、工程の短縮もできる
。
膜4を析出させるために、裏面には保護膜(フォトレジ
スト等が使用される)を形成しているが(ただし、第2
図では説明を簡単にするために、図示されていない)、
本発明によれば、その必要はなく、工程の短縮もできる
。
裏面のニッケル薄膜4は、表面の薄膜4と似たような物
理的性質を示すようなものであれば、特にニッケル薄膜
に限定はしないが、工程上の便利さ、又、機能上の有利
さく表裏が同じ材質であり、同じ厚さだけついているの
が最も望ましい)より、表面4と同じニッケル薄膜が望
ましい。いうまでもないが、薄膜4の材料としてニッケ
ル以外のもの(たとえば金)が用いられれば表裏とも同
一の材料たとえば金が用いられる。
理的性質を示すようなものであれば、特にニッケル薄膜
に限定はしないが、工程上の便利さ、又、機能上の有利
さく表裏が同じ材質であり、同じ厚さだけついているの
が最も望ましい)より、表面4と同じニッケル薄膜が望
ましい。いうまでもないが、薄膜4の材料としてニッケ
ル以外のもの(たとえば金)が用いられれば表裏とも同
一の材料たとえば金が用いられる。
班来
以上の説明から明らかなように、本発明によると、
イ)従来片側だけにニッケル薄膜が形成されていたため
、メッキの応力で、できあがった板状部材がそってしま
い、不都合が生じていた。具体的には、複数のノズル大
を有するマルチノズルプレートにおいて、このようなそ
りがあったため、噴射方向がそろわず、使用に耐えなか
った。しかしながら、本発明のように裏面にもニッケル
ff膜を形成することにより、表裏の応力を打ち消しあ
うことができ、そりのない平面度のすぐれたマルチノズ
ルプレートの製作が可能になった。
、メッキの応力で、できあがった板状部材がそってしま
い、不都合が生じていた。具体的には、複数のノズル大
を有するマルチノズルプレートにおいて、このようなそ
りがあったため、噴射方向がそろわず、使用に耐えなか
った。しかしながら、本発明のように裏面にもニッケル
ff膜を形成することにより、表裏の応力を打ち消しあ
うことができ、そりのない平面度のすぐれたマルチノズ
ルプレートの製作が可能になった。
また、上記実施例では、マルチノズルプレートを例にあ
げたが、シングルノズルにも通用することができる。た
だし、効果としては、マルチノズルプレート或いは大型
のメカニカルマスクのようなものに特に良い結果が得ら
れる(なぜならば、小さいシングルノズルでは、そりは
あまり問題にならない)。
げたが、シングルノズルにも通用することができる。た
だし、効果としては、マルチノズルプレート或いは大型
のメカニカルマスクのようなものに特に良い結果が得ら
れる(なぜならば、小さいシングルノズルでは、そりは
あまり問題にならない)。
口)第2図(D)の工程が短縮できる(裏面の保護膜塗
布(図示していない)が不要になる)。
布(図示していない)が不要になる)。
等の利点がある。
第1図は、本発明によ名簿板部材の一実施例を説明する
ための要部断面図、第2図は、従来の板状部材の製作方
法の一例を説明するための製作工程図、第3図は、第2
図(G)の一部拡大図である。 11・・基Fi<*板)、4・・・薄膜、5・・・保護
膜。 第2図 第3rIJ 第1y1 手続補正書輸発) 昭和60年9月12日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 2、発明の名称 板状部材 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 オオタ り ナカマゴメ 住所 東京都大田区中馬込1丁目3番6号氏名(名称
) (674)株式会社リコー代表者 浜 1)
広 4、代 理 人 住 所 〒231 横浜市中区不老町1−2−7
シヤトレーイン横浜807号 6、補正の対象 (1)、明細書の発明の詳細な説明の欄1、WJ正の内
容 (1)、明細書第2頁第10行目に記載のr鋼、」をr
ill、 Jに補正する。 、同第3頁第9行〜10行目に記載の「ここで前記・・
・川されない〔第2図(D)〕。」を「ここで前記フォ
トレジスト2は、非導電性であるため直接ニッケルは析
出されないが、周囲の基板1よりせり出した形でニッケ
ルがかぶされる〔第2図(D) ) 、 Jに補正する
。 (3)、同第3頁第19行目に記載の「拡大して」を削
除する。 、同第7頁第13行目に記載の「一部拡大図」を「一部
を示す図」に補正する。 、−1、第2図を別紙の°通り補正する。
ための要部断面図、第2図は、従来の板状部材の製作方
法の一例を説明するための製作工程図、第3図は、第2
図(G)の一部拡大図である。 11・・基Fi<*板)、4・・・薄膜、5・・・保護
膜。 第2図 第3rIJ 第1y1 手続補正書輸発) 昭和60年9月12日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 2、発明の名称 板状部材 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 オオタ り ナカマゴメ 住所 東京都大田区中馬込1丁目3番6号氏名(名称
) (674)株式会社リコー代表者 浜 1)
広 4、代 理 人 住 所 〒231 横浜市中区不老町1−2−7
シヤトレーイン横浜807号 6、補正の対象 (1)、明細書の発明の詳細な説明の欄1、WJ正の内
容 (1)、明細書第2頁第10行目に記載のr鋼、」をr
ill、 Jに補正する。 、同第3頁第9行〜10行目に記載の「ここで前記・・
・川されない〔第2図(D)〕。」を「ここで前記フォ
トレジスト2は、非導電性であるため直接ニッケルは析
出されないが、周囲の基板1よりせり出した形でニッケ
ルがかぶされる〔第2図(D) ) 、 Jに補正する
。 (3)、同第3頁第19行目に記載の「拡大して」を削
除する。 、同第7頁第13行目に記載の「一部拡大図」を「一部
を示す図」に補正する。 、−1、第2図を別紙の°通り補正する。
Claims (2)
- (1)、薄板の一方の面に該薄板の材質と異なる材料が
層状に付与、形成された板状部材において、該薄板の他
方の面に前記材料と同一又は類似の物理的、機械的性質
をもつ材料が層状に付与、形成されていることを特徴と
する板状部材。 - (2)、前記薄板が銅もしくは銅系の合金もしくはアル
ミニウムもしくはアルミニウム系の合金もしくはステン
レス鋼もしくはニッケルもしくはガラスもしくはシリコ
ンであり、前記材料が銅、もしくはニッケルもしくはア
ルミもしくはクロムもしくは金もしくは白金もしくはS
iO_2もしくはSi_3N_4であり、前記薄板の材
質と前記材料の材質が一致しない組み合わせであること
を特徴とする特許請求の範囲第(1)項に記載の板状部
材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60090228A JPS61248753A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 板状部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60090228A JPS61248753A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 板状部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61248753A true JPS61248753A (ja) | 1986-11-06 |
Family
ID=13992622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60090228A Pending JPS61248753A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 板状部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61248753A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5387440A (en) * | 1991-03-28 | 1995-02-07 | Seiko Epson Corporation | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing a said nozzle plate |
US6000783A (en) * | 1991-03-28 | 1999-12-14 | Seiko Epson Corporation | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing said nozzle plate |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP60090228A patent/JPS61248753A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5387440A (en) * | 1991-03-28 | 1995-02-07 | Seiko Epson Corporation | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing a said nozzle plate |
US6000783A (en) * | 1991-03-28 | 1999-12-14 | Seiko Epson Corporation | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing said nozzle plate |
US6016601A (en) * | 1991-03-28 | 2000-01-25 | Seiko Epson Corporation | Method of preparing the nozzle plate |
US6357857B1 (en) | 1991-03-28 | 2002-03-19 | Kiyohiko Takemoto | Nozzle plate for ink jet recording apparatus and method of preparing said nozzle plate |
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