JPS61237413A - Manufacture of laminate ceramic capacitor - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、積層セラミックコンデンサの製造方法に関
し、特にたとえばセラミックグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを作る、製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, and more particularly to a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor by laminating, for example, ceramic green sheets.

（従来技術） 従来、積層セラミックコンデンサは、第５Ａ図に示すよ
うな平面形状のセラミックグリーンシート１を準備し、
その上面に３辺の側端部近傍を除いて内部電極２を形成
し、第５Ｂ図に示すように、セラミックグリーンシート
１を積層した後圧着して、ユニット３として構成した。(Prior Art) Conventionally, a multilayer ceramic capacitor is manufactured by preparing a ceramic green sheet 1 having a planar shape as shown in FIG. 5A,
Internal electrodes 2 were formed on the top surface except for the vicinity of the side edges of three sides, and as shown in FIG. 5B, ceramic green sheets 1 were laminated and pressed together to form a unit 3.

そして、内部電極２の露出している両端面には、外部電
極が形成される。この第５Ａ図および第５Ｂ図に示す例
では横方向両側に、内部電極２の形成されていない部分
（電極マージン）を残している。このような電極マージ
ンを有するものでは、セラミックグリ−ンシート１と内
部電極２との膨張係数が異なるとき、焼成中に熱応力が
働くので、クランクやデラミネーションを生じることが
ある。External electrodes are formed on both exposed end surfaces of the internal electrodes 2. In the example shown in FIGS. 5A and 5B, portions (electrode margins) where the internal electrodes 2 are not formed are left on both sides in the lateral direction. In a device having such an electrode margin, when the expansion coefficients of the ceramic green sheet 1 and the internal electrode 2 are different, thermal stress is applied during firing, which may cause cranking or delamination.

そこで、第６Ａ図に示すように、電極マージンのないセ
ラミックグリーンシート１′を積層して、第６Ｂ図に示
すようなユニット３を作ることも知られている。Therefore, as shown in FIG. 6A, it is also known to stack ceramic green sheets 1' without electrode margins to form a unit 3 as shown in FIG. 6B.

第６Ｂ図のユニット３を量産的に製造する従来技術が、
たとえば特公昭５３−２３４９６号公報に開示されてい
る。この従来技術の方法では、長手のセラミックグリー
ンシート上に内部電極を形成し、これを積層圧着した後
焼成し、その後間々のユニットとして切断する。The conventional technology for mass-producing the unit 3 shown in FIG. 6B is
For example, it is disclosed in Japanese Patent Publication No. 53-23496. In this prior art method, internal electrodes are formed on long ceramic green sheets, which are laminated and pressed together, fired, and then cut into individual units.

（発明が解決しようとする問題点） 従来技術では、電極マージン部分をなくすことによって
、電極の有効面積の増加による容量／容量比の大きい積
層セラミックコンデンサが得られるという利点はある。(Problems to be Solved by the Invention) In the prior art, there is an advantage that by eliminating the electrode margin portion, a multilayer ceramic capacitor with a high capacitance/capacitance ratio can be obtained due to an increase in the effective area of the electrodes.

しかしながら、大面積のままで焼成するため依然として
焼成中の熱応力によるクラックやデラミネーションの発
生を防止できず、また焼成後に切断してチップ化してい
るので、切断に際して機械的応力が加わるため、さらに
クラックやデラミネーションが発生することがあった。However, since the large area is fired as it is, it is still not possible to prevent the occurrence of cracks and delamination due to thermal stress during firing, and since it is cut into chips after firing, mechanical stress is applied during cutting, resulting in further damage. Cracks and delamination may occur.

それゆえに、この発明の主たる目的は、クランクやデラ
ミネーションを軽減して、電極マージンのない積層セラ
ミックコンデンサを効率よく製造することができる、製
造方法を提供することである。Therefore, the main object of the present invention is to provide a manufacturing method that can efficiently manufacture a multilayer ceramic capacitor without an electrode margin by reducing cranking and delamination.

（問題点を解決するための手段） この発明は、積層されたセラミックグリーンシートを圧
着して積層体にした後、切断して積層セラミックユニッ
トを作り、その後ユニットを焼成し、ユニットに外部電
極を付与するようにした、積層セラミックコンデンサの
製造方法である。(Means for Solving the Problems) In the present invention, laminated ceramic green sheets are crimped to form a laminated body, and then cut to make a laminated ceramic unit.Then, the unit is fired, and external electrodes are attached to the unit. This is a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor in which the

（発明の効果） この発明によれば、電極マージンのない積層セラミック
コンデンサをクランクやデラミネーションを発生させず
に効率よく製造することができる。(Effects of the Invention) According to the present invention, a multilayer ceramic capacitor without an electrode margin can be efficiently manufactured without causing cranking or delamination.

すなわち、この発明では、焼成する前に切断して積層セ
ラミックユニットを作るので、切断に際して内部電極と
セラミックグリーンシートとの層境界面などに機械的応
力が加わるのを防止でき、さらに焼成中において内部電
極とセラミックグリーンシートとの層境界面などに熱的
応力が加わるのを防止できるため、クランクやデラミネ
ーションを大幅に軽減でき、量産効率を向上することが
できるのである。That is, in this invention, since the laminated ceramic unit is made by cutting before firing, it is possible to prevent mechanical stress from being applied to the layer interface between the internal electrode and the ceramic green sheet during cutting, and furthermore, during firing, the internal Since it is possible to prevent thermal stress from being applied to the layer interface between the electrode and the ceramic green sheet, cranking and delamination can be significantly reduced, and mass production efficiency can be improved.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行なう以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.

（実施例） 第１図ないし第４図はこの発明の一実施例の工程を示す
図解図である。まず、第１図に示すようなセラミックグ
リーンシート１２が準備される。(Embodiment) FIGS. 1 to 4 are illustrative views showing the steps of an embodiment of the present invention. First, a ceramic green sheet 12 as shown in FIG. 1 is prepared.

このセラミックグリーンシート１２は短辺と長辺とを有
する平面帯状ないし短冊状のもので、その短辺は積層セ
ラミックコンデンサ（第６Ａ図、第６Ｂ図）の一方辺と
ほぼ等しくかつその長辺は他方辺の数倍ないし数十倍の
長さを有する。このような帯状のセラミックグリーンシ
ート１２上には、短辺方向−万端側の端縁近傍を除き、
長辺方向に沿って導電ペーストが塗布されて、帯状の内
部電極１４が形成される。This ceramic green sheet 12 is in the shape of a flat band or strip having short sides and long sides, and the short side is approximately equal to one side of the multilayer ceramic capacitor (Figs. 6A and 6B), and the long side is It has a length several to several tens of times longer than the other side. On such a belt-shaped ceramic green sheet 12, there are
A conductive paste is applied along the long side direction to form a band-shaped internal electrode 14.

次に、第２図に示すように、内部電極１４の形成されて
いない部分すなわち上述の短辺方向の一方端側か交互に
逆になり、かつそれぞれのセラミックグリーンシート１
２が内部電極１４を挟むように、複数のセラミックグリ
ーンシート１２が積層される。そして、その最上面にセ
ラミックグリーンシート１２のみが積層されて、積層体
１６が作られる。その後、積層体１６がプレスなどによ
って圧着される。Next, as shown in FIG. 2, the portion where the internal electrode 14 is not formed, that is, one end side in the above-mentioned short side direction, is alternately reversed, and each ceramic green sheet 1
A plurality of ceramic green sheets 12 are stacked such that the ceramic green sheets 2 sandwich the internal electrodes 14 therebetween. Then, only the ceramic green sheet 12 is laminated on the uppermost surface to form a laminate 16. Thereafter, the laminate 16 is pressed together using a press or the like.

次に、第３図に示すように、積層体１６がその短辺に平
行な方向に沿って一定間隔毎に切断されて、１つのユニ
ット１８が作られる。このようにして切断された複数の
ユニット１８は、その後焼成される。このように、１つ
のユニット１８を作る場合に切断後焼成するようにすれ
ば、積層体１６のままで焼成した後切断する従来技術に
比べて、切断する際の機械的応力による、ユニットのク
ランクやデラミネーションが大幅に改善される。Next, as shown in FIG. 3, the laminate 16 is cut at regular intervals along a direction parallel to its short side to form one unit 18. The plurality of units 18 thus cut are then fired. In this way, if one unit 18 is made by cutting and then firing, compared to the conventional technique in which the laminate 16 is fired as it is and then cut, the mechanical stress of the unit during cutting will cause the cranking of the unit. and delamination are significantly improved.

焼成されたユニット１８は、第４図に示すように、両端
部に、外部電極２０が、たとえば導電ペーストを塗布し
た後焼成することによって、形成ないし付与される。As shown in FIG. 4, the fired unit 18 has external electrodes 20 formed or provided on both ends by, for example, applying a conductive paste and then firing.

さらに好ましくは、ユニット１８の外部電極２０の形成
されていない側面には、第４図で２点鎖線で示すように
、安定化の目的で、たとえばガラス材料などからなる絶
縁ペースト２２が塗布される。なお、絶縁ペーストの塗
布は、外部電極２０を形成する前に行なってもよい。ま
た図示して説明はしないが、焼成前にユニット１８の側
面、つまり外部電極を形成しない側面にセラミックグリ
ーンシート１２と同一材質のセラミックグリーンシート
片を貼り合わせ、その後焼成して側面に露出する内部電
極を覆うようにしてもよい。More preferably, an insulating paste 22 made of, for example, a glass material is applied to the side surface of the unit 18 on which the external electrode 20 is not formed, for the purpose of stabilization, as shown by the two-dot chain line in FIG. . Note that the application of the insulating paste may be performed before forming the external electrodes 20. Also, although not shown or explained, a ceramic green sheet piece made of the same material as the ceramic green sheet 12 is attached to the side surface of the unit 18, that is, the side surface on which no external electrode is formed, before firing, and then fired to expose the inside of the unit 18 on the side surface. It may also cover the electrode.

大液値 Ｂ　ａ　Ｔ　ｉ　０３系の帯状のかつ平均厚み５０μｍ
のセラミックグリーンシート上に粒径０，１μｍのパラ
ジウム６０％を含む導電ペーストを印刷して内部電極を
形成した。これを乾燥した後に積層し、熱圧着により一
体化した。その後、切り出したユニットを空気中で１，
３３０℃で２時間焼成した。外部電極は銀ペーストを塗
布した後、空気中で８００℃で焼き付けにより形成した
。絶縁性ペーストを塗布する場合にはガラスグレーズを
塗布した後、５２０℃で２分間加熱した。Large liquid value B a T i 03 series band-shaped and average thickness 50 μm
A conductive paste containing 60% palladium with a particle size of 0.1 μm was printed on a ceramic green sheet to form internal electrodes. After drying, they were laminated and integrated by thermocompression bonding. After that, the cut unit was placed in the air for 1,
It was baked at 330°C for 2 hours. The external electrodes were formed by applying silver paste and then baking it in air at 800°C. When applying an insulating paste, a glass glaze was applied and then heated at 520°C for 2 minutes.

このようにして製造された１個の積層セラミックコンデ
ンサは、外形寸法が５．　８ｎＸ５．６ｍで、厚みが１
．２鶴である。有効誘電体層の厚さは３３μｍであり、
有効誘電体層数が１９であり、１層当たりの対向電極面
積は２１．５ｍ２であった。One multilayer ceramic capacitor manufactured in this manner has an external dimension of 5.5 mm. 8n x 5.6m, thickness 1
．． Two cranes. The effective dielectric layer thickness is 33 μm,
The number of effective dielectric layers was 19, and the area of the opposing electrode per layer was 21.5 m2.

静電容量（Ｃ）は自動ブリッジで１ｋＨｚ、１ボルトで
測定した。絶縁抵抗（Ｒ）は高絶縁計により５０ボルト
を２分間印加した後の値を測定した。クランクまたはデ
ラミネーションの有無は、肉眼および光学顕微鏡により
確認した。その結果を次表に示す。比較のため、特公昭
５５−２３４９６号公報に開示された方法によりこの実
施例と同じ寸法の積層セラミックコンデンサを製造し、
同様に調べた結果を次表に示す。なお、表中の発生率は
１，０００ｆｌ！の試料中の発生率を示している。Capacitance (C) was measured at 1 kHz and 1 volt with an automatic bridge. Insulation resistance (R) was measured using a high insulation meter after applying 50 volts for 2 minutes. The presence or absence of cranks or delamination was confirmed with the naked eye and with an optical microscope. The results are shown in the table below. For comparison, a multilayer ceramic capacitor with the same dimensions as this example was manufactured by the method disclosed in Japanese Patent Publication No. 55-23496.
The results of a similar investigation are shown in the table below. In addition, the incidence rate in the table is 1,000fl! shows the incidence in the sample.

底 表から明らかなように、この実施例により製造された積
層セラミックコンデンサは、水準以上の静電容量（Ｃ）
および絶縁抵抗（Ｒ）を保っているにも拘わらず、クラ
ックの発生率およびデラミネーションの発生率がいずれ
も低いことが確認された。As is clear from the bottom table, the multilayer ceramic capacitor manufactured according to this example has a capacitance (C) above the standard level.
Although the insulation resistance (R) was maintained, it was confirmed that both the incidence of cracking and the incidence of delamination were low.

【図面の簡単な説明】 第１図ないし第４図はこの発明の一実施例の工程を順次
示す図解図であり、特に第１図は内部電極を形成したセ
ラミックグリーンシートを準備する工程を示し、第２図
はこれを積層しかつ圧着する工程を示し、第３図は積層
体から切断して１つのユニットを作る工程を示し、第４
図は外部電極を形成する工程を示す。 第５Ａ図および第５Ｂ図は従来の電極マージンの有る積
層セラミックコンデンサを示す図である。 第６Ａ図および第６Ｂ図は従来の電極マージンの無い積
層セラミックコンデンサを示す図である。 図において、ＩＯは積層セラミックコンデンサ、１２は
セラミックグリーンシート、１４は内部電極、１６は積
層体、１８はユニット、２ｏは外部電極を示す。 特許出願人　株式会社　村田製作所 代理人　弁理士　山　１）　義　人 （ほか１名）[Brief Description of the Drawings] Figures 1 to 4 are illustrative views sequentially showing the steps of an embodiment of the present invention, and in particular, Figure 1 shows the step of preparing a ceramic green sheet on which internal electrodes are formed. , Fig. 2 shows the process of laminating and crimping these, Fig. 3 shows the process of cutting the laminate to make one unit, and Fig.
The figure shows the process of forming external electrodes. 5A and 5B are diagrams showing a conventional multilayer ceramic capacitor with an electrode margin. FIGS. 6A and 6B are diagrams showing a conventional multilayer ceramic capacitor without an electrode margin. In the figure, IO is a multilayer ceramic capacitor, 12 is a ceramic green sheet, 14 is an internal electrode, 16 is a laminate, 18 is a unit, and 2o is an external electrode. Patent applicant Murata Manufacturing Co., Ltd. Representative Patent attorney Yama 1) Yoshito (and 1 other person)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 　その短辺方向の一方端部を残してその長辺方向に沿っ
て電極を形成したセラミックグリーンシートを準備する
ステップ、 電極の形成されていない前記短辺方向の一方端部が交互
に逆になりかつセラミックグリーンシートが電極を挟む
ように、前記セラミックグリーンシートを複数積層する
ステップ、 前記積層されたセラミックグリーンシートを圧着して積
層体を形成するステップ、 前記積層体を、前記短辺に平行な或る間隔ごとに、切断
して積層セラミックユニットを作るステップ、 前記積層セラミックユニットを焼成するステップ、およ
び 焼成後の前記積層セラミックユニットの前記短辺方向の
両端部に１対の外部電極を付与するステップを含む、積
層セラミックコンデンサの製造方法。[Claims] A step of preparing a ceramic green sheet in which an electrode is formed along the long side of the sheet, leaving one end in the short side direction, and one end in the short side direction where the electrode is not formed. a step of laminating a plurality of ceramic green sheets such that the electrodes are alternately reversed and the ceramic green sheets sandwich electrodes; a step of press-bonding the laminated ceramic green sheets to form a laminate; A step of cutting the laminated ceramic unit at certain intervals parallel to the short side to produce a laminated ceramic unit, a step of firing the laminated ceramic unit, and a pair of pieces at both ends of the laminated ceramic unit in the short side direction after firing. A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, the method comprising the step of providing an external electrode.