JPS61215162A - 搬送台車の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ＩＣ製造設備間でワークを搬送する搬送台車
の位置決め装置に関する。

従来の技術 ＩＣ製造設備（以下単に設備と略す）ｌ′ｉ、高価なり
リーンルーム内に設置される。また、設備の進歩は著し
く、その入替も頻発する。

一方、クリーンルーム内のクリーン度保持のため設備間
のワーク搬送は有人でなく、無人が望ましく、かつ、安
価で迅速・確実性が要求されるが、決定的なシステムが
見当らない。

それで、従来は、天井等にレールを固定し、そこに電車
等の台車を走らせ、設備と台車間はロボットでワークを
受は渡し、その台車を視覚付ロボット搭載形の自走台車
として設備間をワーク搬送している。

発明が解決しようとする問題点 前述のように、天井等にレールを固定すると、ゴミは下
に落ちるため、レールは囲いで囲む必要があり、したが
って、装置が大損りとなって工事が困難である。また、
前述のように、設備と台車間はロボットでワークを受は
渡すようにすると、設備毎にロボットが必要であり、コ
スト高で、床面積の有効利用ができない。さらに、前述
のように、視覚付ロボ“ット搭載形の自走台車で設備間
をワーク搬送するとなると、台車と設備間の位置決めが
正確でなく、視覚センサーで補正しながらワーク搬送す
るため、速度が遅く、高価でもあり、そして、ｍ覚処理
技術はいまだ一般的でなく、ワーク変更に対応するため
には時間がかかる。

一方、ＩＣ製造設備等は通常軽量であり、特に、床面に
アンカー等で固定されないケースが多い。

したがって、何らかの原因（地震等）で位置ずれするこ
ともある。

そこで、本発明は、上述した従来接衝の問題点に鑑みて
、これを解決するためになされたもので、構造簡単にし
て、ワークの搬送を円滑かつ確実に行うことのできる搬
送台車の位置決め装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために、本発明による搬送台車の位
置決め装置は、クリーンルーム内に設置された複数個の
ＩＣ製造設備と、それらＩＣ製造設備を連絡するために
敷設されたレールと、該レール上を走行して前記■ｃ　
製造設備間のワーク搬送を行なう搬送台車とからなり、
前記レールの各ＩＣ製造設備前面には台車位置決めブロ
ックを設け、かつ、該レールと各ＩＣ製造設備とはプレ
ートで固定し、前記搬送台車に／ｉ、ティーチングプレ
イパック方式のロボットを搭載すると共に前記台車位置
決めブロックと課金可能となるノックを具備せしめて構
成したことを特徴とする。

実施例 以下、図面を参照して本発明の実姉例について詳述する
。

図において、クリーンルーム内には２個のＩＣ製造設備
１ａ・１ｂが設置されている。これらの各丁ａ　製造設
備１ａｌｂＫはワークを搬出又は搬入する搬送ステーシ
ョンｌａ、・ｌｂ、が設ケラレ、その部分が床面に敷設
せるレール２ａ・２ｂによって連絡されている。該レー
ル２ａ・２０には前記ＩＣ製造設備１ａ・ｌｂ間のワー
ク搬送を行なう搬送台車３が走行するようになっている
。

前記レール２ａ・２ｂの各ＩＣ製造設備１ａ・１ｂの前
面には台車位置決めブロック４ａ・４ｂを設け、かつ、
該レール２ａ・２ｂと各ＩＣ製造設備１ａ・１ｂとは夫
々プレート５ａ・５ｂで固定している。

前記各ブロック４ａ・４ｂはレール２ａ・２ｂに固定さ
れ、前記搬送台車３を位置決めするための穴６ａ・６ｏ
が夫々穿設されている。

前記プレー）５ａ・５ｂは、その一端が直接レール２ｂ
に固定され、その他端が前記各ＩＣ製造設置俯１ａ・１
０の水平調整若しくは高さ調整のためのレベリングポル
）７ａ・７ｂ及びナツト（図示せず）を介して各ＩＣ製
造設備１ａ・１ｂに固定されている。これら各ＩＣ製造
設備１ａ・１１）　１１１１の固定はレベリングポル）
７ａ・７ｂの介在に拘泥しない。要は、各Ｔｏ　ＩＩ！
！ＩＣ製造設備１＠　１　ｂ　１１Ｏに既に開設されて
いるネジ穴を利用した固定手段であれば充分である。

前記搬送台車３は、電池駆動式となっており、下方には
前記ブロック４ａ・４ｏの穴６ａ・６ｂに夫々係合可能
となる上下動自在の先端がテーパとなったノック８ａ・
８ｏが装設されている。そして、該台車３の上面にはテ
ィーチングプレイバック方式のロボット９が固定されて
いる。

次に、上述のように構成された搬送台車３の位置決め装
置の作用を説明する。

図において、搬送台車３は、先ずワークを搬出又は搬入
するＩＣ製造設備１ａの搬送ステーションｌａ、部分で
ラフ位置に常法によって停止する。

その後、ノック８ａ・８ｂを降下させることにより、こ
れがブロック穴６ａ・６０にストレートに嵌合し、又は
、その先端のテーパ部と該穴６ａ・６ｂの周縁とが衝接
しながら嵌合して該搬送台車３を精位置決めする。

続いて、予め教示されているロボット９を動作させ、ワ
ークの搬入（又は搬出）動作を行い、一連のサイクルの
動作を終える。次に、上述の操作とは逆の操作を行って
ノック８ａ・８Ｄ及び穴６ａ・６ｂの係合を解除し該台
車３を他の搬送ステーション１ｂ１に移動し、以下上述
同様の搬送台車３のラフ位置停止、精位置決め、ロボッ
ト動作等の一連のサイクルの動作を繰返して行う。

この操作に際しては、装置数が少いから、作業員の通路
としてレール面を利用できる。

発明の効果 本発明によれば、次のような効果がある。

■　レールは床面に敷設するために、通常、クリーンル
ームの空気は上から下へ流されることから、そのレール
を囲う必要がない。

■　ロボット付台車を使用するため、ＩＣ製造設備毎に
ロボット又はコンピュータを付設する必要がない。

■　台車と設備間は常に精位置決めされるため、通常の
ロボットで対応できることから、安価でワーク変更でも
睨覚技術者の指示を得ることなく容易に対応できる。

■　既存設備の間に搬送システムを導入する場合、現地
で合せる部品が少なく、又、シンプルであるため搬送シ
ステムの導入に無理がない。また、現地で設備側に穴あ
け等のゴミの出る作業をする必要がない。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明による搬送台車の位置決め装置の一例を
示す斜視図である。 １ａａｌｊ）　ｍ　＊　ＪＣ製造設備、２ａ・２ｂ・・
レール、３・・搬送台車、４ａ・４ｂ・・台車位置決め
ブロック、５ａ・５ｂ・・プレート、６ａ・６ｂ・・穴
、７ａ・７ｂ・・レベリングボルト、８ａ・８ｂ＠・ノ
ック、９・拳ロボット。 （ほか７名）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルーム内に設置された複数個のＩＣ製造設備と
   、それらＩＣ製造設備を連絡するために敷設されたレー
   ルと、該レール上を走行して前記ＩＣ製造設備間のワー
   ク搬送を行なう搬送台車とからなり、前記レールの各Ｉ
   Ｃ製造設備前面には台車位置決めブロックを設け、かつ
   、該レールと各ＩＣ製造設備とはプレートで固定し、前
   記搬送台車にはティーチングプレイパック方式のロボッ
   トを搭載すると共に前記台車位置決めブロックと係合可
   能となるノックを具備せしめて構成した搬送台車の位置
   決め装置。