JPS61215162A - 搬送台車の位置決め装置 - Google Patents
搬送台車の位置決め装置Info
- Publication number
- JPS61215162A JPS61215162A JP5335885A JP5335885A JPS61215162A JP S61215162 A JPS61215162 A JP S61215162A JP 5335885 A JP5335885 A JP 5335885A JP 5335885 A JP5335885 A JP 5335885A JP S61215162 A JPS61215162 A JP S61215162A
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- JP
- Japan
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- equipment
- trolley
- manufacturing
- transport
- transport vehicle
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、IC製造設備間でワークを搬送する搬送台車
の位置決め装置に関する。
の位置決め装置に関する。
従来の技術
IC製造設備(以下単に設備と略す)l′i、高価なり
リーンルーム内に設置される。また、設備の進歩は著し
く、その入替も頻発する。
リーンルーム内に設置される。また、設備の進歩は著し
く、その入替も頻発する。
一方、クリーンルーム内のクリーン度保持のため設備間
のワーク搬送は有人でなく、無人が望ましく、かつ、安
価で迅速・確実性が要求されるが、決定的なシステムが
見当らない。
のワーク搬送は有人でなく、無人が望ましく、かつ、安
価で迅速・確実性が要求されるが、決定的なシステムが
見当らない。
それで、従来は、天井等にレールを固定し、そこに電車
等の台車を走らせ、設備と台車間はロボットでワークを
受は渡し、その台車を視覚付ロボット搭載形の自走台車
として設備間をワーク搬送している。
等の台車を走らせ、設備と台車間はロボットでワークを
受は渡し、その台車を視覚付ロボット搭載形の自走台車
として設備間をワーク搬送している。
発明が解決しようとする問題点
前述のように、天井等にレールを固定すると、ゴミは下
に落ちるため、レールは囲いで囲む必要があり、したが
って、装置が大損りとなって工事が困難である。また、
前述のように、設備と台車間はロボットでワークを受は
渡すようにすると、設備毎にロボットが必要であり、コ
スト高で、床面積の有効利用ができない。さらに、前述
のように、視覚付ロボ“ット搭載形の自走台車で設備間
をワーク搬送するとなると、台車と設備間の位置決めが
正確でなく、視覚センサーで補正しながらワーク搬送す
るため、速度が遅く、高価でもあり、そして、m覚処理
技術はいまだ一般的でなく、ワーク変更に対応するため
には時間がかかる。
に落ちるため、レールは囲いで囲む必要があり、したが
って、装置が大損りとなって工事が困難である。また、
前述のように、設備と台車間はロボットでワークを受は
渡すようにすると、設備毎にロボットが必要であり、コ
スト高で、床面積の有効利用ができない。さらに、前述
のように、視覚付ロボ“ット搭載形の自走台車で設備間
をワーク搬送するとなると、台車と設備間の位置決めが
正確でなく、視覚センサーで補正しながらワーク搬送す
るため、速度が遅く、高価でもあり、そして、m覚処理
技術はいまだ一般的でなく、ワーク変更に対応するため
には時間がかかる。
一方、IC製造設備等は通常軽量であり、特に、床面に
アンカー等で固定されないケースが多い。
アンカー等で固定されないケースが多い。
したがって、何らかの原因(地震等)で位置ずれするこ
ともある。
ともある。
そこで、本発明は、上述した従来接衝の問題点に鑑みて
、これを解決するためになされたもので、構造簡単にし
て、ワークの搬送を円滑かつ確実に行うことのできる搬
送台車の位置決め装置を提供することを目的とする。
、これを解決するためになされたもので、構造簡単にし
て、ワークの搬送を円滑かつ確実に行うことのできる搬
送台車の位置決め装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
この目的を達成するために、本発明による搬送台車の位
置決め装置は、クリーンルーム内に設置された複数個の
IC製造設備と、それらIC製造設備を連絡するために
敷設されたレールと、該レール上を走行して前記■c
製造設備間のワーク搬送を行なう搬送台車とからなり、
前記レールの各IC製造設備前面には台車位置決めブロ
ックを設け、かつ、該レールと各IC製造設備とはプレ
ートで固定し、前記搬送台車に/i、ティーチングプレ
イパック方式のロボットを搭載すると共に前記台車位置
決めブロックと課金可能となるノックを具備せしめて構
成したことを特徴とする。
置決め装置は、クリーンルーム内に設置された複数個の
IC製造設備と、それらIC製造設備を連絡するために
敷設されたレールと、該レール上を走行して前記■c
製造設備間のワーク搬送を行なう搬送台車とからなり、
前記レールの各IC製造設備前面には台車位置決めブロ
ックを設け、かつ、該レールと各IC製造設備とはプレ
ートで固定し、前記搬送台車に/i、ティーチングプレ
イパック方式のロボットを搭載すると共に前記台車位置
決めブロックと課金可能となるノックを具備せしめて構
成したことを特徴とする。
実施例
以下、図面を参照して本発明の実姉例について詳述する
。
。
図において、クリーンルーム内には2個のIC製造設備
1a・1bが設置されている。これらの各丁a 製造設
備1albKはワークを搬出又は搬入する搬送ステーシ
ョンla、・lb、が設ケラレ、その部分が床面に敷設
せるレール2a・2bによって連絡されている。該レー
ル2a・20には前記IC製造設備1a・lb間のワー
ク搬送を行なう搬送台車3が走行するようになっている
。
1a・1bが設置されている。これらの各丁a 製造設
備1albKはワークを搬出又は搬入する搬送ステーシ
ョンla、・lb、が設ケラレ、その部分が床面に敷設
せるレール2a・2bによって連絡されている。該レー
ル2a・20には前記IC製造設備1a・lb間のワー
ク搬送を行なう搬送台車3が走行するようになっている
。
前記レール2a・2bの各IC製造設備1a・1bの前
面には台車位置決めブロック4a・4bを設け、かつ、
該レール2a・2bと各IC製造設備1a・1bとは夫
々プレート5a・5bで固定している。
面には台車位置決めブロック4a・4bを設け、かつ、
該レール2a・2bと各IC製造設備1a・1bとは夫
々プレート5a・5bで固定している。
前記各ブロック4a・4bはレール2a・2bに固定さ
れ、前記搬送台車3を位置決めするための穴6a・6o
が夫々穿設されている。
れ、前記搬送台車3を位置決めするための穴6a・6o
が夫々穿設されている。
前記プレー)5a・5bは、その一端が直接レール2b
に固定され、その他端が前記各IC製造設置俯1a・1
0の水平調整若しくは高さ調整のためのレベリングポル
)7a・7b及びナツト(図示せず)を介して各IC製
造設備1a・1bに固定されている。これら各IC製造
設備1a・11) 1111の固定はレベリングポル)
7a・7bの介在に拘泥しない。要は、各To II!
!IC製造設備1@ 1 b 11Oに既に開設されて
いるネジ穴を利用した固定手段であれば充分である。
に固定され、その他端が前記各IC製造設置俯1a・1
0の水平調整若しくは高さ調整のためのレベリングポル
)7a・7b及びナツト(図示せず)を介して各IC製
造設備1a・1bに固定されている。これら各IC製造
設備1a・11) 1111の固定はレベリングポル)
7a・7bの介在に拘泥しない。要は、各To II!
!IC製造設備1@ 1 b 11Oに既に開設されて
いるネジ穴を利用した固定手段であれば充分である。
前記搬送台車3は、電池駆動式となっており、下方には
前記ブロック4a・4oの穴6a・6bに夫々係合可能
となる上下動自在の先端がテーパとなったノック8a・
8oが装設されている。そして、該台車3の上面にはテ
ィーチングプレイバック方式のロボット9が固定されて
いる。
前記ブロック4a・4oの穴6a・6bに夫々係合可能
となる上下動自在の先端がテーパとなったノック8a・
8oが装設されている。そして、該台車3の上面にはテ
ィーチングプレイバック方式のロボット9が固定されて
いる。
次に、上述のように構成された搬送台車3の位置決め装
置の作用を説明する。
置の作用を説明する。
図において、搬送台車3は、先ずワークを搬出又は搬入
するIC製造設備1aの搬送ステーションla、部分で
ラフ位置に常法によって停止する。
するIC製造設備1aの搬送ステーションla、部分で
ラフ位置に常法によって停止する。
その後、ノック8a・8bを降下させることにより、こ
れがブロック穴6a・60にストレートに嵌合し、又は
、その先端のテーパ部と該穴6a・6bの周縁とが衝接
しながら嵌合して該搬送台車3を精位置決めする。
れがブロック穴6a・60にストレートに嵌合し、又は
、その先端のテーパ部と該穴6a・6bの周縁とが衝接
しながら嵌合して該搬送台車3を精位置決めする。
続いて、予め教示されているロボット9を動作させ、ワ
ークの搬入(又は搬出)動作を行い、一連のサイクルの
動作を終える。次に、上述の操作とは逆の操作を行って
ノック8a・8D及び穴6a・6bの係合を解除し該台
車3を他の搬送ステーション1b1に移動し、以下上述
同様の搬送台車3のラフ位置停止、精位置決め、ロボッ
ト動作等の一連のサイクルの動作を繰返して行う。
ークの搬入(又は搬出)動作を行い、一連のサイクルの
動作を終える。次に、上述の操作とは逆の操作を行って
ノック8a・8D及び穴6a・6bの係合を解除し該台
車3を他の搬送ステーション1b1に移動し、以下上述
同様の搬送台車3のラフ位置停止、精位置決め、ロボッ
ト動作等の一連のサイクルの動作を繰返して行う。
この操作に際しては、装置数が少いから、作業員の通路
としてレール面を利用できる。
としてレール面を利用できる。
発明の効果
本発明によれば、次のような効果がある。
■ レールは床面に敷設するために、通常、クリーンル
ームの空気は上から下へ流されることから、そのレール
を囲う必要がない。
ームの空気は上から下へ流されることから、そのレール
を囲う必要がない。
■ ロボット付台車を使用するため、IC製造設備毎に
ロボット又はコンピュータを付設する必要がない。
ロボット又はコンピュータを付設する必要がない。
■ 台車と設備間は常に精位置決めされるため、通常の
ロボットで対応できることから、安価でワーク変更でも
睨覚技術者の指示を得ることなく容易に対応できる。
ロボットで対応できることから、安価でワーク変更でも
睨覚技術者の指示を得ることなく容易に対応できる。
■ 既存設備の間に搬送システムを導入する場合、現地
で合せる部品が少なく、又、シンプルであるため搬送シ
ステムの導入に無理がない。また、現地で設備側に穴あ
け等のゴミの出る作業をする必要がない。
で合せる部品が少なく、又、シンプルであるため搬送シ
ステムの導入に無理がない。また、現地で設備側に穴あ
け等のゴミの出る作業をする必要がない。
図面は、本発明による搬送台車の位置決め装置の一例を
示す斜視図である。 1aalj) m * JC製造設備、2a・2b・・
レール、3・・搬送台車、4a・4b・・台車位置決め
ブロック、5a・5b・・プレート、6a・6b・・穴
、7a・7b・・レベリングボルト、8a・8b@・ノ
ック、9・拳ロボット。 (ほか7名)
示す斜視図である。 1aalj) m * JC製造設備、2a・2b・・
レール、3・・搬送台車、4a・4b・・台車位置決め
ブロック、5a・5b・・プレート、6a・6b・・穴
、7a・7b・・レベリングボルト、8a・8b@・ノ
ック、9・拳ロボット。 (ほか7名)
Claims (1)
- クリーンルーム内に設置された複数個のIC製造設備と
、それらIC製造設備を連絡するために敷設されたレー
ルと、該レール上を走行して前記IC製造設備間のワー
ク搬送を行なう搬送台車とからなり、前記レールの各I
C製造設備前面には台車位置決めブロックを設け、かつ
、該レールと各IC製造設備とはプレートで固定し、前
記搬送台車にはティーチングプレイパック方式のロボッ
トを搭載すると共に前記台車位置決めブロックと係合可
能となるノックを具備せしめて構成した搬送台車の位置
決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5335885A JPS61215162A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 搬送台車の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5335885A JPS61215162A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 搬送台車の位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61215162A true JPS61215162A (ja) | 1986-09-24 |
Family
ID=12940575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5335885A Pending JPS61215162A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 搬送台車の位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61215162A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011173218A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Toyota Motor Corp | 搬送装置及びその位置決め方法 |
WO2016103304A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 川崎重工業株式会社 | 生産システム |
-
1985
- 1985-03-19 JP JP5335885A patent/JPS61215162A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011173218A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Toyota Motor Corp | 搬送装置及びその位置決め方法 |
WO2016103304A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 川崎重工業株式会社 | 生産システム |
CN107107332A (zh) * | 2014-12-26 | 2017-08-29 | 川崎重工业株式会社 | 生产*** |
JPWO2016103304A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2017-09-07 | 川崎重工業株式会社 | 生産システム |
US10232506B2 (en) | 2014-12-26 | 2019-03-19 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Production system |
CN107107332B (zh) * | 2014-12-26 | 2019-11-01 | 川崎重工业株式会社 | 生产*** |
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