JPS61209857A - Nc工作機械の運動精度試験方法および装置 - Google Patents
Nc工作機械の運動精度試験方法および装置Info
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- JPS61209857A JPS61209857A JP4611985A JP4611985A JPS61209857A JP S61209857 A JPS61209857 A JP S61209857A JP 4611985 A JP4611985 A JP 4611985A JP 4611985 A JP4611985 A JP 4611985A JP S61209857 A JPS61209857 A JP S61209857A
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- Japan
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- machine tool
- motion
- rotary joint
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- steel ball
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
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- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/401—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
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- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37101—Vector gauge, telescopic ballbar
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37619—Characteristics of machine, deviation of movement, gauge
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔利用分野〕 この発明は、2′つ以上の直交軸を持つ
NC工作機械の運動精度を、円弧補間運動の真円度を測
定することにより、高精度かつ簡単に測定すると共に、
真円度図形の形状から運動誤差の要因を特定する方法及
び装置に係るものである。
NC工作機械の運動精度を、円弧補間運動の真円度を測
定することにより、高精度かつ簡単に測定すると共に、
真円度図形の形状から運動誤差の要因を特定する方法及
び装置に係るものである。
〔従来技術〕 従来この検査を行なうときにはJISB
6336等に示されているように、実際に鉄板を円弧補
間プログラムの下で切削加工を行ない円板を削り出し、
この円板を真円度測定機等で測定して精度を評価する方
法がとられている。
6336等に示されているように、実際に鉄板を円弧補
間プログラムの下で切削加工を行ない円板を削り出し、
この円板を真円度測定機等で測定して精度を評価する方
法がとられている。
しかしこの方法では、切削加工と測定の2度の工程を行
ない、手数と時間を要するばかりでな(、加工工具の径
の大きさ、真円度測定機の高速応対性の低さにより、実
際の運動に際して発生する微細な動きが平滑化され、高
精度な測定が出来ず、誤差発生の要因を解析するデータ
としては不充分であった。また測定範囲は真円度測定機
の測定範囲によって制限され、大型工作機械の場合でも
テーブル・ストローク全体を動かすような大型円板の切
削、測定は出来ずφ400mm程度が限度であった。
ない、手数と時間を要するばかりでな(、加工工具の径
の大きさ、真円度測定機の高速応対性の低さにより、実
際の運動に際して発生する微細な動きが平滑化され、高
精度な測定が出来ず、誤差発生の要因を解析するデータ
としては不充分であった。また測定範囲は真円度測定機
の測定範囲によって制限され、大型工作機械の場合でも
テーブル・ストローク全体を動かすような大型円板の切
削、測定は出来ずφ400mm程度が限度であった。
本発明による試験方法はこれ等の欠、αを解消し短時間
の測定だけで誤差要因の特定を行ない、NC工作機械の
組立調整を容異にするものである。
の測定だけで誤差要因の特定を行ない、NC工作機械の
組立調整を容異にするものである。
〔発明の構成〕 第1図は本発明の試験装置の測定部を
示す。軸方向に伸縮機構12を持つ基準バー3の両端に
は鋼球6及び7が固定されている。
示す。軸方向に伸縮機構12を持つ基準バー3の両端に
は鋼球6及び7が固定されている。
鋼球6は球面座8及び球面座8に内蔵された永久磁石1
0と共に組合わされ、回転ジヨイント4を形成している
。永久磁石10の磁気回路は球面座8、鋼球6を通って
閉ループを作り、永久磁石10と鋼球6の空隙を適当に
選ぶことにより、鋼球6は、球面座8に対して回動可能
な状態で吸着されている。他端鋼球7についても全く同
じで回転ジヨイント5を形成している。伸縮機構12は
、輪方向にのみ可動で、輪の直角方向の〃夕は最小にな
るように作られている。可動量は上敷ma程度であり、
その伸縮量は変位検出器13により検出され、出カケー
プル14を通じてデータ処理部に送られる。変位検出器
としてはモアレ・スケール、差動変圧器等公知のものが
用いられる。
0と共に組合わされ、回転ジヨイント4を形成している
。永久磁石10の磁気回路は球面座8、鋼球6を通って
閉ループを作り、永久磁石10と鋼球6の空隙を適当に
選ぶことにより、鋼球6は、球面座8に対して回動可能
な状態で吸着されている。他端鋼球7についても全く同
じで回転ジヨイント5を形成している。伸縮機構12は
、輪方向にのみ可動で、輪の直角方向の〃夕は最小にな
るように作られている。可動量は上敷ma程度であり、
その伸縮量は変位検出器13により検出され、出カケー
プル14を通じてデータ処理部に送られる。変位検出器
としてはモアレ・スケール、差動変圧器等公知のものが
用いられる。
測定の動作について、立型NC7ライス盤のX1Yテー
ブルの精度測定を例にしで説明する6回転ジヨイント4
はチャック16により工作機械の主軸2に固定される。
ブルの精度測定を例にしで説明する6回転ジヨイント4
はチャック16により工作機械の主軸2に固定される。
他端の回覧ノ1インド5は、その工作機械のテーブル1
上の−、αに、鋼球6の中心から基準バー3の伸縮可n
範囲内の所定寸法R。
上の−、αに、鋼球6の中心から基準バー3の伸縮可n
範囲内の所定寸法R。
(鋼球5.6の中心間長さ)だけ離れた所に取付治具1
5により固定する。次いで、鋼球6の中心を回転中心と
して、半径R0でXYテーブルを円弧補間運動するプロ
グラムを製作し動作させる。ただし主軸は回転させない
。
5により固定する。次いで、鋼球6の中心を回転中心と
して、半径R0でXYテーブルを円弧補間運動するプロ
グラムを製作し動作させる。ただし主軸は回転させない
。
今、XYテーブルの運動精度がプログラムの補間精度を
含めて正確であれば、基準バー3はR。
含めて正確であれば、基準バー3はR。
の寸法で、鋼球6を中心に回転するはずである。
しかしXYテーブルの運動に誤差があると正確な円運動
は出来ず、Roの寸法は±ΔRの変位を生ずる。この変
位量ΔRは変位検出器13により検出され、出力テーブ
ル14を経て、データ処理部に送られ解析される。
は出来ず、Roの寸法は±ΔRの変位を生ずる。この変
位量ΔRは変位検出器13により検出され、出力テーブ
ル14を経て、データ処理部に送られ解析される。
第2図はデータ処理部のハード構成であり、実 。
施例においては、検出器13にモアレ・スケールを用い
たため、測定値はカウンタ17により数値・化し、イン
ターフェース・ユニット18を通してマイクロコンピュ
ータ19に接続される。データ処理の主体はマイクロコ
ンピュータ19であり、CR7表示装置20.70ツピ
ーデイスクメモリー21、キーボード22)XYプロッ
ター23等で構成されている。
たため、測定値はカウンタ17により数値・化し、イン
ターフェース・ユニット18を通してマイクロコンピュ
ータ19に接続される。データ処理の主体はマイクロコ
ンピュータ19であり、CR7表示装置20.70ツピ
ーデイスクメモリー21、キーボード22)XYプロッ
ター23等で構成されている。
第3図はデータ処理の動作を示すフローチャートである
。入力された検出器13からの信号はup/downカ
ウンタ17により数値化される。この際測定開始時の所
定寸法R0は消去され、Roに対する変位量±ΔRのみ
がカウントされる。カウンタの出力信号はデータ読取り
インターフェース部18において、一定回転角度毎(例
えば0.1°毎)にコンピュータに取り込まれる。角度
信号は、NC工作機械の制御信号から取り出すのが正確
ではあるが、繁雑であり、通常のNC工作機械の円弧補
間運動は等角速度運動で正確であることから、0,1°
程度のサンプリングレートでは、角度に相当した一定時
間毎のサンプリングで充分であり実用的である。
。入力された検出器13からの信号はup/downカ
ウンタ17により数値化される。この際測定開始時の所
定寸法R0は消去され、Roに対する変位量±ΔRのみ
がカウントされる。カウンタの出力信号はデータ読取り
インターフェース部18において、一定回転角度毎(例
えば0.1°毎)にコンピュータに取り込まれる。角度
信号は、NC工作機械の制御信号から取り出すのが正確
ではあるが、繁雑であり、通常のNC工作機械の円弧補
間運動は等角速度運動で正確であることから、0,1°
程度のサンプリングレートでは、角度に相当した一定時
間毎のサンプリングで充分であり実用的である。
読込まれたデータはコンピュータ内のデータメモリ一部
19に格納され、次いで円形図形に表示するために極座
標変換が行なわれる。変換されたデータは直ちにCRT
20上に表示される。1回転した後、総てのデータはメ
モリーに格納され、真円に対する歪と誤差が表示される
。このような測定を、時計方向回転、反時計方向回転の
それぞれについて灯ない、円形図形を得た後特徴抽出を
行なう。
19に格納され、次いで円形図形に表示するために極座
標変換が行なわれる。変換されたデータは直ちにCRT
20上に表示される。1回転した後、総てのデータはメ
モリーに格納され、真円に対する歪と誤差が表示される
。このような測定を、時計方向回転、反時計方向回転の
それぞれについて灯ない、円形図形を得た後特徴抽出を
行なう。
vt徴油抽出方法は種々あるが
1、直交軸に対する対称性の有無
2)軸の傾斜
3、楕円度
4、段差、凹凸
5、回転方向に関係するか否か
等々あるが、代表的なパターンとしては図4.5.6.
7等がある。これ等の誤差要因特徴パターンは、データ
パンク24に収められている。第4図はX軸スケールが
伸びて長くなっている例であり、tjSS図はX軸の送
り機構に周期的な誤差がある例であり、第6図はX軸、
Y軸の直角度に誤差がある場合であり、第7図はX軸の
案内面の両端部分がZ方向に反り上がっている場合の特
徴的パターン例である。
7等がある。これ等の誤差要因特徴パターンは、データ
パンク24に収められている。第4図はX軸スケールが
伸びて長くなっている例であり、tjSS図はX軸の送
り機構に周期的な誤差がある例であり、第6図はX軸、
Y軸の直角度に誤差がある場合であり、第7図はX軸の
案内面の両端部分がZ方向に反り上がっている場合の特
徴的パターン例である。
測定゛された円形図形の特徴は、これらのデータと対比
して誤差発生の原因を特定出来る。NC工作機械の代表
的原因項目は次のようなものがある。
して誤差発生の原因を特定出来る。NC工作機械の代表
的原因項目は次のようなものがある。
機構の構造的誤差
1、スライド基準の真直度誤差
2.2軸内の面角度誤差
3、姿勢誤差
送り機構の静的誤差
4、スケールの誤差
5、送り機構(ネジ等)の〃り・バックラッシュ6、ピ
ッチ誤差 7、NCパルス分配誤差 送り駆動系の動的誤差 8、オーバー・2ンによる位置決めa1%差9、スティ
ック・モーシaン 10、振動による誤差 ゛ 実際にはこれ等の誤差要因は単独でなく、複合して
存在するので、この測定によって得られる円形図形も、
複数の特徴を重ね合わせた複雑な形となるのが一般的で
ある。
ッチ誤差 7、NCパルス分配誤差 送り駆動系の動的誤差 8、オーバー・2ンによる位置決めa1%差9、スティ
ック・モーシaン 10、振動による誤差 ゛ 実際にはこれ等の誤差要因は単独でなく、複合して
存在するので、この測定によって得られる円形図形も、
複数の特徴を重ね合わせた複雑な形となるのが一般的で
ある。
次に実際の測定図形例について説明する。第8図はX
+ X 2)Y、Y、の点でΔRの値が急激に変化して
いる。この点はXYチー′プルの駆動方向が正から負へ
反転する点であり、駆動機構に大きなバックラッシュ誤
差があることが明確である。第9図は図形が楕円状であ
り、直交軸に対する傾きが見られる。このことはXYテ
ーブルの面角度誤差があることを示している。バックラ
ッシュによる#%差成分、高周波振動成分を除いて補正
した楕円度は、3塵であり、測定に用いた基準パーの寸
法R0は、200mmであったので、XY輪の面角度誤
差は15μradであることがわかる。fj&10図は
Y軸がX軸方向に対して真直度誤差があることを示して
いる。
+ X 2)Y、Y、の点でΔRの値が急激に変化して
いる。この点はXYチー′プルの駆動方向が正から負へ
反転する点であり、駆動機構に大きなバックラッシュ誤
差があることが明確である。第9図は図形が楕円状であ
り、直交軸に対する傾きが見られる。このことはXYテ
ーブルの面角度誤差があることを示している。バックラ
ッシュによる#%差成分、高周波振動成分を除いて補正
した楕円度は、3塵であり、測定に用いた基準パーの寸
法R0は、200mmであったので、XY輪の面角度誤
差は15μradであることがわかる。fj&10図は
Y軸がX軸方向に対して真直度誤差があることを示して
いる。
なお上記実施例の説明においては、Z軸を固定とじXY
と平面の運動を主体に行なったが、*際には同様な測定
をY軸を固定しXZ平面、X輪を固定しYZ平面につい
ても行ない、総合されたデータを3次元的誤差の評価を
行ない誤差要因を決定する。基準パーの長さRoについ
ては、第1図に示すように延長部材25を交換すること
により、任意に設定することも可能であり、大型NC工
作機械の全ストロークについても、小型工作機械と同じ
高精度の測定が出来る。又、横型の工作機械についても
同様に使用可能である。また、上記実施例においては、
回転ジ9インドとして、全方向に自由に回転するジヨイ
ントが示されているが、必ずしもこれに限られるもので
はなく、N&11図に示すような回*M受26を基準パ
ー3の両端に取付けるような構成としても本発明の目的
を達することが出来る。
と平面の運動を主体に行なったが、*際には同様な測定
をY軸を固定しXZ平面、X輪を固定しYZ平面につい
ても行ない、総合されたデータを3次元的誤差の評価を
行ない誤差要因を決定する。基準パーの長さRoについ
ては、第1図に示すように延長部材25を交換すること
により、任意に設定することも可能であり、大型NC工
作機械の全ストロークについても、小型工作機械と同じ
高精度の測定が出来る。又、横型の工作機械についても
同様に使用可能である。また、上記実施例においては、
回転ジ9インドとして、全方向に自由に回転するジヨイ
ントが示されているが、必ずしもこれに限られるもので
はなく、N&11図に示すような回*M受26を基準パ
ー3の両端に取付けるような構成としても本発明の目的
を達することが出来る。
〔効果〕 実施例でも示したように本発明によって求め
た記録図形のvf徴を抽出し計算処理を行なうことによ
り、NC工作機械の精度検査の結果が簡単に短時間で得
られるだけでなく、その誤差要因の事項と数値が示され
る点は、従来方法に全くない優れた点である。NC工作
機械の生産工程に於ける調整検査の合理化だけでなく製
品精度の向上が期待される。
た記録図形のvf徴を抽出し計算処理を行なうことによ
り、NC工作機械の精度検査の結果が簡単に短時間で得
られるだけでなく、その誤差要因の事項と数値が示され
る点は、従来方法に全くない優れた点である。NC工作
機械の生産工程に於ける調整検査の合理化だけでなく製
品精度の向上が期待される。
第1図は本発明の測定機構を示す説明図、第2図はデー
タ処理装置の構成図、第3図はデータ処理の動作を示す
70ニチヤート、第4図〜第7図は誤差要因特徴を示す
代表的パターン例、第8図〜第10図は本発明により記
録された実際の図形例、第11図は回転ジヨイントの他
の実施例説明図。 1:工作機械のテーブル 2:工作機械の主軸3:基
準パー 4.5:回転ジヨイント12:伸縮機構
13:変位検出器 17:カウンタ19:マイクロコ
ンピュータ
タ処理装置の構成図、第3図はデータ処理の動作を示す
70ニチヤート、第4図〜第7図は誤差要因特徴を示す
代表的パターン例、第8図〜第10図は本発明により記
録された実際の図形例、第11図は回転ジヨイントの他
の実施例説明図。 1:工作機械のテーブル 2:工作機械の主軸3:基
準パー 4.5:回転ジヨイント12:伸縮機構
13:変位検出器 17:カウンタ19:マイクロコ
ンピュータ
Claims (5)
- (1)軸方向に伸縮可能で、かつその伸縮変位量ΔRの
検出器を有するバーの両端を回転ジョイントとし、その
一端をNC工作機械の主軸に、他端の回転ジョイントを
対象NC工作機械のテーブル面上に取り付け、一方の回
転ジョイントの中心を回転の中心とし、他端が相対的に
任意平面上を円弧補間運動する様にNC制御を行ない、
この円運動の回転角に対応する伸縮変位量ΔRを記憶か
つ記録表示し、これと基準真円に対する歪の形状及び偏
りの大きさから、NC工作機械の運動精度を解析し、予
め定められた誤差要因データと照合することにより誤差
要因を特定することを特徴とするNC工作機械の運動精
度試験方法。 - (2)特許請求の範囲第1項の記載において、回転角度
の検出の方法として一定時間間隔でデータをサンプリン
グすることを特徴とするNC工作機械の運動精度試験方
法。 - (3)NC工作機械の主軸に取り付けられる回転ジョイ
ントとその工作機械の対応テーブルに取り付けられる回
転ジョイントを両端に有し、かつその長さが可変であっ
て、長さの変位量ΔRを検出信号として出力するバーと
、その工作機械の円弧補間運動の回転角度に関係してΔ
Rの値を記憶し、円形状に表示する装置又はΔRの値を
円形状に記録する装置と、円弧補間運動の基準真円との
比較を行ない検出図形の偏りを検知し、特徴を抽出し、
誤差要因特徴データとの対比を行ない、誤差要因を特定
し表示する手段とからなるNC工作機械の運動精度試験
装置。 - (4)特許請求の範囲第3項の記載において回転ジョイ
ントがバーに取り付けられた鋼球とこれを受ける球座及
び鋼球を吸引する磁石とからなることを特徴とするNC
工作機械の運動精度試験装置。 - (5)特許請求の範囲第3項の記載において、回転ジョ
イントが回転軸受であることを特徴とするNC工作機械
の運動精度試験装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4611985A JPS61209857A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | Nc工作機械の運動精度試験方法および装置 |
EP19860112071 EP0258471B1 (en) | 1985-03-08 | 1986-09-01 | Method and device to measure motion errors of nc machine tools |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4611985A JPS61209857A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | Nc工作機械の運動精度試験方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61209857A true JPS61209857A (ja) | 1986-09-18 |
Family
ID=12738101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4611985A Pending JPS61209857A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | Nc工作機械の運動精度試験方法および装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0258471B1 (ja) |
JP (1) | JPS61209857A (ja) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62222113A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Kitamura Kikai Kk | Nc工作機械の精度測定装置 |
US5214857A (en) * | 1991-04-12 | 1993-06-01 | Renishaw Transducer Systems Limited | Calibration device |
US5259120A (en) * | 1991-07-27 | 1993-11-09 | Renishaw Transducer Systems Limited | Calibration and measurement device |
US5269067A (en) * | 1989-09-11 | 1993-12-14 | Leitz Messtechnik Gmbh | Test specimens composed of rod segments for co-ordinate measuring instruments |
US5533271A (en) * | 1994-08-23 | 1996-07-09 | Callaghan, Jr.; Robert P. | Long range sliding ball bar test gage |
US6269544B1 (en) * | 1999-01-08 | 2001-08-07 | Snu Precision Co., Ltd. | Apparatus for measuring three-dimensional volumetric errors in multiaxis machine tool |
JP2003519368A (ja) * | 1999-12-29 | 2003-06-17 | スカニア シーブイ アクチボラグ(パブル) | 工作機械をテストする方法および装置 |
DE4419909B4 (de) * | 1993-06-11 | 2006-01-19 | Frank, Adolf, Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. | Vorrichtung zur Kontrolle der geometrischen und dynamischen Genauigkeit eines NC-gesteuerten Arbeitskopfes |
JP2011038902A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Okuma Corp | 機械の誤差同定方法およびプログラム |
DE112009003699T5 (de) | 2008-12-09 | 2012-11-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Maschinenbewegungsbahnmessvorrichtung, numerisch gesteuertewerkzeugmaschine und maschinenbewegungsbahnmessverfahren |
CN103056721A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法 |
US8473092B2 (en) | 2004-08-06 | 2013-06-25 | Horkos Corporation | Complete round working method and complete round working device in NC machine tool |
CN103495931A (zh) * | 2013-10-13 | 2014-01-08 | 吉林大学 | 一种超精密卧式抛光机床圆度测量用球杆仪连接板 |
CN106041643A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-10-26 | 清华大学 | 用于双摆头五轴数控机床R‑test检测的辅助工装 |
CN107533325A (zh) * | 2016-03-16 | 2018-01-02 | 三菱电机株式会社 | 机械运动轨迹测定装置 |
JP2018505389A (ja) * | 2014-12-05 | 2018-02-22 | ユニベルシテ ドゥ ナント | 負荷(荷重)状態における経路(パス:軌跡)を測定するための方法およびその装置 |
WO2018116635A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | Dmg森精機株式会社 | 工作機械の運動誤差同定方法 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0429857A1 (de) * | 1989-11-27 | 1991-06-05 | Wolfgang Dr. Knapp | Verfahren zur Messung der Abweichung zwischen Bewegungen einer Maschine, die um eine Drehachse und mit zwei Translationsachsen erzeugt werden |
DE4105433C2 (de) * | 1991-02-21 | 1994-05-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Einrichtung zur Konturformprüfung an einer Bearbeitungs- oder Meßmaschine |
DE4323992A1 (de) * | 1992-09-22 | 1994-03-24 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Überprüfung der Arbeitsgenauigkeit einer NC-Maschine |
DE4231613A1 (de) * | 1992-09-22 | 1994-03-24 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Überprüfung der Arbeitsgenauigkeit einer NC-Maschine |
DE19509403A1 (de) * | 1995-03-15 | 1996-09-19 | Dreier Lasermesstechnik Gmbh | Vorrichtung zur Überprüfung der Genauigkeit einer Kreisbahn einer Arbeitsspindel |
EP0896656A4 (en) * | 1995-11-14 | 2000-11-22 | Kam C Lau | MACHINE-MOUNTED BALL STICK SYSTEM AND METHOD FOR USE THEREOF |
US6850806B2 (en) | 1999-04-16 | 2005-02-01 | Siemens Energy & Automation, Inc. | Method and apparatus for determining calibration options in a motion control system |
NL1020741C2 (nl) * | 2002-06-03 | 2003-12-08 | Stichting Tech Wetenschapp | Werkwijze en inrichting voor het vaststellen van positioneringsonnauwkeurigheden van een meerassige bewerkingsmachine. |
EP1549906B1 (en) * | 2002-10-07 | 2013-09-11 | Inora Technologies, Inc. | Spatial reference system |
CN100419372C (zh) * | 2005-10-19 | 2008-09-17 | 浙江吉利汽车研究院有限公司 | 气缸盖气门环带跳动检具 |
DE102006009422B4 (de) * | 2006-02-23 | 2011-08-18 | Dreier Lasermesstechnik GmbH, 72160 | Vorrichtung zur Überprüfung der Genauigkeit einer von einer Arbeitsspindel auszuführenden Kreisbahn |
GB2435842A (en) * | 2006-03-09 | 2007-09-12 | Rolls Royce Plc | Ballbar equipment |
DE102009045688A1 (de) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Dreier Lasermesstechnik Gmbh | Vorrichtung zur Überprüfung der Genauigkeit einer von einer Arbeitsspindel und/oder einem Maschinentisch auszuführenden Kreisbahn einer Werkzeugmaschine |
US8602376B2 (en) | 2011-05-31 | 2013-12-10 | Nite Ize, Inc. | Multi-positional mount for personal electronic devices with a magnetic interface |
US20190170291A1 (en) | 2011-05-31 | 2019-06-06 | Nite Ize, Inc. | Multi-positional mount for personal electronic devices with a magnetic interface |
CN107695791B (zh) * | 2017-09-26 | 2019-02-26 | 西北工业大学 | 通用转动轴与位置无关的几何误差辨识方法 |
CN112099438B (zh) * | 2020-09-14 | 2021-10-29 | 南京简睿捷软件开发有限公司 | 一种基于电流信号的机床节能控制方法及装置 |
USD989754S1 (en) | 2020-10-20 | 2023-06-20 | Nite Ize, Inc. | Mobile device mount |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7711634A (nl) * | 1977-10-24 | 1979-04-26 | Philips Nv | Tachometerstelsel. |
US4435905A (en) * | 1982-03-15 | 1984-03-13 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Telescoping magnetic ball bar test gage |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP4611985A patent/JPS61209857A/ja active Pending
-
1986
- 1986-09-01 EP EP19860112071 patent/EP0258471B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62222113A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Kitamura Kikai Kk | Nc工作機械の精度測定装置 |
JPH052166B2 (ja) * | 1986-03-25 | 1993-01-11 | Kitamura Machinery Co Ltd | |
US5269067A (en) * | 1989-09-11 | 1993-12-14 | Leitz Messtechnik Gmbh | Test specimens composed of rod segments for co-ordinate measuring instruments |
US5214857A (en) * | 1991-04-12 | 1993-06-01 | Renishaw Transducer Systems Limited | Calibration device |
US5259120A (en) * | 1991-07-27 | 1993-11-09 | Renishaw Transducer Systems Limited | Calibration and measurement device |
DE4419909B4 (de) * | 1993-06-11 | 2006-01-19 | Frank, Adolf, Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. | Vorrichtung zur Kontrolle der geometrischen und dynamischen Genauigkeit eines NC-gesteuerten Arbeitskopfes |
US5533271A (en) * | 1994-08-23 | 1996-07-09 | Callaghan, Jr.; Robert P. | Long range sliding ball bar test gage |
US6269544B1 (en) * | 1999-01-08 | 2001-08-07 | Snu Precision Co., Ltd. | Apparatus for measuring three-dimensional volumetric errors in multiaxis machine tool |
JP2003519368A (ja) * | 1999-12-29 | 2003-06-17 | スカニア シーブイ アクチボラグ(パブル) | 工作機械をテストする方法および装置 |
US8473092B2 (en) | 2004-08-06 | 2013-06-25 | Horkos Corporation | Complete round working method and complete round working device in NC machine tool |
DE112009003699T5 (de) | 2008-12-09 | 2012-11-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Maschinenbewegungsbahnmessvorrichtung, numerisch gesteuertewerkzeugmaschine und maschinenbewegungsbahnmessverfahren |
DE112009003699B4 (de) * | 2008-12-09 | 2015-06-18 | Mitsubishi Electric Corporation | Maschinenbewegungsbahnmessvorrichtung, numerisch gesteuertewerkzeugmaschine und maschinenbewegungsbahnmessverfahren |
US9144869B2 (en) | 2008-12-09 | 2015-09-29 | Mitsubishi Electric Corporation | Machine motion trajectory measuring device, numerically controlled machine tool, and machine motion trajectory measuring method |
JP2011038902A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Okuma Corp | 機械の誤差同定方法およびプログラム |
CN103056721A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法 |
CN103495931A (zh) * | 2013-10-13 | 2014-01-08 | 吉林大学 | 一种超精密卧式抛光机床圆度测量用球杆仪连接板 |
JP2018505389A (ja) * | 2014-12-05 | 2018-02-22 | ユニベルシテ ドゥ ナント | 負荷(荷重)状態における経路(パス:軌跡)を測定するための方法およびその装置 |
CN107533325A (zh) * | 2016-03-16 | 2018-01-02 | 三菱电机株式会社 | 机械运动轨迹测定装置 |
DE112016006602T5 (de) | 2016-03-16 | 2018-12-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Maschinenbewegungsbahnverlaufsmessvorrichtung |
CN107533325B (zh) * | 2016-03-16 | 2020-01-21 | 三菱电机株式会社 | 机械运动轨迹测定装置 |
US10543574B2 (en) | 2016-03-16 | 2020-01-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Machine motion trajectory measuring apparatus |
CN106041643A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-10-26 | 清华大学 | 用于双摆头五轴数控机床R‑test检测的辅助工装 |
CN106041643B (zh) * | 2016-07-21 | 2018-06-19 | 清华大学 | 用于双摆头五轴数控机床R-test检测的辅助工装 |
WO2018116635A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | Dmg森精機株式会社 | 工作機械の運動誤差同定方法 |
CN110114733A (zh) * | 2016-12-22 | 2019-08-09 | Dmg森精机株式会社 | 工具机的运动误差鉴定方法 |
US10946491B2 (en) | 2016-12-22 | 2021-03-16 | Dmg Mori Co., Ltd. | Movement error identification method for machine tool |
CN110114733B (zh) * | 2016-12-22 | 2022-03-15 | Dmg森精机株式会社 | 工具机的运动误差鉴定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0258471A1 (en) | 1988-03-09 |
EP0258471B1 (en) | 1993-03-24 |
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