JPS61209032A - 超微粒子の混合法並に装置 - Google Patents
超微粒子の混合法並に装置Info
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- JPS61209032A JPS61209032A JP60047462A JP4746285A JPS61209032A JP S61209032 A JPS61209032 A JP S61209032A JP 60047462 A JP60047462 A JP 60047462A JP 4746285 A JP4746285 A JP 4746285A JP S61209032 A JPS61209032 A JP S61209032A
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- mixing
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/60—Mixing solids with solids
- B01F23/66—Mixing solids with solids by evaporating or liquefying at least one of the components; using a fluid which is evaporated after mixing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/40—Mixers using gas or liquid agitation, e.g. with air supply tubes
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- Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、粉末冶金、セラミックス、磁性膜等の分野に
使用できる２種以上の金属、非金属、化合物等の超微粒
子を均一に混合する方法及びその装置に関する。
使用できる２種以上の金属、非金属、化合物等の超微粒
子を均一に混合する方法及びその装置に関する。
（従来の技術）
従来、２種の材料を１つの真空蒸発室内で加熱蒸発させ
基材面にその超微粒子を同時に蒸着してその混合蒸着膜
を生成することが行なわれている。
基材面にその超微粒子を同時に蒸着してその混合蒸着膜
を生成することが行なわれている。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の超微粒子の混合法は、ＡＵとＦｅのような同一の
真空条件下で蒸発できる材料に限られ、蒸発条件が異な
る２種又はそれ以上の材料の混合超微粒子の同時蒸着膜
の生成は困難であり、又銀と鉄などの混合超微粒子の蒸
着膜の生成は可能であっても、生産速度がおそく、大量
生産は困難であり、従来の微粒子を原料とする焼結法や
溶解法により製造される構造材料となる所定組織をもつ
造塊物のような混合超微粒子の集塊物の製造は極めて困
難である。本願の発明は、先に、これに関連し、２種又
はそれ以上の超微粒子の混合した所定組織をもつ圧粉体
の製造法を提案した。（特願昭５９−２１０３６６号）
。
真空条件下で蒸発できる材料に限られ、蒸発条件が異な
る２種又はそれ以上の材料の混合超微粒子の同時蒸着膜
の生成は困難であり、又銀と鉄などの混合超微粒子の蒸
着膜の生成は可能であっても、生産速度がおそく、大量
生産は困難であり、従来の微粒子を原料とする焼結法や
溶解法により製造される構造材料となる所定組織をもつ
造塊物のような混合超微粒子の集塊物の製造は極めて困
難である。本願の発明は、先に、これに関連し、２種又
はそれ以上の超微粒子の混合した所定組織をもつ圧粉体
の製造法を提案した。（特願昭５９−２１０３６６号）
。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は、任意の材料を使用し、２種以上の超微粒子を
能率良く混合し大量生産に適し、而も前記提案の特願昭
５９−２１０３６６号の発明の圧粉体の製造法の１例と
して提案した混合室を介し混合する超微粒子の混合装置
を使用する場合よりも、著しく均一に２種又はそれ以上
の超微粒子が混合し得られる方法を提案するもので、少
くとも２種の超微粒子を夫々の搬送管内にキャリヤガス
により搬送導入せしめると共にこれら搬送管を同じ搬送
方向に向けて重複又は合体させ、その重複部又は合体部
の先方においてその少くとも２種の超微粒子の搬送流を
同じ流れ方向として合流せしめて少くとも２種の超微粒
子を混合せしめるようにしたことを特徴とする。
能率良く混合し大量生産に適し、而も前記提案の特願昭
５９−２１０３６６号の発明の圧粉体の製造法の１例と
して提案した混合室を介し混合する超微粒子の混合装置
を使用する場合よりも、著しく均一に２種又はそれ以上
の超微粒子が混合し得られる方法を提案するもので、少
くとも２種の超微粒子を夫々の搬送管内にキャリヤガス
により搬送導入せしめると共にこれら搬送管を同じ搬送
方向に向けて重複又は合体させ、その重複部又は合体部
の先方においてその少くとも２種の超微粒子の搬送流を
同じ流れ方向として合流せしめて少くとも２種の超微粒
子を混合せしめるようにしたことを特徴とする。
更に本発明は、上記の方法を実施する混合装置を提案す
るもので、少くとも２個の超微粒子生成室を設けると共
にその各室に互いに異積の蒸発すべき材料を収容する容
器と、これら材料を加熱すべき加熱装置と、各該至内を
真空にすべき真空装置と、各室内に導入すべきキャリヤ
ーガス導入管と、各室から導出する搬送管とを設けると
共に、その夫々の生成室より導出の２本又はそれ以上の
搬送管を同じ搬送方向に向けて重複又は合体させその１
１１部又は合体部の先端に延長して設けた少くとも２種
の超微粒子の混合した搬送管を混合超微粒子放出室内に
接続して成る。
るもので、少くとも２個の超微粒子生成室を設けると共
にその各室に互いに異積の蒸発すべき材料を収容する容
器と、これら材料を加熱すべき加熱装置と、各該至内を
真空にすべき真空装置と、各室内に導入すべきキャリヤ
ーガス導入管と、各室から導出する搬送管とを設けると
共に、その夫々の生成室より導出の２本又はそれ以上の
搬送管を同じ搬送方向に向けて重複又は合体させその１
１１部又は合体部の先端に延長して設けた少くとも２種
の超微粒子の混合した搬送管を混合超微粒子放出室内に
接続して成る。
次に本発明の実施例を添付図面につき説明する。
第１図は、２種の材料の超微粒子を均一に混合する装置
の１例を示す。図面で（１）は第１超微粒子生成室、（
乃は第２超微粒子生成室、（３）は混合超微粒子放出室
を示し、該第１超微粒子生成室（１）（以下単に第１生
成室（１）と略称する）、該第２超微粒子生成室（乃（
以下第２生成室（つと略称する）及び該混合超微粒子放
出室（３）（以下放出室（３）と略称する）は夫々真空
ポンプ（４） （５） （６）に接続管（７） （８）
（９）に接続している。（１０ａｉ＋■は該接続管（
ｎ （８） （９＞に夫々介入した調節弁を示す。更に
、第１生成室（１）及び第２生成室（りは１端がガスボ
ンベなどのガス供給源（図示しない）に夫々接続するキ
ャリヤガス導入！’ （１３（１４を調節弁ａ９ａｅを
介して接続して備える。更に、該第１生成室（１）内に
はその下部に、加熱蒸発させる材料Ａを収容するグラフ
ァイトるつぼ等から成る容器（１７）とこれをタンクル
に一ターなどで間接加熱する加熱＠置■とを備え、該第
２生成室（Ｄ内には、加熱蒸発させる材料Ｂを収容する
酸化アルミニウムなどの耐熱性コーティングのＷバスケ
ット容器（１９とこれを直接通電加熱する加熱装ｒ１１
■とを備える。■は、第１生成室（１）内の上方に１端
を開口しその１側壁を気密に貫通し外部に導出して設け
た第１搬送管、■は、第２生成室（Ｄ内の上方に１端を
開口しその１側を気密に貫通し外部に導出して設けた第
２搬送管を示す。本発明によれば、該第１搬送管■と該
第２搬送管のとを例えば次のように同じ方向に向けて２
重管部をもつように連接する。即ら、該第１搬送管■は
、内径１．６ｍｓ＋とじた細管から成り、その導出部を
第２生成室（乃の上部の１側壁を気密に貫通して該第２
生成室（り内に導入すると共にその先端部（２２ａ）を
内径４．５ａｍ＋の前記第２搬送管■の基部（２２ｂ）
にその開口端より同心に挿入して、互に平行して同一方
向に延びる第１搬送管■の先端部（２１ａ）と第２搬送
管■の基部（２２ａ）とから成り且つその間に同心の円
筒状の間隙通路■の形成された２重管部［相］を構成す
る。該第２１１送管■の先端部（２２ａ）は該放出室（
３）の上部１側壁を気密に貫通してその内部に開口する
ように構成する。該第２搬送管■の導入先端部（２２ａ
）の先方には必要に応じ可動自在の基板■を設けること
ができる。又厚膜圧粉体を基板■上に形成する場合に、
先端部（２２ａ）の開口を小さくすることを望む場合は
、その先端にこれより細径のスプレー用ノズルを取り付
けるか、その先端部をより細径に加工Ｊるようにする。
の１例を示す。図面で（１）は第１超微粒子生成室、（
乃は第２超微粒子生成室、（３）は混合超微粒子放出室
を示し、該第１超微粒子生成室（１）（以下単に第１生
成室（１）と略称する）、該第２超微粒子生成室（乃（
以下第２生成室（つと略称する）及び該混合超微粒子放
出室（３）（以下放出室（３）と略称する）は夫々真空
ポンプ（４） （５） （６）に接続管（７） （８）
（９）に接続している。（１０ａｉ＋■は該接続管（
ｎ （８） （９＞に夫々介入した調節弁を示す。更に
、第１生成室（１）及び第２生成室（りは１端がガスボ
ンベなどのガス供給源（図示しない）に夫々接続するキ
ャリヤガス導入！’ （１３（１４を調節弁ａ９ａｅを
介して接続して備える。更に、該第１生成室（１）内に
はその下部に、加熱蒸発させる材料Ａを収容するグラフ
ァイトるつぼ等から成る容器（１７）とこれをタンクル
に一ターなどで間接加熱する加熱＠置■とを備え、該第
２生成室（Ｄ内には、加熱蒸発させる材料Ｂを収容する
酸化アルミニウムなどの耐熱性コーティングのＷバスケ
ット容器（１９とこれを直接通電加熱する加熱装ｒ１１
■とを備える。■は、第１生成室（１）内の上方に１端
を開口しその１側壁を気密に貫通し外部に導出して設け
た第１搬送管、■は、第２生成室（Ｄ内の上方に１端を
開口しその１側を気密に貫通し外部に導出して設けた第
２搬送管を示す。本発明によれば、該第１搬送管■と該
第２搬送管のとを例えば次のように同じ方向に向けて２
重管部をもつように連接する。即ら、該第１搬送管■は
、内径１．６ｍｓ＋とじた細管から成り、その導出部を
第２生成室（乃の上部の１側壁を気密に貫通して該第２
生成室（り内に導入すると共にその先端部（２２ａ）を
内径４．５ａｍ＋の前記第２搬送管■の基部（２２ｂ）
にその開口端より同心に挿入して、互に平行して同一方
向に延びる第１搬送管■の先端部（２１ａ）と第２搬送
管■の基部（２２ａ）とから成り且つその間に同心の円
筒状の間隙通路■の形成された２重管部［相］を構成す
る。該第２１１送管■の先端部（２２ａ）は該放出室（
３）の上部１側壁を気密に貫通してその内部に開口する
ように構成する。該第２搬送管■の導入先端部（２２ａ
）の先方には必要に応じ可動自在の基板■を設けること
ができる。又厚膜圧粉体を基板■上に形成する場合に、
先端部（２２ａ）の開口を小さくすることを望む場合は
、その先端にこれより細径のスプレー用ノズルを取り付
けるか、その先端部をより細径に加工Ｊるようにする。
次に、上記の装置の作動を説明する。
第１生成室（１）内の容器（＋７１内の材料ＡとしてＡ
（Ｊを用意し、第２生成室（２）内の容器ａ９内の材料
ＢとしてＦｅを用意する。真空ポンプ（４）、（５）、
（６）を作動せしめる１方ガス導入管ａ３、（ｌｌＤよ
り夫々キャリヤーガスとしてＨ２を室（１）、（りに導
入し、加熱装置■及び■により夫々Ａｇ及び「ｅを加熱
蒸発させる。このときの作動条件を下記表１に示す。
（Ｊを用意し、第２生成室（２）内の容器ａ９内の材料
ＢとしてＦｅを用意する。真空ポンプ（４）、（５）、
（６）を作動せしめる１方ガス導入管ａ３、（ｌｌＤよ
り夫々キャリヤーガスとしてＨ２を室（１）、（りに導
入し、加熱装置■及び■により夫々Ａｇ及び「ｅを加熱
蒸発させる。このときの作動条件を下記表１に示す。
表１
かくして、第１生成室（１）内で蒸発生成の粒径１００
０Å以下のＡｌ）超微粒子は■２ガスにより搬送され上
方の第１搬送管■内にその基部（２１ｂ）より導入され
その搬送流は、その先端部（２１ａ）より第２搬送管の
内に導入する１方、第２生成室（１）内で蒸発生成の粒
径１０００Å以下のＦｅ超微粒子は、■２ガスにより搬
送されその上方の第２搬送管■内に、その内部に挿入さ
れた第１搬送管■の先端部（２１ａ）外周の間隙通路■
内に入り、そのＦｅ搬送流は、その２重管部＠をすぎた
その先方の搬送管■の中間部（２２ｃ）内で前記のＡ（
ｌ搬送流と平行の流れで夫々所定の流速で合流する。然
るときは、Ａ（ｌ及びＦｅの均一に混合した搬送流とな
って該第２搬送管■の先端より放出室（３）内に放出す
る。
０Å以下のＡｌ）超微粒子は■２ガスにより搬送され上
方の第１搬送管■内にその基部（２１ｂ）より導入され
その搬送流は、その先端部（２１ａ）より第２搬送管の
内に導入する１方、第２生成室（１）内で蒸発生成の粒
径１０００Å以下のＦｅ超微粒子は、■２ガスにより搬
送されその上方の第２搬送管■内に、その内部に挿入さ
れた第１搬送管■の先端部（２１ａ）外周の間隙通路■
内に入り、そのＦｅ搬送流は、その２重管部＠をすぎた
その先方の搬送管■の中間部（２２ｃ）内で前記のＡ（
ｌ搬送流と平行の流れで夫々所定の流速で合流する。然
るときは、Ａ（ｌ及びＦｅの均一に混合した搬送流とな
って該第２搬送管■の先端より放出室（３）内に放出す
る。
放出後のガスは、真空ポンプａｅにより徐々に排出され
る。かくして、放出室（３）内にＡＱ・Ｆｅの超微粒子
混合粉が漸次堆積して得られる。図で（３ａ）は遮蔽板
を示す。尚、前記放出流の流速は、例えば、１４．８で
ある。必要に応じ、その前方に設けた基板■にスプレー
し、その混合圧粉体を得ることもできる。
る。かくして、放出室（３）内にＡＱ・Ｆｅの超微粒子
混合粉が漸次堆積して得られる。図で（３ａ）は遮蔽板
を示す。尚、前記放出流の流速は、例えば、１４．８で
ある。必要に応じ、その前方に設けた基板■にスプレー
し、その混合圧粉体を得ることもできる。
尚、表１から明らかなように、第１生成室（１）と第２
生成室（り内の差圧を２０Ｔｏｒｒとしたが一般に３０
〜１５０Ｔｏｒｒの範囲がよく、これにより両搬送流の
合流混合が良好に得られる。このようにして得られた混
合粉を放出室（３）より取り出し、Ｘ−線マイクロ分析
（２０ｋｖ、０．０３／Ａ、スポットサイズφ３虜）で
分析しそのＡｇ−Ｆｅ分散混合度を調べた。
生成室（り内の差圧を２０Ｔｏｒｒとしたが一般に３０
〜１５０Ｔｏｒｒの範囲がよく、これにより両搬送流の
合流混合が良好に得られる。このようにして得られた混
合粉を放出室（３）より取り出し、Ｘ−線マイクロ分析
（２０ｋｖ、０．０３／Ａ、スポットサイズφ３虜）で
分析しそのＡｇ−Ｆｅ分散混合度を調べた。
その結果は、第２図示に示す通りである。第２図示の左
側に示すようなＦｅＡｇの均一な分散度曲線を得た。そ
の右側には比較のため２元同時蒸着法によるＦｅＡｇの
混合膜の分析結果を示す。
側に示すようなＦｅＡｇの均一な分散度曲線を得た。そ
の右側には比較のため２元同時蒸着法によるＦｅＡｇの
混合膜の分析結果を示す。
これから明らかなように、両者に差異は認められず、水
沫により得られた混合粉は、ＡｇＦｅが極めて均一に混
合されていることが確認された。
沫により得られた混合粉は、ＡｇＦｅが極めて均一に混
合されていることが確認された。
尚、比較のため、先に出願の前記特願昭５９−２１０３
６６号で開示した混合装置によりＡｇとＦｅとの混合粉
を製造し、その混合状態を同様に分析した結果を第３図
に示す。第２図及び第３図を対比し明らかなように、水
沫は、前記出願で開示した混合装置のように、夫々の生
成室から延びる搬送管の途中に混合室を設け、こ）で複
数種の超微粒子を混合する方法に比し、著しく漬れた均
一な混合が得られることが確認された。
６６号で開示した混合装置によりＡｇとＦｅとの混合粉
を製造し、その混合状態を同様に分析した結果を第３図
に示す。第２図及び第３図を対比し明らかなように、水
沫は、前記出願で開示した混合装置のように、夫々の生
成室から延びる搬送管の途中に混合室を設け、こ）で複
数種の超微粒子を混合する方法に比し、著しく漬れた均
一な混合が得られることが確認された。
第４図は、金属とセラミックスとの超微粒子を均一に混
合する方法を実施する装置の１例を示し、第１生成室（
１）内に蒸発材料ＡとしてＮｉを加熱蒸発するための酸
化アルミニウムなどの耐熱性コーティングのＷバスケッ
ト容器（Ｉ９とこれを直接通電加熱する加熱装置とを備
えるようにし、第２生成室（２）内に、蒸発材料Ｂとし
て１１を加熱蒸発するべくこれを収容する容器（２ｂ）
とこれを加熱するための電子ビーム式加熱装置のとを備
え、そのガス導入ｓｘ、 ＩＭからは、アンモニアガス
、窒素ガスなどのＮ系ガスを導入するようにする以外は
前記第１図の構成と同じである。
合する方法を実施する装置の１例を示し、第１生成室（
１）内に蒸発材料ＡとしてＮｉを加熱蒸発するための酸
化アルミニウムなどの耐熱性コーティングのＷバスケッ
ト容器（Ｉ９とこれを直接通電加熱する加熱装置とを備
えるようにし、第２生成室（２）内に、蒸発材料Ｂとし
て１１を加熱蒸発するべくこれを収容する容器（２ｂ）
とこれを加熱するための電子ビーム式加熱装置のとを備
え、そのガス導入ｓｘ、 ＩＭからは、アンモニアガス
、窒素ガスなどのＮ系ガスを導入するようにする以外は
前記第１図の構成と同じである。
本装置は、例えば、下記表２の作動条件で作動せしめる
。
。
表２
この実施のおいて、第２生成室（２）内では蒸発する超
微粒子Ｔｉは導入されるＮＨ３の１部と反応し、ＴｉＮ
の窒化物の超微粒子となり第２搬送管■内にＮＨ３ガス
により搬送されそのＴｉＮ ）ＩＲ送流は第１搬送管■
との２重管部［相］間の間隙通路のを連通後、第１搬送
管■内の■２ガスで搬送されるＸｉ超微粒子の搬送流と
同じ方向の平行の流れの状態で夫々の一定の流速で合流
しその旧・ＴｉＮ混合搬送流として第２搬送管■の先端
より放出室（３）内に放出され、その放出室（３）内に
所定の割合で均一に混合したＮｉ・ＴｉＮの混合粉が得
られる。
微粒子Ｔｉは導入されるＮＨ３の１部と反応し、ＴｉＮ
の窒化物の超微粒子となり第２搬送管■内にＮＨ３ガス
により搬送されそのＴｉＮ ）ＩＲ送流は第１搬送管■
との２重管部［相］間の間隙通路のを連通後、第１搬送
管■内の■２ガスで搬送されるＸｉ超微粒子の搬送流と
同じ方向の平行の流れの状態で夫々の一定の流速で合流
しその旧・ＴｉＮ混合搬送流として第２搬送管■の先端
より放出室（３）内に放出され、その放出室（３）内に
所定の割合で均一に混合したＮｉ・ＴｉＮの混合粉が得
られる。
この実験例で得られたＮｉ −ＴｉＨの混合粉体のＸ線
分析結果を第５図に示す。ＮｉとＴｉＮとの超微粒子混
合粉は２元同時蒸着法では得られないので対比して示す
ことができない。第６図は、先願の特許願で開示した混
合装置によりＮｉ−ＴｉＮの超微粒子混合粉のＸ線分析
結果を示す。第５図及び第６図の対比より、水沫によれ
ばはるかに超微粒子Ｎｉ−ＴｉＮの均一な混合が得られ
ることが分る。
分析結果を第５図に示す。ＮｉとＴｉＮとの超微粒子混
合粉は２元同時蒸着法では得られないので対比して示す
ことができない。第６図は、先願の特許願で開示した混
合装置によりＮｉ−ＴｉＮの超微粒子混合粉のＸ線分析
結果を示す。第５図及び第６図の対比より、水沫によれ
ばはるかに超微粒子Ｎｉ−ＴｉＮの均一な混合が得られ
ることが分る。
第７図は、３種の超微粒子の混合法を実施する混合装置
の１例を示し、例えば、＾ｇＦｅ及びＣｕの３種の超微
粒子の混合粉を得る場合を示し、第１生成室（１）、第
２生成室（２）、放出室（３）及びその付属設備は前記
第１図の実施例に示す構成と略同じであるが、その第２
生成室（２）と放出室（３）との間に第３超微粒子生成
室■（以下第３生成室■と略称する）を介在させ、その
内部下方には蒸発すべき材料Ｃとして例えばＣｕを収容
した容器■とこれを加熱し蒸発すべき加熱装置■を設け
、更にその室■に他端をガスボンベなどの供給源につら
なるガス導入管■の他端を調節弁■を介して接続せしめ
る。ガス導入管■からは■２やＡｒ、などのキャリヤー
ガスを導入するようにし、その室■の上部にはその１側
壁を気密に貫通し導出する第３搬送管■を設け、その基
部（３３ｂ）内にその室■の対向する側壁を気密に貫通
して第２生成室（りより導出の第２搬送管■の先端部（
２２ａ）を同心に挿入しその両管（３３ｂ） （２２ａ
）との間に筒状の間隙通路■の形成された追加の２重管
部■を構成すると共に、その第３搬送管■の先端部（３
３ａ）を放出室（３）の側壁を気密に貫通して導入して
放出室（３）内に開口するようにする。この実施例にお
ける第１搬送管■、第２搬送管の及び第３搬送管■の夫
々の内径は、１．６麿、 ４．５１１１． ７．７ｍと
した。
の１例を示し、例えば、＾ｇＦｅ及びＣｕの３種の超微
粒子の混合粉を得る場合を示し、第１生成室（１）、第
２生成室（２）、放出室（３）及びその付属設備は前記
第１図の実施例に示す構成と略同じであるが、その第２
生成室（２）と放出室（３）との間に第３超微粒子生成
室■（以下第３生成室■と略称する）を介在させ、その
内部下方には蒸発すべき材料Ｃとして例えばＣｕを収容
した容器■とこれを加熱し蒸発すべき加熱装置■を設け
、更にその室■に他端をガスボンベなどの供給源につら
なるガス導入管■の他端を調節弁■を介して接続せしめ
る。ガス導入管■からは■２やＡｒ、などのキャリヤー
ガスを導入するようにし、その室■の上部にはその１側
壁を気密に貫通し導出する第３搬送管■を設け、その基
部（３３ｂ）内にその室■の対向する側壁を気密に貫通
して第２生成室（りより導出の第２搬送管■の先端部（
２２ａ）を同心に挿入しその両管（３３ｂ） （２２ａ
）との間に筒状の間隙通路■の形成された追加の２重管
部■を構成すると共に、その第３搬送管■の先端部（３
３ａ）を放出室（３）の側壁を気密に貫通して導入して
放出室（３）内に開口するようにする。この実施例にお
ける第１搬送管■、第２搬送管の及び第３搬送管■の夫
々の内径は、１．６麿、 ４．５１１１． ７．７ｍと
した。
上記の装置を下記表３に示す作動条件でＡ（］ 。
Ｆｅ 、Ｃｕの蒸発生成の超微粒子をその各２重管部■
及び■を介して先づ＾０とＦｅの同一方向における両搬
送流の合流混合、へｇ、Ｆｅ混合搬送流とＣｕ搬送流と
の同様の合流混合を行ない第３搬送管■よりこれら３種
の混合した搬送流が放出室（３）内に得られるようにし
た。
及び■を介して先づ＾０とＦｅの同一方向における両搬
送流の合流混合、へｇ、Ｆｅ混合搬送流とＣｕ搬送流と
の同様の合流混合を行ない第３搬送管■よりこれら３種
の混合した搬送流が放出室（３）内に得られるようにし
た。
このようにして得られた混合粉のＸ線分析結果は、第８
図に示す通りである。これから明らかなように、３種の
混合成分が極めて良好に均一に混合していることが認め
られる。
図に示す通りである。これから明らかなように、３種の
混合成分が極めて良好に均一に混合していることが認め
られる。
上記から分かるように、水沫によれば、２種又はそれ以
上の超微粒子の極めて良好な混合を得るには、その夫々
異なる超微粒子の搬送管をその途中で直接同じ方向に向
けてこれらの搬送流が合流するようにすることにより得
られ、上記の実施例の他に次のような変形例も可能であ
る。即ち、第９図示のように、例えば２本の第１、第２
搬送管■■を共通１木の搬送管ａ′）に合体させると共
にその２本の第１、第２搬送管ＱＤ■の開口端は同じ方
向に向きその相互の角度αは最大でも４５°を越えない
ようにすることが好ましい。
上の超微粒子の極めて良好な混合を得るには、その夫々
異なる超微粒子の搬送管をその途中で直接同じ方向に向
けてこれらの搬送流が合流するようにすることにより得
られ、上記の実施例の他に次のような変形例も可能であ
る。即ち、第９図示のように、例えば２本の第１、第２
搬送管■■を共通１木の搬送管ａ′）に合体させると共
にその２本の第１、第２搬送管ＱＤ■の開口端は同じ方
向に向きその相互の角度αは最大でも４５°を越えない
ようにすることが好ましい。
第１０図は、３種の超微粒子を混合する変形例を示し、
この場合は、搬送管区′）と追加の第３搬送管■とを同
様の条件で合体せしめその先端を３種混合の搬送管（３
３’）としたものである。
この場合は、搬送管区′）と追加の第３搬送管■とを同
様の条件で合体せしめその先端を３種混合の搬送管（３
３’）としたものである。
尚、先の実施例に代え、３種又はそれ以上の混合におい
ては、例えば１箇所で少くとも３種を同時に混合するよ
うに、例えば第１、第２、第３搬送管＠■■を第１１図
示のように３重に互に平行に且つその間に間隙通路（３
４’）を存するように構成してもよ（、第１２図示のよ
うにこれら搬送管ｆ２Ｄ＠＠を１つの共通の搬送管（３
３’）に合体するようにしてもよい。
ては、例えば１箇所で少くとも３種を同時に混合するよ
うに、例えば第１、第２、第３搬送管＠■■を第１１図
示のように３重に互に平行に且つその間に間隙通路（３
４’）を存するように構成してもよ（、第１２図示のよ
うにこれら搬送管ｆ２Ｄ＠＠を１つの共通の搬送管（３
３’）に合体するようにしてもよい。
尚、最終の放出室（３）は、第１３図、第１４図示のよ
うに、外部に突出する少くとも１本の細管■を設け、大
気中又は真空室■中に設けた基板■に所定の圧力でスプ
レーし適宜堆積の所要形状の圧粉体を付着生成するよう
にしてもよく、通常広幅の面又は帯状の圧粉体膜を形成
するには、複数本の細管を束状とした構成とする。
うに、外部に突出する少くとも１本の細管■を設け、大
気中又は真空室■中に設けた基板■に所定の圧力でスプ
レーし適宜堆積の所要形状の圧粉体を付着生成するよう
にしてもよく、通常広幅の面又は帯状の圧粉体膜を形成
するには、複数本の細管を束状とした構成とする。
上記実施例において、放出室（３）内に放出されて大量
に蓄積されて得られる混合粉は、適宜外部に取り出し、
大気中で或は真空中で所定の加圧を加えるだけで１体的
な均一に混合された所定組織の固塊とし構造材料とし、
或は電子工業の磁性粉末などその他適宜の用途加工にこ
の混合粉を利用することができる。
に蓄積されて得られる混合粉は、適宜外部に取り出し、
大気中で或は真空中で所定の加圧を加えるだけで１体的
な均一に混合された所定組織の固塊とし構造材料とし、
或は電子工業の磁性粉末などその他適宜の用途加工にこ
の混合粉を利用することができる。
尚、本発明の混合法は、上記の実施例では、材料の蒸発
による超微粒子の生成を直接搬送管に導入し混合する場
合を示したが、予め、生成した夫々の超微粒子を夫々の
圧送容器内に用意しておいたものを搬送料として使用す
るようにしてもよい。
による超微粒子の生成を直接搬送管に導入し混合する場
合を示したが、予め、生成した夫々の超微粒子を夫々の
圧送容器内に用意しておいたものを搬送料として使用す
るようにしてもよい。
このように本発明によるときは、２種又はそれ以上の超
微粒子をキャリヤーガスにより搬送管内を搬送しその夫
々の搬送流を同一方向において合流させるようにしたの
で、極めて均一に混合された超微粒子の混合粉が得られ
る効果を有し、同一の蒸発室で蒸発できない金属と金属
、金属と金属化合物などの混合粉の製造が可能となり、
又搬送ガスによる超微粒子を搬送することにより混合粉
の生産性が向上する等の効果を有する。
微粒子をキャリヤーガスにより搬送管内を搬送しその夫
々の搬送流を同一方向において合流させるようにしたの
で、極めて均一に混合された超微粒子の混合粉が得られ
る効果を有し、同一の蒸発室で蒸発できない金属と金属
、金属と金属化合物などの混合粉の製造が可能となり、
又搬送ガスによる超微粒子を搬送することにより混合粉
の生産性が向上する等の効果を有する。
第１図は、水沫実施の１例の混合装置の１部截断側面線
図、第２図は水沫により製造した混合粉のＸＩＩ分析に
よる混合成分の配合特性曲線図、第３図は、先行技術の
混合装置による混合粉のＸ線分析による同様の配合特性
曲線図、第４図は他の実施例の混合装置の側面線図、第
５図は、第４図の混合装置により得られた混合粉のＸ線
分析による配合特性曲線図、第６図は先行技術の混合装
置による混合粉の同様の配合特性曲線図、第７図は更に
他の実施例の混合装置の側面線図、第８図は第７図の装
置により得られた混合粉の配合特性曲線図、第９図乃至
第１２図は混合法の変形例の各装置の１部の截断側面図
、第１３図は放出室の変形例の側面図、第１４図はその
上面図を示す。 （１）・・・第１超微粒子生成室 （２）・・・第２超微粒子生成室 （３）・・・放 出 室 （１３（＋４１・・・キャリヤガス導入管■・・・第１
搬送管 ■・・・第２搬送管 ［相］・・・２重管部 ■・・・第３超微粒子生成室 ■・・・第３搬送管 ■・・・２重管部 特 許 出 願 人 新技術開発事業回持 許 出
願 人 渕 １） 英 嗣特 許
出 願 人 賀 集 誠 −部菟１図 第３図 第２図 第５図 第６図
図、第２図は水沫により製造した混合粉のＸＩＩ分析に
よる混合成分の配合特性曲線図、第３図は、先行技術の
混合装置による混合粉のＸ線分析による同様の配合特性
曲線図、第４図は他の実施例の混合装置の側面線図、第
５図は、第４図の混合装置により得られた混合粉のＸ線
分析による配合特性曲線図、第６図は先行技術の混合装
置による混合粉の同様の配合特性曲線図、第７図は更に
他の実施例の混合装置の側面線図、第８図は第７図の装
置により得られた混合粉の配合特性曲線図、第９図乃至
第１２図は混合法の変形例の各装置の１部の截断側面図
、第１３図は放出室の変形例の側面図、第１４図はその
上面図を示す。 （１）・・・第１超微粒子生成室 （２）・・・第２超微粒子生成室 （３）・・・放 出 室 （１３（＋４１・・・キャリヤガス導入管■・・・第１
搬送管 ■・・・第２搬送管 ［相］・・・２重管部 ■・・・第３超微粒子生成室 ■・・・第３搬送管 ■・・・２重管部 特 許 出 願 人 新技術開発事業回持 許 出
願 人 渕 １） 英 嗣特 許
出 願 人 賀 集 誠 −部菟１図 第３図 第２図 第５図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少くとも２種の超微粒子を夫々の搬送管内にキャリ
ヤガスにより搬送導入せしめると共にこれら搬送管を同
じ搬送方向に向けて重複又は合体させ、その重複部又は
合体部の先方においてその少くとも２種の超微粒子の搬
送流を同じ流れ方向として合流せしめて少くとも２種の
超微粒子を混合せしめるようにしたことを特徴とする超
微粒子の混合法。 ２、少くとも２個の超微粒子生成室を設けると共にその
各室に互いに異種の蒸発すべき材料を収容する容器と、
これら材料を加熱すべき加熱装置と、各該室内を真空に
すべき真空装置と、各室内に導入すべきキャリヤーガス
導入管と、各室から導出する搬送管とを設けると共に、
その夫々の生成室より導出の２本又はそれ以上の搬送管
を同じ搬送方向に向けて重複又は合体させその重複部又
は合体部の先端に延長して設けた少くとも２種の超微粒
子の混合した搬送管を混合超微粒子放出室内に接続して
成る超微粒子の混合装置。 ３、該重複部は、１本の搬送管内に少くとも１本の搬送
管が平行して延び且つ開口端を有するように構成して成
る特許請求の範囲（２）に記載の混合装置。 ４、該重複部は、１本の搬送管内に少くとも１本の搬送
管が同心に延び且つ開口端を有するように構成して成る
特許請求の範囲（２）に記載の混合装置。 ５、該合体部は、少くとも２本の搬送管を１本の混合搬
送管に合体し各搬送管相互のなす角度は４５°以下であ
ることを特徴とする特許請求の範囲。 ６、該放出室は、少くとも１本のノズル管を介して圧粉
体形成室に接続して成る特許請求の範囲（２）（４）（
５）のいづれか１つの項に記載の混合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60047462A JPS61209032A (ja) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | 超微粒子の混合法並に装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60047462A JPS61209032A (ja) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | 超微粒子の混合法並に装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61209032A true JPS61209032A (ja) | 1986-09-17 |
| JPS6411328B2 JPS6411328B2 (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=12775818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60047462A Granted JPS61209032A (ja) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | 超微粒子の混合法並に装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61209032A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988009208A1 (en) * | 1987-05-29 | 1988-12-01 | Nordson Corporation | Powder mixing method and apparatus |
| JP2001276594A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-10-09 | Kunio Kato | 流動層を用いた微粒子の混合方法 |
| US7175921B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-02-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method for manufacturing thereof |
| US7255934B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method and apparatus for manufacturing thereof |
| JP2010251757A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Korea Inst Of Mach & Materials | 高密度及びナノ結晶粒スピネル系負温度係数サーミスタ厚膜及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-03-12 JP JP60047462A patent/JPS61209032A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988009208A1 (en) * | 1987-05-29 | 1988-12-01 | Nordson Corporation | Powder mixing method and apparatus |
| JP2001276594A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-10-09 | Kunio Kato | 流動層を用いた微粒子の混合方法 |
| US7175921B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-02-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method for manufacturing thereof |
| US7255934B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method and apparatus for manufacturing thereof |
| US7318967B2 (en) | 2000-10-23 | 2008-01-15 | Toto Ltd. | Composite structure body and method and apparatus for manufacturing thereof |
| US7338724B2 (en) | 2000-10-23 | 2008-03-04 | Toto Ltd. | Composite structure body and method for manufacturing thereof |
| US7632353B2 (en) | 2000-10-23 | 2009-12-15 | Toto Ltd. | Apparatus for forming a composite structure body |
| JP2010251757A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Korea Inst Of Mach & Materials | 高密度及びナノ結晶粒スピネル系負温度係数サーミスタ厚膜及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6411328B2 (ja) | 1989-02-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |