JPS61196430A - Production of magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain the titled magnetic recording medium wherein the magnetic characteristics of the magnetic films on both uncurled surfaces are the same by forming alternately a magnetic film on both surfaces of a strip substrate by plural repetitions while traveling the substrate. CONSTITUTION:A substrate consisting, for example, of polyester and having, for example, 50mum thickness is moved at specified speed from a supply roll 21 and wound on a winding roll 23. Plural sputtering target electrodes 24, 25, 26, 27, 28 and 29 are provided zigzag and opposite to each other above both surfaces of the substrate 22. Each electrode is constituted of a Co-Cr target, a permanent magnet and a DC electrode. Gaseous argon is ionized by a DC voltage and a magnetic field from the permanent magnet, and Co-Cr particles are sputtered from the target by the bombardment of the ions. The sputtered Co-Cr particles are passed through opening parts 37, 38, 39, 40, 41 and 42 and deposited on the surface of the substrate 22 to form a Co-Cr film.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は磁気記録媒体の製造方法に関するものである。[Detailed description of the invention] [Technical field of invention] The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic recording medium.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

磁気記録媒体としては従来媒体面に水平な方向に残留磁
化させるものが一般的であったが、近年磁気記録媒体の
媒体面に垂直な方向の残留磁化を利用して高密度記録を
行う垂直磁化記録が注目されている。Conventionally, magnetic recording media have generally had residual magnetization in a direction horizontal to the medium surface, but in recent years, perpendicular magnetization has been developed, which utilizes residual magnetization in a direction perpendicular to the medium surface of magnetic recording media to perform high-density recording. The record is attracting attention.

この垂直磁気記録のための磁気記録媒体（以下垂直磁気
記録媒体という）の代表的な例として媒体面に垂直な方
向に磁化容易軸を有するＣｏ−Ｃｒ膜を基体表面にスパ
ッタリングにより形成して記録磁化層とするものが知ら
れている。As a typical example of a magnetic recording medium for perpendicular magnetic recording (hereinafter referred to as perpendicular magnetic recording medium), a Co--Cr film having an axis of easy magnetization in the direction perpendicular to the medium surface is formed on the surface of the substrate by sputtering. A magnetization layer is known.

このような垂直磁気記録媒体はポリイミド、ポリエチレ
ンテレフタレート等の耐熱性の高分子フィルムを基体と
して、この基体の表面にＣｏ−Ｃｒ膜をバッチ式あるい
は連続的にスパッタリングで形成することによって作成
されるものであり、この様にして作成された垂直磁気記
録媒体は特にフロッピーディスクへの使用が考えられて
いる。Such perpendicular magnetic recording media are created by using a heat-resistant polymer film such as polyimide or polyethylene terephthalate as a base and forming a Co-Cr film on the surface of this base by batch or continuous sputtering. The perpendicular magnetic recording medium produced in this manner is particularly considered for use in floppy disks.

このような磁気記録媒体の製造方法としては第３図及び
第４図に示す製造方法が知られている。As a method of manufacturing such a magnetic recording medium, the manufacturing method shown in FIGS. 3 and 4 is known.

先が第３図に示す製造方法は２個の主ロール（４）、（
５）を供給ロール（１）から供給される基体（２）がＳ
字状に走行して巻取ロール（３）に巻取られる間のうち
、主ロール（４）を走行する時にターゲット（６）から
基体（２）の−表面にＣｏ　−Ｃｒがスパッタリングさ
れてＣｏ　−Ｃｒ膜を形成する０次に一表面にＣ。The manufacturing method shown in FIG. 3 consists of two main rolls (4), (
5), the substrate (2) supplied from the supply roll (1) is S
Co-Cr is sputtered from the target (6) onto the surface of the substrate (2) when it travels on the main roll (4) while it is being wound up on the take-up roll (3). -C on one surface of the 0th order to form a Cr film.

−Ｃｒ膜が形成された基体（３）が主ロール（５）を走
行する時にターゲット（７）から基体（２）の他の表面
にＣｏ　−ＣｒがスパッタリングされてＣｏ　−Ｃｒ膜
を形成するようになっている。- When the substrate (3) on which the Cr film is formed runs on the main roll (5), Co--Cr is sputtered from the target (7) onto the other surface of the substrate (2) to form a Co--Cr film. It has become.

また第４図に示す製造方法は２個の主ロール（１４）　
、　（１５）を供給ロール（１１）から供給される基体
（１２）がＳ字状に走行に巻取ロール（１３）に巻取ら
れる間のうち、主ロール（１４）を走行する時にターゲ
ット（１６□）　、　（１６□）からＧｏ−Ｃｒが２回
に別けてスパッタリングされてＣｏ　−Ｃｒ膜を形成す
る。次に一表面にＣｏ　−Ｃｒ膜が形成された基体（１
２）が主ロール（１５）を走行する時にターゲット（ｘ
７．）、（１７ｇ）からＣｏ−Ｃｒが２回に別けてスパ
ッタリングされてＣｏ−Ｃｒ膜を形成するようになって
いる。The manufacturing method shown in Figure 4 also includes two main rolls (14).
, (15) while the substrate (12) supplied from the supply roll (11) runs in an S-shape and is wound up on the take-up roll (13). 16□), Go-Cr is sputtered twice from (16□) to form a Co-Cr film. Next, a substrate (1
2) runs on the main roll (15) when the target (x
7. ) and (17g), Co--Cr is sputtered in two separate steps to form a Co--Cr film.

第４図の製造方法は第３図の製造方法に比較して複数回
に分けてＣｏ　−Ｃｒ膜が形成されるため成膜速度が速
く量産性に適している。Compared to the manufacturing method shown in FIG. 3, the manufacturing method shown in FIG. 4 is suitable for mass production because the Co--Cr film is formed in multiple steps, so the film formation rate is faster.

しかし、これら第３図及び第４図に示す製造方法で作ら
れる磁気記録媒体例えばフロッピーディスクは次に述べ
る理由により両表面のＣｏ　−Ｃｒ膜の電磁変換特性が
異なり１両面使用可能な磁気記録媒体とし使用できない
問題点がある。However, magnetic recording media such as floppy disks manufactured by the manufacturing methods shown in FIGS. 3 and 4 are magnetic recording media that can be used on both sides because the electromagnetic conversion characteristics of the Co-Cr films on both surfaces are different due to the following reasons. There are some problems that make it unusable.

即ち、この問題点は、主として両表面のＣｏ　−Ｃｒ膜
の厚さを同じにすると、後で形成したＣｏ　−Ｃｒ膜の
方向にカールが発生し、そのために後で形成するＣｏ−
Ｃｒ膜は先に形成したＣｏ　−Ｃｒ膜より厚くする等の
対策例えば−表面に０．３〜０．４μ謄、他表面に０．
５μ■のＣｏ　−Ｃｒ膜を形成する等の対策を講じ、カ
ールの発生を防止しなければならない、そのため。That is, this problem is mainly caused by the fact that when the Co-Cr films on both surfaces are made to have the same thickness, curling occurs in the direction of the Co-Cr film formed later, which causes the Co-Cr film formed later to curl.
Measures such as making the Cr film thicker than the previously formed Co--Cr film are taken, for example - 0.3 to 0.4 μm thick on one surface and 0.3 μm thick on other surfaces.
Therefore, it is necessary to take measures such as forming a Co--Cr film with a thickness of 5μ to prevent the occurrence of curling.

第３図及び第４図に示す製造方法によって形成される磁
気記録媒体は飽和磁化の値が基体の両表面で異なること
になる。A magnetic recording medium formed by the manufacturing method shown in FIGS. 3 and 4 has different saturation magnetization values on both surfaces of the substrate.

また垂直成分の保持力、配向等も先につけた面とあとで
つけた面とでは大きく異なることがあり、両面が同じ特
性を要求される磁気記録媒体には適さない。Furthermore, the coercive force, orientation, etc. of the perpendicular component may be significantly different between the surface applied first and the surface applied later, making it unsuitable for magnetic recording media that require the same characteristics on both sides.

なお、基体上にＣｏ　−Ｃｒ膜などの垂直磁化膜を形成
する方法としてはスパッタリング法の他に蒸着法、塗布
法等が知られているが、これらの蒸着法、塗布法はスパ
ッタリング法にくらべて垂直磁化膜の耐久性、記録密度
が劣っている。In addition to sputtering, vapor deposition and coating methods are known as methods for forming perpendicularly magnetized films such as Co-Cr films on substrates, but these vapor deposition and coating methods are less effective than sputtering. Therefore, the durability and recording density of the perpendicularly magnetized film are inferior.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は上述した問題点に鑑みてなされたものであり、
基体の両表面に電磁変換特性が同等であり、両表面を使
用することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する
ことを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a magnetic recording medium in which both surfaces of a substrate have the same electromagnetic characteristics and can use both surfaces.

【発明の概要〕[Summary of the invention]

即ち、本発明は、耐熱性フィルムからなる帯状の基体を
走行させながら前記基体の両表面に磁性膜を交互に所定
手段により複数回に分けて形成することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法であり、磁性膜がＣｏ　−Ｃｒ膜
であること、基板の両表面に最初に形成する磁性膜の膜
厚が２５００人を超えないこと、基体がポリエステルま
たはポリイミドであであること、所定手段が基体の一表
面を加熱し。That is, the present invention provides a method for producing a magnetic recording medium, characterized in that magnetic films are alternately formed on both surfaces of a heat-resistant film in multiple steps by a predetermined means while running a belt-shaped base made of a heat-resistant film. The magnetic film is a Co-Cr film, the thickness of the magnetic film initially formed on both surfaces of the substrate does not exceed 2,500 layers, the substrate is made of polyester or polyimide, and prescribed means are met. Heat one surface of the base.

他表面にスパッタリングで磁性膜を形成することである
ことを実施態様としている。In this embodiment, a magnetic film is formed on the other surface by sputtering.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

次に本発明の磁気記録媒体の製造方法の一実施例を説明
する。Next, an embodiment of the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention will be described.

先ず製造装置を第１図により説明する。First, the manufacturing apparatus will be explained with reference to FIG.

即ち図示しない排気ポンプ系、アルゴンガス導入系を有
する真空槽内には供給ロール（２１）から長尺の耐熱性
フィルム、例えばポリエステルまたはポリイミドからな
る例えば厚さ５０μ履の基体をほぼ同一平面上で一定速
度で移動させて巻取ロール（２３）に巻き取るようにな
っている。That is, in a vacuum chamber equipped with an exhaust pump system and an argon gas introduction system (not shown), a long heat-resistant film, such as a substrate made of polyester or polyimide and having a thickness of 50 μm, is placed on almost the same plane from a supply roll (21). It is moved at a constant speed and wound onto a take-up roll (23).

この基体（２２）の両表面には千鳥状に複数個のスパッ
タリングターゲット電極（２４）　、　（２５）　、　
（２６）　。A plurality of sputtering target electrodes (24), (25),
(26).

（２７）　、　（２８）　、　（２９）が対向するよう
に設けられている。(27), (28), and (29) are provided to face each other.

これらのスパッタリングターゲット電極（２４）　、　
（２５）、　（２６）　、　（２７）　、　（２８）　
、　（２９）はＣｏ　−Ｃｒ合金ターゲットと。These sputtering target electrodes (24),
(25), (26), (27), (28)
, (29) is a Co-Cr alloy target.

このターゲットの周辺に配設された永久磁石およびＤＣ
電極から構成されＤＣ電圧と永久磁石からの磁界により
アルゴンガスをイオン化し、このイオンの衝撃でターゲ
ットからＣｏ　−Ｃｒ粒子をスパッタリングさせる。こ
のスパッタリングされたＣｏ　−Ｃｒ粒子は遮蔽板（３
７）　、　（３８）　、　（３９）　、　（４０）　、
　（４１）、　（４２）の開口部を通過し基体（２２）
表面にＣｏ　−Ｃｒ膜を形成する。Permanent magnets and DC
It is composed of electrodes, and uses a DC voltage and a magnetic field from a permanent magnet to ionize argon gas, and the impact of the ions causes Co--Cr particles to be sputtered from the target. The sputtered Co-Cr particles are covered with a shielding plate (3
7), (38), (39), (40),
Pass through the openings of (41) and (42) and form the base (22).
A Co-Cr film is formed on the surface.

またスパッタリングターゲット電極（２４）　、　（２
５）。In addition, sputtering target electrodes (24), (2
5).

（２６）　、　（２７）　、　（２ｇ）　、　（２９）
に基体（２２）を介して対設する位置にはヒータ（３６
）を装着した基体ホルダ（３０）　。(26), (27), (2g), (29)
A heater (36) is provided at a position opposite to the base body (22).
) is attached to the base holder (30).

（３１）　、（３２）　、　（３３）　、　（３４）　
、（３５）が設けられ、基体（２２）を支持す°ると共
に加熱するようになっている。(31) , (32) , (33) , (34)
, (35) are provided to support and heat the base (22).

次に上述した製造装置による磁気記録媒体の製造方法を
説明すると、ピータ（３６）により一定温度、例えば１
００〜２００℃に保持された基体ホルダ（３０）。Next, a method of manufacturing a magnetic recording medium using the manufacturing apparatus described above will be explained.
A substrate holder (30) maintained at a temperature of 00 to 200°C.

（３１）、　（３２）　、　（３３）　、　（３４）　
、　（３５）に基体（２２）を接触させながら一定速度
で移動しスパッタリングターゲット電極（２４）　、　
（２５）　、　（２６）　、　（２７）　、　（２８）
　、　（２９）からＣｏ−Ｃｒ粒子をスパッタリングす
る。この場合それぞれのスパッタリングターゲット電極
（２４）、　（２５）　、　（２６）　。(31), (32), (33), (34)
, (35) moving at a constant speed while contacting the substrate (22) with the sputtering target electrode (24),
(25), (26), (27), (28)
, (29) to sputter Co-Cr particles. In this case the respective sputtering target electrodes (24), (25), (26).

（２７）　、　（２ｇ）　、　（２９）はそれぞれ独立
に出力の制御が可能であり、後述するように最初の一方
の表面にスパッタリングターゲット電極（２４）で形成
されるＣ。The output of (27), (2g), and (29) can be controlled independently, and as described later, C is formed with a sputtering target electrode (24) on one of the first surfaces.

−Ｃｒ膜の膜厚は２５００人を越えないよう、望ましく
は１０００人であり１次に他の表面にスパッタリングタ
ーゲット電極（２５）により形成されるＣｏ　−Ｃｒ膜
の膜厚は最初のものと同等か、やや多い１０００〜１５
００人が望ましい、このようにして基板（２２）の両表
面に交互に１０００〜１５００人づつ重置して最終的に
両面ともほぼ同じ膜厚の５０００〜ｔｏｏｏｏ人の膜厚
を有するＣｏ−Ｃｒ膜を形成するが２回目以降は次第に
厚くしてもよい。The thickness of the -Cr film should not exceed 2500, preferably 1000, and the thickness of the Co-Cr film formed on the other surface by the sputtering target electrode (25) is the same as the first one. Or slightly more 1000-15
In this way, 1000 to 1500 layers of Co-Cr are alternately placed on both surfaces of the substrate (22), and finally Co-Cr having a film thickness of 5000 to 000 layers is approximately the same on both surfaces. A film is formed, but the thickness may be gradually increased from the second time onward.

このようにして形成された磁気記録媒体は両表面に等し
い膜厚のＣｏ　−Ｃｒ膜を形成してもカールすることが
なく、磁気特性もほぼ同等のものが得られるので両面使
用可能な垂直磁気記録媒体をスパッタリングにより製造
することが可能となった。The magnetic recording medium formed in this way does not curl even if a Co-Cr film of equal thickness is formed on both surfaces, and almost the same magnetic properties are obtained, making it possible to use perpendicular magnetism on both sides. It has become possible to manufacture recording media by sputtering.

次に上述した実施例により両表面の電磁変換特性が同等
で、かつカールの少ない磁性膜を製造し得る理由を考え
てみる。Next, let us consider the reason why a magnetic film having the same electromagnetic conversion characteristics on both surfaces and having less curl can be manufactured by the above-described embodiment.

本発明者等は基体の両方の面に同一条件で同じ膜厚のＣ
ｏ　−Ｃｒ膜を形成し、それぞれの面の垂直方向保持力
を調べた。The present inventors have developed a C film with the same thickness on both sides of the substrate under the same conditions.
An o -Cr film was formed, and the vertical holding force of each surface was examined.

即ち、第３図に示す装置を用い、基板の両面にそれぞれ
一回ずつＣｏ　−Ｃｒ粒子で磁性膜を形成した。That is, using the apparatus shown in FIG. 3, a magnetic film of Co--Cr particles was formed once on each side of the substrate.

基体（２）の表面は加熱された主ローラ（４）、（５）
に密着しており所定の保持力を得るため１００〜２００
℃に加熱されている。The surface of the base (2) is heated by the main rollers (4) and (5).
100 to 200 to obtain the specified holding force.
It is heated to ℃.

第２図は形成した膜厚は両表面に形成したＧｏ　−Ｃｒ
膜の垂直方向保持力の比との関係を示している。Figure 2 shows the thickness of the Go-Cr film formed on both surfaces.
It shows the relationship with the ratio of vertical coercive force of the membrane.

曲線（５０）から判るようにＣｏ　−Ｃｒの膜厚が２５
００人を越えると両面の磁気特性が異ってくる。また膜
厚が２５００Å以下のものでは、両表面の膜厚が同じで
もカールは認められなかった。As can be seen from curve (50), the film thickness of Co-Cr is 25
When the number exceeds 00, the magnetic properties of both sides become different. In addition, when the film thickness was 2500 Å or less, no curling was observed even if the film thicknesses on both surfaces were the same.

一般に基体のスパッタリングされる表面の温度は磁性膜
の垂直方向の保持力（ｏｃｌ）との間に一定の関係が知
られており、Ｈｃｌを測定することによって膜形成時に
基体表面の温度を指定できる。これによれば、膜厚を２
５００Å以上に形成した場合には、最初に膜を形成する
面と、次に膜を形成する面とでは、膜形成する時の温度
が異っていることが推測される。つまり、膜厚を２５０
０Å以上に形成した場合には同一条件で基体の両面に膜
を形成したにも係わらず、実際には基体の表面温度が異
っており、この温度差により磁気記録媒体にカールが発
生しているものと思われる。なお、カールが発生した例
えば膜厚を０．５μ腸とした場合には、後で形成する表
面の温度は、初めに形成する表面の温度に比べ５０〜８
０℃高くなっていると推定される。Generally, it is known that there is a certain relationship between the temperature of the sputtered surface of the substrate and the perpendicular coercive force (OCL) of the magnetic film, and by measuring HCl, the temperature of the substrate surface can be specified during film formation. . According to this, the film thickness is 2
When the film is formed to a thickness of 500 Å or more, it is presumed that the temperature at which the film is formed is different between the surface on which the film is first formed and the surface on which the film will be formed next. In other words, the film thickness is 250
When the film is formed to a thickness of 0 Å or more, even though the film was formed on both sides of the substrate under the same conditions, the surface temperature of the substrate is actually different, and this temperature difference causes curling in the magnetic recording medium. It seems that there are. In addition, when curling occurs, for example, when the film thickness is 0.5 μm, the temperature of the surface formed later is 50 to 80% higher than the temperature of the surface formed initially.
It is estimated that the temperature has increased by 0℃.

従って２５００Å以下の膜厚で磁性膜を基体上に形成す
ればカールの発生もなく、しかも等しい特性の磁性膜が
得られる。Therefore, if a magnetic film is formed on a substrate with a thickness of 2500 Å or less, a magnetic film with the same characteristics can be obtained without curling.

このように両面に２５００Å以下の膜が形成されたもの
に、２回目以降の膜を順次基体の両面に交互に形成して
所望の膜厚に形成すればカールの発生がなく、シかも磁
気特性が両面で等しい磁気記録媒体が得られる。If a film with a thickness of 2,500 Å or less is formed on both sides in this way, and the second and subsequent films are formed alternately on both sides of the substrate to the desired thickness, curling will not occur and the magnetic properties will be improved. A magnetic recording medium with the same values on both sides can be obtained.

この際、各表面の２回目以降の膜を形成する場合には、
最初に膜を形成する場合に比べ基体の両表面の温度差は
生じにくく、必ずしも２５００人以ドとする必要はなか
った。At this time, when forming the second and subsequent films on each surface,
Compared to the case where a film is first formed, a temperature difference between the two surfaces of the substrate is less likely to occur, so it was not necessarily necessary to use 2,500 or more people.

上述した実施例では主としてＣｏ　−Ｃｒ膜について説
明したが他のＣｏ系合金による磁性層、その他にもその
まま適用できることは勿論である。Although the above-mentioned embodiments mainly described the Co--Cr film, it is of course applicable to magnetic layers made of other Co-based alloys and others.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

上述のような本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば
次のような効果がある。The method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention as described above has the following effects.

第１に基体の両表面に交互に少しづつ磁性薄膜を形成す
ることにより両面が同じ膜厚でカールのない磁性膜を有
する磁気記録媒体が得られる。First, by forming magnetic thin films alternately and little by little on both surfaces of the substrate, a magnetic recording medium can be obtained which has magnetic films of the same thickness on both surfaces and without curling.

第２に両面の磁性膜の磁気特性が同等の磁気記録媒体が
得られる。Second, a magnetic recording medium with the same magnetic properties of the magnetic films on both sides can be obtained.

第３にと述の理由により両面使用可能なフロッピーディ
スクに適用する磁性膜の高速成膜が可能となる。Thirdly, for the above-mentioned reason, it becomes possible to form a magnetic film at high speed for application to a floppy disk that can be used on both sides.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法の一実施例に
使用する製造装置を示す概略説明図、第２図は１回に形
成する膜厚と両面の垂直方向保持力の比の実験結果を示
すグラフ、第３図及び第４図は従来の磁気記録媒体の製
造方法に使用する製造装置のそれぞれ異なる例を示す概
略説明図である。 １、１．１．２１・・・供給ロール　　　２．１２．２
２・・・基体３、１３．２３・・・巻取ロール ２４、２５．２６．２７．２８．２９．・・・スパッタ
リングターゲット電極３０、３１．３２．３３．３４．
３５・・・基体ホルダ３６・・・ヒータFIG. 1 is a schematic explanatory diagram showing a manufacturing apparatus used in an embodiment of the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, and FIG. 2 is an experiment of the ratio of the film thickness formed at one time and the vertical coercive force of both surfaces. Graphs showing the results, and FIGS. 3 and 4 are schematic explanatory diagrams showing different examples of manufacturing apparatuses used in the conventional method for manufacturing magnetic recording media. 1, 1.1.21... Supply roll 2.12.2
2... Base body 3, 13.23... Winding roll 24, 25.26.27.28.29. ... Sputtering target electrodes 30, 31.32.33.34.
35... Base holder 36... Heater

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）耐熱性フィルムからなる帯状の基体を走行させな
がら前記基体の両表面に磁性膜を交互に所定手段により
複数回に分けて形成することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。(1) A method for producing a magnetic recording medium, which comprises forming a magnetic film alternately on both surfaces of a heat-resistant film in multiple steps by a predetermined means while running a belt-shaped substrate made of a heat-resistant film. （２）磁性膜がＣｏ−Ｃｒ膜であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の磁気記録媒体の製造方法。(2) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic film is a Co-Cr film. （３）基体の両表面に最初に形成する磁性膜の膜厚が２
５００Åを超えないことを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の磁気記録媒体の製造方法。(3) The thickness of the magnetic film initially formed on both surfaces of the substrate is 2
The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, characterized in that the thickness does not exceed 500 Å. （４）基体がポリエステルまたはポリイミドであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の磁気記録媒
体の製造方法。(4) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the substrate is made of polyester or polyimide. （５）所定手段が基体の一表面を加熱し、他表面にスパ
ッタリングで磁性膜を形成することであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の磁気記録媒体の製造
方法。(5) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the predetermined means is heating one surface of the substrate and forming a magnetic film on the other surface by sputtering.