JPS61194800A - 整列検出器 - Google Patents
整列検出器Info
- Publication number
- JPS61194800A JPS61194800A JP60033883A JP3388385A JPS61194800A JP S61194800 A JPS61194800 A JP S61194800A JP 60033883 A JP60033883 A JP 60033883A JP 3388385 A JP3388385 A JP 3388385A JP S61194800 A JPS61194800 A JP S61194800A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor products
- tray
- state
- height position
- alignment
- Prior art date
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- Pending
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製品のトレー上での整列状態を検出す
る整列検出器に関するものである。
る整列検出器に関するものである。
一般に、装置への半導体製品の供給方法として、複数個
の半導体製品が配列されているトレーを装置に搬入して
、そのトレー上から半導体製品を吸着ノズル等にて供給
する方法が用いられている。
の半導体製品が配列されているトレーを装置に搬入して
、そのトレー上から半導体製品を吸着ノズル等にて供給
する方法が用いられている。
従来、第3図に示すように、トレー19上の半導体製品
16 、17 、18の整列状態を発光器14及び受光
器15からなる反射型光学式検出器で検出していた。
16 、17 、18の整列状態を発光器14及び受光
器15からなる反射型光学式検出器で検出していた。
従って、上述した従来の検出器では、第3図(a)。
伽)のように半導体製品の有無は確実に検出できるが、
第3図(c)のように半導体製品17が裏返しになって
いる状態及び第3図(d)のように製品18が配列溝に
正常に配列されていない状態を確実に検出することは不
可能であるため、裏返しになった半導体製品または正常
に配列されていない半導体製品をそのままの状態でトレ
ー上から装置に供給してしまい、その結果半導体製品ま
たは装置自体を破損してしまうという欠点があった。
第3図(c)のように半導体製品17が裏返しになって
いる状態及び第3図(d)のように製品18が配列溝に
正常に配列されていない状態を確実に検出することは不
可能であるため、裏返しになった半導体製品または正常
に配列されていない半導体製品をそのままの状態でトレ
ー上から装置に供給してしまい、その結果半導体製品ま
たは装置自体を破損してしまうという欠点があった。
本発明の目的は上記欠点を解決し、トレー上に配列され
た半導体製品の有無状態、表裏状態、及び配列状態を確
実に検出することが可能な整列検出器を提供することに
ある。
た半導体製品の有無状態、表裏状態、及び配列状態を確
実に検出することが可能な整列検出器を提供することに
ある。
本発明はトレーの搬送路内に、該トレー上に配列された
半導体製品の上面に当接し該半導体製品の装着姿勢に応
じて上下の高さ位置が変化する検査棒を設置し、該検査
棒に設けた透過孔に相対して対をなす発光器及び受光器
を基準高さ位置に設置したことを特徴とする整列検出器
である。
半導体製品の上面に当接し該半導体製品の装着姿勢に応
じて上下の高さ位置が変化する検査棒を設置し、該検査
棒に設けた透過孔に相対して対をなす発光器及び受光器
を基準高さ位置に設置したことを特徴とする整列検出器
である。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の斜視図、第2図はその縦断
面図である。検査棒1はがイド2に沿ってトレー9上の
半導体製品の装着姿勢に応じて上下動し、トレー9の配
列溝に配列された半導体製品6によって上下の高さ位置
が決まる。検査棒工の側壁に直角に透過孔3を設け、該
透過孔3に相対して対をなす発光器4及び受光器5を基
準高さ位置に設置する。実施例において、第2図(、)
のように半導体製品6がトレー9の配列溝に正常に配列
されている場合のみ、1対の発光器4と受光器5との高
さ位置に透過孔3が位置し、発光器4からの光が透過孔
3を通して受光器5で検出される。
面図である。検査棒1はがイド2に沿ってトレー9上の
半導体製品の装着姿勢に応じて上下動し、トレー9の配
列溝に配列された半導体製品6によって上下の高さ位置
が決まる。検査棒工の側壁に直角に透過孔3を設け、該
透過孔3に相対して対をなす発光器4及び受光器5を基
準高さ位置に設置する。実施例において、第2図(、)
のように半導体製品6がトレー9の配列溝に正常に配列
されている場合のみ、1対の発光器4と受光器5との高
さ位置に透過孔3が位置し、発光器4からの光が透過孔
3を通して受光器5で検出される。
また、第2図(b)のように、半導体製品が無い場合、
第2図(c)のように製品7が裏返しになっている場合
、第2図(d)のように製品8がトレーの配列溝に正常
に配列されていない場合には、検査棒1の高さ位置は正
常な配列の場合の高さ位置に比較して上下に変化するた
め、各状態において発光器4と受光器5との高さ位置と
透過孔3との高さ位置が上下にずれ、発光器4からの光
が検査棒1にて遮断されるため、受光器5で検出されな
い。
第2図(c)のように製品7が裏返しになっている場合
、第2図(d)のように製品8がトレーの配列溝に正常
に配列されていない場合には、検査棒1の高さ位置は正
常な配列の場合の高さ位置に比較して上下に変化するた
め、各状態において発光器4と受光器5との高さ位置と
透過孔3との高さ位置が上下にずれ、発光器4からの光
が検査棒1にて遮断されるため、受光器5で検出されな
い。
したがって、発光器4からの光を受光器5によって受光
したか否かに基づき、トレー上に配列された半導体製品
の有無状態、表裏状態、配列状態を確実に検出すること
が可能になる。
したか否かに基づき、トレー上に配列された半導体製品
の有無状態、表裏状態、配列状態を確実に検出すること
が可能になる。
以上説明したように本発明によれば、トレー上に裏返し
になって配列された半導体製品および配列溝に正常に配
列されていない半導体製品を検出して、その半導体製品
を装置へ搬送する途中で排除することができ、半導体製
品および装置自体の破損を防ぎ、製品の歩留りおよび装
置の稼動率を向上させ、従って低価格化が可能になると
いう効果がある。
になって配列された半導体製品および配列溝に正常に配
列されていない半導体製品を検出して、その半導体製品
を装置へ搬送する途中で排除することができ、半導体製
品および装置自体の破損を防ぎ、製品の歩留りおよび装
置の稼動率を向上させ、従って低価格化が可能になると
いう効果がある。
第1図は本発明の整列検出器を示す斜視図、第2図(a
)〜(d)は検査状態を示す断面図、第3図(a)〜(
d)は従来の整列検出器による検査状態を示す縦断面図
である。 1・・・検査棒、2・・・ガイド、3・・・透過孔、4
・・・発光器、5・・・受光器。 ((2) (b) CC) (d) 第3図 <a> <b> (C) (d)
)〜(d)は検査状態を示す断面図、第3図(a)〜(
d)は従来の整列検出器による検査状態を示す縦断面図
である。 1・・・検査棒、2・・・ガイド、3・・・透過孔、4
・・・発光器、5・・・受光器。 ((2) (b) CC) (d) 第3図 <a> <b> (C) (d)
Claims (1)
- (1)トレーの搬送路内に、該トレー上に配列された半
導体製品の上面に当接し該半導体製品の装着姿勢に応じ
て上下の高さ位置が変化する検査棒を設置し、かつ該検
査棒に設けた透過孔に相対して対をなす発光器及び受光
器を基準高さ位置に設置したことを特徴とする整列検出
器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60033883A JPS61194800A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 整列検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60033883A JPS61194800A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 整列検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61194800A true JPS61194800A (ja) | 1986-08-29 |
Family
ID=12398919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60033883A Pending JPS61194800A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 整列検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61194800A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04159748A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-02 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の表裏判定方法 |
JPH0536799A (ja) * | 1991-08-01 | 1993-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の搬送装置 |
US9714658B2 (en) | 2011-08-05 | 2017-07-25 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Centrifugal compressor |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP60033883A patent/JPS61194800A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04159748A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-02 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の表裏判定方法 |
JPH0536799A (ja) * | 1991-08-01 | 1993-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の搬送装置 |
US9714658B2 (en) | 2011-08-05 | 2017-07-25 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Centrifugal compressor |
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