JPS61189431A - 無反射膜の評価方法 - Google Patents
無反射膜の評価方法Info
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- JPS61189431A JPS61189431A JP60029279A JP2927985A JPS61189431A JP S61189431 A JPS61189431 A JP S61189431A JP 60029279 A JP60029279 A JP 60029279A JP 2927985 A JP2927985 A JP 2927985A JP S61189431 A JPS61189431 A JP S61189431A
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- JP
- Japan
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- transmission band
- transmittance
- film
- transmission characteristics
- wavelength side
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔１既 要〕
無反射膜の透過特性の評価は、透過率測定の精度の限界
付近において行なわれるため困難が伴なうが、設計透過
帯より短波長側にあらわれる透過率の極小値を評価する
ことによって無反射膜の透過特性を高精度に評価するこ
とが可能である。
付近において行なわれるため困難が伴なうが、設計透過
帯より短波長側にあらわれる透過率の極小値を評価する
ことによって無反射膜の透過特性を高精度に評価するこ
とが可能である。
本発明は無反射膜の評価方法、特に透過特性の評価を精
度良く行なう方法に係る。
度良く行なう方法に係る。
無反射膜あるいは反射防止膜は光学系において広く利用
されている。
されている。
第３図に無反射膜の例を示すが、ガラス基体１上に順に
ＴｉＯ□膜２．ＳｉＯ□膜３．ＴｉＯ２膜４および５ｉ
Ｏｔ膜５が形成されている。。ＴｉＯ２はガラスより屈
折率が太き（、Ｓｉｎｇは小さい。このような無反射膜
の透過特性１としては９９％、さらには９９．５％以上
であることが要求されることは屡々である。
ＴｉＯ□膜２．ＳｉＯ□膜３．ＴｉＯ２膜４および５ｉ
Ｏｔ膜５が形成されている。。ＴｉＯ２はガラスより屈
折率が太き（、Ｓｉｎｇは小さい。このような無反射膜
の透過特性１としては９９％、さらには９９．５％以上
であることが要求されることは屡々である。
ところで、無圧、射膜の透過特性を評価する場合、第４
図に示す如（、光源１０からの光を光ファイバ１１を介
して被測定対象（この場合、無反射膜をコーティングし
たガラス）１２に当て、これを透過した光を光ファイバ
１３を介してセンサ１４で受けてパワーメータ１５で光
強度を測定し記録する。光透過率を求めるには、光ファ
イバ１１゜１３の間に被測定対象１２を置かずに測定し
た光強度を１００として、被測定対象１２を光ファイバ
１１．１３の間に置いた場合の光強度と比較することに
よって求めることができる。光源１０はモノクロメータ
を通すことにより波長可変であり、連続の波長帯域で透
過率を測定することができる。
図に示す如（、光源１０からの光を光ファイバ１１を介
して被測定対象（この場合、無反射膜をコーティングし
たガラス）１２に当て、これを透過した光を光ファイバ
１３を介してセンサ１４で受けてパワーメータ１５で光
強度を測定し記録する。光透過率を求めるには、光ファ
イバ１１゜１３の間に被測定対象１２を置かずに測定し
た光強度を１００として、被測定対象１２を光ファイバ
１１．１３の間に置いた場合の光強度と比較することに
よって求めることができる。光源１０はモノクロメータ
を通すことにより波長可変であり、連続の波長帯域で透
過率を測定することができる。
しかしながら、このような光透過率の測定方法では上記
のように９９％以上、あるいは９９．５％以上の透過特
性が満たされているかどうかを評価するためには、測定
精度が必ずしも高（ないという問題があった。特に、透
過特性は無反射膜の膜厚の精度に依存するが、上記のよ
うに高い透過特性を実現するような膜厚の制御は必ずし
も容易ではないので、透過特性を高精度で評価し、所望
の透過特性を満足しているか否か評価する必要がある。
のように９９％以上、あるいは９９．５％以上の透過特
性が満たされているかどうかを評価するためには、測定
精度が必ずしも高（ないという問題があった。特に、透
過特性は無反射膜の膜厚の精度に依存するが、上記のよ
うに高い透過特性を実現するような膜厚の制御は必ずし
も容易ではないので、透過特性を高精度で評価し、所望
の透過特性を満足しているか否か評価する必要がある。
本発明者は、無反射膜の透過帯における透過特性は、透
過帯より短波長側に存在する透過率の極小値の変化に増
幅された形であられれることを見い出した。第１図に示
すように、無反射膜の透過特性は、透過帯の短波長側に
極値を有する曲線となる。そこで、本発明は、上記の如
き問題点を解決するために、所望の透過帯より短波長側
にあらわれる透過率の極小値により透過帯における透過
特性を評価する。
過帯より短波長側に存在する透過率の極小値の変化に増
幅された形であられれることを見い出した。第１図に示
すように、無反射膜の透過特性は、透過帯の短波長側に
極値を有する曲線となる。そこで、本発明は、上記の如
き問題点を解決するために、所望の透過帯より短波長側
にあらわれる透過率の極小値により透過帯における透過
特性を評価する。
つまり、無反射膜の透過帯における透過特性が短波長側
では増幅された形となるため、極小値の透過率を評価す
ることによって、高精度に透過帯における透過特性を評
価することが可能になる。
では増幅された形となるため、極小値の透過率を評価す
ることによって、高精度に透過帯における透過特性を評
価することが可能になる。
〔実施例〕 ゛
再び第３図を参照して説明する。ガラス、ＴｔＯｚ＋Ｓ
ｉＯ□の屈折率はそれぞれ１．’５１． ２．３． １
．４６であり、無反射膜はガラスより屈折率が大−小一
大一小の膜で構成されている。
ｉＯ□の屈折率はそれぞれ１．’５１． ２．３． １
．４６であり、無反射膜はガラスより屈折率が大−小一
大一小の膜で構成されている。
これらの膜２〜５はガラス基板（ＢＫ−７，厚さ０．５
〜１ｍｍ）１の表面を研磨および洗浄した後、イオンブ
レーティング法で連続的に堆積して形成することができ
る。しかし、イオンブレーティング法を用いても、膜厚
が薄い場合には膜厚の精度が必ずしも充分でない場合が
あり、無反射膜特性を劣化させる原因になっている。
〜１ｍｍ）１の表面を研磨および洗浄した後、イオンブ
レーティング法で連続的に堆積して形成することができ
る。しかし、イオンブレーティング法を用いても、膜厚
が薄い場合には膜厚の精度が必ずしも充分でない場合が
あり、無反射膜特性を劣化させる原因になっている。
第１図に、上記の如き設計および作製法で得られた無反
射膜の透過特性を示す。曲線ａ （実線）は最良の無反
射膜、曲線ｂ（破線）１曲線ｃ （一点鎖線）および曲
線ｄ（二点鎖線）は透過率特性が劣化した無反射膜であ
る。最良の膜（ａ）とその他の膜（ｂ、ｃ、ｄ ）の間
には透過帯透過率の差は最大で２％しかないが、短波長
側に最初にあらわれる透過率極小値の差は１４％である
。透過率測定の分解能および誤差の点から２％程度の差
を正確に検出するのは難しいが、１４％程度の検出は容
易である。
射膜の透過特性を示す。曲線ａ （実線）は最良の無反
射膜、曲線ｂ（破線）１曲線ｃ （一点鎖線）および曲
線ｄ（二点鎖線）は透過率特性が劣化した無反射膜であ
る。最良の膜（ａ）とその他の膜（ｂ、ｃ、ｄ ）の間
には透過帯透過率の差は最大で２％しかないが、短波長
側に最初にあらわれる透過率極小値の差は１４％である
。透過率測定の分解能および誤差の点から２％程度の差
を正確に検出するのは難しいが、１４％程度の検出は容
易である。
第２図は、透過帯における透過率の低下と短波長側にあ
らわれる透過率極小値との関係をあられしたものであり
、これら２つの量の間に一定の規則的関係があることが
わかる。従って、透過帯より短波長側にあらわれる透過
率極小値を評価することによって、無反射膜の透過帯の
特性を精度良く評価することができる。
らわれる透過率極小値との関係をあられしたものであり
、これら２つの量の間に一定の規則的関係があることが
わかる。従って、透過帯より短波長側にあらわれる透過
率極小値を評価することによって、無反射膜の透過帯の
特性を精度良く評価することができる。
第２図において、無反射膜の透過率の許容範囲を９９．
５〜１００％の間とすると、これに対応する透過率極小
値の範囲は６７．５％ ＋４．０％すなわ−３，５％ ちその幅は７．５％であり、特性評価の精度が向上する
ことがわかる。
５〜１００％の間とすると、これに対応する透過率極小
値の範囲は６７．５％ ＋４．０％すなわ−３，５％ ちその幅は７．５％であり、特性評価の精度が向上する
ことがわかる。
本発明により、無反射膜の透過帯における透過特性を精
度良く評価することが可能になる。
度良く評価することが可能になる。
第１図は無反射膜の透過特性を表わすグラフ図、第２図
は透過帯における透過特性と短波長側極小透過率値との
関係を表わすグラフ図、第３図は無反射膜の断面図、第
４図は透過率測定方法を説明する図である。 ａ・・・最良の透過特性、 ｂ、 ｃ、 ｄ・・・劣化した透過特性、１・・・ガラ
ス、 ２．４・・・ＴｉＯ□膜、 ３．５・・・５ｉＯｚ膜。
は透過帯における透過特性と短波長側極小透過率値との
関係を表わすグラフ図、第３図は無反射膜の断面図、第
４図は透過率測定方法を説明する図である。 ａ・・・最良の透過特性、 ｂ、 ｃ、 ｄ・・・劣化した透過特性、１・・・ガラ
ス、 ２．４・・・ＴｉＯ□膜、 ３．５・・・５ｉＯｚ膜。
Claims (1)
- １、透明硬質基体表面に形成した無反射膜の設計波長を
中心とする透過帯における透過特性を評価するに当って
、該透過帯より短波長側の該透過帯に最も近い波長にあ
らわれる透過率の極小値により、透過帯における透過特
性を評価する無反射膜の評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029279A JPS61189431A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 無反射膜の評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029279A JPS61189431A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 無反射膜の評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61189431A true JPS61189431A (ja) | 1986-08-23 |
Family
ID=12271827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60029279A Pending JPS61189431A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 無反射膜の評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61189431A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989009420A1 (en) * | 1988-03-22 | 1989-10-05 | Fujitsu Limited | Method of connecting optical waveguide with optical fiber |
| JPH05107402A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-30 | Hoya Corp | 反射防止膜を有する光学部材 |
| JPH05295872A (ja) * | 1992-04-16 | 1993-11-09 | Tostem Sera Kk | 乾式目地装置 |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP60029279A patent/JPS61189431A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989009420A1 (en) * | 1988-03-22 | 1989-10-05 | Fujitsu Limited | Method of connecting optical waveguide with optical fiber |
| JPH05107402A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-30 | Hoya Corp | 反射防止膜を有する光学部材 |
| JPH05295872A (ja) * | 1992-04-16 | 1993-11-09 | Tostem Sera Kk | 乾式目地装置 |
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