JPS61178741A - Bubble mode information recording medium and its production - Google Patents
Bubble mode information recording medium and its productionInfo
- Publication number
- JPS61178741A JPS61178741A JP60018689A JP1868985A JPS61178741A JP S61178741 A JPS61178741 A JP S61178741A JP 60018689 A JP60018689 A JP 60018689A JP 1868985 A JP1868985 A JP 1868985A JP S61178741 A JPS61178741 A JP S61178741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- recording medium
- metal
- information recording
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、〜光学的に記録・再生が可能な情報記録媒体
に係り、特にレーザビームの照射ｌこよりピットと称さ
れる孔部を形成することなく、バブルと称される***変
形部所謂凸部を形成して記録・再生を行なう情報記録媒
体に関する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an information recording medium that can be optically recorded and reproduced, and in particular, forms holes called pits by irradiation with a laser beam. The present invention relates to an information recording medium in which recording and reproduction are performed by forming protruding deformation parts called bubbles, so-called convex parts.
基板上に形成された薄膜に記録膜べき情報に対応させた
パルス変調レーザビームを照射して、局部的に加熱して
孔部を形成する記録媒体は公知である。この孔部はピッ
トと呼ばれる。しかるにピットを形成する記録媒体の場
合、形成したピット周辺に薄膜材料の肉盛り（リムと称
される）が残ることは避けられない。また、リム形状は
必ずしも一様なものです＜、薄膜材料が不均一に凝固し
て小球状に付着したリムの形成されることも良く知られ
ている。かかるリムの形成は、続出し信号のＣ−ＮＲ劣
化の主要原因となる。A recording medium is known in which a thin film formed on a substrate is irradiated with a pulse modulated laser beam corresponding to information to be recorded on the substrate to locally heat it and form holes. This hole is called a pit. However, in the case of a recording medium in which pits are formed, it is inevitable that a build-up of thin film material (referred to as a rim) remains around the formed pits. Furthermore, although the rim shape is not necessarily uniform, it is well known that the thin film material solidifies non-uniformly, resulting in the formation of rims that adhere in the form of small spheres. The formation of such a rim is a major cause of C-NR degradation of successive signals.
そこで、ピットを形成下ることなく、薄膜に凸部を形成
させる記録媒体が幾つか提案されている。Therefore, several recording media have been proposed in which convex portions are formed in a thin film without forming pits.
例えば特開昭５６−６５３４１号公報、特開昭５６−１
２７９３７号公報である。これらはバブルモード記録媒
体と呼ばれる。For example, JP-A-56-65341, JP-A-56-1
This is Publication No. 27937. These are called bubble mode recording media.
特開昭５６−１２７９３７号公報に２いては、上記ピッ
トを形成する記録媒体の欠点は改善されているものの、
以下のような欠点がある。即ち、基板上に有機中間層、
金属質光吸収層を順に形成した記録媒体であって、金属
質光吸収層の局部加熱により間接的に透明有機中間層を
加熱し、有機中間層から発生するガスにより金属質光吸
収層を***・変形させバブルを形成するために、光利用
効率が著しく劣り、記録に大きいエネルギーを必要とす
る点である。JP-A No. 56-127937 discloses that although the drawbacks of the recording medium in which pits are formed are improved,
It has the following drawbacks. That is, an organic intermediate layer on the substrate,
A recording medium in which metallic light-absorbing layers are sequentially formed, in which the transparent organic intermediate layer is indirectly heated by local heating of the metallic light-absorbing layer, and the metallic light-absorbing layer is raised by gas generated from the organic intermediate layer. - The light utilization efficiency is extremely poor due to the deformation and formation of bubbles, and a large amount of energy is required for recording.
特開昭５６−６５３４１号公報として提案されている記
録媒体は、以下のような欠点がある。即ち、基板上に金
鴫質光反射響、光透過層、金属質光吸収層の順に形成し
た記録媒体であって、表面の光吸収１の局部加熱により
、特開昭５６−１２７９３７号公報と同じく光透過層を
間接的に加熱し、光透過層から発生するガスで表面の光
吸収層を***、変形させバブルを形成させることを特徴
としている。The recording medium proposed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 56-65341 has the following drawbacks. That is, it is a recording medium in which a gold-based light-reflecting layer, a light-transmitting layer, and a metallic light-absorbing layer are formed in this order on a substrate. Similarly, the light-transmitting layer is heated indirectly, and the gas generated from the light-transmitting layer bulges and deforms the light-absorbing layer on the surface to form bubbles.
特開昭５６−１２７９３７号公報に開示されている技術
との違いは、基板上に光反射層が形成されているために
光の利用効率が高いことである。しかし、かかる記録媒
体は３１１ｍ造であるために製造工程が著しく複雑化す
るという重大な欠点がある。工程の複雑化は、製造工程
数の増加、各工程に３ける歩留り低下により製造コスト
の上昇が避けられないからである。さらに、実際に記録
感度を向上させるためには、光透過鳴、光吸収層の厚さ
を、それぞれの薄膜の屈折率、使用するレーザビームの
波長に応じ、光の利用効率が最大になるよう厳密に所定
のものに制御する必要がある。この要請も記録媒体製造
を困難にする要因である。The difference from the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-127937 is that a light reflecting layer is formed on the substrate, so that the efficiency of light utilization is high. However, since such a recording medium is made of 311 m, it has a serious drawback in that the manufacturing process is significantly complicated. This is because the complexity of the process inevitably increases the manufacturing cost due to an increase in the number of manufacturing processes and a decrease in yield in each process. Furthermore, in order to actually improve recording sensitivity, the thickness of the light transmission layer and light absorption layer must be adjusted to maximize the light utilization efficiency according to the refractive index of each thin film and the wavelength of the laser beam used. It is necessary to strictly control it to a predetermined value. This requirement is also a factor that makes it difficult to manufacture recording media.
光吸収性とガス放出性とを同時に具備した薄膜を用いて
、上記従来技術の複雑さを改善した提案は、特開昭！５
８−１５８０３６号公報、特開昭５８−１５８０５２号
会報として本発明者により開示されている。JP-A-Sho proposed a method that improved the complexity of the conventional technology by using a thin film that had both light absorption and gas release properties. 5
The invention was disclosed by the present inventor as Publication No. 8-158036 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 158052/1983.
本発明の目的は、記録膜が単層と云う、より単純な構成
でありながら、より秀れた記録・再生特性を示すバブル
モード記録媒体及びその製造方法を提供することにある
。An object of the present invention is to provide a bubble mode recording medium that has a simpler structure in which the recording film is a single layer and yet exhibits superior recording and reproducing characteristics, and a method for manufacturing the same.
本発明のバブルモード情報記録媒体は、基板上に形成さ
れた記鍮膜として金属窒化物マトリクス中に金鵬微粒子
及び有機物を分散させたものを用いる。The bubble mode information recording medium of the present invention uses a metal nitride matrix in which metal nitride particles and organic matter are dispersed as a recording film formed on a substrate.
本発明のバブルモード情報記録媒体の製造方法は、前記
金１１！窒化物マトリクスの形成、これに分散する金嬌
微粒子の形成及び有機物の形成をプラ・ズマを利用して
同時に行なうことを特徴としている。The method for manufacturing a bubble mode information recording medium of the present invention includes the gold 11! It is characterized in that the formation of a nitride matrix, the formation of metal particles dispersed therein, and the formation of organic matter are performed simultaneously using plasma.
本発明の記録媒体は、有機物・酸化物よりも熱的・化学
的に安定な金属窒化物マトリクス中にレーザビーム吸収
機能を有する金属微粒子、金属微粒子の吸収熱により加
熱されガス圧力発生機能を有する有機物が分散されてい
るため以下の効果がある。The recording medium of the present invention has metal fine particles that have a laser beam absorption function in a metal nitride matrix that is thermally and chemically more stable than organic substances and oxides, and has a gas pressure generation function that is heated by the absorbed heat of the metal fine particles. Because organic matter is dispersed, it has the following effects.
■金属微粒子の含有量を制御することによりレーザビー
ム吸収率の制御ができる。従って吸収率を向上させた記
録感度の高い媒体が得られる。■Laser beam absorption rate can be controlled by controlling the content of metal fine particles. Therefore, a medium with improved absorption rate and high recording sensitivity can be obtained.
■有機物の含有量を制御することによりレーザビーム照
射により発生するガス圧力、即ち発生ガスの総量を制御
することができる。従って、有機物量を適正化すること
により、ピットの形成されることのないよう照射ビーム
のエネルギーを厳密に制御する工程が不必要となり、常
に安定してバブルを形成することができる。(2) By controlling the content of organic matter, it is possible to control the gas pressure generated by laser beam irradiation, that is, the total amount of gas generated. Therefore, by optimizing the amount of organic matter, the step of strictly controlling the energy of the irradiation beam to prevent the formation of pits becomes unnecessary, and bubbles can always be formed stably.
■金属窒化物マ） ＩＪクスは、熱的に安定であるため
、ビーム照射により発生したガス圧力で孔部の形成等不
規則な破壊を受けることなく清ら力）な形状に***変形
できる。即ち、ＣＮＲの高い記録ができる。■Metal nitride matrix is thermally stable, so it can be deformed into an uplifted shape by the gas pressure generated by beam irradiation without suffering irregular destruction such as the formation of holes. That is, recording with high CNR is possible.
■金礪窒化物マトリクスは、金属酸化物のような加熱に
よる酸化状態変化を生ずるなど変質の恐れが殆んどす＜
、従って、再現性の高い記録がでる。また、化学的に安
定であるから分散する金属微粒子の酸化反応進行に対す
る抑制剤として作用する。従って、保管寿命の長い記録
媒体を得ることができる。■ Unlike metal oxides, gold nitride matrix has almost no risk of deterioration due to changes in oxidation state due to heating.
, Therefore, records with high reproducibility can be obtained. Furthermore, since it is chemically stable, it acts as an inhibitor against the progress of the oxidation reaction of the dispersed metal fine particles. Therefore, a recording medium with a long shelf life can be obtained.
本発明の記録媒体の製造方法によれば、プラズマを利用
して金属４化物マ） ＩＪクスの形成、これに分散する
金属微粒子の形成及び有機物の形成を同時ｔこ行なうた
め以下の効果がある。According to the method for manufacturing a recording medium of the present invention, the formation of a metal quaternide matrix, the formation of metal fine particles dispersed therein, and the formation of an organic substance are simultaneously performed using plasma, so that the following effects can be obtained. .
■記録膜の形成が一工程に単純化される。従りて、安価
な記録媒体が得られる。■ Formation of the recording film is simplified to one step. Therefore, an inexpensive recording medium can be obtained.
■金属微粒子及び有機物を著しく均−ｌこかつ極めて微
細な形態で金属窒化物マトリクス中に分散させることが
できる。従りて、記録の分解能が高く、高密度記録がで
きる。(2) Fine metal particles and organic substances can be dispersed in a metal nitride matrix extremely uniformly and in an extremely fine form. Therefore, recording resolution is high and high density recording is possible.
次に本発明の実施例を図面を参照して説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は、本発明情報配録媒体１０の配録後における断
面を示す模式図である。ｇ１図中１１は、金属窒化物マ
トリクス中に金属微粒子及び有機物を含有した記録膜で
ある。前記記録１に、１１は、基板１３上にプラズマを
利用して一工程で形成されたものである。記録膜１１上
には、記録用レーザビームの照射によりバブル１２が形
成されている。FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross section of the information recording medium 10 of the present invention after recording. 11 in the g1 diagram is a recording film containing fine metal particles and organic matter in a metal nitride matrix. In the record 1, 11 is formed on the substrate 13 in one step using plasma. A bubble 12 is formed on the recording film 11 by irradiation with a recording laser beam.
再生は、記録用に比べて強度的に１１５〜１／１０のレ
ーダビームを照射して行なう。バブルの形成された部分
は「照射された再生ビームがバブル形状に対応して回折
されるため、バブルの形相されていない平坦部と比較し
て反射光もしくは透過光強度が著しく異なる。従って、
この反射光もしくは透過光強度を光検出器で検出すれば
ＣＮＲの良好な再生を行なうことができる。Reproduction is performed by irradiating a radar beam with an intensity of 115 to 1/10 compared to that for recording. In the area where bubbles are formed, the irradiated reproduction beam is diffracted in accordance with the shape of the bubble, so the intensity of reflected or transmitted light is significantly different compared to a flat area without a bubble shape.Therefore,
If the intensity of this reflected light or transmitted light is detected by a photodetector, good reproduction of CNR can be performed.
基板１３として用いられるものはガラス、鳩いはアクリ
ル、ポリカーボネイトなどの有機樹脂である。また、情
報記＃装置の要請があれば、ＡＪｒｌど金８基板も用い
ることができる。The material used as the substrate 13 is glass, organic resin such as acrylic, or polycarbonate. Further, if the information recording device requires it, a gold 8 substrate such as AJrl can also be used.
記録＠１１Ｊこ用いられる金属窒化物としては。Record @ 11J The metal nitrides used are:
記録媒体の長寿命化を計る観点から大気中ｌこ保管され
た場合、大気中の水分等に対して安定な金属窒化物なら
いかなるものも使用可能である。具体的には、以下のも
のが適切である。ＢＮ、ＡＪＩＮ。From the viewpoint of prolonging the life of the recording medium, any metal nitride that is stable against moisture in the atmosphere when stored in the atmosphere can be used. Specifically, the following are appropriate: BN, AJIN.
Ｇ ａ Ｎ ＊ Ｉ ｎ Ｎ Ａど第ｍｓ金属の窒化物
、Ｓｉ、Ｎ４゜Ｇｅ５Ｎ、 などｇｙａ金属の窒化物
、およびＴｉＮ。Nitride of ms metal such as G a N * I n N A, nitride of gya metal such as Si, N4°Ge5N, and TiN.
ＺｒＮ、ＨｆＮ、ＶＮ、ＮｂＮ、ＴａＮ、ＣｒＮ ｒｚ
ど遷移金属のＭＮ型窒化物である・
上記金ｇ窒化物マトリクスに分散させる金属微粒子とし
ては、金属窒化物と同様に、記録媒体の長寿命化を計る
ため大気中に２いて著しく活性ｔものでなければいかな
る金属も使用可能である。ZrN, HfN, VN, NbN, TaN, CrN rz
MN-type nitride of a transition metal.Similar to metal nitride, the metal fine particles dispersed in the gold-g nitride matrix are MN-type nitrides of transition metals. Otherwise, any metal can be used.
な２、本発明の如く微粒子の形態で金属窒化物マトリク
ス中の分散させる場合、連続薄膜状態に２いて光吸収率
の小さい金属も使用可能になる。具体的には、第１ｂの
Ｃｕ ＊ ＡＮ 、 Ａｕ ｅ第］ＩｂのＺｎ、第１［
ａのＹおよびＬｘ、Ｃｅ等の希土類金属、第ｍｂのＡｊ
、Ｇａ、Ｉｎ、第ｙｂの８ｉ、Ｇｅ、８ｎ、第■ｂのｓ
ｂ。2. When dispersing the metal in the form of fine particles in a metal nitride matrix as in the present invention, it becomes possible to use metals that are in the form of a continuous thin film and have a low light absorption rate. Specifically, Cu*AN of the 1st b, Zn of the Au eth] Ib, and the Zn of the 1st [
Y and Lx in a, rare earth metals such as Ce, Aj in mb
, Ga, In, 8i of yb, Ge, 8n, s of th b
b.
Ｂｉ、第■の８ｅ、Ｔｅ、遷移金属のＴ ｉ 、 Ｖ、
Ｃｒ ・、Ｍｎ 、Ｆｅ。Bi, No. 8e, Te, transition metal T i , V,
Cr., Mn, Fe.
Ｃｏ、Ｎｉ 、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ等である。These include Co, Ni, Zr, Nb, Mo, etc.
上記金属窒化物マトリクスに分散させる有機物としては
、記録用レーザビームの照射によりガス圧力を発生しつ
る特性及びプラズマ中に存在しつる特性を有していれば
、いかなるものも使用可能である。有機化合物は、一般
にプラズマ中ｆこ導入された場合、重合する特性がある
。従って、金属４化物マ） ＩＪクス中ｌζ分教する本
発明の有機物は重合体と見なすことができる。そこで本
発明記録媒体中に分散している有機物としては、有機化
合物からなる単を体をプラズマ中へ導入して重合させた
ものが適当である。またあらかじめ大金させた有＠物を
プラズマのスバタリング作用でプラズマ中の飛散させた
ものの使用も有効である。単敵体として部用可能な化合
物は、ＣＨ，、Ｃ，Ｈ，、Ｃ，Ｈ。As the organic substance to be dispersed in the metal nitride matrix, any organic substance can be used as long as it has the property of generating gas pressure when irradiated with a recording laser beam and the property of being present in plasma. Organic compounds generally have the property of polymerizing when introduced into plasma. Therefore, the organic substance of the present invention, which is a metal tetrahide compound, can be regarded as a polymer. Therefore, as the organic substance dispersed in the recording medium of the present invention, it is appropriate to use a monomer of an organic compound introduced into plasma and polymerized. It is also effective to use a large amount of material that has been made in advance and scattered in the plasma by the plasma's sputtering action. Compounds that can be used as single enemies are CH, C, H, C, H.
などのパラフィン化合物、 Ｃ１Ｈ，ｒｌどのオレフィ
ン化合物、ベンゼン等の芳香族、（Ｓ ｉ （ＣＨｓ）
ｓ）ｔ。paraffin compounds such as C1H, rl, aromatic compounds such as benzene, (S i (CHs)
s)t.
などの含窒素化合物、アミンニトリルなどの含窒素化合
物である。一方、重合体から出発する方法にはテフロン
、ナイロン、ポリカーボネイト、塩化ビニール、エポキ
シ等を用いることができる。and amine nitriles. On the other hand, in the method starting from a polymer, Teflon, nylon, polycarbonate, vinyl chloride, epoxy, etc. can be used.
次Ｉこ、本発明の情報記録媒体の製造方法の一例を第２
図を用いて説明する。第２図中２１は真空容器、２２は
ガス導入口、２３は真空ポンプに接続された排気口、２
４はターゲットの接続された電極、２５は基板の設置さ
れた対向電極、２６は高周波電力を印加するための端子
である。情報記録媒体の製造に際しては、例えば第３図
に示したようなターゲット３０を使用する。第３図中３
１は８ｉ、Ｎ、などの金属窒化物ターゲットであり、３
２はテフロンなどの樹脂からなるペレット、３３はＣｕ
ｑどの一金属ペレットであり、３４はバッキングプレー
トである。樹脂ペレット３２及び金属ペレット３３の数
鎗は、金属窒化物マトリクスに対する有機物及び金属微
粒子の占めるべき割合に応じて定める。Next, a second example of the method for manufacturing the information recording medium of the present invention will be described.
This will be explained using figures. In Figure 2, 21 is a vacuum container, 22 is a gas inlet, 23 is an exhaust port connected to a vacuum pump, 2
4 is an electrode connected to the target, 25 is a counter electrode provided with a substrate, and 26 is a terminal for applying high frequency power. When manufacturing information recording media, for example, a target 30 as shown in FIG. 3 is used. 3 in Figure 3
1 is a metal nitride target such as 8i, N, etc., and 3
2 is a pellet made of resin such as Teflon, 33 is Cu
q is a metal pellet, and 34 is a backing plate. The number of resin pellets 32 and metal pellets 33 is determined depending on the ratio of organic matter and metal fine particles to the metal nitride matrix.
記録膜の形成は、以下のようにして行なう。真空容器２
１を１０−’ Ｔｏｒｒ程度迄排気後、ガス導入口２２
よりＡｒ等の希ガスを１０−” 〜１０−意Ｔｏｒｒ。The recording film is formed as follows. Vacuum container 2
After exhausting 1 to about 10-' Torr, gas inlet 22
A rare gas such as Ar is heated to a temperature of 10 to 10 Torr.
例えばｌ Ｘ １０−”Ｔｏｒｒになるよう導入する。For example, it is introduced so that it becomes l×10-” Torr.
次いで、導入端子２６を介して、８３図３０４こ示した
構成の第２図２４のターゲットへ高周波電力（１３５６
ＭＨ１）を印加し、プラズマを発生させる。この工程に
より対向電極２５に設置された基板上には、金属窒化物
マドＩＪクス中に金岡微粒子及び有機物の分散した記録
膜が堆積する。なお、本工程の間、基板は逸常用いられ
る方法により回転させて２くことが望ましい。記録膜の
均一性が向上するからである。Next, high frequency power (1356
MH1) is applied to generate plasma. Through this step, a recording film in which Kanaoka fine particles and organic matter are dispersed in a metal nitride matrix IJ film is deposited on the substrate placed on the counter electrode 25. Note that during this step, it is desirable to rotate the substrate by a commonly used method. This is because the uniformity of the recording film is improved.
本発明の情報記録媒体の製造方法の他の一列を＄２図を
用いて説明する。本実施例の場合、第２図中４に示した
ターゲットは第４図４０に示した如きものを使用する。Another method of manufacturing an information recording medium according to the present invention will be explained using a $2 diagram. In the case of this embodiment, the target shown at 4 in FIG. 2 is as shown in FIG. 4, 40.
第４図中３１は、ＴｉＮなどの金属窒化物ターゲットで
あり、３３はＴ ｅ ｆ、ｇどの金属ペレットである。In FIG. 4, 31 is a metal nitride target such as TiN, and 33 is a metal pellet such as T e f or g.
金属ペレット３３の数置は前記製造方法の第−例と同様
Ｉこ金属窒化物マトリクスに対する金属微粒子の占める
べき割合に応して定められる。The number of metal pellets 33 is determined in accordance with the ratio of metal fine particles to the metal nitride matrix, as in the first example of the manufacturing method.
記録膜の形成にあたっては、以下のように行なう。真空
容器２１を排気後、ガス導入口２２よりＣＨ，などの単
量体ガスとＡｒｆｔどの希ガスとの混合ガスを導入する
。次いで、高周波電力を印加してプラズマを発生させる
と、基板上に金属窒化物マトリクス中に金属微粒子及び
率を体ガスの重合物の均一に分散した記録膜が堆積し、
記録媒体が得られる。The recording film is formed as follows. After evacuating the vacuum container 21, a mixed gas of a monomer gas such as CH and a rare gas such as Arft is introduced from the gas inlet 22. Next, when high-frequency power is applied to generate plasma, a recording film is deposited on the substrate in which fine metal particles and a polymer of body gas are uniformly dispersed in a metal nitride matrix.
A recording medium is obtained.
以上二側の方法で得られる記録媒体は、金属微粒子の含
有量により元吸収率を制御することが可能で、具体的に
は５〜９０％の範囲の任意の値を選ぶことができ゛る。In the recording medium obtained by the above two methods, the original absorption rate can be controlled by the content of metal fine particles, and specifically, any value in the range of 5 to 90% can be selected.
本発明の情報記録媒体の場合、吸収率８増加させると、
反射率の低下する傾向が認められた。記録・再生は反射
光を利用することが情報記録媒体の構成上望ましいので
、吸収率は反射率として５０％程度の値の得られる４０
％前後の値に設定する必要がある。この目的には金属微
粒子の金属窒化物マトリクスに対する割合は。In the case of the information recording medium of the present invention, when the absorption rate is increased by 8,
A tendency for the reflectance to decrease was observed. Since it is desirable for the structure of the information recording medium to use reflected light for recording and reproduction, the absorption coefficient is 40%, which gives a value of about 50% as the reflectance.
It is necessary to set it to a value around %. For this purpose, the ratio of metal microparticles to metal nitride matrix is
体積として１０チ〜７０チに設定することが望ましい。It is desirable to set the volume to 10 to 70 inches.
本発明情報記録媒体の場合、形成されるバブルの形状は
含有する有機物量に依存する。有機物量が少なく、発生
するガス圧力が過少の場合、再生光に対して充分大きい
光学濃度変化を与える。即ち、ＣＮＲの大きい再生信号
の得ら・れるバブルが形成されない。逆に有機物量が過
大の場合、ガス圧力によりバブルが破壊されるため、良
好なＣＮＦＬは得られない。有機物量は、金属窒化物マ
） ＩＪクスの体積を越えることなく、少くとも金属窒
化物マトリクスに対して５％以以上型れていることが必
要である。In the case of the information recording medium of the present invention, the shape of the bubbles formed depends on the amount of organic matter contained. When the amount of organic matter is small and the gas pressure generated is too low, a sufficiently large change in optical density is given to the reproduction light. That is, no bubble is formed that would result in a reproduced signal with a large CNR. On the other hand, if the amount of organic matter is too large, bubbles will be destroyed by the gas pressure, making it impossible to obtain good CNFL. The amount of organic matter must not exceed the volume of the metal nitride matrix and must be at least 5% or more relative to the metal nitride matrix.
また、金属微粒子の粒径は小さいことが望ましい。分解
能が高く、従りて、高密度記録が可能ｔこなるからであ
る。使用されるレーザビーム径が１〜２μｍであるから
、金属微粒子の粒径はビーム径の１７１０以下の１１０
０ｎ以下が適当である。本発明のＷ遣方法の場合、基板
上に飛来するのは、金属原子、金属窒化物分子、有機分
子である。金属原子は金属窒化物及び有機分子の飛来す
る過程において粒成長することを余儀なくされるため、
金属微粒子の粒径を１０Ｑｎｍ以下に制御することは極
めて容易である。Further, it is desirable that the particle size of the metal fine particles be small. This is because the resolution is high and therefore high-density recording is possible. Since the diameter of the laser beam used is 1 to 2 μm, the particle diameter of the metal fine particles is 110 μm, which is less than the beam diameter of 1710 μm.
A value of 0n or less is appropriate. In the case of the W application method of the present invention, what flies onto the substrate are metal atoms, metal nitride molecules, and organic molecules. Metal atoms are forced to grow grains in the process of flying metal nitrides and organic molecules;
It is extremely easy to control the particle size of the metal fine particles to 10Q nm or less.
記録膜の膜厚は、記轍感度を低下させないためには４０
０ｎｍ以下、より望ましくは３００ｎｍが適当であり、
記録膜の島状堆積ｌこ伴なう分解能低下を避けるために
は５ ｎｍ 以上が適切である。The thickness of the recording film should be 40 mm in order not to reduce the recording sensitivity.
0 nm or less, more preferably 300 nm,
In order to avoid the deterioration in resolution caused by island-like deposition of the recording film, a thickness of 5 nm or more is appropriate.
本発明のより具体的な実施例を以下に説明する。More specific examples of the present invention will be described below.
〔実施例−１〕
直径φ８′の５ｉｌＮ４ターゲツトを具備した高周波２
極スバタリング装置を用い、 ８ｉＢＮ４ターゲツト上
には５ｉＢＮ４に対する面積比で２０％に相当する複数
のＩｎペレット、及び１０％に相当する複数のテフロン
ペレットを設置し、対向する電極上にφ８’Ｘ１．５ｔ
のガラス基板を設置した。ｌＸｌ０”Ｔｏｒｒに排気
後、Ａｒガスを２ Ｘ １０−”Ｔｏｒｒｌこなるよう
導入し、３００Ｗの高周波電力（１３，５６ＭＨ８）を
印加してプラズマを発生させた。１０分後に厚さ１１０
０ｎの記録膜が基板上に堆積した。[Example-1] High frequency 2 equipped with a 5ilN4 target with a diameter of φ8'
Using a polar sputtering device, a plurality of In pellets corresponding to 20% of the area ratio of 5iBN4 and a plurality of Teflon pellets corresponding to 10% of the 5iBN4 target were placed on the 8iBN4 target.
A glass substrate was installed. After evacuation to 1X10'' Torr, Ar gas was introduced at 2 x 10'' Torrl, and 300 W of high frequency power (13.56 MH8) was applied to generate plasma. Thickness 110 after 10 minutes
A recording film of 0n was deposited on the substrate.
こうして製作した記碌媒本を６０Ｏｒｐｍ の速度で
回転させ、スポットサイズ１．５μｍに集束した出力１
３ｍＷ、パルス幅２００ ｎ ｓｅｃのＧ ａ Ａ Ｉ
Ａ Ｓ半導体レーザ（波長８３０ｎｍ）を基板面から
照射して記録を行なった０次に、出力０．５ｍＷの連続
ビームを基板面から照射したところ、再生信号のＣＭは
４５ｄＢという良好な値が得られた。The recording medium thus produced was rotated at a speed of 60 rpm, and the output 1 was focused to a spot size of 1.5 μm.
G a A I with 3 mW and pulse width of 200 n sec
Recording was performed by irradiating an A S semiconductor laser (wavelength 830 nm) from the substrate surface.When a continuous beam with an output of 0.5 mW was irradiated from the substrate surface, a good value of 45 dB was obtained for the CM of the reproduced signal. It was done.
記録済の記録媒体を走査型電子顕微鏡で観察したところ
、記録用ビームの照射スポットには、いずれも底部径が
約２×１μｍ、高さ約０．２μｍのバブルが形成されて
いた。When the recorded recording medium was observed with a scanning electron microscope, bubbles with a bottom diameter of about 2×1 μm and a height of about 0.2 μm were formed in each spot irradiated with the recording beam.
比較例のため、テフロンペレットを設置せず、その他は
本実施列と同一条件で薄膜を形成し、同一条件で記録を
行なりたところバブルは形成されなかった。As a comparative example, a thin film was formed under the same conditions as the present example except that no Teflon pellets were installed, and recording was performed under the same conditions, but no bubbles were formed.
矢に、この記録済の情報記録媒体を７０℃、８５４ＲＨ
の条件に設定されている恒温恒湿槽に１０日間放置した
。この加速劣化テスト後の媒体記録膜面を光学顕微鏡で
観察したところ、ピンホ・ニルの発生は認められなかっ
た。また、テスト前慢の媒体の波長８３００ｍ＃こおけ
る反射率を測定したところ、テスト後の反射率の低下は
１０％以乍であった・
〔実捲例−２〕
直径φ８′のＡｊＮターゲットを具備した実施列′−１
と同一のスパタリング装置を用い、ＡＩＮターゲット上
にＡｊＮターゲットに対して面積比で４０優に相当する
複数のｒｒｅペレットを設置し、流１゛°比でＣＨ４／
Ａ ｒ −３０／ ７０ ’４る混合ガスを５ＸｉＯ−
”Ｔｏｒｒ 導入し、３００Ｗの高周波電力を印加して
プラズマを発生させた。８分後に厚さ７Ｑｎｍの記録膜
がガラス基板上に堆積した。Place this recorded information recording medium on the arrow at 70℃ and 854RH.
It was left for 10 days in a constant temperature and humidity chamber set to the following conditions. When the recording film surface of the medium after this accelerated deterioration test was observed under an optical microscope, no occurrence of pinho-nil was observed. In addition, when we measured the reflectance of the medium before the test at a wavelength of 8300 m, the decrease in reflectance after the test was more than 10%. Equipped implementation sequence'-1
Using the same sputtering equipment as above, a plurality of rre pellets with an area ratio of more than 40 to the AjN target were placed on the AIN target, and CH4/
A r -30/70 '4 mixed gas is 5XiO-
Torr was introduced and a high frequency power of 300 W was applied to generate plasma. After 8 minutes, a recording film with a thickness of 7 Q nm was deposited on the glass substrate.
実施例−１と同様にして、記録再生特性を調べた。１０
ｍＷＸ５００ ｎ ｓｅｃなるエネルギーの記録用レー
ザビーム照射により再生信号のＣＮＲＩが４５ 、ｄＢ
得られる記録を行なうことができた。The recording and reproducing characteristics were investigated in the same manner as in Example-1. 10
By irradiating a recording laser beam with an energy of mWX500 nsec, the CNRI of the reproduced signal was 45, dB.
I was able to record the results.
本実施例と同一の条件でＫＢｒ基板上に堆積させた薄膜
を、基板から剥離後透過型電子顕微鏡で観察したところ
金属Ｔｅの微粒子が均一にＡｊＮマドＩＪクス中に分散
しているのが認められた。Ｔｅ微粒子の粒径は約１０・
ｎｍであり、Ｔｅ微粒子のＡＪＮ マトリクスに対して
占める割合は体積で約５０％と求められた。次に、この
様に形成した薄膜から採取した粉末について、加熱しな
がら放出されるガス成分を質量分析したところ、約１３
０℃に重合物の分解に起因するＣＨ，、ＣＨ，（質量数
１５゜１４）の脱離が確認された。When a thin film deposited on a KBr substrate under the same conditions as in this example was peeled off from the substrate and observed with a transmission electron microscope, it was observed that fine particles of metallic Te were uniformly dispersed in the AjN matrix IJ gas. It was done. The particle size of Te fine particles is approximately 10.
nm, and the proportion of the Te fine particles in the AJN matrix was determined to be approximately 50% by volume. Next, mass spectrometry analysis of the gas components released while heating the powder collected from the thin film formed in this manner revealed that approximately 13
Desorption of CH, CH, (mass number 15°14) due to decomposition of the polymer was confirmed at 0°C.
〔実施１＠１−３）
本発明の情報記録媒体は、プリグループ付き樹脂基板成
形用の原盤としても使用することができる。[Example 1 @ 1-3] The information recording medium of the present invention can also be used as a master for molding a resin substrate with a pre-group.
実施例−１と同様にして厚さ３ｍｍ、４３５０ｍｍのガ
ラス基板上に記録膜を堆積させた。膜厚は１５０ ｎｍ
とした。A recording film was deposited on a glass substrate having a thickness of 3 mm and a size of 4350 mm in the same manner as in Example-1. Film thickness is 150 nm
And so.
こうして製作した情報記録媒体を３０ Ｏｒｐｍ＋＠
□速度で回転させ、ラジアル方向へ移動させな
からＡｒレーザビームを記録膜面から照射した。Ａｒレ
ーザビームは連続ビームとし、強度は８〜１２ｍＱの間
で媒体フォーマット信号に対応させ強度変調させた。こ
の工程により記録膜開基こは、幅０．３〜０．８μｍ、
高さ０．０５〜０．１μｍと変化した連続スパイラル状
のバブルが形成された。The information recording medium produced in this way is 30 Orpm+@
While rotating at a speed of □ and moving in the radial direction, an Ar laser beam was irradiated from the surface of the recording film. The Ar laser beam was a continuous beam, and the intensity was modulated to correspond to the medium format signal between 8 and 12 mQ. Through this step, the recording film is opened to a width of 0.3 to 0.8 μm.
Continuous spiral bubbles with heights varying from 0.05 to 0.1 μm were formed.
このスパイラル状バ′プルの形成された情報記録媒体、
即ち原盤２００の断面を模式的に第５図（ａ）に示す０
次に、バブルの形成された記録膜面上に厚さ２０％ｍの
Ａｕ膜をスバタリングで！１１ＩｌＮシたもの３００の
模式図を第５図（ｂ）に示した。＠５図（ｂ）中１１４
がＡｕ膜である。Ａｕ１４１１４を１極としてＡｕ膜１
１４番こ厚さ３００μｍのＮｉ基板を電鋳法で形成した
もの４００の模式図を第５図（Ｃ）に示す、第５図（Ｃ
）中１１５がＮｔ板である。次に電解洗浄法によりＡｕ
嘆１１４と記碌膜１１との間より剥離したものがスタン
パ５００である。スタンパ５００の断面模式図を第５図
（ｄ）に示す。スタンパ５００のＡｕ膜の被着した面に
は、原盤２００に形成されていたバブル１２の転写され
た形状の−１２（）が形成されている。このスタンパ５
００８用いてアクリル樹脂を射出成形した。この射出成
形アクリル基板のスタンパ番こ接していた面には、原盤
２００上に形成されていたスパイラル状バブル１２とほ
ぼ等しい形状の***部の形成されていることが、本アク
リル甚板にＡｕ膜を堆積させた後走査微電子顕微鏡によ
る観察で確認された。また、Ａｊｌ［を堆積させた本実
施例のアクリル基板についてトラッキング特性を測定し
た、丈ころ、トラッキング信号の変調度は０．２と云、
う良好な値を示した。An information recording medium in which this spiral bubble is formed,
That is, the cross section of the master 200 is schematically shown in FIG. 5(a).
Next, an Au film with a thickness of 20% m is sputtered onto the recording film surface where the bubbles have been formed! A schematic diagram of 11IIN material 300 is shown in FIG. 5(b). @114 in Figure 5 (b)
is the Au film. Au film 1 with Au14114 as one pole
Figure 5 (C) is a schematic diagram of a 300 μm thick Ni substrate 400 formed by electroforming.
) 115 is the Nt plate. Next, by electrolytic cleaning method, Au
The stamper 500 is separated from the gap 114 and the recording film 11. A schematic cross-sectional view of the stamper 500 is shown in FIG. 5(d). On the surface of the stamper 500 to which the Au film is adhered, -12 () in the shape of the bubble 12 formed on the master 200 is transferred. This stamper 5
008 was used to injection mold an acrylic resin. The surface of this injection-molded acrylic substrate that was in contact with the stamper plate has a protuberance that has a shape that is almost the same as the spiral bubble 12 formed on the master 200. This was confirmed by observation using a scanning microelectron microscope after deposition. In addition, the tracking characteristics of the acrylic substrate of this example on which Ajl was deposited were measured, and the modulation degree of the tracking signal was 0.2.
It showed good values.
竪、１図は本発明の一実施例に係る情報記録媒体の記録
後の状態での断面を模式的に示す図、第２図は本発明に
係る情報記録媒体の製造に使用するスパタリング装置の
構造を模式的に示す図、第３図は本発明に係る情報記録
媒体に２ける記＠膜形成に用いるターゲットの一例を示
す図、第４図２２は同じく記録膜形成に用いるターゲッ
トの他の例を示す図、第５図は本発明に係る情報記録媒
体から樹脂基板成形用スタンパを作成する工程を説明す
るための図である。
１１・・・記碌模、１２・・・バブル、１３・・・基板
、ＩＯ・・・情報記録媒体、２１・・・真空容器、２２
・・・ガス導入口、２３・・・排気口、２４・・・電極
、２５・・・対向電極、２６・・・電力印加端子、３１
・・・金属窒化物ターゲット、３２・・・樹脂ペレット
、３３・・・金属ペレット、３４・・・パラキンクプレ
ート、３０・・・ターゲット、４０・・・ターゲット、
２００・・・原盤、５００・・・スタンパ。
代理人弁理士 則 近 憲 佑（ばか１名）第１図
第３図
第４図1 is a diagram schematically showing a cross section of an information recording medium according to an embodiment of the present invention in a state after recording, and FIG. 2 is a diagram showing a sputtering apparatus used for manufacturing the information recording medium according to the present invention. FIG. 3 is a diagram schematically showing the structure of the information recording medium according to the present invention; FIG. 4 is a diagram showing an example of a target used for forming a recording film; FIG. FIG. 5, which is a diagram showing an example, is a diagram for explaining the process of creating a stamper for molding a resin substrate from an information recording medium according to the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Recording model, 12... Bubble, 13... Substrate, IO... Information recording medium, 21... Vacuum container, 22
...Gas inlet, 23...Exhaust port, 24...Electrode, 25...Counter electrode, 26...Power application terminal, 31
...Metal nitride target, 32...Resin pellet, 33...Metal pellet, 34...Para kink plate, 30...Target, 40...Target,
200... Master, 500... Stamper. Representative Patent Attorney Kensuke Chika (one idiot) Figure 1 Figure 3 Figure 4
Claims (2)
して、前記記録膜に***変形部を形成して記録を行なう
バブルモード情報記録媒体において、前記記録膜は金属
窒化物マトリクス中に金属微粒子および有機物を分散さ
せた構成であることを特徴とするバブルモード情報記録
媒体。(1) In a bubble mode information recording medium in which recording is performed by irradiating a recording film deposited on a substrate with a laser beam to form a raised deformed portion on the recording film, the recording film is formed in a metal nitride matrix. A bubble mode information recording medium characterized by having a structure in which fine metal particles and organic matter are dispersed.
して、前記記録膜に***変形部を形成して記録を行なう
バブルモード情報記録媒体の製造方法において、前記記
録膜は金属窒化物マトリクス中に金属微粒子および有機
物を分散させた構成であり、かつ金属窒化物マトリクス
の形成および金属微粒子・有機物の分散を同時にプラズ
マを利用して行なうことを特徴とするバブルモード情報
記録媒体の製造方法。(2) A method for manufacturing a bubble mode information recording medium in which recording is performed by irradiating a recording film deposited on a substrate with a laser beam to form a raised deformed portion on the recording film, wherein the recording film is made of a metal nitride. A method for manufacturing a bubble mode information recording medium, which has a structure in which fine metal particles and organic matter are dispersed in a matrix, and the formation of a metal nitride matrix and the dispersion of the fine metal particles and organic matter are simultaneously performed using plasma. .
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60018689A JPS61178741A (en) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Bubble mode information recording medium and its production |
| US06/875,527 US4702991A (en) | 1984-10-30 | 1986-06-20 | Optical type information recording medium and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60018689A JPS61178741A (en) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Bubble mode information recording medium and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178741A true JPS61178741A (en) | 1986-08-11 |
Family
ID=11978580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60018689A Pending JPS61178741A (en) | 1984-10-30 | 1985-02-04 | Bubble mode information recording medium and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61178741A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009012943A (en) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Duplo Seiko Corp | Paper reversing and conveying mechanism and paper reversing and conveying device |
-
1985
- 1985-02-04 JP JP60018689A patent/JPS61178741A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009012943A (en) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Duplo Seiko Corp | Paper reversing and conveying mechanism and paper reversing and conveying device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4430659A (en) | Protuberant optical recording medium | |
| JPS5835742A (en) | Manufacture for stamper used for manufacture of information recording medium disc | |
| US4556893A (en) | Optical recording medium of high sensitivity | |
| US4470053A (en) | Protuberant optical recording medium | |
| US4756811A (en) | Method for manufacturing bubble-mode optical recording media | |
| US5013635A (en) | Information storage medium | |
| JPS61178741A (en) | Bubble mode information recording medium and its production | |
| EP0418017A2 (en) | Optical recording medium and method of manufacturing the same | |
| WO2005088628A1 (en) | Process for producing stamper for direct mastering, and stamper produced by such process and optical disc | |
| JP3873605B2 (en) | Master for information recording medium, stamper, and method for manufacturing information recording medium | |
| JPS61178742A (en) | Bubble mode information recording medium and its production | |
| EP1544851A1 (en) | Optical recording medium and method for producing the same | |
| JPS61177285A (en) | Information-recording medium | |
| JPS61177286A (en) | Information-recording medium and production thereof | |
| JPS61177284A (en) | Information-recording medium | |
| JPH05290408A (en) | Optical information recording medium | |
| JP2512044B2 (en) | Optical recording medium and optical recording method | |
| JPS6275949A (en) | Production of information recording medium | |
| JPS61178745A (en) | Production of information recording medium | |
| JPS61107547A (en) | Information recording medium and its manufacture | |
| JP3638460B2 (en) | Optical recording medium and manufacturing method thereof | |
| JPS6387283A (en) | Optical information recording medium | |
| JPH048858B2 (en) | ||
| JPH0252329B2 (en) | ||
| JPS63151492A (en) | Production of information recording medium |