JPS61168978A - ガスレ−ザ - Google Patents

ガスレ−ザ

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JPS61168978A
JPS61168978A JP60009629A JP962985A JPS61168978A JP S61168978 A JPS61168978 A JP S61168978A JP 60009629 A JP60009629 A JP 60009629A JP 962985 A JP962985 A JP 962985A JP S61168978 A JPS61168978 A JP S61168978A
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JP
Japan
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discharge
laser
lid
concave section
capacitor
Prior art date
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Pending
Application number
JP60009629A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiro Nozue
野末　康博
Koichi Kajiyama
康一 梶山
Kazuaki Sajiki
桟敷　一明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Publication date
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Priority to GB08601392A priority patent/GB2170038B/en
Priority to US06/820,802 priority patent/US4691322A/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
    • H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
    • H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、エキシマレーザ、　ＴＥＡ−ＣＯ２レーザ等
の／４’ルス発振形ガスレーザに関する。
（従来の技術） 第９図は、従来のこの種のガスレーザの一例を示してい
る。このレーザは、レーザ管１の内部に２本の放電電極
２，３が平行配置され、該レーザ管１の外方に平行平板
形コンデンサ４が配置されている。そしてコンデンサ４
の一方および他方の端子は、レーザ管１の蓋体５の上面
に配置された導電体６，７．８と、上記蓋体５を貫通す
る導電性のロッド９を介して電極２．３の一方および他
方に各々接続されている。
いま、コンデンサ４が充電されてその端子電圧が放電開
始電圧まで上昇すると、上記電極２，３間でグロー放電
が行なわれ、この放電鉱それらの電極間を通過するレー
ザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生起させる・ （発明が解決しようとする問題点） ところで、上記放電の効率を向上するためには、上記コ
ンデンサ４の一方の端子から電極２．３を経【他方の端
子に到る回路ループのインダクタンスを減少することが
必要であシ、それには該回路ループで囲まれる面積（以
下、ループ断面積と言う）を小さくすればよい。
しかるに従来のガスレーザは、上記蓋体５の上面に導電
体６，７．８を配置して、この導電体の上にコンデンサ
４を接続支持させているので、上記ループ断面積が大き
く、そのため放電の効率が良くないという問題点があっ
た。
（問題点を解決するための手段） かかる従来の問題点を解決するため、本発明では、レー
ザ管の蓋体外側面に凹部を形成し、放電電極に電圧を印
加する平行平板形コンデンサをこの凹部内に収納配置さ
せている。
（実施例） 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、エキシマレーザに適用した本発明の一実施例
を示す斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線による断面図
である。
この実施例に係るがスレーザは、放電管１０の開口部１
２をテフロン、エポキシ等の合成樹脂からなる蓋体１３
で封止しである。
蓋体１３は、その外側面中央にその長手方向ＫＧりて凹
部１４が形成され、この凹部内には複数個の平行平板形
コンデンサ１５が所定の間隔で、かつ各々の中心軸線が
該蓋体１３に対し鉛直な方向となる態様で収納配置され
ている。
上記各コンデンサ１５の一方の端子１５ａは、導電性の
ブラケット１６の中間部に接続され、他方の端子１５ｂ
は上記蓋体１３を貫通して一方の放電電極７に螺着等の
手段にょシ連結されている。
ブラケット１６は蓋体１３の幅方向に配設されておシ、
その両端部は導電性を有する各別なリターンロッド１８
の上端部に接続されている。リターンロッド１８は、上
記蓋体１３を貫通する態様で配設されておシ、その下端
部は導電性の電極支持プレート１９に接続されている。
そして支持グレー）１９の上面中央部には、上記放電電
極１７に対向する態様で他方の放電電極２０が配設され
ている。なお、上記各放電電極１７．２０は蓋体１３の
長手方向に沿って互いに平行する態様で配置されている
。
結局、上記コンデンサ１５と電極１７．２０は。
共に蓋体１３により【支持されている。そしてコンデン
サ１５は、上記電極１７．２０を含む平面内において、
その中心軸線が各電極１７．２０の長手方向軸線に直交
している。
第３図は、この実施例に係るがスレーザの電気回路を示
し、以下、同図を参照してこの実施例の作用を説明する
。
いま、高電圧によってコンデンサ２２が充電されたのち
、スイッチ２３が閉成されると、コンデンサ２２に充電
された電荷が上記平行平板形コンデンサ１５に充電され
る。そしてコンデンサ１５の端子電圧が放電開始電圧ま
で上昇すると、放電電極１７．２０間でグロー放電が行
なわれ、この放電はそれらの電極１７．２０間を通過す
るレーザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生起させる。
なお上記ガスは、第２図に示したプロワ２４によって放
電管１０内で矢印方向に循環される。
この実施例に係るガスレーザは、コンデンサ１５が凹部
１４内に収納配置されていることから、該コンデンサ１
５と電極１７．２０間の距離が短かく、したがって放電
電流の流れる回路ループで囲まれるループ断面積を小さ
くすることができる・第４図は、この実施例のループ断
面積をハツチングで示している。
なお１、第５図に示す如く上記リターンロッド１８の途
中に予備電離用のイヤツブ２５を形成し、このイヤツブ
２５におけるアーク放電によっていわゆる予備電離を行
なわせることも可能である。
また上記実施例では、第６図に示す如くブラケット１６
が放電電極２０に直交する態様で配設されているが、第
７図に示す如く上記電極２０に対したとえば４５＠の角
度をなすように上記ブラケット１６を回転させ、このブ
ラケット１６の各端部よシリターンロッド１８をグレー
ト１９に垂下させてもよい。かくすれば、リターンロッ
ド１８の下端部が電極２０に接近することから、上記ル
ープ面積をよシ小さくすることができる。
さらに第８図に示す如く互いに交叉する２本のブラケッ
ト１６を使用してリターンロッド１８の数を増加させ、
かつこれらのロッド１８に上記予備電離用ギャップ２５
を設けることによシ、上記予備電離の均一化を図ること
ができる。もちろん、１個のコンデンサ１５に対し２本
以上のプラケッ）１６を使用することも可能である。ま
たブラケット１６は、必ずしも電極２０に対し４５６の
角度をなして配設しなくてもよい。
（発明の効果） 本発明に係るガスレーザによれば、放電電極に端子電圧
を印加するコンデンサをレーザ管の蓋体外側面に形成し
た凹部内に収納配置しているので、放電電流が流れる回
路ループの断面積を小さくして同回路ループのもつイン
ダクタンスを低くすることができる。したがって、従来
のこの種のガスレーザよシも放電の効率を向上しうると
いう効果が得られる。また従来のガスレーザのように、
レーザ管の蓋体上に導電体を介在させないので、構造の
簡単化とコンノ臂りト化およびコストの低減を図ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係るガスレーザの一実施例を示した斜
視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線による断面図、第３図
は本発明の実施例の電気回路を示した図、第４図は放電
電流の流れる回路ルーノのループ断面積を示した図、第
５図は予備を船用のギャップを備えたリターンロッドを
示す図、第６図は第１図の実施例におけるブラケットの
配置態様を示した平面図、第７図および第８図は各々ブ
ラケットの他の配置態様を示した平面図、第９図は従来
のガスレーザの一例を示した断面図である。 １０・・・レーザ管、１２・・・開口部、１３・・・蓋
体、１４・・・凹部、１５・・・平行平板形コンデンサ
、１６・・・ブラケット、１７．２０・・・放電電極、
１８・・・リターンロッド、１９・・・電極支持グレー
ト。 第２図 第３図 第４図　　　　　第５図 第６図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザ媒質ガスが封入されるレーザ管内に一対の放電電
    極を配設するとともに、これらの放電電極間にその端子
    電圧を印加する平行平板形コンデンサを上記レーザ管の
    外方に位置させたガスレーザにおいて、上記レーザ管の
    蓋体の外側面に凹部を形成し、この凹部内に上記コンデ
    ンサを収納したことを特徴とするガスレーザ。
JP60009629A 1985-01-22 1985-01-22 ガスレ−ザ Pending JPS61168978A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60009629A JPS61168978A (ja) 1985-01-22 1985-01-22 ガスレ−ザ
DE19863601599 DE3601599A1 (de) 1985-01-22 1986-01-21 Gaslaser
GB08601392A GB2170038B (en) 1985-01-22 1986-01-21 A gas laser device
US06/820,802 US4691322A (en) 1985-01-22 1986-01-22 Gas laser device

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DE (1) DE3601599A1 (ja)
GB (1) GB2170038B (ja)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5258994A (en) * 1990-06-20 1993-11-02 Mitsubishi Denki K.K. Discharge-excited laser apparatus
US5438587A (en) * 1994-03-31 1995-08-01 Spectranetics Preionizer for laser assembly
US6424666B1 (en) 1999-06-23 2002-07-23 Lambda Physik Ag Line-narrowing module for high power laser
US6381256B1 (en) 1999-02-10 2002-04-30 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6490307B1 (en) 1999-03-17 2002-12-03 Lambda Physik Ag Method and procedure to automatically stabilize excimer laser output parameters
US6463086B1 (en) 1999-02-10 2002-10-08 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6546037B2 (en) 1999-02-10 2003-04-08 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser with spectral linewidth of less than 1 pm
US6389052B2 (en) 1999-03-17 2002-05-14 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6965624B2 (en) * 1999-03-17 2005-11-15 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6421365B1 (en) 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6727731B1 (en) 1999-03-12 2004-04-27 Lambda Physik Ag Energy control for an excimer or molecular fluorine laser
US6700915B2 (en) 1999-03-12 2004-03-02 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a resonator containing an optical element for making wavefront corrections
US6714577B1 (en) 1999-03-17 2004-03-30 Lambda Physik Ag Energy stabilized gas discharge laser
DE29907349U1 (de) 1999-04-26 2000-07-06 Lambda Physik Gmbh Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
US6785316B1 (en) 1999-08-17 2004-08-31 Lambda Physik Ag Excimer or molecular laser with optimized spectral purity
US6553050B1 (en) 1999-11-18 2003-04-22 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6603788B1 (en) 1999-11-23 2003-08-05 Lambda Physik Ag Resonator for single line selection
JP2003521683A (ja) 2000-01-25 2003-07-15 ラムダ フィジーク アーゲー ビーム・パラメータ監視ユニット、分子弗素（Ｆ２）或はＡｒＦレーザ・システム、分子弗素（Ｆ２）レーザ・システム、およびＡｒＦレーザ・システム
US6735232B2 (en) 2000-01-27 2004-05-11 Lambda Physik Ag Laser with versatile output energy
US7075963B2 (en) 2000-01-27 2006-07-11 Lambda Physik Ag Tunable laser with stabilized grating
US6847671B1 (en) 2000-03-29 2005-01-25 Lambda Physik Ag Blower for gas laser
US6834066B2 (en) 2000-04-18 2004-12-21 Lambda Physik Ag Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers
US6862307B2 (en) * 2000-05-15 2005-03-01 Lambda Physik Ag Electrical excitation circuit for a pulsed gas laser
US6577663B2 (en) 2000-06-19 2003-06-10 Lambda Physik Ag Narrow bandwidth oscillator-amplifier system
US6603789B1 (en) 2000-07-05 2003-08-05 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser with improved beam parameters
US6721345B2 (en) 2000-07-14 2004-04-13 Lambda Physik Ag Electrostatic precipitator corona discharge ignition voltage probe for gas status detection and control system for gas discharge lasers
US6807205B1 (en) 2000-07-14 2004-10-19 Lambda Physik Ag Precise monitor etalon calibration technique
US6801561B2 (en) 2000-09-25 2004-10-05 Lambda Physik Ag Laser system and method for spectral narrowing through wavefront correction
US6747741B1 (en) 2000-10-12 2004-06-08 Lambda Physik Ag Multiple-pass interferometric device
US6998620B2 (en) * 2001-08-13 2006-02-14 Lambda Physik Ag Stable energy detector for extreme ultraviolet radiation detection
US20050083984A1 (en) * 2003-10-17 2005-04-21 Igor Bragin Laser system sealing

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA917225A (en) * 1969-08-29 1972-12-19 C. Johnson Derwyn Molecular gas laser energized by capacitor discharge
US3633127A (en) * 1969-11-17 1972-01-04 Avco Corp Pulsed laser device with improved discharge circuit
DE2636177C3 (de) * 1976-08-11 1981-08-20 Kraftwerk Union AG, 4330 Mülheim Hochenergielaser
US4274065A (en) * 1979-07-31 1981-06-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Closed cycle annular-return gas flow electrical discharge laser
US4423510A (en) * 1979-08-17 1983-12-27 Westinghouse Electric Corp. Laser tube design incorporating low inductance capacitor
DE3242085A1 (de) * 1982-11-13 1984-05-17 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Vorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung

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Publication number Publication date
GB2170038A (en) 1986-07-23
GB8601392D0 (en) 1986-02-26
GB2170038B (en) 1989-01-05
DE3601599A1 (de) 1986-07-24
US4691322A (en) 1987-09-01

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