JPS61149836A - 圧力測定装置 - Google Patents

圧力測定装置

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JPS61149836A
JPS61149836A JP27196984A JP27196984A JPS61149836A JP S61149836 A JPS61149836 A JP S61149836A JP 27196984 A JP27196984 A JP 27196984A JP 27196984 A JP27196984 A JP 27196984A JP S61149836 A JPS61149836 A JP S61149836A
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JP
Japan
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optical fiber
polarization
light
pressure
maintaining optical
Prior art date
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Pending
Application number
JP27196984A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Yasuda
力 安田
Kenji Kobayashi
健二 小林
Hiroshi Matsumoto
博志 松本
Fumiki Sone
曽根 文樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Publication of JPS61149836A publication Critical patent/JPS61149836A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G01L11/02Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は偏波面保存光ファイバ°を用いた圧力測定装置
に係り、特に個々の光学部品を一体化し装置の小型化・
高精度化・低価格化を図った圧力測定装置に関する。
[従来の技術] 第6図に示Jような偏波面保存光ファイバ8と光弾性素
子10を用いた圧力センサが既に提案されている(特願
昭58−28710号)。
同図に示す如く、光源1からの光はアイソレータ3を経
てビームスプリッタ4で2方向に分離される。その一方
は参照光として受光器2bに入射し、他方は圧力検出用
として1/2波長板6を通りマイクロレンズ7aを経て
偏波面保存光ファイバ8に入射する。1/2波長板6は
その光学軸の向きを変えることにより直線偏光の偏波面
を任意の角度0転できるので、1/2波長板6を調整し
て偏波面保存光ファイバ8に入射される直線偏光の偏波
面を偏波面保存光ファイバ8の互いに直交する2つの固
有偏光軸(第7図のU、V軸)の1つに合せる。偏波面
保存光ファイバ8を+2方向へと伝播しその先端から出
射された出射光は、マイクロレンズ7b、1/8波長板
9を経て光弾性素子10に入射し、反射板11で反射さ
れる。反射板11で反射された反射光は上述した経路を
逆行しビームスプリッタ4まで戻り、その一部はビーム
スプリッタ4にて反射され検光子5を経て受光器2aに
入射する。
光弾性素子10に圧力Pが加わる方向yは、第7図に示
すように、偏波面保存光ファイバ8の固有偏光軸U、V
と45°の角度をなす。また、1/8波長板9の光学軸
はX軸またはV軸に一致し、Ll、V軸と45゛の角度
をなす。
光rA1から偏波面保存光ファイバ8に入射し+7方向
に進む光がU成分(U方向の偏波成分)のみであるとす
ると、反射面11で反射され−Z方向に戻り 1/8波
長板9を通過した直後においては、U軸と、x、V軸と
が45°をなすので反射光はそのX成分とy成分の振幅
が等しく、且つ178波長板9を2回通過するのでX成
分とV成分との間に90”の位相差が生じる。従って、
光弾性素子10に圧力Pが加わらないときには、178
波長板9を通過した時点において、反射光は円偏光とな
る。一方、光弾性素子10に圧力Pが加わりているとき
には、光弾性素子10内を伝播する光のx、y成分には
位相差αが生じるので、178波長板9を光が一2方向
に通過した直後において、x、y成分ex%Yは、 と表わされる。ここにaは直線偏波光のときの振幅、ω
は光の角周波数、ψは位相を表わし、いずれも定数であ
る。
圧力Pは位相差αの関数であり、変数αがわかると圧力
Pが求まることになる。上&!(11式のX。
y成分を、偏波面保存光ファイバ8内のU、V成分e 
u 、  e vに変換すると、となるので、受光器2
aでV成分のみを受光すれば、受光器2aの出力Vsは
、 となる。このysを受光器2bからの出力VR(CK−
)とともに信号処理することにより、安定した位相差α
の検出ができる。この圧力センサは1木の光ファイバぐ
圧力検出ができ、圧力センサの細径化ができる。
[発明が解決しようとする問題点] ところが、上記の圧力センサは、個別の光学素子(レン
ズ、波長板、光弾性素子など)を組合せて構成されてい
るため、次のような問題がある。
■ 個々の光学素子の大きさ以下には小型化できない。
■ 光学素子と光学素子との間で光が外部空間に出るた
め、光学素子間のわずかな寸法・位置の狂いによって大
きな測定誤差が生じ易い。
■ 個々の光学素子の価格とこれらの組立価格とが全体
価格となるが、使用する光学素子が多く、また組立も難
かしくIi[の低価格化に限界がある。
[発明の目的] 本発明は以上の従来技術の問題点を解消すべく創案され
たものであり、本発明の目的は、小型化・高精度化・低
価格化を推進し得る圧力測定装置を提供することにある
[発明の概要] 上記の目的を達成するために、本発明は、単一モードの
偏波面保存光ファイバの先端側に設けられ加圧により加
圧方向とこれに直交する方向とで偏波成分の位相速度が
異なる光弾性素子を有するプローブ部と、上記偏波面保
存光ファイバの基端側に設けられた光源及び光源からの
参照光と上記プローブ部からの位相変調された変調光と
を受光する受光部とを備えた圧力測定装置において、上
記光弾性素子が単一モード伝送路をなしその先端面に反
射体が接合され且つ基端面に単一モードの1/8波長位
相器を介して上記偏波面保存光ファイバの先端面が接合
されると共に、偏波面保存光ファイバの先端面の固有偏
光軸が光弾性素子の加圧方向および上記1/8波艮位相
器の固有光学軸と45°の角瓜をなすもので、各光学素
子を接合して一体化された単一モード導波路形にしたも
のである。
[実施例] 以下に本発明の実施例を添付図面に従って詳述する。
第1図に示す如く、圧力測定装置は、圧力測定部に設け
られるプロー1部12と、単一モードの偏波面保存光フ
ァイバ8と、光源1と、光源1からの参照光とプローブ
部12からの位相変調された変調光とを受光する受光部
13とから主に構成されている。
プローブ部12は、圧力Pを受ける受圧部14゜単一モ
ードの1/8波長位相器15および反射体16とからな
り、また受光部13は、受光器2a。
2b、単一モードの方向性結合器17.単一モードの光
アイソレータ18及び単一モードの検光子19とからな
る。
プローブ部12の受圧部14は、第1図ないし第2図に
示すように、受圧ブロック20とこれに埋め込また光弾
性素子21とからなり、受圧ブロック20に圧力Pが加
わると光弾性素子21内に内部応力が発生し複屈折とな
る。圧力Pはy軸方向に加えられるので、X軸方向、y
軸方向の偏波成分の位相速度が異なってくる。光弾性素
子21には、無圧時において複屈折性のない単一モード
光ファイバが用いられる。この単一モード光ファイバと
してはエポキシ樹脂、GaAS、InP等の光弾性効果
の大きい材料により単一モード伝送路を形成すればよく
、光弾性効果が大きいので伝送路が短くても高感度のセ
ンサが得られる。また単一モード光ファイバとしては通
信用の石英ファイバでもよい。しかし、石英は光弾性効
果が小さいので、伝送路長を長くして感度を高めること
が必要である。
1/8波長位相器15には複屈折性の偏波面保存光ファ
イバを用いる。178波長位相器15としての偏波面保
存光ファイバの固有偏光軸はX。
V軸と一致し、また偏波面保存光ファイバ8の固有偏光
軸U、Vと45°の角度をなしている。偏波面保存光フ
ァイバ8のU、V偏波光の波長をそれλ     λ ぞれ U、  Vとすると、1/8波長位相器15とし
ての偏波面保存光ファイバを長さρだけ伝播して生ずる
位相差△Φは、 である。従って、1/8波長位相器15としての偏波面
保存光ファイバの長さρは、ΔΦが(1/4 +n )
πとなる長さ、即ち、反射体16としては、光弾性素子
21の先端面に反射板を接合するか、反射膜を形成する
かする。
光弾性素子21の基端面には、1/8波長位相器15を
介して偏波面保存光ファイバ8の先端面が接続されるが
、これら光学素子8.15.21はいずれも単一モード
導波路であり、それらのコア径やコアとクラッドの屈折
率などの導波路特性を決定するパラメータをほぼ同一に
設定し、融着等の方法で相互間を接合する。
一方、受光部13の方向性結合器17は、2つの伝送路
を結合部17eで結合したもので、光源側のポート17
a、17b及びプローブ部側のポート17c、17dの
4つのポートを有している。
このうち、光源側のポート17aには光アイソレータ1
8を介して光源1が接続され、更にポート17bには検
光子19を介して受光器2aが接続されている。また、
プローブ部側のポート17cには受光器2bが接続され
、ポート17dには偏波面保存光ファイバ8の基端面が
接続される。これらの光学素子もプローブ部12と同様
に融着等の方法によって一体的に接合される。ポート1
7dと偏波面保存光ファイバ8とはそれらの固有偏光軸
が一致するように調整して接合する。
上g[J構成の圧力測定装置の動作および圧力測定原理
は上述の第6図の圧力センサと同一である。
即ち、光源1からの光は方向性結合器17で2方向に分
離され、その一方は参照光としてポート17Cから受光
器2bに入射される。他方は圧力検出用としてポート1
7dから偏波面保存光ファイバ8に入射し、+Z方向へ
と伝播しその先端面より 1/8波長位相器15を経て
光弾性素子21に入射し、反射体16で反射される。更
に、反射光は上記と逆の経路を方向性結合器17までた
どり、方向性結合器17でポート17a、17bへと二
分される。ポート17bから出射された光は検光子19
を経て受光器2aに入射し、一方、ポート17aからの
出射光は光アイソレータ18により遮断され光源1には
戻されない。受光器2aの出力と受光器2bの出力を信
号処理することにより光弾性素子21にて変調された位
相差が知れ、この位相差から圧力Pが求まることになる
本発明では光弾性素子21.1/8波長位相器15、偏
波面保存光ファイバ8.方向性結合器17、光アイソレ
ータ18.検光子19が一体的に融着等により接合され
、単一モード導波路として形成されている。従ってこれ
ら各光学素子の接続面間の不整合による光の反射、ある
いは各光学素子間から外部への光の漏出などの不安定要
素を取り除くことができる。このため、安定した測定が
でき、高精度の圧力計測が可能となる。また、従来方式
では、これら光学素子の相互間を一定の位置関係に保持
する機構が必要であり、その保持機構に用いられるハウ
ジングは複雑かつ高価なものとなり、小型化も困難であ
った。ところが、本発明方式では、各光学素子が融着等
により接合され一体化されているため、複雑で高価なハ
ウジングが不要となり、小型化も図れる。また、同径の
伝送路同志の接続となっているので、結合器としてのマ
イクロレンス7a、7bが不要となる。更に、方向性結
合器17と偏波面保存光ファイバ8の固有偏光軸を一致
させて結合しているので1/2波長板も省略できる。
尚、上記実施例においては、受圧部14の光弾性素子2
1は受圧ブロック20に埋め込まれていたが、第3図に
示す如く、受圧ブロック20a。
2Ob間に光弾性素子21を挾む方式のものでもよい。
史に埋め込み式の受1土部14の受圧ブロック20の断
面を、矩形ではなく第4図に示すように両側にくぼみを
設けた鼓型としてもよい。こうすると、光弾性素子21
に外力が集中して加わるようになり、感麿が向上する。
また、第5図に示すように、光弾性材料の受圧ブロック
20を形成し、この中に高屈折率伝送路の光弾性素子2
1を設けるようにしてもよい。この場合の製造方法とし
ては樹脂成型法・イオン打込み法・蒸着法・拡散法など
の種々の方法が可能である。受圧ブロック20の断面形
状は矩形あるいは鼓形等の変形形状など用途に応じて選
択する。
なおまた、プローブ部側は計測器本体から着脱可能な構
造であることが望ましいので、偏波面保存光ファイバ8
と方向性結合器17との間、あるいは偏波面保存光ファ
イバ8の途中において、光コネクタを用いて着脱できる
ようにしてもよい。
この場合、光コネクタは接続部の偏波面と光軸とを同時
に合せることができる高精度のものを用いる。
[発明の効果] 以上の説明により明らかなように本発明によれば次のよ
うな優れた効果を発揮する。
■ 従来、個別の光学素子を組み立てて構成していたも
のを、各光学素子を接合して一体化し、光学系を閉じた
単一モード伝送路となしたので、接続部での反射や外部
との不安定な光結合が除かれるため、安定性が高く^精
度の圧力測定が可能となる。特に厳しい環境条件に置か
れるプ[]−ブ部においてイj効である。
■ 各光学素子の単一モードファイバ化が図れ、光学系
の小形化が容易であり、超小型のプロー1部を実現でき
、従来不可能であった狭空間の測定が可能となる。
■ 一体化された光学系となっているため、プローブ部
等のハウジングを簡易な構造にでき、組立が容易になる
と共に安価に製造できる。
更に波長板等の高価な光学部品を用いないで済むことか
らも、装置の低価格化が図れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る圧力測定装置の一実施例を示す概
略構成図、第2図は同プローブ部における光学素子間の
位置関係を表す図、第3図′。 第4図、第5図は本発明の受圧部の他の実施例を示す横
断面図、第6図は従来の圧力測定装置を示す概略構成図
、第7図は同プローブ部における光学素子間の位置関係
を表す図である。 図中、1は光源、2a、2bは受光器、8は偏波面保存
光ファイバ、12はプローブ部、13は受光部、14は
受圧部、15は1/8波長位相器、16は反射体、17
は方向性結合器、17a 、  17b 、 17c 
、  17dはポート、18は光アイソレータ、19は
検光子、20は受圧ブロック、21は光弾性素子、Pは
圧力、(1゜■は偏波面保存光ファイバの固有偏光軸で
ある。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)単一モードの偏波面保存光ファイバの先端側に設
    けられ加圧により加圧方向とこれに直交する方向とで偏
    波成分の位相速度が異なる光弾性素子を有するプローブ
    部と、上記偏波面保存光ファイバの基端側に設けられた
    光源および光源からの参照光と上記プローブ部からの位
    相変調された変調光とを受光する受光部とを備えた圧力
    測定装置において、上記光弾性素子が単一モード伝送路
    をなしその先端面に反射体が接合され且つ基端面に単一
    モードの1/8波長位相器を介して上記偏波面保存光フ
    ァイバの先端面が接合されると共に、上記偏波面保存光
    ファイバの先端面の固有偏光軸が上記光弾性素子の加圧
    方向および上記1/8波長位相器の固有光学軸と45°
    の角度をなすことを特徴とする圧力測定装置。
  2. (2)上記受光部が4ポートの単一モードの方向性結合
    器を有し、その光源側ポートの一方のポートに単一モー
    ドの光アイソレータを介して上記光源が接合され、他方
    のポートに単一モードの検光子を介して上記参照光用の
    受光器が接合されると共に、方向性結合器のプローブ部
    側ポートの一方のポートに上記偏波面保存光ファイバの
    基端部が接合され、他方のポートに上記変調光用の受光
    器が接合されていることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の圧力測定装置。
JP27196984A 1984-12-25 1984-12-25 圧力測定装置 Pending JPS61149836A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5394752A (en) * 1993-03-16 1995-03-07 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method for determing shear direction using liquid crystal coatings
JP2010520464A (ja) * 2007-02-28 2010-06-10 トータル ワイヤ コーポレーション 超音波圧力センサおよびこの超音波圧力センサを動作させる方法
JP2021032648A (ja) * 2019-08-22 2021-03-01 古河電気工業株式会社 外力検出装置および光ファイバセンサ

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