JPS61144541A - 光学部品の偏心測定装置 - Google Patents
光学部品の偏心測定装置Info
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- JPS61144541A JPS61144541A JP26614884A JP26614884A JPS61144541A JP S61144541 A JPS61144541 A JP S61144541A JP 26614884 A JP26614884 A JP 26614884A JP 26614884 A JP26614884 A JP 26614884A JP S61144541 A JPS61144541 A JP S61144541A
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- Japan
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- measured
- eccentricity
- laser interference
- measuring device
- interference device
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0221—Testing optical properties by determining the optical axis or position of lenses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、光学部品の偏心測定装置に係り、特にレンズ
面の偏心量、すなわち、レンズ面での、レンズの光軸と
中心軸とのずれ量、およびまたおれ”、すなわち、前記
光軸と中心軸とのなす傾斜角を測定するに好適な、光学
部品の偏心測定装置に関するものである。
面の偏心量、すなわち、レンズ面での、レンズの光軸と
中心軸とのずれ量、およびまたおれ”、すなわち、前記
光軸と中心軸とのなす傾斜角を測定するに好適な、光学
部品の偏心測定装置に関するものである。
従来の、レンズの偏心測定−置は、特開昭４８−５９５
６号公報に記載されているように、透過光によりて、１
枚のレンズままたはレンズ系の偏心を測定するものであ
りた。、このように、透過光を使用しているため、１枚
のレンズの片面や、たとえばプラスチックレンズの成形
に供せられる金型のレンズ成形面の偏心量およびまたお
れ”を測定することはで・きなかった。
６号公報に記載されているように、透過光によりて、１
枚のレンズままたはレンズ系の偏心を測定するものであ
りた。、このように、透過光を使用しているため、１枚
のレンズの片面や、たとえばプラスチックレンズの成形
に供せられる金型のレンズ成形面の偏心量およびまたお
れ”を測定することはで・きなかった。
透過光を使用しない測定、装置として、三次元測定測定
器があるが、この三次元測定器での測定は、接触式であ
るので、触針によってレンズ面を損傷するおそれがある
のみならず、測定に長時間を要して測定効率が悪いとい
う問題点もあった。
器があるが、この三次元測定器での測定は、接触式であ
るので、触針によってレンズ面を損傷するおそれがある
のみならず、測定に長時間を要して測定効率が悪いとい
う問題点もあった。
本発明は、上記した従来技術の問題点を改善して、レン
ズの片面の偏心量およびまたおれ”を、非接触で、効率
よく測定することができる光学部品の偏心測定装置の提
供を、その目的とするものである。
ズの片面の偏心量およびまたおれ”を、非接触で、効率
よく測定することができる光学部品の偏心測定装置の提
供を、その目的とするものである。
本発明に係る光学部品の偏心測定装置の構成は、２方向
に光軸を有し、この方向に移動可能なレーザ干渉装置と
、２軸まわりに回動可能で、Ｘ方向、Ｙ方向へ移動可能
で、且つＸＺ面、Ｙ２面内で傾斜可能な、被測定物を載
置固定することができる試料搭載台と、この試料搭載台
のＸ方向、Ｙ方向の移動量を測定することができる移動
厚測定器と、該試料搭載台をＸＺ面、ＹＺ面内で傾斜さ
せ、その傾斜量を表示することができる傾斜つまみと、
該試料搭載台に載置固定された被測定物のＸ方向の変位
を測定することができる、前記レーザ干渉装置と一体に
設けられた変位測定器と、前記レーザ干渉装置から放射
され被測定物の表面で収束する収束レーザ光の反射像、
干渉縞外周線を表示することができる表示装置とを具備
せしめるようにしたものである。
に光軸を有し、この方向に移動可能なレーザ干渉装置と
、２軸まわりに回動可能で、Ｘ方向、Ｙ方向へ移動可能
で、且つＸＺ面、Ｙ２面内で傾斜可能な、被測定物を載
置固定することができる試料搭載台と、この試料搭載台
のＸ方向、Ｙ方向の移動量を測定することができる移動
厚測定器と、該試料搭載台をＸＺ面、ＹＺ面内で傾斜さ
せ、その傾斜量を表示することができる傾斜つまみと、
該試料搭載台に載置固定された被測定物のＸ方向の変位
を測定することができる、前記レーザ干渉装置と一体に
設けられた変位測定器と、前記レーザ干渉装置から放射
され被測定物の表面で収束する収束レーザ光の反射像、
干渉縞外周線を表示することができる表示装置とを具備
せしめるようにしたものである。
実施例の説明に入るまえに、本発明に係る基本的事項を
説明する。
説明する。
透過光では測定不可能な金型のレンズ成形面や、レンズ
片面の測定を可能にするため、本発明の光学部品の偏心
測定装置は、レーザ干渉装置を使用して、被測定物であ
るレンズ面へ照射したレーザ光の反射像を、表示装置で
捕えるようにした。そして、被゛測定物を載置する試料
搭載台を、前記レーザ干渉装置の光軸まわりに回動可能
で、該光軸と垂直な面内において移動可能で、且つ面外
へ傾斜可能に構成した。また、前記レーザ干渉装置と一
体に、被測定物の変位を測定することができる変位測定
器を設けるようにした。
片面の測定を可能にするため、本発明の光学部品の偏心
測定装置は、レーザ干渉装置を使用して、被測定物であ
るレンズ面へ照射したレーザ光の反射像を、表示装置で
捕えるようにした。そして、被゛測定物を載置する試料
搭載台を、前記レーザ干渉装置の光軸まわりに回動可能
で、該光軸と垂直な面内において移動可能で、且つ面外
へ傾斜可能に構成した。また、前記レーザ干渉装置と一
体に、被測定物の変位を測定することができる変位測定
器を設けるようにした。
このように構成したものにおいて、被測定物の側面に接
触せしめた前記変位測定器を前記レーザ干渉装置の光軸
方向に沿って上下方向へ移動させたとき、その変位量が
ほとんど変化しなくなるように、前記試料搭載台の傾き
を修正する。これにより、被測定物の中心軸と前記レー
ザ干渉装置の光軸とが平行になる。次に、前記試料搭載
台を回動させたとき、前記変位測定器の目盛変化が最も
小さくなるように、該試料搭載台をその面内で移動させ
る。これにより、被測定物の中心軸と前記レーザ干渉装
置の光軸とが一致する。
触せしめた前記変位測定器を前記レーザ干渉装置の光軸
方向に沿って上下方向へ移動させたとき、その変位量が
ほとんど変化しなくなるように、前記試料搭載台の傾き
を修正する。これにより、被測定物の中心軸と前記レー
ザ干渉装置の光軸とが平行になる。次に、前記試料搭載
台を回動させたとき、前記変位測定器の目盛変化が最も
小さくなるように、該試料搭載台をその面内で移動させ
る。これにより、被測定物の中心軸と前記レーザ干渉装
置の光軸とが一致する。
前記表示装置に映った反射像が表示装置中心位置と一致
するように、前記試料搭載台を移動せしめたときの、そ
の移動量が偏心量であり、また、前記反射像の中心近傍
の干渉縞が同心円になるように、該試料搭載台を傾斜せ
しめたときの、その傾斜角がまたおれ”である。
するように、前記試料搭載台を移動せしめたときの、そ
の移動量が偏心量であり、また、前記反射像の中心近傍
の干渉縞が同心円になるように、該試料搭載台を傾斜せ
しめたときの、その傾斜角がまたおれ”である。
本発明は、上記した基本的事項に基づいてなされたもの
である。
である。
以下、実施例によりて説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る、光学部品の偏心測
定装置の側面図、第２図は、第１図に係る光学部品の偏
心測定装置の平面図、第３図は、第１［におけるレーザ
干渉装置からのレーザ光とその反射状態を示す部分側面
図、第４図は、第１図における被測定物の中心軸と光軸
との位置関係を示す部分側面図、第５図は、他の被測定
物（非球面）の中心軸と光軸、たおれとの関係を示す部
分側面図である。
定装置の側面図、第２図は、第１図に係る光学部品の偏
心測定装置の平面図、第３図は、第１［におけるレーザ
干渉装置からのレーザ光とその反射状態を示す部分側面
図、第４図は、第１図における被測定物の中心軸と光軸
との位置関係を示す部分側面図、第５図は、他の被測定
物（非球面）の中心軸と光軸、たおれとの関係を示す部
分側面図である。
図において、１は、２方向（第１図において上下方向）
に光軸を有し、レーザ光を収束するためのリファレンス
レンズ４を具備したレーザ干渉装置であり、このレーザ
干渉装置１は、その支持アーム２部によって、支持台１
４に立てられた支持ロッド３に２方向に移動可能に取付
けられている。１０は、前記支持台１４上に、支持枠１
９によって支持された試料搭載台であって、この試料搭
載台１０は、２軸まわりに回動可能な回転台１０αと、
Ｘ移動台１０ｂとＸ移動台１０ｅとを具備し、前記回転
台１０α上に被測定物８を載置固定することができるよ
うになっている。１１は、この回転台１０αを回動させ
るに使用される、試料搭載台１０に取付けられたモータ
、１２ｘは、該試料搭載台１０をＸ方向へ移動させるに
使用される。Ｘ移動台１０Ｃに取付けられたＸ移動つま
み、１２ｙは、該試料搭載台１０をＹ方向へ移動させる
に使用される、Ｘ移動台１０ｂに取付けられたＸ移動つ
まみである。１９．ｆは、試料搭載台１０をＸＺ面内で
傾斜させ、その傾斜量を表示することができる傾斜つま
みに係るＸＺ面傾斜つまみ、１９ｙは、試料搭載台１０
をＸＺ面内で傾斜させ、その傾斜量を表示することがで
きる傾斜つまみに係るＹＺ面傾斜つまみである。７は、
試料搭載台１０に載置固定された被測定物８のＸ方向の
変位を測定することができる、触子７ｂを有する変位測
定器であって、この変位測定器７は、前記レーザ干渉装
置１に取付けた支持バー６によって、該レーザ干渉装置
１に一体に取付けられている。１３ｘ 、 １ｓｙは、
いずれも支持台１４に立てられ、それぞれ試料搭載台１
０のＸ方向、Ｙ方向の移動量を測定することができるＸ
移動量測定器、Ｘ移動量測定器である。
に光軸を有し、レーザ光を収束するためのリファレンス
レンズ４を具備したレーザ干渉装置であり、このレーザ
干渉装置１は、その支持アーム２部によって、支持台１
４に立てられた支持ロッド３に２方向に移動可能に取付
けられている。１０は、前記支持台１４上に、支持枠１
９によって支持された試料搭載台であって、この試料搭
載台１０は、２軸まわりに回動可能な回転台１０αと、
Ｘ移動台１０ｂとＸ移動台１０ｅとを具備し、前記回転
台１０α上に被測定物８を載置固定することができるよ
うになっている。１１は、この回転台１０αを回動させ
るに使用される、試料搭載台１０に取付けられたモータ
、１２ｘは、該試料搭載台１０をＸ方向へ移動させるに
使用される。Ｘ移動台１０Ｃに取付けられたＸ移動つま
み、１２ｙは、該試料搭載台１０をＹ方向へ移動させる
に使用される、Ｘ移動台１０ｂに取付けられたＸ移動つ
まみである。１９．ｆは、試料搭載台１０をＸＺ面内で
傾斜させ、その傾斜量を表示することができる傾斜つま
みに係るＸＺ面傾斜つまみ、１９ｙは、試料搭載台１０
をＸＺ面内で傾斜させ、その傾斜量を表示することがで
きる傾斜つまみに係るＹＺ面傾斜つまみである。７は、
試料搭載台１０に載置固定された被測定物８のＸ方向の
変位を測定することができる、触子７ｂを有する変位測
定器であって、この変位測定器７は、前記レーザ干渉装
置１に取付けた支持バー６によって、該レーザ干渉装置
１に一体に取付けられている。１３ｘ 、 １ｓｙは、
いずれも支持台１４に立てられ、それぞれ試料搭載台１
０のＸ方向、Ｙ方向の移動量を測定することができるＸ
移動量測定器、Ｘ移動量測定器である。
１６は、前記レーザ干渉装置１から放射され、被測定物
８の表面に係るレンズ面９で収束する収束レーザ光、５
α、５ｂは、それぞれ、この収束レーザ光１６の反射像
１７．干渉縞外周４１ｉ１８を表示することができる収
束光表示装置、干渉縞表示装置である。
８の表面に係るレンズ面９で収束する収束レーザ光、５
α、５ｂは、それぞれ、この収束レーザ光１６の反射像
１７．干渉縞外周４１ｉ１８を表示することができる収
束光表示装置、干渉縞表示装置である。
このように構成した光学部品の偏心測定装置の動作を、
まずレンズ面９が球面である被測定物８の場合について
説明する。
まずレンズ面９が球面である被測定物８の場合について
説明する。
この被測定物８を試料搭載台１０の回転台１０α上に搭
載して固定する。支持アーム２および変位測定器アーム
７αを調整して、被測定物８の側面に変位測定器７の触
子７ｂを触接させる＠支捺アーム２を支持ｐラド３に沿
りて上下動させたとき１前記変位測定器７の変位表示が
変化しなくなるように１Ｘｚ面傾斜つまみ１９Ｊ、ＹＺ
面傾斜つまみ１９／を調整して試料搭載台１０の傾きを
修正する。これによりて、被測定物８の中心軸とレーザ
干渉装置１の光軸とが平行になる。
載して固定する。支持アーム２および変位測定器アーム
７αを調整して、被測定物８の側面に変位測定器７の触
子７ｂを触接させる＠支捺アーム２を支持ｐラド３に沿
りて上下動させたとき１前記変位測定器７の変位表示が
変化しなくなるように１Ｘｚ面傾斜つまみ１９Ｊ、ＹＺ
面傾斜つまみ１９／を調整して試料搭載台１０の傾きを
修正する。これによりて、被測定物８の中心軸とレーザ
干渉装置１の光軸とが平行になる。
モータ１１を駆動して前記回転台１０ｃＬを回動させた
とき、前記変位測定器７の変位表示が所定値（予め設定
した被測定物８の外形誤差、たとえば２μｍ）になるよ
うに、Ｘ移動つまみ１２ｘ。
とき、前記変位測定器７の変位表示が所定値（予め設定
した被測定物８の外形誤差、たとえば２μｍ）になるよ
うに、Ｘ移動つまみ１２ｘ。
Ｘ移動つまみ１２３１を調整する。これによって、被測
定物８の中心軸とレーザ干渉装置１の光軸とが一致する
。
定物８の中心軸とレーザ干渉装置１の光軸とが一致する
。
レーザ干渉装置１をＯＮにし、リファレンスレンズ４を
調整して、該レーザ干渉装置１からのレーザ光をレンズ
面９に収束させる（第３図鬼収束レーザ光１６はレンズ
面９で反射し、この反射像が収束光表示装＠ ５ ａお
よび干渉縞表示装置５ｂに表示される。この収束レーザ
光の反射像１７は、第３図に示すように、表示装置５ａ
の中心位置１５ｇからずれている。
調整して、該レーザ干渉装置１からのレーザ光をレンズ
面９に収束させる（第３図鬼収束レーザ光１６はレンズ
面９で反射し、この反射像が収束光表示装＠ ５ ａお
よび干渉縞表示装置５ｂに表示される。この収束レーザ
光の反射像１７は、第３図に示すように、表示装置５ａ
の中心位置１５ｇからずれている。
ところで、被測定物８のレンズ面９は球面であるので、
その光軸２０は、第４図に示すように、レンズ面９の最
も高い位置を通り、中心軸２１と平行であり、“たおれ
、は存在しない。そして、前反射像１７は、レンズ面９
の最も高い位置の像であるので、第３図における、収束
光表示装置５ａの中心位置１５Ｌと反射像１７とのずれ
量が、第４図に示される偏心量２２である。
その光軸２０は、第４図に示すように、レンズ面９の最
も高い位置を通り、中心軸２１と平行であり、“たおれ
、は存在しない。そして、前反射像１７は、レンズ面９
の最も高い位置の像であるので、第３図における、収束
光表示装置５ａの中心位置１５Ｌと反射像１７とのずれ
量が、第４図に示される偏心量２２である。
したがって、反射像１７が収束光表示装置５αの中心位
置１５（Ｌと一致するように、Ｘ移動つまみ１２＆、Ｘ
移動つまみ１２ｙを操作して、そのときのＸ移動量測定
器１３＆、Ｘ移動量測定器１！Ｂｙの測定量をマイコン
（図示せず）へ入力すれば、所望の偏心量２２が計算さ
れる。
置１５（Ｌと一致するように、Ｘ移動つまみ１２＆、Ｘ
移動つまみ１２ｙを操作して、そのときのＸ移動量測定
器１３＆、Ｘ移動量測定器１！Ｂｙの測定量をマイコン
（図示せず）へ入力すれば、所望の偏心量２２が計算さ
れる。
次に、レンズ面９人が非球面である被測定物８Ａ（第５
図）の場合について説明する。
図）の場合について説明する。
被測定物８人の中心軸２１Ａとレーザ干渉装置１の光軸
とを一致させる動作は、前述した被測定物８（レンズ面
９が球面）の場合と同様である。また、レーザ干渉装置
１を動作させて、収束光表示装置５α、干渉縞表示装置
５ｈに収束レーザ光の反射像１７．干渉縞を表示させる
方法も同様である。
とを一致させる動作は、前述した被測定物８（レンズ面
９が球面）の場合と同様である。また、レーザ干渉装置
１を動作させて、収束光表示装置５α、干渉縞表示装置
５ｈに収束レーザ光の反射像１７．干渉縞を表示させる
方法も同様である。
ところで、被測定物８Ａのレンズ面９Ａは非球面である
ので、その光軸２０Ａは１本だけ存在し、また、球面の
場合と異なり、光軸２ＯＡは、偏心ｊ１２２Ａとまたお
れ、２３とが存在する。そこでＸＺ面傾斜つまみ１９２
とＹＺ面傾斜つまみ１５’３／とを動作させて、またお
れ、を減少させる。
ので、その光軸２０Ａは１本だけ存在し、また、球面の
場合と異なり、光軸２ＯＡは、偏心ｊ１２２Ａとまたお
れ、２３とが存在する。そこでＸＺ面傾斜つまみ１９２
とＹＺ面傾斜つまみ１５’３／とを動作させて、またお
れ、を減少させる。
”たおれ、の減少にともない、モータ１１によって回動
する被測定物８Ａの反射像１７．干渉縞外周＠１８の動
きが小さくなり、またおれ、のなくなりたとき静止する
。このときのＸＺ面傾斜つまみ１９！、ＹＺ面傾斜つま
み１９３Ｔに表示された傾斜量を前記マイコンへ入力す
れば、所望の”たおれ、２３が計算される。Ｘ移動っま
み１２ｘ。
する被測定物８Ａの反射像１７．干渉縞外周＠１８の動
きが小さくなり、またおれ、のなくなりたとき静止する
。このときのＸＺ面傾斜つまみ１９！、ＹＺ面傾斜つま
み１９３Ｔに表示された傾斜量を前記マイコンへ入力す
れば、所望の”たおれ、２３が計算される。Ｘ移動っま
み１２ｘ。
Ｘ移動つまみ１２ｙを動作させて、試料搭載台１゜を移
動させ、反射像１７．干渉縞同心円１８の中心をそれぞ
れ表示装置中心１５α、１５ｂに一致させる。そのとき
のＸ移動量測定器１３５．Ｘ移動量測定器１３ｙの測定
量を前記マイコンへ入力すれば、所望の偏心量２２Ａが
計算される。
動させ、反射像１７．干渉縞同心円１８の中心をそれぞ
れ表示装置中心１５α、１５ｂに一致させる。そのとき
のＸ移動量測定器１３５．Ｘ移動量測定器１３ｙの測定
量を前記マイコンへ入力すれば、所望の偏心量２２Ａが
計算される。
具体的数値を述べると、偏心量の許容値は通常１０μｍ
程度であり、本実施例装置を使用することにより、α３
μｍ／本の干渉縞単位の測定が可能である。。
程度であり、本実施例装置を使用することにより、α３
μｍ／本の干渉縞単位の測定が可能である。。
以上説明した実施例によれば、従来から行なわれている
透過光による測定では不可能であった、金型のレンズ成
形面やレンズ片面の偏心量。
透過光による測定では不可能であった、金型のレンズ成
形面やレンズ片面の偏心量。
またおれ、の測定が、レーザ光を使用することにより可
能となった。レーザ光の利用は、同時に、非接触での測
定が可能であり、三次元測定機等の接触式測定と異なり
、レンズ面全面を一時に測定できるので、測定時間の大
幅な短縮を図ることができ、また接触式のような触針の
接触による表面損傷を防止できるという効果がある。
能となった。レーザ光の利用は、同時に、非接触での測
定が可能であり、三次元測定機等の接触式測定と異なり
、レンズ面全面を一時に測定できるので、測定時間の大
幅な短縮を図ることができ、また接触式のような触針の
接触による表面損傷を防止できるという効果がある。
また、被測定物の外形をレーザ干渉装置１の光軸と平行
もしくは一致させることができるので該被測定物゛の、
外形に対するレンズ面−回毎の偏心量、′たおれおの測
定が可能になり、金型のレンズ成形面の偏心修正時等に
、修正すべき内容と量を的確に示すことができる。
もしくは一致させることができるので該被測定物゛の、
外形に対するレンズ面−回毎の偏心量、′たおれおの測
定が可能になり、金型のレンズ成形面の偏心修正時等に
、修正すべき内容と量を的確に示すことができる。
加うるに、これまでの測定法で、分離して捕えていなか
ったレンズ面の偏心量とまたおれ、とを分離できるので
、金型のレンズ成形面の偏心修正時などにも効果がある
。
ったレンズ面の偏心量とまたおれ、とを分離できるので
、金型のレンズ成形面の偏心修正時などにも効果がある
。
なお、本実施例においては、変位測定器７を１個だけ設
けるようにしたが、複数個の変位測定器７を、支持パー
６に取付けて２方向（上。
けるようにしたが、複数個の変位測定器７を、支持パー
６に取付けて２方向（上。
下方向）に配設するようにすれば、被測定物８の中心軸
とレーザ干渉装置１の光軸とを平行にする場合、支持ア
ーム２を上下動させる必要がないので、測定の効率゛が
さらに肉上するとい・う利点がある。
とレーザ干渉装置１の光軸とを平行にする場合、支持ア
ーム２を上下動させる必要がないので、測定の効率゛が
さらに肉上するとい・う利点がある。
以上詳細に説明したように本発明によれば、レンズの片
面の偏心量およびまたゎみ、を、非接触で１効率よく測
定することができる、光学部品の偏心測定装置を提供す
ることができる。
面の偏心量およびまたゎみ、を、非接触で１効率よく測
定することができる、光学部品の偏心測定装置を提供す
ることができる。
第１図は、本発明の一実施例に係る、光学部品の偏心測
定装置の側面図、第２図は、第１図に係る光学部品の偏
心測定装置の平面図、第３図は、第１図におけるレーザ
干渉装置からのレーザ光とその反射状態を示す部分側面
図、第４図は、第１図における被測定物の中心軸と光軸
との位置関係を示す部分側面図、第５図は、他の被測定
物（非球面）の中心軸と光軸、たおれとの関係を示す部
分側面図である。 １・・・レーザ干渉装置、５α・・・収束光表示装置、
５ｂ・・・干渉縞表示装置、７・・・変位測定器、８゜
８Ａ・・・被測定物、１０・・・試料搭載台、１０α・
・・回・私金、１ａｂ−・・Ｘ移動台５１ＱＣ−Ｘ移動
台、１１・・・モータ、１２ｘ・・・Ｘ移動つまみ、１
２ｙ・・・Ｘ移動つまみ、１５．ｆ−・・Ｘ移動量測定
器、１３ｙ・・・Ｘ移動量測定器、１７・・・収束レー
ザ光の反射像、１８・・・干渉縞外周線、１９ｘ・・・
ＸＺ面傾斜つまみ、１９ｙ・・・ＸＺ面傾斜つまみ、２
２，２２Ａ・・・偏心量、２３・・・たおれ。 代理人弁理士 高 橋 明 失 業１図 茗２ 図
定装置の側面図、第２図は、第１図に係る光学部品の偏
心測定装置の平面図、第３図は、第１図におけるレーザ
干渉装置からのレーザ光とその反射状態を示す部分側面
図、第４図は、第１図における被測定物の中心軸と光軸
との位置関係を示す部分側面図、第５図は、他の被測定
物（非球面）の中心軸と光軸、たおれとの関係を示す部
分側面図である。 １・・・レーザ干渉装置、５α・・・収束光表示装置、
５ｂ・・・干渉縞表示装置、７・・・変位測定器、８゜
８Ａ・・・被測定物、１０・・・試料搭載台、１０α・
・・回・私金、１ａｂ−・・Ｘ移動台５１ＱＣ−Ｘ移動
台、１１・・・モータ、１２ｘ・・・Ｘ移動つまみ、１
２ｙ・・・Ｘ移動つまみ、１５．ｆ−・・Ｘ移動量測定
器、１３ｙ・・・Ｘ移動量測定器、１７・・・収束レー
ザ光の反射像、１８・・・干渉縞外周線、１９ｘ・・・
ＸＺ面傾斜つまみ、１９ｙ・・・ＸＺ面傾斜つまみ、２
２，２２Ａ・・・偏心量、２３・・・たおれ。 代理人弁理士 高 橋 明 失 業１図 茗２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｚ方向に光軸を有し、この方向に移動可能なレーザ
干渉装置と、Ｚ軸まわりに回動可能で、Ｘ方向、Ｙ方向
へ移動可能で、且つＸＺ面、ＹＺ面内で傾斜可能な、被
測定物を載置固定することができる試料搭載台と、この
試料搭載台のＸ方向、Ｙ方向の移動量を測定することが
できる移動量測定器と、該試料搭載台をＸＺ面、ＹＺ面
内で傾斜させ、その傾斜量を表示することができる傾斜
つまみと、該試料搭載台に載置固定された被測定物のＸ
方向の変位を測定することができる、前記レーザ干渉装
置と一体に設けられた変位測定器と、前記レーザ干渉装
置から放射され被測定物の表面で収束する収束レーザ光
の反射像、干渉縞外周線を表示することができる表示装
置とを具備したことを特徴とする光学部品の偏心測定装
置。 ２、変位測定器を、Ｚ方向に複数個設けたものである特
許請求の範囲第１項記載の光学部品の偏心測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26614884A JPH0613999B2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 光学部品の偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26614884A JPH0613999B2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 光学部品の偏心測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144541A true JPS61144541A (ja) | 1986-07-02 |
| JPH0613999B2 JPH0613999B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=17426963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26614884A Expired - Lifetime JPH0613999B2 (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 光学部品の偏心測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613999B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01296132A (ja) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | Olympus Optical Co Ltd | 非球面レンズ偏心測定装置 |
| US5548396A (en) * | 1993-08-13 | 1996-08-20 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for measuring eccentricity of aspherical lens having an aspherical surface on only one lens face |
| JP2009265050A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Konica Minolta Opto Inc | 偏心測定方法及び偏心測定装置 |
| CN109000885A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-12-14 | 歌尔股份有限公司 | 镜头和显示屏组装的检测方法及装置 |
| CN109163679A (zh) * | 2018-07-27 | 2019-01-08 | 东莞市凯融光学科技有限公司 | 一种影像式模仁机械偏心的测量方法 |
| CN110793455A (zh) * | 2018-08-01 | 2020-02-14 | 株式会社三丰 | 圆度测量装置、测量引导***和测量引导方法 |
| CN112444214A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-05 | 叶莉娟 | 一种转轴偏心转动激光检测预警的方法 |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP26614884A patent/JPH0613999B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01296132A (ja) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | Olympus Optical Co Ltd | 非球面レンズ偏心測定装置 |
| US5548396A (en) * | 1993-08-13 | 1996-08-20 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for measuring eccentricity of aspherical lens having an aspherical surface on only one lens face |
| JP2009265050A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Konica Minolta Opto Inc | 偏心測定方法及び偏心測定装置 |
| CN109000885A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-12-14 | 歌尔股份有限公司 | 镜头和显示屏组装的检测方法及装置 |
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| CN110793455A (zh) * | 2018-08-01 | 2020-02-14 | 株式会社三丰 | 圆度测量装置、测量引导***和测量引导方法 |
| CN112444214A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-05 | 叶莉娟 | 一种转轴偏心转动激光检测预警的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0613999B2 (ja) | 1994-02-23 |
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