JPS6113551Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6113551Y2 JPS6113551Y2 JP10343481U JP10343481U JPS6113551Y2 JP S6113551 Y2 JPS6113551 Y2 JP S6113551Y2 JP 10343481 U JP10343481 U JP 10343481U JP 10343481 U JP10343481 U JP 10343481U JP S6113551 Y2 JPS6113551 Y2 JP S6113551Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- heating element
- heating
- temperature
- cooling medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 8
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018110 Se—Te Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電子写真用感光体などの製造に適し
た真空蒸着装置における支持体に関する。
た真空蒸着装置における支持体に関する。
従来、電子写真用感光体などの製造に適した真
空蒸着装置は、支持体に被蒸着物を支持し、これ
を加熱しながら真空蒸着していた。この際の加熱
方式としては、温水循環方式、ヒーター加熱方
式、電子ビームガン加熱方式などが採用されてい
た。温水循環方式の温度のコントロールがし易い
が、約100℃までしか使用できない。ヒーター加
熱方式は200〜300℃程度までの加熱をすることが
できるが、60〜70℃のところで温度ムラを発生し
易く、又、温度のコントロールがむずかしい。電
子ビームガン加熱方式は高温加熱の場合しか使え
ず、又これも温度のコントロールがむずかしい。
空蒸着装置は、支持体に被蒸着物を支持し、これ
を加熱しながら真空蒸着していた。この際の加熱
方式としては、温水循環方式、ヒーター加熱方
式、電子ビームガン加熱方式などが採用されてい
た。温水循環方式の温度のコントロールがし易い
が、約100℃までしか使用できない。ヒーター加
熱方式は200〜300℃程度までの加熱をすることが
できるが、60〜70℃のところで温度ムラを発生し
易く、又、温度のコントロールがむずかしい。電
子ビームガン加熱方式は高温加熱の場合しか使え
ず、又これも温度のコントロールがむずかしい。
本考案は以上の点に鑑みなされたもので、室温
から300℃まで連続的に均一にコントロールしな
がら加熱することができる支持体を提供するもの
である。
から300℃まで連続的に均一にコントロールしな
がら加熱することができる支持体を提供するもの
である。
すなわち、本考案は、円筒状の外套の内部中央
に円筒状の加熱体を配設し、これら外套と加熱体
との間に真空封入された耐熱性オイルを有し、か
つ加熱体の内部には冷却媒体循環パイプを配設し
てなることを特徴とする真空蒸着装置における支
持体を要旨とするものである。
に円筒状の加熱体を配設し、これら外套と加熱体
との間に真空封入された耐熱性オイルを有し、か
つ加熱体の内部には冷却媒体循環パイプを配設し
てなることを特徴とする真空蒸着装置における支
持体を要旨とするものである。
実施例を図面によつて説明すると、図において
１は支持体の円筒状外套で、内部中央にらせん状
の加熱体２を配設し、この外套１と加熱体２との
間には耐熱性オイル３が封入してある。さらに加
熱体２の内部には冷却媒体循環パイプ４を配設し
てあるものである。
１は支持体の円筒状外套で、内部中央にらせん状
の加熱体２を配設し、この外套１と加熱体２との
間には耐熱性オイル３が封入してある。さらに加
熱体２の内部には冷却媒体循環パイプ４を配設し
てあるものである。
かかる構成の支持体の外套１の周囲に被蒸着体
５を装着して、これを真空蒸着装置内に入れ、加
熱体２に通電することによつて、被蒸着体５を適
正温度に加熱しながらその表面に蒸着物質を蒸着
するものである。
５を装着して、これを真空蒸着装置内に入れ、加
熱体２に通電することによつて、被蒸着体５を適
正温度に加熱しながらその表面に蒸着物質を蒸着
するものである。
上記耐熱性オイル３としてはシリコーンオイル
の如きものが用いられるが、かかる耐熱性オイル
３を用いるのは、外套１に対して均一な温度を加
えることと、常温より300℃程度まで連続的に加
温できるようにするためである。耐熱性オイル３
は真空封入によつて酸化による劣化を防止する。
の如きものが用いられるが、かかる耐熱性オイル
３を用いるのは、外套１に対して均一な温度を加
えることと、常温より300℃程度まで連続的に加
温できるようにするためである。耐熱性オイル３
は真空封入によつて酸化による劣化を防止する。
冷却媒体循環パイプ４には、水や液体窒素の如
く冷却媒体を還流させ、耐熱性オイル３の冷却を
経て、外套１を冷却する。この冷却媒体循環パイ
プ４は熱伝導率のよい銅製のものが適当である。
く冷却媒体を還流させ、耐熱性オイル３の冷却を
経て、外套１を冷却する。この冷却媒体循環パイ
プ４は熱伝導率のよい銅製のものが適当である。
本考案においては、加熱体による加熱と、冷却
媒体循環パイプによる冷却とを適宜行ない、その
熱を耐熱性オイルを媒体として均一に外套面に伝
達し、ひいては被蒸着体を適正温度に均一に保持
することができるものである。例えば、電子写真
用感光体の製造の場合、Se，Se−Te，SeAs0.5な
どの感光材料では50〜90℃まで可変できればよい
が、Se3As2については180〜230℃の温度でなけ
れば、その電気特性を保持することができない。
したがつて、広範な温度範囲の均一保持が必要と
なるが、本考案はかかる場合に好適で、電気特性
にバラツキのない感光体の製造に最も適してい
る。
媒体循環パイプによる冷却とを適宜行ない、その
熱を耐熱性オイルを媒体として均一に外套面に伝
達し、ひいては被蒸着体を適正温度に均一に保持
することができるものである。例えば、電子写真
用感光体の製造の場合、Se，Se−Te，SeAs0.5な
どの感光材料では50〜90℃まで可変できればよい
が、Se3As2については180〜230℃の温度でなけ
れば、その電気特性を保持することができない。
したがつて、広範な温度範囲の均一保持が必要と
なるが、本考案はかかる場合に好適で、電気特性
にバラツキのない感光体の製造に最も適してい
る。
図は、本考案の一実施例の断面図である。
１……外套、２……加熱体、３……耐熱性オイ
ル、４……冷却媒体循環パイプ、５……被蒸着
体。
ル、４……冷却媒体循環パイプ、５……被蒸着
体。
Claims (1)
- 円筒状の外套の内部中央に円筒状の加熱体を配
設し、これら外套と加熱体との間に真空封入され
た耐熱性オイルを有し、かつ加熱体の内部には冷
却媒体循環パイプを配設してなることを特徴とす
る真空蒸着装置における支持体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10343481U JPS5812267U (ja) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | 真空蒸着装置における支持体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10343481U JPS5812267U (ja) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | 真空蒸着装置における支持体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5812267U JPS5812267U (ja) | 1983-01-26 |
| JPS6113551Y2 true JPS6113551Y2 (ja) | 1986-04-26 |
Family
ID=29898044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10343481U Granted JPS5812267U (ja) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | 真空蒸着装置における支持体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5812267U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991009148A1 (en) * | 1989-12-11 | 1991-06-27 | Hitachi, Ltd. | Device for vacuum treatment and device for and method of film formation using said device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0329319Y2 (ja) * | 1984-09-21 | 1991-06-21 |
-
1981
- 1981-07-14 JP JP10343481U patent/JPS5812267U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991009148A1 (en) * | 1989-12-11 | 1991-06-27 | Hitachi, Ltd. | Device for vacuum treatment and device for and method of film formation using said device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5812267U (ja) | 1983-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4172976A (en) | Heat roller fixing apparatus | |
| US2772318A (en) | Apparatus for vaporization of metals and metalloids | |
| JPS6113551Y2 (ja) | ||
| JP2005200767A (ja) | 昇華性材料のための蒸発装置 | |
| JPS6327435Y2 (ja) | ||
| JPH0465819A (ja) | 気相成長装置 | |
| JPS55122870A (en) | Vacuum vapor deposition method | |
| US3344768A (en) | Powder evaporation apparatus | |
| JPH028022B2 (ja) | ||
| JPS5822188Y2 (ja) | 電子写真感光体基層の加熱装置 | |
| JPS6043913B2 (ja) | 蒸発源用るつぼ | |
| US3652330A (en) | Process for coating amorphous selenium | |
| JPS607607Y2 (ja) | 湯沸かし器の容器 | |
| JPS5943871A (ja) | 蒸発材料収容器 | |
| US3530930A (en) | Heat transfer method and apparatus | |
| JP2003153799A (ja) | 調理鍋およびこの調理鍋を用いた調理装置 | |
| JPH1088322A (ja) | リチウム用蒸着源 | |
| JPH0210118Y2 (ja) | ||
| JP2616794B2 (ja) | 加熱容器 | |
| JPS6214470Y2 (ja) | ||
| JPS6323910Y2 (ja) | ||
| JPH0445237Y2 (ja) | ||
| JPS60181272A (ja) | 真空蒸着用マンドレル | |
| JPS61110759A (ja) | 蒸着装置 | |
| JPS5834357Y2 (ja) | 暖房機の加湿装置 |