JPS61129545A - 微差圧変換器 - Google Patents
微差圧変換器Info
- Publication number
- JPS61129545A JPS61129545A JP25140884A JP25140884A JPS61129545A JP S61129545 A JPS61129545 A JP S61129545A JP 25140884 A JP25140884 A JP 25140884A JP 25140884 A JP25140884 A JP 25140884A JP S61129545 A JPS61129545 A JP S61129545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- differential pressure
- chamber
- pressure
- lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、微差圧変換器に係り、特に比較的単純な構成
により微小な圧力差を検出できるものであって、室内外
の圧力差、またはある部屋と他の部屋との圧力差の検知
に用いることができ、クリーンルームや空調設備等に利
用できるもので−ある。
により微小な圧力差を検出できるものであって、室内外
の圧力差、またはある部屋と他の部屋との圧力差の検知
に用いることができ、クリーンルームや空調設備等に利
用できるもので−ある。
[背景技術とその問題点]
従来、2個所の測定点間の圧力差を検知する手段として
は第2図に示される差圧発信器が知られている(例えば
、実公昭57−33406号公報)。
は第2図に示される差圧発信器が知られている(例えば
、実公昭57−33406号公報)。
図において、本体10の中心部に設けられた貢通孔12
内に遊嵌された力伝達し八−14の上端部には力を電気
信号に変換する変換部16が設置されている。また、前
記本体10には、前記貫通孔12に連通してこれと直交
する孔18があけられ、この孔18には連結軸20が摺
動自在に挿入されているとともに、該連結軸20には前
記レバー14を貫通させるための比較的大きな孔22と
、これに直交するねじ孔24が形成されており、このね
じ孔24にはレバー14に当tiするように当接ねじ2
6がねじ込まれている。
内に遊嵌された力伝達し八−14の上端部には力を電気
信号に変換する変換部16が設置されている。また、前
記本体10には、前記貫通孔12に連通してこれと直交
する孔18があけられ、この孔18には連結軸20が摺
動自在に挿入されているとともに、該連結軸20には前
記レバー14を貫通させるための比較的大きな孔22と
、これに直交するねじ孔24が形成されており、このね
じ孔24にはレバー14に当tiするように当接ねじ2
6がねじ込まれている。
更に、前記本体lOの両面は波形に形成され、この波形
に対応する波形に形成されたダイヤフラム28及び30
がそれぞれ所定の間隙をおいて該本体lOの両面に対抗
するようにそれらの外周部を溶接する等の手段によって
本体lOに取付けられている。
に対応する波形に形成されたダイヤフラム28及び30
がそれぞれ所定の間隙をおいて該本体lOの両面に対抗
するようにそれらの外周部を溶接する等の手段によって
本体lOに取付けられている。
これら、ダイヤフラム28及び30には前記連結軸20
の両端面が固設されているとともに、前1 記貫通
孔12)孔18等と外部との間には所定のシール処理が
施されて封入液31が充填されている。
の両端面が固設されているとともに、前1 記貫通
孔12)孔18等と外部との間には所定のシール処理が
施されて封入液31が充填されている。
また、ダイヤフラム28及び30はこれとの間に所定の
間隔を形成するように設けられたカバープレート32及
び34によって覆われ、それぞれ受圧室36及び38が
形成されているとともに、これら受圧室にはそれぞれ圧
力導入口40及び42が設けられている。
間隔を形成するように設けられたカバープレート32及
び34によって覆われ、それぞれ受圧室36及び38が
形成されているとともに、これら受圧室にはそれぞれ圧
力導入口40及び42が設けられている。
従って、前記圧力導入口40及び42にそれぞれ比較す
べき圧力を導入すれば、それら圧力はダイヤフラム28
及び30に作用し、それらの圧力差に応じた力が前記ね
じ26及び力伝達レバー14を介して前記変換部16に
伝達され、該変換部16によって前記圧力差に対応した
電気信号が送出されるものである。
べき圧力を導入すれば、それら圧力はダイヤフラム28
及び30に作用し、それらの圧力差に応じた力が前記ね
じ26及び力伝達レバー14を介して前記変換部16に
伝達され、該変換部16によって前記圧力差に対応した
電気信号が送出されるものである。
このような従来の差圧発信器は一般にプロセス計測等の
工業設備用として設計されており、比較的高圧の領域で
用いられるものである。
工業設備用として設計されており、比較的高圧の領域で
用いられるものである。
このため、高圧領域での差圧検知及び過圧保護が回走な
構成となっており、この構成によって微差圧を検知する
ことは困難であるとともに、これに設計的変更を加えて
微差圧を検知できるようにしようとするとダイヤフラム
を極めて大きなものとしなければならない。
構成となっており、この構成によって微差圧を検知する
ことは困難であるとともに、これに設計的変更を加えて
微差圧を検知できるようにしようとするとダイヤフラム
を極めて大きなものとしなければならない。
更には、微差圧を検知可能とするためには、構成部品の
高精度化が要求され、組立、加工上も好ましくないとと
もに、過圧保護機構も複雑で重量も大となり、据付コス
トもかさみ、結局高価なものとなる。
高精度化が要求され、組立、加工上も好ましくないとと
もに、過圧保護機構も複雑で重量も大となり、据付コス
トもかさみ、結局高価なものとなる。
それ故、前記従来の差圧発信器を空調設備等の微差圧変
換器として用いることはできなかったものである。
換器として用いることはできなかったものである。
[発明の目的]
本発明の目的は、比較的単純な構成によって微差圧を検
知できる微差圧変換器を提供することにある。
知できる微差圧変換器を提供することにある。
[問題点を解決するための手段および作用]本発明は1
例えば、てこの原理を応用した力拡大レバー等で構成さ
れる力拡大手段を用いることにより、ダイヤフラム等で
構成される力変換手段によって得られた微差圧に対応す
る微小な力を拡太し、この拡大された力を力検出器で検
出することにより、微差圧を比較的単純な構成により検
知可能としたものである。
例えば、てこの原理を応用した力拡大レバー等で構成さ
れる力拡大手段を用いることにより、ダイヤフラム等で
構成される力変換手段によって得られた微差圧に対応す
る微小な力を拡太し、この拡大された力を力検出器で検
出することにより、微差圧を比較的単純な構成により検
知可能としたものである。
具体的には、第1の測定点圧力を受圧する第1の部屋と
、第2の測定点圧力を受圧する第2の部屋と、前記第1
の部屋と第2の部屋との差圧をそれに対応した力に変換
する力変換手段と、この変換された力を拡大する力拡大
機構と、この力拡大機構によって拡大された力を受けて
これに対応した信号を送出する力検出器とを含む構成か
らなるものである。
、第2の測定点圧力を受圧する第2の部屋と、前記第1
の部屋と第2の部屋との差圧をそれに対応した力に変換
する力変換手段と、この変換された力を拡大する力拡大
機構と、この力拡大機構によって拡大された力を受けて
これに対応した信号を送出する力検出器とを含む構成か
らなるものである。
第1図は本発明の実施例を示す断面図である。
図において、円板状の基板50における一方の面、即ち
図における下面には、浅底有底円筒状をなす第1のケー
シング52がその縁部を溶接する等の手段により接着さ
れており、前記基板50の他方の面、即ち、図における
上面には、有底円筒状をなす第2のケーシング54が、
その開口面を基板50の上面に対向するように取付けら
れている。
図における下面には、浅底有底円筒状をなす第1のケー
シング52がその縁部を溶接する等の手段により接着さ
れており、前記基板50の他方の面、即ち、図における
上面には、有底円筒状をなす第2のケーシング54が、
その開口面を基板50の上面に対向するように取付けら
れている。
即ち、第2のケーシング54の開口部における縁部には
フランジ部56が形成され、該フランジ部56には貫通
孔58.58が形成されているとともに、前記基板50
には前記貫通孔58.58に対応するねじ孔60.60
が設けられており、前記貫通孔58.58を通してねじ
孔60.60にはポル)62.62が螺合されている。
フランジ部56が形成され、該フランジ部56には貫通
孔58.58が形成されているとともに、前記基板50
には前記貫通孔58.58に対応するねじ孔60.60
が設けられており、前記貫通孔58.58を通してねじ
孔60.60にはポル)62.62が螺合されている。
また、前記フランジ部56には周1464が切られてお
り、この周溝64にはOリング66が嵌着されている。
り、この周溝64にはOリング66が嵌着されている。
従って、前記第2のケーシング54はポルト62.62
を締めることによって基板、50に密着して固定される
とともに、Oリング66によって該密着部のシールがな
されるものである。
を締めることによって基板、50に密着して固定される
とともに、Oリング66によって該密着部のシールがな
されるものである。
前記基板50と第1のケーシング52とで形成される部
屋68は第1の測定点圧力を受圧する第1の部屋を構成
し、前記基板5oと第2のケーシング54とで形成され
る部屋7oは第2の測定点圧力を受圧する第2の部屋を
構成するものであり、各々の?LPlには圧力導入ロア
2及び74が設けられている。
屋68は第1の測定点圧力を受圧する第1の部屋を構成
し、前記基板5oと第2のケーシング54とで形成され
る部屋7oは第2の測定点圧力を受圧する第2の部屋を
構成するものであり、各々の?LPlには圧力導入ロア
2及び74が設けられている。
また、前記基板50の下面には環状の突起76−が設け
られており、この突起76にはダイヤフラム78が溶接
その他の手段によって密着されているとともに、該ダイ
ヤフラム78の中央部にはストッパ板80が固着されて
いる。
られており、この突起76にはダイヤフラム78が溶接
その他の手段によって密着されているとともに、該ダイ
ヤフラム78の中央部にはストッパ板80が固着されて
いる。
前記基板50の中央部にはねじ孔82が穿設されている
とともに該ねじ孔82には円筒形状をなしたわねじ84
が螺合されている。
とともに該ねじ孔82には円筒形状をなしたわねじ84
が螺合されている。
このおねじ84の上端部にはロックナツト86が螺合さ
れており、おねじ84のロックがなされるとともに、そ
の下端部は前記ストッパ板80の上方への移動を制限す
るストッパ部材を構成する。
れており、おねじ84のロックがなされるとともに、そ
の下端部は前記ストッパ板80の上方への移動を制限す
るストッパ部材を構成する。
前記ストッパ板80の上面には板ばね88が植設されて
おり、この板ばね88は前記円筒ねじ84の中空部を通
って前記第2の部屋70に至り、その上端は力拡大レバ
ー90の一端に固着されている。
おり、この板ばね88は前記円筒ねじ84の中空部を通
って前記第2の部屋70に至り、その上端は力拡大レバ
ー90の一端に固着されている。
前記力拡大レバー90は、その他端が前記)、’、、板
50の上面に突設された突状片92に穿設されている貫
通孔94を通過して力検出器96の検出端に結合されて
いるとともに、前記貫通孔94の近傍においてレバー9
0に固着された板ばね98を前記突状片に固定すること
によって該突状片に支持されている。
50の上面に突設された突状片92に穿設されている貫
通孔94を通過して力検出器96の検出端に結合されて
いるとともに、前記貫通孔94の近傍においてレバー9
0に固着された板ばね98を前記突状片に固定すること
によって該突状片に支持されている。
即ち、前記力拡大レバー90は板ばね98を支点とする
てこを構成するものであり、前記ダイヤフラム78に作
用した微小な力が、前記板ばね88を通じてレバー90
の一端に加えられ、それがてこの原理によって拡大され
て力検出器96に加えられるものである。
てこを構成するものであり、前記ダイヤフラム78に作
用した微小な力が、前記板ばね88を通じてレバー90
の一端に加えられ、それがてこの原理によって拡大され
て力検出器96に加えられるものである。
本実施例にあっては、前記力拡大レバー90の前記支点
から6力の作用点までの距離の比が工:3ないし1:1
0に選定されている。
から6力の作用点までの距離の比が工:3ないし1:1
0に選定されている。
従って、前記力検出器96として、例えば歪ゲージを用
いた片持ばりのカンチレ/−一式検出器を用いた場合、
力検知の際の変位量が0.05〜0,10■と小さいが
、それが力拡大レバーによって前記の比に拡大されるか
ら、ダイヤフラム78の中央部の移動量は0.3〜1.
hmと大きくとることができる。
いた片持ばりのカンチレ/−一式検出器を用いた場合、
力検知の際の変位量が0.05〜0,10■と小さいが
、それが力拡大レバーによって前記の比に拡大されるか
ら、ダイヤフラム78の中央部の移動量は0.3〜1.
hmと大きくとることができる。
また、前記力検出器96は、前記突状片92に固設され
ているとともに、その出方端はリード線工00によって
前記第2のケーシング54に設けられたハーメチックシ
ール102の端子104に接続されており、気密を保持
しつつ外部に信号を送出するものである。
ているとともに、その出方端はリード線工00によって
前記第2のケーシング54に設けられたハーメチックシ
ール102の端子104に接続されており、気密を保持
しつつ外部に信号を送出するものである。
なお、前記力拡大レバー9oの下部であって前記基板5
0の上面にはねじ孔106が切られてあり、このねじ孔
106にはストッパビス108が螺合されており、この
ストッパビス108にはロックナラhtioが螺合され
ている。 。
0の上面にはねじ孔106が切られてあり、このねじ孔
106にはストッパビス108が螺合されており、この
ストッパビス108にはロックナラhtioが螺合され
ている。 。
このストッパビス10gは前記力拡大レバー90の下方
への移動範囲を制限し、前記第2の部屋に異常な高圧が
加わったり、第1の部屋が異常に低圧となった場合に力
検出器96を保護するものである。
への移動範囲を制限し、前記第2の部屋に異常な高圧が
加わったり、第1の部屋が異常に低圧となった場合に力
検出器96を保護するものである。
次に、前記実施例の作用を説明する。
今、測定しようとする2つの測定点の圧力を前記圧力導
入ロア2及び74を通じてそれぞれ第1の部屋68及び
第2の部屋70に導入する。
入ロア2及び74を通じてそれぞれ第1の部屋68及び
第2の部屋70に導入する。
そうすると、これら圧力の差に応じてダイヤフラム78
に力が作用し、その力が板ばね88を通じて力拡大レバ
ー90の一端に加わるから、このレバー90の作用によ
って核力は拡大されて力検出器96に作用する。
に力が作用し、その力が板ばね88を通じて力拡大レバ
ー90の一端に加わるから、このレバー90の作用によ
って核力は拡大されて力検出器96に作用する。
これによって、差圧が極めて微小であってもこれを検知
し、その差圧に対応した信号を端子104に送出するも
のである。
し、その差圧に対応した信号を端子104に送出するも
のである。
また、異常な圧力が加わった場合は、ストッパ板80及
びストッパビス108によって力拡大レバー90の過剰
移動が阻止されて力検出器96が保護される。
びストッパビス108によって力拡大レバー90の過剰
移動が阻止されて力検出器96が保護される。
前記実施例によれば、差圧が極めて微小な場合にはダイ
ヤフラムに作用する力が極めて微小であるが、その力は
力拡大レバー90によって拡大されて力検出器96に加
えられるから容易に検出される。
ヤフラムに作用する力が極めて微小であるが、その力は
力拡大レバー90によって拡大されて力検出器96に加
えられるから容易に検出される。
また、てこの原理を応用した力拡大レバー90を用いて
いることから差圧に対応した力を検知する場合に拡大レ
バー90の一端の板ばね88を連結した部位の変位量を
大きくとることができる。
いることから差圧に対応した力を検知する場合に拡大レ
バー90の一端の板ばね88を連結した部位の変位量を
大きくとることができる。
このため、微小な差圧を正確に測定できるとともに、過
圧保護のための高精度のストッパ機構を必要とせず、前
記ストッパ板80及びストッパビス108による比較的
簡単な保護機構によって力検出器96の保護を行うこと
ができる。
圧保護のための高精度のストッパ機構を必要とせず、前
記ストッパ板80及びストッパビス108による比較的
簡単な保護機構によって力検出器96の保護を行うこと
ができる。
このため、従来のように封入液を用いる等の必要がない
から、封入液の温度特性による影響を考慮する必要がな
いとともに、液の封入のための構造及び封入作業等が不
要である。
から、封入液の温度特性による影響を考慮する必要がな
いとともに、液の封入のための構造及び封入作業等が不
要である。
また、前記力拡大レバー90は、その支点を板ばね98
で支持し、ダイヤフラム78からの力の伝達を板ばね8
8によって行っているから、振動その他の外乱の影響を
受けにくいとともに、力検出動作の際に可動部に摩擦部
分や遊隙部がないから力の伝達が忠実に行われ、不連続
的に行われる等の不都合がない。
で支持し、ダイヤフラム78からの力の伝達を板ばね8
8によって行っているから、振動その他の外乱の影響を
受けにくいとともに、力検出動作の際に可動部に摩擦部
分や遊隙部がないから力の伝達が忠実に行われ、不連続
的に行われる等の不都合がない。
このため、微差圧を極めて精度良く測定することができ
る。
る。
前記実施例による微差圧変換塁を用いて実験したところ
、数+111H20の微差圧を極めて精度よく測定でき
ることが確認された。
、数+111H20の微差圧を極めて精度よく測定でき
ることが確認された。
なお、前記実施例にあっては、力変換器として構造及び
取付は等が簡単なダイヤフラムを用いているが、これは
例えばベローフラム、ベローモジくはピストン等の原理
を応用したものであっても良い。
取付は等が簡単なダイヤフラムを用いているが、これは
例えばベローフラム、ベローモジくはピストン等の原理
を応用したものであっても良い。
また、力拡大機構として力拡大レバー90を用いている
が、これも例えば油圧シリンダ等を応用したものでも良
い。
が、これも例えば油圧シリンダ等を応用したものでも良
い。
更には、力拡大レバー90の支点を板ばね98で構成し
ているが、これはコイルばね等信の弾性部材で構成して
も良く、また、ピボットその他の軸受は手段で構成する
こともできる。
ているが、これはコイルばね等信の弾性部材で構成して
も良く、また、ピボットその他の軸受は手段で構成する
こともできる。
〔発明の効果]
以上、詳述したように、本発明によれば、力拡大機構を
用いているために、微差圧を正確に測定することができ
る。
用いているために、微差圧を正確に測定することができ
る。
第1図は本発明の実施例を示す断面図、第2図は従来例
を示す断面図である。 68・・・第1の測定点圧力を電圧する第1の部屋、7
0・・・第2の測定点圧力を受圧する第2の部屋、78
・・・ダイヤフラム、88.90.98・・・力拡大機
構を構成する板ばね、力拡大レバー及び板ばね、96・
・・力検出器。
を示す断面図である。 68・・・第1の測定点圧力を電圧する第1の部屋、7
0・・・第2の測定点圧力を受圧する第2の部屋、78
・・・ダイヤフラム、88.90.98・・・力拡大機
構を構成する板ばね、力拡大レバー及び板ばね、96・
・・力検出器。
Claims (4)
- (1)第1の測定点圧力を受圧する第1の部屋と、第2
の測定点圧力を受圧する第2の部屋と、前記第1の部屋
と第2の部屋との差圧をそれに対応した力に変換する力
変換手段と、この変換された力を拡大する力拡大機構と
、この力拡大機構によって拡大された力を受けてこれに
対応した信号を送出する力検出器とを含む微差圧変換器
。 - (2)特許請求の範囲第1項において、前記力変換器は
、前記第1の部屋と第2の部屋とを仕切るダイヤフラム
であることを特徴とする微差圧変換器。 - (3)特許請求の範囲第1項において、前記力拡大機構
は、一端が前記力変換手段に連結され、他端が前記力検
出器に連結されているとともに、所望の力拡大比に対応
する点を支点としたてこを形成する力拡大レバーである
ことを特徴とする微差圧変換器。 - (4)特許請求の範囲第3項において、前記力拡大レバ
ーは、一端が弾性部材によって力変換手段に連結されて
いるとともに前記支点は、弾性部材を介して固定部材に
固着されたものであることを特徴とする微差圧変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25140884A JPS61129545A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | 微差圧変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25140884A JPS61129545A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | 微差圧変換器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61129545A true JPS61129545A (ja) | 1986-06-17 |
Family
ID=17222396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25140884A Pending JPS61129545A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | 微差圧変換器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61129545A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009258085A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-11-05 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
JP2013015524A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 最適化された感度を有する圧力測定デバイス |
JP2021508819A (ja) * | 2017-12-21 | 2021-03-11 | アリアングループ・エス・ア・エス | 差圧センサ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS522558A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | Nec Corp | Electric weight conversion device |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP25140884A patent/JPS61129545A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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