JPS61122627A - Space optical modulating tube - Google Patents
Space optical modulating tubeInfo
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- JPS61122627A JPS61122627A JP24475484A JP24475484A JPS61122627A JP S61122627 A JPS61122627 A JP S61122627A JP 24475484 A JP24475484 A JP 24475484A JP 24475484 A JP24475484 A JP 24475484A JP S61122627 A JPS61122627 A JP S61122627A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器中に形成した光電面に対間して、電
気光学結晶を配置し、光電面に形成された光像に対応し
て放射される光電子を前記結晶表面に蓄積し、前記結晶
に前記蓄積電荷に対応する屈折率の変化を発生させ、そ
の屈折率変化をレーザで読み出す空間光変調管に関し、
特にそのような空間光変調管の解像度を向上させるため
の電気光学結晶部の改良に関する。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention provides an electro-optic crystal that is arranged between a photocathode formed in a vacuum container and corresponds to an optical image formed on the photocathode. A spatial light modulation tube that accumulates photoelectrons emitted by the crystal on the crystal surface, causes the crystal to generate a change in refractive index corresponding to the accumulated charge, and reads out the refractive index change with a laser,
In particular, the present invention relates to improvements in electro-optic crystal parts for improving the resolution of such spatial light modulation tubes.
（従来の技術）
まず、空間光変調管の基本的な構成をその動作とともに
簡単に説明する。(Prior Art) First, the basic configuration of a spatial light modulation tube will be briefly explained along with its operation.
第４図は、空間光変調管の基本的な構成を示した概略図
である。FIG. 4 is a schematic diagram showing the basic configuration of the spatial light modulation tube.
空間光変調管のガラス容器３の内面の光電面４にインコ
ヒーレント光で照明された入カバターン１からの像がレ
ンズ２を介して入射させられる。An image from an input cover turn 1 illuminated with incoherent light is made incident through a lens 2 onto a photocathode 4 on the inner surface of a glass container 3 of a spatial light modulation tube.
このとき、光電面４は入射像に対応した光電子を放出す
る。その光電子は加速・集束電子レンズ系５を介して、
マイクロチャンネルプレート６に入射させられ、数千倍
に増倍される。At this time, the photocathode 4 emits photoelectrons corresponding to the incident image. The photoelectrons pass through an accelerating/focusing electron lens system 5,
The light is made incident on the microchannel plate 6 and multiplied several thousand times.
この増倍された電子は、裏面に透明電極８ａが形成され
ているＬｉＮｂＯ３などの電気光学結晶８の表面に蓄積
され、この結晶８の屈折率を電荷像に対応して変化させ
る。These multiplied electrons are accumulated on the surface of an electro-optic crystal 8 made of LiNbO3 or the like on which a transparent electrode 8a is formed, and the refractive index of this crystal 8 is changed in accordance with the charge image.
レーザ光源１０からのレーザ光をハーフミラ−９を介し
て電気光学結晶８に照射すると、レーザ光の像１１ （
コヒーレント像）が得られる。このレーザ光の像１１は
、コヒーレント並列光演算を行うことができる。When the electro-optic crystal 8 is irradiated with laser light from the laser light source 10 via the half mirror 9, an image 11 of the laser light (
A coherent image) is obtained. This laser beam image 11 can be used to perform coherent parallel optical calculations.
第５図は、電気光学結晶板の厚さと電界の関係を説明す
るための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the relationship between the thickness of the electro-optic crystal plate and the electric field.
このような構成の空間光変調管において、結晶表面に微
少な点電荷Ｐが帯電した時、電気光学績、
晶８の厚さが比較的厚い場合には、第５図（Ａ）のよう
に、その電荷による電界はδ１で示すように広く拡がる
。In a spatial light modulation tube with such a configuration, when a minute point charge P is charged on the crystal surface, the electro-optical result,
When the crystal 8 is relatively thick, the electric field due to the charge spreads widely as shown by δ1, as shown in FIG. 5(A).
これに対して、その結晶８の厚さが比較的薄い場合には
、第５図（Ｂ）のように、その電荷による電界はδ２で
示すように拡がりが小さくなる。On the other hand, when the thickness of the crystal 8 is relatively thin, as shown in FIG. 5(B), the electric field due to the electric charges has a small spread as shown by δ2.
この電界は、電気光学結晶８の屈折率を変化させ、レー
ザ１０からの光を変調するから、取り出されるコヒーレ
ント像は、この結晶８が薄い方が解像度が良くなること
は容易に理解できる。Since this electric field changes the refractive index of the electro-optic crystal 8 and modulates the light from the laser 10, it is easy to understand that the thinner the crystal 8, the better the resolution of the extracted coherent image.
ここで、電気光学結晶８を平面度λ／１０で、平行度５
秒以下の条件を保ったままで、できる限り薄く研磨し、
空間光変調管へ組み込んだ場合の解像度を求めてみる。Here, the electro-optic crystal 8 has a flatness of λ/10 and a parallelism of 5
Polish as thinly as possible while maintaining the conditions of less than a second,
Let's find the resolution when it is incorporated into a spatial light modulation tube.
例えば、直径２５ｍｍ、厚さ０．３ ｍ ｍの５５°カ
ツ） Ｌ Ｉ Ｎ ｂ Ｑ ３単結晶板を用いると、空
間光変調管の解像度は、
３ラインペア／ｍｍ（５０％変調度）
であった。For example, if we use a L I N b Q 3 single crystal plate with a diameter of 25 mm and a thickness of 0.3 mm (55° cut), the resolution of the spatial light modulation tube is 3 line pairs/mm (50% modulation depth). there were.
このような空間光変調管に使用される電気光学結晶８は
、比較的大面積のウェハが得やすい結晶であって、半波
長電圧が低く、かつ光導電性がない １うえさら
に光電面を作成する際に比較的高い温度でベーキングし
ても変質しない結晶であるという条件を満たすことが望
ましい。この条件を踏まえて５５°カツ） Ｌ ｉＮ
ｂ Ｏ３単結晶板が多用されている。The electro-optic crystal 8 used in such a spatial light modulation tube is a crystal that is easy to obtain on a relatively large wafer, has a low half-wave voltage, and has no photoconductivity. 1. Furthermore, a photocathode is created. When baking, it is desirable that the crystals meet the condition that they do not change in quality even when baked at relatively high temperatures. Based on this condition, 55° cut) L iN
b O3 single crystal plates are often used.
（発明が解決しようとする問題点）
従来の空間光変調管の解像度では、コヒーレント並列光
演算を行うには不十分であり、この解像度を向上させる
ためには電気光学結晶８をさらに薄くする必要がある。(Problems to be Solved by the Invention) The resolution of conventional spatial light modulation tubes is insufficient to perform coherent parallel optical operations, and in order to improve this resolution, it is necessary to make the electro-optic crystal 8 even thinner. There is.
しかし、ＬｉＮｂＯ３結晶を前述の厚さよりさらに薄く
すると、結晶が反ってしまい、使用することができない
という問題点があった。However, if the LiNbO3 crystal was made thinner than the above-mentioned thickness, the crystal would warp, making it unusable.
本発明の目的は、結晶基板上に設けられた極めて薄い電
気光学結晶板の電気光学特性のみを用いることにより、
解像度の優れた空間光変調管を提供することにある。The purpose of the present invention is to achieve
The object of the present invention is to provide a spatial light modulation tube with excellent resolution.
（問題点を解決するための手段）
前記目的を達成するために本発明による空間光変調管は
、真空容器中に形成された光電面と、その光電面から放
出された光電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電気光学
結晶部とからなる空間光変調管において、前記電気光学
結晶部は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶板
を透明導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶板表
面を前記光電面に対向するように配置すると共に前記厚
い結晶板表面に対向して略同じ厚さの電気光学結晶板を
屈折率楕円体が対称となるように配置して構成されてい
る。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the spatial light modulation tube according to the present invention has a photocathode formed in a vacuum container, accumulates photoelectrons emitted from the photocathode, and generates an optical signal. In the spatial light modulation tube, the electro-optic crystal section is formed by bonding and integrating two electro-optic crystal plates of the same type and having different thicknesses through a transparent conductive film. A thin crystal plate surface is arranged to face the photocathode, and an electro-optic crystal plate of substantially the same thickness is arranged to face the thick crystal plate surface so that the refractive index ellipsoids are symmetrical. ing.
前記構成によれば本発明の目的は完全に達成できる。According to the above structure, the object of the present invention can be completely achieved.
（実施例）
以下、図面等を参照して、実施例につき本発明の詳細な
説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings and the like.
第１図は、本発明による空間光変調管に使用する電気光
学結晶部の実施例を示した概略図であって、同図（Ａ）
は第１の実施例、同図（Ｂ）は第２の実施例を示した図
である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of an electro-optic crystal section used in a spatial light modulation tube according to the present invention, and FIG.
1 is a diagram showing a first embodiment, and FIG. 2B is a diagram showing a second embodiment.
第１の実施例では、極めて薄い電気光学結晶板を得るた
めに、結晶基板３１．３２を密着接合したものに、比較
的厚い単結晶板３３を接着したのち、その結晶板３３を
薄く研磨する例が示されている。In the first embodiment, in order to obtain an extremely thin electro-optic crystal plate, a relatively thick single crystal plate 33 is bonded to a closely bonded crystal substrate 31, 32, and then the crystal plate 33 is polished thin. An example is shown.
結晶基板３１．３２は、直径２５ｍｍ、厚さ５ｍｍの５
５°カツトＬｉＮｂｏ３結晶板である。The crystal substrates 31 and 32 have a diameter of 25 mm and a thickness of 5 mm.
This is a 5° cut LiNbo3 crystal plate.
まず、結晶基板３１の一方の面３１ａと他方の面３ ｌ
ｂ、結晶基板３２の一方の面３２ａと他方の面３２ｂ
をそれぞれ平行度を５秒以内で、かつ平面度をλ／１０
程度に保って鏡面研磨する。その後、結晶基板３１は前
記他方の面３１ｂに透明導電膜ＩＴＯを一様に蒸着する
。First, one surface 31a and the other surface 3l of the crystal substrate 31
b, one surface 32a and the other surface 32b of the crystal substrate 32
Parallelism within 5 seconds and flatness within λ/10
Polish it to a mirror finish while keeping it at a certain level. Thereafter, a transparent conductive film ITO is uniformly deposited on the other surface 31b of the crystal substrate 31.
一方、単結晶板３３は直径２０ｍｍ、厚さ２ｍｍの５５
°カツトＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３結晶板であって、この単
結晶板３３の一方の面３３ａの平面度をλ／１０に研磨
する。On the other hand, the single crystal plate 33 has a diameter of 20 mm and a thickness of 55 mm.
A single crystal plate 33, which is a cut L i N b O3 crystal plate, is polished to have a flatness of one surface 33a of λ/10.
そして、結晶基板３１と３２を、屈折率楕円体が接着面
に対して対称となるように、透明接着剤３４で接着固定
する。透明接着剤３４としては１、 エポキシ
系接着剤、アクリル系接着剤等を用いることができる。Then, the crystal substrates 31 and 32 are adhesively fixed with a transparent adhesive 34 so that the refractive index ellipsoid is symmetrical with respect to the bonding surface. As the transparent adhesive 34, 1. Epoxy adhesive, acrylic adhesive, etc. can be used.
このように１．結晶基板を２枚用いる理由は後述する。In this way 1. The reason for using two crystal substrates will be described later.
つぎに、単結晶板３３の一方の面３３ａは、結晶基板３
１の透明導電膜ＩＴＯを蒸着した面に接着固定される。Next, one surface 33a of the single crystal plate 33 is connected to the crystal substrate 3.
The transparent conductive film No. 1 is adhesively fixed to the surface on which the ITO film is deposited.
さらに、結晶基板３２の一方の面３２ａを研磨治具に固
定し、単結晶板３３の他方の面３３ｂを研磨する。そし
て、単結晶板３３の厚さｄを５０μｍ程度になるまで薄
くし、前記他方の面３３ｂの平面度をλ／１０程度にし
、単結晶板３３の一方の面３３ａと他方の面３３ｂの平
行度が数秒以内になるように磨く。Further, one surface 32a of the crystal substrate 32 is fixed to a polishing jig, and the other surface 33b of the single crystal plate 33 is polished. Then, the thickness d of the single crystal plate 33 is reduced to about 50 μm, the flatness of the other surface 33b is set to about λ/10, and the one surface 33a and the other surface 33b of the single crystal plate 33 are parallel to each other. Polish until the degree is within a few seconds.
このようにして得られた電気光学結晶部は、平面原器、
オートコリメータで測定され、所望の平面度、平行度が
得られていることが確認された後、単結晶板の他方の面
３３ｂに誘電体ミラーが形成され、空間光変調管に組み
込まれる。透明導電膜ＩＴＯは従来の場合と同様に電極
として使用される。The electro-optic crystal part obtained in this way is a flat prototype,
After measuring with an autocollimator and confirming that desired flatness and parallelism have been obtained, a dielectric mirror is formed on the other surface 33b of the single crystal plate and incorporated into a spatial light modulation tube. The transparent conductive film ITO is used as an electrode as in the conventional case.
前述の構成から成る空間光変調管の解像度を測定したと
ころ、
１５ラインペア／ｍｍ（５０％変調度）が得られ、解像
度が従来の５倍程度に向上したものになり、コヒーレン
ト光情報処理に有効に使用できる値になった。When we measured the resolution of the spatial light modulation tube with the above-mentioned configuration, we obtained 15 line pairs/mm (50% modulation depth), which is about five times the resolution of the conventional system, and is suitable for coherent optical information processing. The value has become valid and can be used.
また、空間光変調管はガス抜や光電面の形成のため２０
０℃以上の高温にベーキングするが、本発明に用いられ
る電気光学結晶部は、同一材料同志を接着しであるから
、熱膨張率の違いによる割れやはがれなどの問題は全く
なかった。In addition, the spatial light modulation tube is used for degassing and for forming the photocathode.
Although the electro-optic crystal part used in the present invention is baked at a high temperature of 0° C. or higher, since the same materials are bonded together, there were no problems such as cracking or peeling due to differences in thermal expansion coefficients.
さらに、５５°カフトＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３結晶板のよ
うに自然複屈折を持つ場合には、結晶基板３２の一方の
面３２ａにも透明導電膜を蒸着して、面３１ｂと面３２
ａ間に適当な電圧を与えることにより、単結晶板３３上
に電荷がない時に生ずる位相変化分を補償できる。Furthermore, in the case of having natural birefringence such as a 55°caft L i N b O3 crystal plate, a transparent conductive film is also deposited on one surface 32a of the crystal substrate 32, and the surface 31b and surface 32
By applying an appropriate voltage across a, it is possible to compensate for the phase change that occurs when there is no charge on the single crystal plate 33.
以上の第１の実施例では、結晶３３を接着後薄く研磨加
工した例を示したが、第２の実施例では第１図（Ｂ）に
示すように以下のようにすることもできる。In the above first embodiment, an example was shown in which the crystal 33 was polished thin after being bonded, but in the second embodiment, as shown in FIG. 1(B), the following method can also be used.
すなわち、直径２０ｍｍ、厚さ５０〜１００μｍの５５
°カットｌ、１Ｎｂｏ３単結晶板３５を、その２つの面
３５ａ、３５ｂが平行かつ平面度λ／１０程度に研磨す
る。That is, 55 with a diameter of 20 mm and a thickness of 50 to 100 μm.
A 1Nbo3 single crystal plate 35 is polished so that its two surfaces 35a and 35b are parallel and the flatness is about λ/10.
この時、このような薄い結晶を研磨治具から取りはずす
と結晶は反ってしまうが、これを基板となる単結晶板３
１に注意深く接着することにより、研磨直後の平面度、
平行度を再現できる。At this time, if such a thin crystal is removed from the polishing jig, the crystal will be warped, but it is
By carefully adhering to 1, the flatness immediately after polishing,
Parallelism can be reproduced.
つぎに、結晶基板３１．３２を、屈折率楕円体が対称と
なるように配置する理由を説明する。Next, the reason why the crystal substrates 31 and 32 are arranged so that the index ellipsoids are symmetrical will be explained.
５５°カットｌ、１Ｎｂｏｓウエハは、第２図（Ａ）に
示すように、ウェハ面の法線Ｎに対して屈折率楕円体が
傾いている。そのため、同図（Ｂ）のように光■を入射
させると、異常光線が角度θだけ傾いた方向に進む。In the 55° cut l, 1N bos wafer, the index ellipsoid is inclined with respect to the normal N to the wafer surface, as shown in FIG. 2(A). Therefore, when the light (2) is made incident as shown in FIG. 2(B), the extraordinary ray travels in a direction tilted by the angle θ.
５５°カツトＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３結晶板ではθ＝２．
２゜なので、基板結晶厚が１０ｍｍとすると出射時には
常光線０と異常光線ｅが０．４ｍｍもずれる。そのため
２つの光波（０とｅ）が薄い結晶内の異なる場所で変調
されることになり、解像度の向上は望めない。従来は、
結晶厚が３００μｍ程度であり、常光線Ｏと異常光線ｅ
のずれは１０μｍ程度で影響がなかった。In the 55° cut L i N b O3 crystal plate, θ=2.
2 degrees, so if the substrate crystal thickness is 10 mm, the ordinary ray 0 and the extraordinary ray e will deviate by 0.4 mm at the time of emission. Therefore, the two light waves (0 and e) are modulated at different locations within the thin crystal, and no improvement in resolution can be expected. conventionally,
The crystal thickness is about 300 μm, and the ordinary ray O and the extraordinary ray e
The deviation was about 10 μm and had no effect.
そのため、第３図に示すよ゛うに、結晶基板３１と３２
を屈折率楕円体が対称となるように配置することにより
、常光線０と異常光線ｅが結晶３３への入射時と出射時
（面３２ａ）で一致し、上述の問題は回避できる。Therefore, as shown in FIG.
By arranging the refractive index ellipsoids so that they are symmetrical, the ordinary ray 0 and the extraordinary ray e coincide when entering the crystal 33 and when exiting the crystal 33 (surface 32a), and the above-mentioned problem can be avoided.
実際には、２枚の結晶の裏表を反対にして接着するか、
または＋Ｘ軸方向を１８０°回転させて接着すればよい
。なお、２枚の結晶板は、屈折率楕円体が対称に配置さ
れていればよいので、必ずしも接着されることを要しな
い。In reality, you can glue two crystals with their front and back sides reversed, or
Alternatively, the +X-axis direction may be rotated by 180 degrees and bonded. Note that the two crystal plates do not necessarily need to be bonded together, as it is sufficient that the refractive index ellipsoids are arranged symmetrically.
（発明の効果）
以上詳しく説明したように、本発明によれば、研磨加工
された薄い部分のみの電気光学特性を利用できるので、
空間光変調管の解像度を大幅に向上できる。(Effects of the Invention) As explained in detail above, according to the present invention, the electro-optical characteristics of only the thin polished portion can be used.
The resolution of the spatial light modulation tube can be greatly improved.
また、電気光学結晶部は同一の材料同志の接着なので、
結晶の割れ、はがれ、そりなどの問題も全へ
くな（なった。さらに、自然複屈折を有するための欠点
も除去できる。In addition, since the electro-optic crystal part is made of the same material bonded together,
Problems such as crystal cracking, peeling, and warping are completely eliminated.Furthermore, the disadvantages of having natural birefringence can also be eliminated.
第１図は、本発明による空間光変調管に使用する電気光
学結晶部の実施例を示した概略図であって、同図（Ａ）
は第１の実施例、同図（Ｂ）は第２の実施例を示した図
である。
第２図は、５５°カツトＬｉＮｂＯ３ウエハにおける屈
折率楕円体と、常光線、異常光線の分離状態を説明する
ための図である。
第３図は、本発明による空間光変調管に使用する電気光
学結晶部の常光線と異常光線の光路を示した図である。
第４図は、空間光変調管の基本的な構成を示した概略図
である。
第５図は、電気光学結晶板の厚さと電界の関係を説明す
るための図である。
１・・・入カバターン ２・・・レンズ３・・・ガ
ラス容器 ４・・−光電面５・・・加速・集束電
子レンズ系
６・・・マイクロチャンネルプレート
８・・・電気光学結晶 ９・・・ノ＼−フミラー１
０・・・レーザ光源 １１・・・レーザ光の像３１
．３２・・・結晶基板 ３３．３５・・・単結晶板３４
・・・透明接着剤
特許出願人 浜松ホトニクス株式会社
代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
手続補正書
１．事件の表示
昭和５９年特 許 願第２４４７５４号２、発明の名称
揖慧瀦
３、補正をする者
４、代 理 人
５、補正命令の日付 自 発へ６．補正の対
象 明細書および図面・ ７．補正の内
容 別紙のとおり補正の内容（特願昭５９−
２４４７５４）（１） 特許請求の範囲を以下のとおり
補正する。
「２、特許請求の範囲
（１）真空容器中に形成された電子源と、その電子源か
ら放出された電子を蓄積し、光学的変化を生する電気光
学結晶部とからなる空間光変調管において、前記電気光
学結晶部は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結晶
板を透明導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶板
表面を前記電子源に対向するように配置すると共に前記
厚い結晶板表面に対向して略同じ厚さの電気光学結晶板
を屈折率楕円体が対称となるように配置して構成したこ
とを特徴とする空間光変調管。
（２） 前記厚い結晶板゛とその結晶と屈折率楕円体
が対称に配置された電気光学結晶板は、一体に接着され
た特許請求の範囲第１項記載の空間光変調管。
（３） 前記薄い結晶板は、前記厚い結晶板に比較的
厚い結晶板を接着したのち薄く研摩する特許請求の範囲
第１項記載の空間光変調管。 １
（４）前記薄い結晶板は、薄く研摩したものを前記厚い
結晶板に接着する特許請求の範囲第１項記載の空間光変
調管。」
（２） 明細書第２頁第５行目から同第８行目の「本発
明は、・・・蓄積し、」を「本発明は、真空容器中に形
成した電子源に対向して、電気光学結晶を配置し、電子
源から放出される電子を前記結晶表面に蓄積し、」に補
正する。
（３） 明細書第５頁第１８行目から同第６頁第８行目
の「前記目的を達成するために・・・・・構成されてい
る。」を以下のとおり補正する。
［前記目的を達成するために、本発明による空間光変調
管は、真空容器中に形成された電子源と。
その電子源から放出された電子を蓄積し、光学的変化を
生ずる電気光学結晶部とからなる空間光変調管において
、前記電気光学結晶部は、２枚の同種類の厚さの異なる
電気光学結晶板を透明導電膜を介して接着一体化し、前
記薄い結晶板表面を前記電子源に対向するように配置す
ると共に前記厚い結晶板表面に対向して略同じ厚さの電
気光学結晶板を屈折率楕円体が対称となるように配置し
て構成されている。」
（４） 明細書第１１頁第７行目から同第９行目の［実
際には、・・・すればよい。」を「実際には、結晶法線
のまわりに１８０゛回転させて接着するか、ウェハ面内
でＸ軸と直角な軸のまわりに１８０°回転させて接着す
ればよい。」に補正する。
（５） 明細書第１１頁第１１行目の「・・要しない。
」の次に以下を加入する。
「上記実施例では、電子源として光電面の場合を示した
が、電子銃を電子源として書込みを行う形式の場合も、
本発明は同様に通用できる。」（６） 添付図面の第３
図を別添の第３図に補正する。
以 上FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of an electro-optic crystal section used in a spatial light modulation tube according to the present invention, and FIG.
1 is a diagram showing a first embodiment, and FIG. 2B is a diagram showing a second embodiment. FIG. 2 is a diagram for explaining the separation state of the refractive index ellipsoid, ordinary ray, and extraordinary ray in a 55° cut LiNbO3 wafer. FIG. 3 is a diagram showing optical paths of ordinary rays and extraordinary rays of the electro-optic crystal section used in the spatial light modulation tube according to the present invention. FIG. 4 is a schematic diagram showing the basic configuration of the spatial light modulation tube. FIG. 5 is a diagram for explaining the relationship between the thickness of the electro-optic crystal plate and the electric field. 1... Input cover turn 2... Lens 3... Glass container 4...-Photocathode 5... Accelerating/focusing electron lens system 6... Micro channel plate 8... Electro-optic crystal 9...・No＼-fumirror 1
0... Laser light source 11... Laser light image 31
．． 32...Crystal substrate 33.35...Single crystal plate 34
... Transparent adhesive patent applicant Hamamatsu Photonics Co., Ltd. agent Patent attorney Hisashi Inoro Procedural amendment 1. Indication of the case: 1982 Patent Application No. 244754 2. Name of the invention: Ikeitai 3. Person making the amendment: 4. Agent: 5. Date of amendment order: Voluntary action. 6. Subject of amendment Description and drawings・7. Contents of amendments Contents of amendments as shown in the attached sheet (Patent application 1982-
244754) (1) The claims are amended as follows. ``2. Claims (1) A spatial light modulation tube consisting of an electron source formed in a vacuum container and an electro-optic crystal section that accumulates electrons emitted from the electron source and produces an optical change. In the electro-optic crystal unit, two electro-optic crystal plates of the same type and different thickness are bonded and integrated via a transparent conductive film, and the thin crystal plate surface is arranged to face the electron source. (2) A spatial light modulation tube characterized in that an electro-optic crystal plate having substantially the same thickness is arranged opposite to the surface of the thick crystal plate so that the refractive index ellipsoid is symmetrical. The spatial light modulation tube according to claim 1, wherein the electro-optic crystal plate in which the crystal plate and the crystal and the refractive index ellipsoid are arranged symmetrically are bonded together. (3) The thin crystal plate is 2. The spatial light modulation tube according to claim 1, wherein a relatively thick crystal plate is bonded to said thick crystal plate and then polished thin.
(4) The spatial light modulation tube according to claim 1, wherein the thin crystal plate is thinly polished and adhered to the thick crystal plate. ” (2) From line 5 to line 8 of page 2 of the specification, “the present invention accumulates...” is replaced with “the present invention accumulates electrons facing an electron source formed in a vacuum container.” , an electro-optic crystal is disposed, and electrons emitted from an electron source are accumulated on the surface of the crystal, thereby correcting for ``. (3) From page 5, line 18 of the specification to page 6, line 8 of the specification, "In order to achieve the above object..." is amended as follows. [In order to achieve the above object, the spatial light modulation tube according to the present invention includes an electron source formed in a vacuum container. In a spatial light modulation tube comprising an electro-optic crystal part that accumulates electrons emitted from the electron source and causes an optical change, the electro-optic crystal part is composed of two electro-optic crystals of the same type and different thicknesses. The plates are bonded and integrated through a transparent conductive film, and the thin crystal plate surface is arranged to face the electron source, and an electro-optic crystal plate having substantially the same thickness is placed opposite to the thick crystal plate surface and has a refractive index. It is constructed by symmetrically arranging ellipsoids. (4) From line 7 to line 9 of page 11 of the specification [Actually, you can... '' should be corrected to ``Actually, the bonding may be performed by rotating the crystal by 180 degrees around the normal line of the crystal, or by rotating it by 180 degrees around the axis perpendicular to the X-axis within the wafer plane.'' (5) Add the following after "...not required" on page 11, line 11 of the specification. ``In the above embodiments, a photocathode was used as the electron source, but writing could be done using an electron gun as the electron source.
The present invention is equally applicable. (6) No. 3 of the attached drawing
The figure has been corrected to the attached Figure 3. that's all
Claims (4)
ら放出された光電子を蓄積し、光学的変化を生ずる電気
光学結晶部とからなる空間光変調管において、前記電気
光学結晶部は、２枚の同種類の厚さの異なる電気光学結
晶板を透明導電膜を介して接着一体化し、前記薄い結晶
板表面を前記光電面に対向するように配置すると共に前
記厚い結晶板表面に対向して略同じ厚さの電気光学結晶
板を屈折率楕円体が対称となるように配置して構成した
ことを特徴とする空間光変調管。(1) In a spatial light modulation tube consisting of a photocathode formed in a vacuum container and an electro-optic crystal part that accumulates photoelectrons emitted from the photo-cathode and causes an optical change, the electro-optic crystal part is , two electro-optic crystal plates of the same type and different thicknesses are bonded and integrated via a transparent conductive film, and the thin crystal plate surface is arranged to face the photocathode and also to face the thick crystal plate surface. 1. A spatial light modulation tube characterized in that electro-optic crystal plates having substantially the same thickness are arranged so that index ellipsoids are symmetrical.
に配置された電気光学結晶板は、一体に接着された特許
請求の範囲第１項記載の空間光変調管。(2) The spatial light modulation tube according to claim 1, wherein the thick crystal plate and the electro-optic crystal plate in which the crystal and the refractive index ellipsoid are arranged symmetrically are bonded together.
結晶板を接着したのち薄く研磨する特許請求の範囲第１
項記載の空間光変調管。(3) The thin crystal plate is formed by bonding a relatively thick crystal plate to the thick crystal plate and then polishing the thin crystal plate.
Spatial light modulation tube as described in .
結晶板に接着する特許請求の範囲第１項記載の空間光変
調管。(4) The spatial light modulation tube according to claim 1, wherein the thin crystal plate is thinly polished and adhered to the thick crystal plate.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24475484A JPS61122627A (en) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | Space optical modulating tube |
| US06/798,932 US4763996A (en) | 1984-11-20 | 1985-11-18 | Spatial light modulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24475484A JPS61122627A (en) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | Space optical modulating tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61122627A true JPS61122627A (en) | 1986-06-10 |
| JPH0422483B2 JPH0422483B2 (en) | 1992-04-17 |
Family
ID=17123398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24475484A Granted JPS61122627A (en) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | Space optical modulating tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61122627A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07134821A (en) * | 1984-11-26 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | Magnetic recording medium |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP24475484A patent/JPS61122627A/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07134821A (en) * | 1984-11-26 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | Magnetic recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0422483B2 (en) | 1992-04-17 |
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