JPS6085840A - 可動テ−ブルの支持移動装置 - Google Patents
可動テ−ブルの支持移動装置Info
- Publication number
- JPS6085840A JPS6085840A JP19303083A JP19303083A JPS6085840A JP S6085840 A JPS6085840 A JP S6085840A JP 19303083 A JP19303083 A JP 19303083A JP 19303083 A JP19303083 A JP 19303083A JP S6085840 A JPS6085840 A JP S6085840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable table
- fixed
- wire
- compressed air
- air
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明は可動テーブルの支持移動装置、特に空気浮動式
の可動テーブルの支持移動装置に関する。
の可動テーブルの支持移動装置に関する。
（従来技術）
最近、可動テーブルの支持移動装置は、摩耗の極小化、
振動の防止等の高性能が要求されてきた。
振動の防止等の高性能が要求されてきた。
特に半導体、電子部品産業において用いられる可動テー
ブルの支持移動装置は、その要求が厳しい。
ブルの支持移動装置は、その要求が厳しい。
このため、従来、第１図に示すように、矩形状の固定レ
ール１に若干の空隙２をもって箱型の可動テーブル３を
組合せてなる。前記可動テーブル３には前記空隙２に連
通ずる細い穴３ａを設け、パイプ４より細い穴３ａに圧
縮空気を吹き込み、固定レール１の四方に高圧をかけ、
この時の圧縮空気によって可動テーブル３は固定レール
１より完全をこ浮き、力）つ相互の摩擦なしに可動テー
ブル３を固定レール１に対して移動させることができる
ようになっている。
ール１に若干の空隙２をもって箱型の可動テーブル３を
組合せてなる。前記可動テーブル３には前記空隙２に連
通ずる細い穴３ａを設け、パイプ４より細い穴３ａに圧
縮空気を吹き込み、固定レール１の四方に高圧をかけ、
この時の圧縮空気によって可動テーブル３は固定レール
１より完全をこ浮き、力）つ相互の摩擦なしに可動テー
ブル３を固定レール１に対して移動させることができる
ようになっている。
しかしながら、かかる構造は、固定Ｖ−ル１に箱型の可
動テーブル３を挿入してなるので、固定Ｖ−ル１及び可
動テーブル３の加工に高精度が要求され、コスト高にな
る。また製作誤差による空ができないという欠点があっ
た。
動テーブル３を挿入してなるので、固定Ｖ−ル１及び可
動テーブル３の加工に高精度が要求され、コスト高にな
る。また製作誤差による空ができないという欠点があっ
た。
また力）かる空気浮動式の可動テーブル３を移動させる
場合、従来は送りねじとナツトの螺合機構を用いている
ので、この部分のアライメント壷こ支配され無摩擦の意
味を失ってしまう。また送りねじの場合、送り方向の主
軸と各基を完全に一致させる芯出し作業は大変な労力を
要する。また送りねじの摩擦を減少及び送り精度を向上
させるために、送りねじに高価なボービレねじを使用し
なければならない。また送りねじによる駆動は可動テー
ブル３を高速で駆動することができないと共に、ねじの
バックラッシュによって高精度の送りができない。
場合、従来は送りねじとナツトの螺合機構を用いている
ので、この部分のアライメント壷こ支配され無摩擦の意
味を失ってしまう。また送りねじの場合、送り方向の主
軸と各基を完全に一致させる芯出し作業は大変な労力を
要する。また送りねじの摩擦を減少及び送り精度を向上
させるために、送りねじに高価なボービレねじを使用し
なければならない。また送りねじによる駆動は可動テー
ブル３を高速で駆動することができないと共に、ねじの
バックラッシュによって高精度の送りができない。
（発明の目的）
本発明の目的は、組立が容易で、コストダウン、高精度
化及び高速度化が図れる可動テーブルの支持移動装置を
提供することにある。
化及び高速度化が図れる可動テーブルの支持移動装置を
提供することにある。
（発明の実施例）
以下、本発明の一実施例を第２図〜第５図により説明す
る。
る。
まず、第２図、第４図により可動テーブルの支持装置に
ついて説明する。固定台１０上には、相対向面にＶ溝１
１ａ、１２ａがそれぞれ形成された２個の固定Ｖ−ル１
１．１２がそれぞれ固定ねじ１３．１４で固定されてい
る。前記一方の固定レール１１の前記固定ねじ１３が挿
通された穴１１ｂは、固定レール１１．１２間の幅が調
整できるように、’Ｖｌｌｌｌａの形成方向と直角方向
が長い長穴に形成されている。そして、固定Ｖ−ル１１
は固定台１０に固定された支持板１５ζこ螺合した調整
ねじ１６によって調整できるようになっている。
ついて説明する。固定台１０上には、相対向面にＶ溝１
１ａ、１２ａがそれぞれ形成された２個の固定Ｖ−ル１
１．１２がそれぞれ固定ねじ１３．１４で固定されてい
る。前記一方の固定レール１１の前記固定ねじ１３が挿
通された穴１１ｂは、固定レール１１．１２間の幅が調
整できるように、’Ｖｌｌｌｌａの形成方向と直角方向
が長い長穴に形成されている。そして、固定Ｖ−ル１１
は固定台１０に固定された支持板１５ζこ螺合した調整
ねじ１６によって調整できるようになっている。
前記固定レール１１．１２間には、固定レール１１．１
２のＶ溝１１ａ、１２ａへの対向面にそれぞれ逆Ｖ突部
１７ａ、１７ｂが形成された可動テーブル１７が固定レ
ール１１．１２と若干の空隙を保って配設されている。
２のＶ溝１１ａ、１２ａへの対向面にそれぞれ逆Ｖ突部
１７ａ、１７ｂが形成された可動テーブル１７が固定レ
ール１１．１２と若干の空隙を保って配設されている。
前記可動チルプル１７１こは、前記固定Ｖ−／ｌ／１１
．１２のＶ溝１１ａ、１２ａ面にそれぞれ垂直に圧縮空
気を吹き付ける空気孔１７ｃが形成されており、この空
気孔１７ｃｄこは図示しないコンブＶツサに連結された
パイプ１８を通して圧縮空気が送り込まれるようになっ
ている。
．１２のＶ溝１１ａ、１２ａ面にそれぞれ垂直に圧縮空
気を吹き付ける空気孔１７ｃが形成されており、この空
気孔１７ｃｄこは図示しないコンブＶツサに連結された
パイプ１８を通して圧縮空気が送り込まれるようになっ
ている。
そこで、固定レール１１．１２及び可動テーブル１７の
調整は、固定ねじ１３を緩め、調整ねじ１６を前後させ
て可動テーブル１゛７と固定レール１１．１２間が適当
な空隙をもち、かつ平行になるように調整し、その後に
固定ねじ１３を締付ける。
調整は、固定ねじ１３を緩め、調整ねじ１６を前後させ
て可動テーブル１゛７と固定レール１１．１２間が適当
な空隙をもち、かつ平行になるように調整し、その後に
固定ねじ１３を締付ける。
そして、パイプ１８を通して可動テーブル１７の空気孔
１７ａに圧縮空気を送り込むと、固定レール１１．１２
のＶ溝１１ａ、１２ａに垂直に圧縮空気が作用する。今
、第５図１こ示すようｌこ、■溝１１ａ、１２ａに作用
する前記圧縮空気のカをＦ、Ｆとし、この力Ｆと水平方
向の角度をθとすると、前記力Ｆ、Ｆは上下（垂直）方
向の成分Ｆ。
１７ａに圧縮空気を送り込むと、固定レール１１．１２
のＶ溝１１ａ、１２ａに垂直に圧縮空気が作用する。今
、第５図１こ示すようｌこ、■溝１１ａ、１２ａに作用
する前記圧縮空気のカをＦ、Ｆとし、この力Ｆと水平方
向の角度をθとすると、前記力Ｆ、Ｆは上下（垂直）方
向の成分Ｆ。
＝Ｆｓｉｎθ、Ｆ、と左右（水平）方向の成分Ｆ２＝２
Ｆ ｃｏｓθに分けられ、可動テーブル１７は固定レ
ール１１．１２より浮上する。
Ｆ ｃｏｓθに分けられ、可動テーブル１７は固定レ
ール１１．１２より浮上する。
このように、可動テーブル１７の両側に一燈空隙を保っ
てそれぞれ固定レール１１．１２を配設し、前記可動テ
ーブル１７と前記固定レール１１．１２との対向面をそ
れぞれＶ溝１１ａ、１２ａと逆■突起１７ａ、１７ｂの
組合せにより形成し、前記固定レール１１．１２の■溝
１１ａ、１２ａに前記可動テーブル１７より圧縮空気を
吹き付けるように前記可動テーブル１７に空気孔１７ｃ
を形成してなるので、前記固定レール１１．１２及び可
動テーブル１７の製作は容易でコストダウンが図れる。
てそれぞれ固定レール１１．１２を配設し、前記可動テ
ーブル１７と前記固定レール１１．１２との対向面をそ
れぞれＶ溝１１ａ、１２ａと逆■突起１７ａ、１７ｂの
組合せにより形成し、前記固定レール１１．１２の■溝
１１ａ、１２ａに前記可動テーブル１７より圧縮空気を
吹き付けるように前記可動テーブル１７に空気孔１７ｃ
を形成してなるので、前記固定レール１１．１２及び可
動テーブル１７の製作は容易でコストダウンが図れる。
また前記一方の固定レール１１の位置調整を行うことに
より、容易に可動テーブル１７と固定レール１１．１２
間の空隙及び平行度が調整でき、高精度化が図れる。
より、容易に可動テーブル１７と固定レール１１．１２
間の空隙及び平行度が調整でき、高精度化が図れる。
なお、上記実施例においては、固定レール１１．１２に
■溝１１ａ、１２ａを形成し、可動テーブル１７に逆Ｖ
突起１７Ｃを形成したが、逆に固定ｖ−／Ｌ／１１．１
２に逆■突起を、可動テーブル１７にＶ溝を形成しても
よい。
■溝１１ａ、１２ａを形成し、可動テーブル１７に逆Ｖ
突起１７Ｃを形成したが、逆に固定ｖ−／Ｌ／１１．１
２に逆■突起を、可動テーブル１７にＶ溝を形成しても
よい。
次に第２図、第３図により可動テーブルの移動装置につ
いて説明する。可動テーブル１７の重心を通る送り方向
に沿って可動テーブル１７に細いワイヤ２０．２１を張
り、図示しない固定部に回転自在に支承されたローラ２
２，２３にワイヤ２０．２１を適当数巻回し、ワイヤ２
ｏ、２１が緩まない′ようにワイヤ２０．２１の一端を
スプリング２４で接続してエンドＶスループに形成して
なる。また前記一方のローラ２３にはＤＣ（直流）サー
ボモータ２５が接続されている。
いて説明する。可動テーブル１７の重心を通る送り方向
に沿って可動テーブル１７に細いワイヤ２０．２１を張
り、図示しない固定部に回転自在に支承されたローラ２
２，２３にワイヤ２０．２１を適当数巻回し、ワイヤ２
ｏ、２１が緩まない′ようにワイヤ２０．２１の一端を
スプリング２４で接続してエンドＶスループに形成して
なる。また前記一方のローラ２３にはＤＣ（直流）サー
ボモータ２５が接続されている。
なお、ワイヤ２０．２１ ｊ、ＪエンドＶスループでな
くてもよい。例えばワイヤ２ｏの一端にスプリング２４
を固定し、このスプリング２４の一端をローラ２２又は
固定台１ｏに固定し、ワイヤ２１の一端はローラ２３に
巻回して直接ローラ２３に固定してもよい。
くてもよい。例えばワイヤ２ｏの一端にスプリング２４
を固定し、このスプリング２４の一端をローラ２２又は
固定台１ｏに固定し、ワイヤ２１の一端はローラ２３に
巻回して直接ローラ２３に固定してもよい。
従って、前記のようにパイプ１８（第４図参照）に圧縮
空気を送り込んで可動テーブル１７を浮上させた状態で
ＤＣサーボモータ２５を正又は逆転させると、ローラ２
３も同方向に回転し、ワイヤ２０．２１を介して可動テ
ーブル１７は固定レール１１．１２に沿って所定位置ま
で移動する。
空気を送り込んで可動テーブル１７を浮上させた状態で
ＤＣサーボモータ２５を正又は逆転させると、ローラ２
３も同方向に回転し、ワイヤ２０．２１を介して可動テ
ーブル１７は固定レール１１．１２に沿って所定位置ま
で移動する。
この場合、可動テーブル１７の位置精度を高めるため、
第４図に示すように、可動テーブル１７の下端にはリニ
ヤスタンダードスケール３ｏが固定され、固定台１０に
はリニヤスタンダードスケール３０の目盛を無接触で読
み取る光学読取り器３１が固定されている。そして、Ｄ
Ｃサーボモータ２５を例えば第６図に示すようなりＣサ
ーボモータ制御回路で制御させる。
第４図に示すように、可動テーブル１７の下端にはリニ
ヤスタンダードスケール３ｏが固定され、固定台１０に
はリニヤスタンダードスケール３０の目盛を無接触で読
み取る光学読取り器３１が固定されている。そして、Ｄ
Ｃサーボモータ２５を例えば第６図に示すようなりＣサ
ーボモータ制御回路で制御させる。
第６図に示すよ領こ、可動テーブル１７の停止位置指令
信号４０は比較器４１に入力され、比較器４１の出力信
号は増幅器４２、比較器４３、増幅器４４を経てＤＣサ
ーボモータ２５に入力され、タコジェネレータ４５が発
電してＤＣサーボモータ２５が回転する。これにより、
可動テーブル１７が移動する。可動テーブル１７の移動
量はリニヤスタンダードスケール３０を光学読取り器３
１が読取ることによりめられる。前記光学読取り器３１
のパルス信号はマイクロコンピュータ４６によってデー
タ処理信号変換４７され、アナログ領域に入ったら、パ
ルスとパルスの間にアナログ的なデータ処理が行われる
。前記データ処理信号変換４７の出力は補償回路４８を
経て前記比較回路４１に入力され、前記停止位置指令信
号４０が減算される。そして、比較器４１の出力信号が
零になるまで可動テーブル１７は駆動される。また前記
タコジェネレータ４５の出力は補償回路４９を経て比較
器４３に入力されるようになっており、安定回路を形成
している。
信号４０は比較器４１に入力され、比較器４１の出力信
号は増幅器４２、比較器４３、増幅器４４を経てＤＣサ
ーボモータ２５に入力され、タコジェネレータ４５が発
電してＤＣサーボモータ２５が回転する。これにより、
可動テーブル１７が移動する。可動テーブル１７の移動
量はリニヤスタンダードスケール３０を光学読取り器３
１が読取ることによりめられる。前記光学読取り器３１
のパルス信号はマイクロコンピュータ４６によってデー
タ処理信号変換４７され、アナログ領域に入ったら、パ
ルスとパルスの間にアナログ的なデータ処理が行われる
。前記データ処理信号変換４７の出力は補償回路４８を
経て前記比較回路４１に入力され、前記停止位置指令信
号４０が減算される。そして、比較器４１の出力信号が
零になるまで可動テーブル１７は駆動される。また前記
タコジェネレータ４５の出力は補償回路４９を経て比較
器４３に入力されるようになっており、安定回路を形成
している。
このように、高価なボーＩしねじ、ナツト及びクロスロ
ーラ等を使用しないので、コストダウンが図れると共に
、バックラッシュもなく高精度の駆動ができ、更に組立
、芯合せも容易である。またワイヤ２０．２１を引張る
ことにより可動テーブル１７は移動するので、可動テー
ブル１７は無摩擦で駆動され、超高速の移動ができる。
ーラ等を使用しないので、コストダウンが図れると共に
、バックラッシュもなく高精度の駆動ができ、更に組立
、芯合せも容易である。またワイヤ２０．２１を引張る
ことにより可動テーブル１７は移動するので、可動テー
ブル１７は無摩擦で駆動され、超高速の移動ができる。
またローラ２３、ＤＣサーボモータ２５に振動があって
も、その振動はワイヤ２０．２１で吸収されるので、可
動テーブル１７に影響を及ぼすことはなく、可動テーブ
ル１７は無振動で駆動される。ここで、圧縮空気を固定
Ｖ−ル１１．１２に吹き付けることによる乱流、渦流が
可動テーブル１７に及ぼす振動振幅は、実験によれば０
．１μｍ以下であり無視できる。またかかる空気浮動式
の可動テーブル１７では、可動テーブル１７の慣性が大
きく、急発振、急停止は非常に難しいが、ＤＣサーボモ
ータ２５の制御回路を閉ループとし、適当な補償回路４
８．４９を設けることで、これらの問題は解決される。
も、その振動はワイヤ２０．２１で吸収されるので、可
動テーブル１７に影響を及ぼすことはなく、可動テーブ
ル１７は無振動で駆動される。ここで、圧縮空気を固定
Ｖ−ル１１．１２に吹き付けることによる乱流、渦流が
可動テーブル１７に及ぼす振動振幅は、実験によれば０
．１μｍ以下であり無視できる。またかかる空気浮動式
の可動テーブル１７では、可動テーブル１７の慣性が大
きく、急発振、急停止は非常に難しいが、ＤＣサーボモ
ータ２５の制御回路を閉ループとし、適当な補償回路４
８．４９を設けることで、これらの問題は解決される。
更にＤＣサーボモータ２５に加わる入力信号もパルス系
列とアナログ式の組合せが併用でき、アナログ領域に入
ったら、その波形は適当な関数波形として発進、停止さ
せることができる。
列とアナログ式の組合せが併用でき、アナログ領域に入
ったら、その波形は適当な関数波形として発進、停止さ
せることができる。
（発明の効果）
本発明によれば、可動テーブルの両側ζこ一定空隙を保
ってそれぞれ固定レールを配設し、前記可動テーブルと
前記固定Ｖ−ルとの対向面をそれぞれＶ溝と逆Ｖ突起の
組合せにより形成し、前記固定レールの対向面に前記可
動テーブルより圧縮空気を吹き付けるようζこ前記可動
テーブルに空気孔を形成し、前記可動テーブルにワイヤ
を前記可動テーブルの移動方向に緊張させて取付け、前
記ワイヤをモータで引張るように構成してなるので、組
立が容易で、コストダウン、高精度化及び高速変化が図
れる。
ってそれぞれ固定レールを配設し、前記可動テーブルと
前記固定Ｖ−ルとの対向面をそれぞれＶ溝と逆Ｖ突起の
組合せにより形成し、前記固定レールの対向面に前記可
動テーブルより圧縮空気を吹き付けるようζこ前記可動
テーブルに空気孔を形成し、前記可動テーブルにワイヤ
を前記可動テーブルの移動方向に緊張させて取付け、前
記ワイヤをモータで引張るように構成してなるので、組
立が容易で、コストダウン、高精度化及び高速変化が図
れる。
第１図は従来例の原理を示し、（ａ）は斜視図、ｆｂ）
は断面図、第２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第
３図は第２図の概略正面図、第４図は第２図の断面図、
第５図は空気浮動力のベクトル成分の説明図、第６図は
ＤＣサーボモータ制御回路の説明図である。 １１．１２・・・固定レール、 ｌｌａ、１２ａ・・・
Ｖ溝、 １７−・・可動テーブル、 １７ａ、１７ｂ・
・・逆Ｖ突起、 １７ｃ・・・空気孔、２０．２１・・
・ワイヤ、 ２２．２３・・・ローラ、２４・・・スプ
リング、 ２５・・・ＤＣサーボモータ。 第１図 第２図 第３図 第４図
は断面図、第２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第
３図は第２図の概略正面図、第４図は第２図の断面図、
第５図は空気浮動力のベクトル成分の説明図、第６図は
ＤＣサーボモータ制御回路の説明図である。 １１．１２・・・固定レール、 ｌｌａ、１２ａ・・・
Ｖ溝、 １７−・・可動テーブル、 １７ａ、１７ｂ・
・・逆Ｖ突起、 １７ｃ・・・空気孔、２０．２１・・
・ワイヤ、 ２２．２３・・・ローラ、２４・・・スプ
リング、 ２５・・・ＤＣサーボモータ。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 可動テーブルの両側に一定空隙を保ってそれぞれ固定レ
ールを配設し、前記可動テーブルと前記固定Ｖ−ルとの
対向面をそれぞれＶ溝と逆Ｖ突起の組合せにより形成し
、前記固定レールの対向面ｆこ前記可動テーブルより圧
縮空気を吹き付けるように前記可動テーブルに空気孔を
形成し、前記可動テーブルにワイヤを前記可動テーブル
の移動方向に緊張させて取付け、前記ワイヤをモータで
引張るように構成してなる可動テーブルの支持移動装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19303083A JPS6085840A (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | 可動テ−ブルの支持移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19303083A JPS6085840A (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | 可動テ−ブルの支持移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6085840A true JPS6085840A (ja) | 1985-05-15 |
Family
ID=16300996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19303083A Pending JPS6085840A (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | 可動テ−ブルの支持移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6085840A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0713748A1 (en) * | 1994-11-24 | 1996-05-29 | SMC Kabushiki Kaisha | Linear Actuator |
| CN1294638C (zh) * | 2004-03-18 | 2007-01-10 | 上海交通大学 | 气浮xy两坐标平面运动平台 |
| US7950883B2 (en) * | 2008-02-04 | 2011-05-31 | Yuehting Chen | Compact engraving machine |
-
1983
- 1983-10-15 JP JP19303083A patent/JPS6085840A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0713748A1 (en) * | 1994-11-24 | 1996-05-29 | SMC Kabushiki Kaisha | Linear Actuator |
| CN1294638C (zh) * | 2004-03-18 | 2007-01-10 | 上海交通大学 | 气浮xy两坐标平面运动平台 |
| US7950883B2 (en) * | 2008-02-04 | 2011-05-31 | Yuehting Chen | Compact engraving machine |
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