JPS6080556A - Both-side polishing machine of plate-shaped material - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To polish a material in uniform quality despite its thickness and wearing of a brush, by providing an automatic lifting means, which vertically moves the rotary brushes for use of upper and bottom sides of the material simultaneously or separately, and a manual lifting means which adjusts an axial core of the brush in accordance with a change of diameter when the brush is worn. CONSTITUTION:A plate-shaped material 10 is horizontally transferred to be fed by plurality of rollers 104, and if its thickness measured by a plate thickness sensor 164 is beyond the predetermined range, a signal of once stopping a feed is generated to stop a motor 182, and after a plate-shaped material 10 in thickness within the range transferred to be fed in the preceding time passes through a polishing machine 200, a measured value signal of plate thickness is fed to a servo motor 220 so as to adjust a position of rotary brushes 204, 208 for use of upper and bottom sides, starting again the motor 182 and transferring the plate-shaped material 10 to be fed. While a signal in accordance with wearing of the brushes 204, 208 is calculated with the signal of thickness of the plate-shaped material 10, performing the predetermined adjustment. In such way, the material can be polished by a fixed thickness by adjusting a position of the brushes in accordance with the thickness of the plate-shaped material 10 and the wearing of the brushes 204, 208.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、板状体の両面研磨機に関す る。[Detailed description of the invention] Industrial applications The present invention relates to a double-sided polishing machine for plate-shaped objects. Ru.

従来技術 プリント基板、積層板、合成樹脂単板、セラミック板等
の板状体の両面を研磨する研磨機として、ベルトによシ
板状体を搬送し、該板状体の上向および下面をそれぞれ
、回転するロール状の研磨ブラシによって研磨するもの
がある。Prior Art A polishing machine that polishes both sides of a plate-shaped object such as a printed circuit board, a laminate, a synthetic resin veneer, or a ceramic plate. Each type uses a rotating roll-shaped polishing brush for polishing.

しかし従来のこのような両面研磨機は 研磨すべき板状体の厚みが異なるごとに回転ブラシの位
置をｙＪ節しなければならず、この”＋ｉ！、４節には
熟練者の人手を要し、板状体を一定の犀みだけ研磨する
ことは砧めて困ψ１２であり、製品の品質は低かった。However, in conventional double-sided polishing machines, the position of the rotating brush must be adjusted to the yJ section each time the thickness of the plate-shaped object to be polished differs, and this "+i!", 4th section requires the hands of an experienced person. However, it was extremely difficult to polish the plate-like material to a certain depth, which was ψ12, and the quality of the product was low.

また、回転ブラシの研磨による消耗に より板状体留研騒する深ざが変化するため一定の暦みた
け研磨することが難しく、一定の厚みを研磨するための
醐ジ０には多くの熟練した人手を要していた。In addition, the depth at which the plate-shaped object is polished changes due to wear and tear caused by the polishing of the rotating brush, making it difficult to polish to a certain thickness. It required

さらに厚みが著しくバ２っきのある材 料の板状体もそのまま研磨してしまうため、厚みの著し
く大きい板状体を研磨する時は　−゛−”　。Furthermore, since a plate-like object made of a material that is extremely thick and has a rough surface will be polished as it is, when polishing a plate-like object that is extremely thick.

泰妻子板状体の研磨の片みが大きすぎ、厚みの著しく小
惑い板状体を研磨する時は、板状体の研に３のＪψ、み
が小さすぎ、いずれも不良製品となる欠点があった。し
ｌ・、Ｑｚｔｔｌ”、；；ａｒ；７％ｇ本１７１−Ｂ；
＜４）、ｑ７ぐ９３゜本発明は、以上のような従来の欠
点を 解消し、研跨すべき枦状体の厚みの差にかかわらず、所
定の厚りを研磨した板状体を自動的に得られるようにし
た両面研腑桟を提供することを目的とする。When polishing a plate-shaped object, the grinding edge of the plate-shaped object is too large and the thickness is extremely complicated. was there. Shil・,Qzttl”;;ar;7%g book 171-B;
<4), q7g93゜The present invention solves the above-mentioned conventional drawbacks and automatically grinds a plate-shaped body to a predetermined thickness, regardless of the difference in thickness of the rod-shaped body to be polished. The purpose is to provide a double-sided training plan that can be obtained in a timely manner.

また、本発明は、回転ブラシの研磨に よる消耗を自動的に５節し、板状体を一定のＪすみたけ
研磨できるようにするものである。Further, the present invention automatically limits the amount of wear of the rotating brush due to polishing to 5 sections, thereby making it possible to polish a plate-like object to a constant J corner.

さらに、本発明は、厚みに著しくノくラッキのある不良
な材料が入りたときＩＣｉ＆を送および研Ｉ々を一時停
止し、不良品の￥白を 媚および回転ブラシの異常な消ｆＩ防止するものである
０ 発明の開示 本発明は、板状体を略水平に移送しな がらその上下両面ｔ　＞）＝ブラシにより化１磨するた
めの両ｌ研島（χモにおいて、上記板状体側１１１１の
表面を退択された仕上げ設定厚だけ研肪するように上面
用回；−１ブラシと下図用回転ブラシを１ｂ１１守に又
は別個に上Ｆ：助せしめるだめの自動昇降＋段と、該上
争下薗用回転ブラシの賠耗等による径の変化に応じて回
転軸心の基準位置を調整するための手＝ｂ−Ｆ＋降手段
と、を備えてなる板状体の両面研磨機である。Furthermore, the present invention temporarily suspends ICi& feeding and grinding when a defective material with an extremely low thickness is introduced, thereby preventing the defective material from being removed and the rotating brush being abnormally erased. 0 DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a method for polishing both upper and lower surfaces of a plate-shaped body with a brush while transporting the plate-shaped body substantially horizontally. Turn the upper surface to polish the surface by the selected finish setting thickness; -1 brush and rotating brush for the lower figure on 1b11 or separately on the upper This is a double-sided polishing machine for a plate-shaped body, which is equipped with a hand=b-F+lowering means for adjusting the reference position of the rotation axis according to changes in the diameter due to wear and other factors of the rotary brush.

第１図〜第２図に本発明の一実施例を 示す。１００Ｆｉ厚み：ｉ！ｌ定装償１であり、板状体
を移送しつつその埋−みをｆｉｌｌｌ定する。An embodiment of the present invention is shown in FIGS. 1 and 2. 100Fi thickness: i! 1, and the filling is determined while the plate-shaped object is being transferred.

２００は両面研磨機であり、厚み測定４斗［１００によ
シ厚みを測定された板状体を移送しつつｒｉｔｉ面を順
次４ｔＪｒ磨するものである。Reference numeral 200 is a double-sided polishing machine, which sequentially polishes the surface by 4tJr while transporting the plate whose thickness has been measured by 4tJr.

まず、厚み測定装屹１００について説 甲］する。フレーム１０２の上部には筏値のローラー１
０４が平行に配設されている。該ローラー１０４は矢印
方向にそれぞれ回転可能となっでおり、伝導体１０６に
より回転される。First, the thickness measuring device 100 will be explained. At the top of the frame 102 is a roller 1 with a raft value.
04 are arranged in parallel. The rollers 104 are rotatable in the directions of the arrows, and are rotated by a conductor 106.

ローラー１０４の上部には進入検出機 構１２０、水平移送様＋ｒ：；　ｔ　４０および測定４
ｍｍ　ｔ　６０がフレーム１０２に固定きれで配設され
ている。At the top of the roller 104 there is an entry detection mechanism 120, horizontal transfer mode +r:;t 40 and measurement 4
mm t 60 is fixedly disposed on the frame 102.

検出桜柚１２０はフォトセンサー１２２である。水平移
送梳梧１４０は、ピンチローラ−１４２と、骸ピンチロ
ーラ−１４２を上下に昇Ｉｌ！きせるアクチュエータ１
４４からなる。The detection cherry tree 120 is a photosensor 122. The horizontal transfer comb 140 moves the pinch roller 142 and the skeleton pinch roller 142 up and down. Kiseru actuator 1
Consists of 44.

測定慎重１．７１６０は、検ちｊクローラ−１６２、該
検相りローラー１６２に当接する板馬（センサー１６４
およびフォトセンサー１６６からなる。Measurement carefully 1.7160 is the detection j crawler 162, the plate horse (sensor 164
and a photosensor 166.

フレーム１０２の内部には脇Ｉ助４）、２オｉ’Ｓ　１
８０および制御’；ａ回路（図示せず）を設けである。Inside the frame 102 are Waki Isuke 4), 2 Oi'S 1
80 and control'; a circuit (not shown) is provided.

私動槙’Ｊｋ　１８　Ｑはそ一夕１８２でアシ、ローラ
ー１０４の右端のものと伝導体１０８で連結されている
。The private Maki'Jk 18 Q is connected to the right end of the reed 182 and the roller 104 by a conductor 108.

而して千−夕１８２を回転して伝導体 １０８により右端のローラー１０４を回転し、伝導体１
０６により他のローラー１０４を回転させる。Then, by rotating Chiyo 182, the rightmost roller 104 is rotated by the conductor 108, and the conductor 1
06 causes the other roller 104 to rotate.

複数のローラー１０４の［Ｆｇｊ１転により、厚みを測
定すべき板状体１０を矢印方向に水平に移送する。By one rotation of the plurality of rollers 104, the plate-shaped body 10 whose thickness is to be measured is horizontally transferred in the direction of the arrow.

板状体１０がフォトセンサー１２２の 下部にくるとフォトセンサー１２２が板状体１０を検出
し、樵出し７ｃ旨の信号をアクチュエータ１４４に送り
、アクチュエータ１４４が下降していたピンチローラ−
１４２を一旦上昇させた所定時間抜ｒＣ下降させピンチ
ローラ−１４２はローラー１０４とのｌ’１＝ｉＪ　Ｋ
板状体１０ケ挾持して移送する。When the plate-like object 10 comes to the lower part of the photosensor 122, the photosensor 122 detects the plate-like object 10, sends a signal to the actuator 144 indicating the removal of the woodcutter 7c, and the actuator 144 lowers the pinch roller.
The pinch roller 142 is once raised and then lowered for a predetermined period of time.
Hold and transport 10 plate-like objects.

而して板状体ｌＯがピンチローラ−１ ４２により　ｍ　ｉｌｌ！　ローラー１６２の下部に移
送されると、＠辿１０−ラー１６２が駆動され、ローラ
ー１０４との間に板状体１０を挾持し、検測ローラー１
６２ｖｃ当接する板厚センサー１６４が板状体ＩＯの厚
みを測定する。フォトセンサー１６６によ！ｌｌ＆状体
１０１〔検出すると、該検出信号の尖生時ｖｃ也Ｊリセ
ンサー１６４の板厚υ１１１足イＩＣｊの信号は仙肘イ
；役２００に送られ、研磨機２００のｊｌｉｌ制御に仮
用嘔れる。Then, the plate-shaped body lO is milled by the pinch roller 142. When the plate-shaped body 10 is transferred to the lower part of the roller 162, the @tracing 10-roller 162 is driven, and the plate-like body 10 is held between it and the roller 104, and the inspection roller 1
A plate thickness sensor 164 in contact with 62vc measures the thickness of the plate-shaped body IO. Photo sensor 166! When the ll& shaped body 101 is detected, the signal of the plate thickness υ111 of the ICj of the sensor 164 is sent to the senji I; It will be done.

枳１１定した根状体１０の）ｖ、汐が所がバ、ｎ囲外で
ある場合−は、不良製品の発生の防止と研磨機の保枠の
ためにイナノ状体１０の移送を一時竹・止する旨の信号
を＆厚センサー１６４から発し、モータ１８２を停止し
、ローラー１０４のしｊ転を１う・止きせ、板状体１０
　；’Ｉ”　ｉＪＦ　Ｎｉ！’＋裟２０　ＯＫ　移？Ｊ
ｆ＝　Ｇれないようにし、そのｊ、！みがｊ９’＋　’
Ａ：ｌの藷・ジ凹外の板状体１０の前に移送されたが１
定の範囲内の板状体１０が両ＩＩ］ｌ研磨イ・立・を通
過し、研磨が終了した仮、範囲外の根状体１０の厚みじ
応じて直向ｒｉＩｆ　磨機の回転ブラシを１句１セして
から（」十びモータ１８２を回転嘔せて板状体１００し
送を行なう。11) If the position of the fixed root-like body 10 is outside the range B or N, the transfer of the nano-like body 10 is temporarily suspended to prevent the generation of defective products and to protect the polishing machine frame. A signal to stop the bamboo is emitted from the & thickness sensor 164, the motor 182 is stopped, the rolling of the roller 104 is stopped, and the plate-shaped body 10 is stopped.
;'I" iJF Ni!' + 裟20 OK MOVE?J
Avoid f = G, then j,! Migaj9'+'
A: It was transferred in front of the plate-shaped body 10 outside the bulge of l, but 1
Assuming that the plate-like bodies 10 within the specified range have passed through the polishing machine II]l and the polishing has been completed, the rotary brush of the polishing machine is rotated according to the thickness of the root-like bodies 10 that are outside the range. After one cycle is completed, the motor 182 is rotated to feed the plate-shaped body 100.

次に両面イσトド４メナ２００についてＲ〉ｃ明する。Next, R〉c will be explained about double-sided σ and 4 mena 200.

２０２は下部ベルトであｐ１略水平に矢印方向Ｖ′ｃ、
移動する。２０４は上面用回転ブラシであ）、下部ベル
ト２０２の上面に候近しでもノ数（１／＋１眩けられて
いる。202 is the lower belt p1 approximately horizontally in the direction of the arrow V'c,
Moving. Reference numeral 204 denotes a rotating brush for the upper surface, which is dazzled by a number (1/+1) even when it comes close to the upper surface of the lower belt 202.

２０６は上部ベルトであり、耐水千に矢印方向ｖｃ移動
する。２０８は下面用回転ブラシロールであり、上部ベ
ルト２０６の下面１１Ｃ１λ・近して抜数個設けられで
いる。206 is an upper belt, which is water resistant and moves in the direction of the arrow VC. Reference numeral 208 denotes rotating brush rolls for the lower surface, and several of them are provided close to the lower surface 11C1λ of the upper belt 206.

このような１山ｊ爾１（υ１惣（３，龜２００において
、プリント基板等の板状体１０はＦ部ベル）　２０２　
＆’Ｃよシ矢印方向＆′ｃ移送嘔れ、ビンチロール２１
０＆Ｃ，ｌ：、？定位置にセットきれた抜上曲用回転ブ
ラシ２０４０回転によυその上世を４；［酷され、次い
で上部ベルト２０６　ＶＣより同方向ｒｃ移送ちし、下
回用回転ブラシ２０８ＶｃよりそのＦム１を研に９され
る。Such a single pile 1 (υ1) (3, In the bolt 200, the plate-shaped body 10 such as a printed circuit board is the F part bell) 202
＆'C direction of arrow &'c Transfer, Vinci Roll 21
0&C,l:,? The upper part of the rotary brush 2040 rotates once it has been set in place, and then the upper belt 206 VC transfers it in the same direction by rc, and the lower part rotary brush 208 Vc transfers the upper belt to the upper belt 208 Vc. 1 is sharpened by 9.

２１２は研胎剤噴射パイプであり、研 驕剤ｔｑ射口２１３から回転している上面用回転ブラシ
２０４および板状体１０に噴射する。Reference numeral 212 denotes a polishing agent injection pipe, and the polishing agent is injected from a polishing agent tq injection port 213 onto the rotating upper surface rotating brush 204 and the plate-shaped body 10 .

２１４は研磨剤貯植でりり、研磨剤が 貯留式れている。下問用回転ブラシ２０８は（ロ）転し
て順次研磨剤１４’ｉ”ｔ’、Ｉ内の研腑剤に浸漬６れ
る。Reference numeral 214 is an abrasive reservoir, in which the abrasive is stored. The lower rotating brush 208 is (b) rotated and sequentially dipped into the abrasive agent in the abrasive agent 14'i''t', I.

２１６．２１８Ｖｉピンチローラ−であり、板状体１０
を移送するものである。216.218Vi pinch roller, plate-shaped body 10
It is used to transport.

このような駒１Ｉ１１研ｒｒ７＋；り２００における、
研若すべき板状体１０の１字みに応じた上面用回転ブラ
シ２０４および下ω］用回転ブラシ２０８の位１１Ｍ’
、　’ｆ：　Ｆｌ：ｉｊν１〕する手段、並びに上・下
面用回転ブラシ２０４．２０８の■耗による位置のルト
１．す段について次に説明する。In such a piece 1I11ken rr7+;ri200,
The rotating brush 204 for the upper surface and the rotating brush 208 for the lower surface 11M' corresponding to the digit of the plate-like object 10 to be polished.
, 'f: Fl: ijν1], and positional rotation due to wear of the upper and lower rotating brushes 204 and 208. The stage will be explained next.

２２０はサーボモータでりる。２２２ はポールスフリフでアシ、サーボモータ２２０＆Ｃ力ｙ
ノリング２２４　’ｔｘ−介して連結され、サーボモー
タ２２０の回転を伝える。220 is a servo motor. 222 is a pole fluff, servo motor 220 & C force y
The rotation of the servo motor 220 is transmitted through the knoll ring 224'tx-.

２２６はフローティングフレームでら シ、ボールスクリウ２２２０回転によって昇降する。226 is a floating frame It is raised and lowered by the ball screw 2220 rotations.

２２８はナツトホルダであシ、フロー ｆ　４　ｙ　り７　ｖ　−ム２２６の両端Ｖｃ１３！１
１設され、上面用回転ブラシ２０４又は下面用回転ブラ
シ２０８と同数個設けられる。228 is a nut holder, both ends of the flow f 4 y ri 7 v-me 226 Vc13!1
One brush is provided, and the same number of rotating brushes 204 for the upper surface or rotating brushes 208 for the lower surface are provided.

２３０はネジ軸であり、ナツトホルダ ２２８に回動可能に軸支δれ、上面用回転ブラシ２０４
又は″ＦＯＩｌ用回転ブラシ２０８の両端を軸支する軸
受２３２を回転によシ昇降させる。Reference numeral 230 is a screw shaft, which is rotatably supported by the nut holder 228 and supports the upper rotating brush 204.
Or, ``the bearings 232 that pivotally support both ends of the FOIl rotating brush 208 are raised and lowered by rotation.

このような手段によυ、上−″Ｆ面用回転ブ２シ２０４
．２０８の位置を自動的に調節する。By such means, υ, the rotary bush 204 for the upper-''F plane
．． The position of 208 is automatically adjusted.

すなわち、研磨すべき板状体の厚みを 前記の厚み測定装置によシ測定し、板り測定値の信号を
制御回路により所定の演算を行りて得られた制御信号を
サーボそ一タ２２０に送シ、サーボモータ２２０を回転
させ上・下面用同転ブラシ２０４．２０８の位置を調節
する。That is, the thickness of the plate-shaped object to be polished is measured by the above-mentioned thickness measuring device, and the control circuit performs a predetermined calculation on the signal of the plate thickness measurement value, and the obtained control signal is sent to the servo starter 220. Then, the servo motor 220 is rotated to adjust the positions of the upper and lower surface co-rotating brushes 204 and 208.

また、上・下面用回転ブラシ２０４． ２０８の研磨による消耗に応じた信号を制御回路におい
て板状体の馬・みのｆ＠号と共に演算し、所定の１−節
を行う。In addition, upper and lower surface rotating brushes 204. A signal corresponding to wear due to polishing 208 is calculated in the control circuit along with the f@ number of the plate-shaped body, and a predetermined 1-section is performed.

サーボモータ２２０の回転により、ポ ールスフリフ２２２が回転し、フローティングフレーム
２２６が封隙し、ナツトホルダ２２８を介して連結され
た複数のネジ軸２３０が同一の回転をし、複数の丁＋１
４Ｊ用回転ブラシ２０８は互いに逆方向に同一のきよシ
だけ外陣するのが通報であるが上・下ＩＯｊ用回軸回転
ブラシ４．２０８の消耗等によっては異なる距則−とな
りてもさしつかえない。Due to the rotation of the servo motor 220, the pole fluff 222 rotates, the floating frame 226 is sealed, and the plurality of screw shafts 230 connected via the nut holder 228 rotate in the same manner, and the plurality of screw shafts 230 rotate in the same manner.
It is reported that the rotating brushes 208 for 4J are moved in opposite directions by the same amount of distance, but depending on the wear and tear of the rotating brushes 4.208 for upper and lower IOj, different distance rules may be used.

２３４はネジ軸２３０を回転δぜるた めのハンドルであり、該ハンドル２３４を手動で回転し
て上面用回転ブラシ２０４および”Ｆ商用回転ブラシ２
０８の各々の位置ｋ　−ｆｔ＆毎Ｉ／ｃ基年位ｐｉ＋、
　Ｖこ写点調整する０ これは各々の上・下向用回転ブラシ２ ０４．２０８の消耗が異なるため、基準板面と上・下面
用回転ブラシ２０４，２るためでおる。Reference numeral 234 is a handle for rotating the screw shaft 230, and by manually rotating the handle 234, the upper rotating brush 204 and the "F commercial rotating brush 2" are rotated.
08 each position k - ft & every I/c base year pi +,
This is because the wear and tear of the upper and lower rotating brushes 204 and 208 is different, and the reference plate surface and the upper and lower rotating brushes 204 and 2 are different.

２３６はガイドバー、２３８はバーガ イ　ドである。236 is a guide bar, 238 is a barga It is Ido.

サーボモータ２２０の回転によりロー タリーエンコーダ３０２から発し７’Ｃｆｍ号ｔカウン
タ３０４でカウントし、該カウンタ３０４からのイｅＩ
号を位ｉス１１データ１１λ定回路３０６ｖＣ，送り、
該位動、テータ奴定「：１路３０６において上回用回転
ブラシ２０４および下面用回転ブラシ２０８のぞれぞれ
の位置データを咳ボする。The rotation of the servo motor 220 generates a 7'Cfm signal from the rotary encoder 302, which is counted by the counter 304.
Send the signal to 11 data 11λ constant circuit 306vC,
The positional movement and theta are determined: In the first path 306, the position data of the upper rotating brush 204 and the lower rotating brush 208 are recorded.

また、ブラシ補正化づ６！定回路３０８においては、上
面用回転ブラシ２０４およびｒ重用回転ブラシ２０８の
ぞれぞれの研Ｗ９による消耗を補正する信号′ｆ、股宏
する。Also, brush correction 6! In the constant circuit 308, a signal 'f for correcting the wear caused by the polishing W9 of the upper rotating brush 204 and the r-heavy rotating brush 208 is transmitted.

ざらに板厚センサー１６４からの信号 はバ１ナリー変換回路３ｘｏ？Ｊ：＃ｒ＝、て平均化回
路３１２に入力ちれ、平均化回ｗ１３１２では、フォト
センサー１６６からの信号によって動作し、板厚センサ
ー１６４からの厚みのデータの（ａ号を平均する。The signal from the rough board thickness sensor 164 is the binary conversion circuit 3xo? J:#r= is input to the averaging circuit 312, and in the averaging circuit w1312, it is operated by the signal from the photosensor 166 and averages (a) of the thickness data from the plate thickness sensor 164.

而して平均化回路３１２、位シーデータ眩定回路３０６
、およびブラシ補正化号設定回ＩＭ３０８からのイビ号
ｒ比較演算回路３１４ｖｃ入力し、該比較演算回路３１
４ｒこおいで、上μｓ用回転ブラシ２０４および下面用
回転ブラシ２０８の位置、を修正するデータを泊η、し
、比較演算回路３１４からの信号をデータ転送回路３１
６全通して第１サーボモータ制御回路３１８および第２
サーボモータラ制御回路３２０に送５ＳＰｇ１サーボモ
ータ制御回路３１８ｖｃおいては上面用回転ブラシ２０
４の位ｔをｉ′自節するサーボモータ２２０に制御信号
を送り、ｂ′シ２サーボモークｔｉ＊ｌｌぞ１１回路３
２０においてＶ；Ｌ丁［１１」用回転ブラシ２０８の位
置ｋ　ＲＩＭ　節するサーボモータ２２０に制御信号を
送る。The averaging circuit 312 and the data dazzling circuit 306
, and the Ibi number r comparison calculation circuit 314vc from the brush correction code setting time IM 308, and the comparison calculation circuit 31
4r, data for correcting the positions of the upper μs rotary brush 204 and the lower surface rotary brush 208 are transferred to the data transfer circuit 31.
6, the first servo motor control circuit 318 and the second
In the 5SPg1 servo motor control circuit 318vc, the upper rotating brush 20 is sent to the servo motor control circuit 320.
A control signal is sent to the servo motor 220 that self-adjusts the 4th place t i', and b' 2 servo motor ti * 11 circuit 3
At 20, a control signal is sent to the servo motor 220 that controls the position k RIM of the rotary brush 208 for V; L [11].

また、板厚１１１１定ｉ１にの平均１（？ｉが１３１走
の値の卸１聞外である場合しこケま比Ｉ欣濱′！；′：
、υ′！１路３１４からその旨の（、−１号をデータ転
送回路３１６全通してモータ１８２に送９、ローラー１
０４０回転τ止め、板状体１０の水平移送を一時停止す
る。Also, if the average 1 (?i is outside the value of 131 runs) for a plate thickness of 1111 constant i1, then the ratio I Kinhama'!;':
, υ′! 1 path 314 to that effect (, -1 is sent through the entire data transfer circuit 316 to the motor 182 9, roller 1
040 Rotation τ is stopped, and the horizontal transfer of the plate-shaped body 10 is temporarily stopped.

而してＤｉ定の範囲外の停止した板状体ｌＯの前に移送
された所定の範囲内の板状体１０が両面研磨＠２００を
通過し研磨が終了した後、前述の如く上・下口用回転ブ
ラシ２０４．２０８の位置をに−節し、時限回路３３０
からそ一夕１８２を回転式せる信号がモータ１８２に送
られ、再びモータ１８２が回転し、ローラー１０４が回
転し、板状体ｌＯの研磨が再開される。Then, the plate-shaped body 10 within the predetermined range transferred before the stopped plate-shaped body lO outside the fixed range of Di passes through the double-sided polishing @ 200 and after the polishing is completed, the upper and lower parts are polished as described above. The position of the rotary mouth brushes 204 and 208 is set to -, and the timer circuit 330
A signal to rotate the scraper 182 is sent to the motor 182, the motor 182 rotates again, the roller 104 rotates, and polishing of the plate-shaped object 10 is resumed.

３２４．３２６は回転ブラシ位１水補正回路でおり、位
置データ設定回路３０６にそれぞれ信号を送り、上面用
ＩＢ１転ブラシ２０４、下面用回転ブラシ２０８の位Ｉ
Ｉ４：をそれぞれ設定するしくの補止を行う。324 and 326 are rotating brush position 1 water correction circuits, which send signals to the position data setting circuit 306, respectively, and adjust the position I of the upper surface IB1 rotating brush 204 and the lower surface rotating brush 208.
Supplementary instructions for setting I4: are provided.

以上のようにして、研磨すべき板状体 １０の厚みおよび上・下面用回転ブラシ２０４．２０８
の消耗に応じて上・下回るものである。As described above, the thickness of the plate-shaped body 10 to be polished and the rotating brushes 204 and 208 for the upper and lower surfaces are determined.
It goes up or down depending on the wear and tear.

３２２はアクチ＾エータ制御回路であ シ、フォトセンサー１２２からの信号に応シてアクチュ
エータ１４４に制御信号を送〕、アクチュエータ１４４
を動作させてピンチローラ−１４２を昇降賂せるもので
ある。322 is an actuator control circuit, which sends a control signal to the actuator 144 in response to a signal from the photosensor 122;
is operated to raise and lower the pinch roller 142.

第４図に厚み測定装置１００のエアー 回路図を示す。FIG. 4 shows the air pressure of the thickness measuring device 100. A circuit diagram is shown.

エアー源４０２から出たエアーはフィ ルタ４０４、圧力制御弁４０６、ルグリケータ４０８か
らなるルブユニット４１０を通過しソレノイドパルプ４
１２に送られる。ソレノイドパルプ４１２に送られたエ
アーはソレノイドパルプ４１２が図の状態の場合には逆
上弁付針弁からなるスピードコントローラ４１４の逆止
弁４１４αを通過してシリンダ４１６の下側４１６αに
圧入され、シリンダ４１６が上昇する。The air coming out of the air source 402 passes through a lubrication unit 410 consisting of a filter 404, a pressure control valve 406, and a lugifier 408, and then passes through the solenoid pulp 4.
Sent to 12th. When the solenoid pulp 412 is in the state shown in the figure, the air sent to the solenoid pulp 412 passes through the check valve 414α of the speed controller 414, which is a needle valve with a reverse valve, and is press-fitted into the lower side 416α of the cylinder 416. Cylinder 416 rises.

この時アクチュエータ１４４が上昇す る。At this time, the actuator 144 rises. Ru.

シリンダ４１６の上（１！ｌ　４１６　ｂから圧出され
たエアーは逆上弁付針弁からなるスピードコントローラ
４１８の針弁４１８ｂを通過し、ソレノイドパルプ４１
２を通過してサイレンサ４２０から排出でれる。The air compressed from the top of the cylinder 416 (1!l 416b) passes through the needle valve 418b of the speed controller 418, which is a needle valve with a reversing valve, and the solenoid pulp 41
2 and is discharged from the silencer 420.

ソレノイドパルプ４１２が図示とは逆 の状態に切換えられた場合ｉｌ′ｉ：は、エアーはソレ
ノイドパルプ４１２を通過してスピードコントローラ４
１８の逆止弁４１８８を通過してシリンダ４１６の上仰
１４１６Ａに圧入され、シリンダ４１６が下降する。When the solenoid pulp 412 is switched to the opposite state from that shown in the figure, air passes through the solenoid pulp 412 and reaches the speed controller 4.
It passes through the No. 18 check valve 4188 and is press-fitted into the upper part 1416A of the cylinder 416, and the cylinder 416 is lowered.

この時アクチュエータ１４４が下降す る０ シリンダ４１６の丁狽ｏ　４１６αから圧出されたエア
ーしニスピードコントローラ４１４の針弁４１４　ｂ　
ｋ　；ｒ１４過し、ソレノイドパルプ４１２を通過して
サイレンサ４２０から排出される。At this time, the actuator 144 descends, the air is pressed out from the cylinder 416, and the needle valve 414b of the speed controller 414.
k; r14, passes through the solenoid pulp 412, and is discharged from the silencer 420.

圧出されたエアーが針弁４１４ｂ、４１８ｈの抵抗き受
け、シリンダ４１６の急激な上昇、下降を防止する。The compressed air meets the resistance of the needle valves 414b and 418h, and prevents the cylinder 416 from rising or falling rapidly.

シリンダ４１６の昇降はリミットスイ ッチ４２２により限界を押さえられている０ また、ソレノイドパルプ４１２Ｕフオ トセンサー１２２からの信号によシ切換えられる。The lifting and lowering of the cylinder 416 is controlled by a limit switch. 0 whose limit is suppressed by switch 422 In addition, solenoid pulp 412U pho It is switched by a signal from the sensor 122.

４２４は圧力制御弁、４２６．４２８ は圧力計、４３０．４３２．４３４はシリンダ、４３６
．４３８．４４０は上・下回用回転ブラシ２０４．２０
８を地動するモータである。424 is a pressure control valve, 426.428 is a pressure gauge, 430.432.434 is a cylinder, 436
．． 438.440 is upper/lower rotating brush 204.20
8 is a motor that moves the ground.

以上のようなエアー回路によシ厚み泗 址だ、第５図には厚み１ｊ１１１定装置１００および両
面研貯様２００の各部分の動作線図を示す。The air circuit described above is used to determine the thickness. FIG. 5 shows an operational diagram of each part of the thickness 1j111 fixing device 100 and the double-sided polishing device 200.

発明の効果 本発明によれば、板状体の厚みを泗足 し、厚みに応じて上−下面用回転ブラシの位置を自動的
に訳知するから、板状体不良品の発生を防止できる。Effects of the Invention According to the present invention, since the thickness of the plate-shaped body is reduced and the positions of the upper and lower rotating brushes are automatically determined according to the thickness, it is possible to prevent the occurrence of defective plate-shaped bodies.

また１上・下面用回転ブラシの消耗を 自）助的に゛歯算しで、上・′Ｆ面面画回転ブラシ位置
を―節するから、稀に一部の厚；９−９研磨することが
可能である。Also, in order to reduce the wear and tear of the rotating brushes for the upper and lower surfaces, the positions of the rotating brushes for the upper and F surfaces are adjusted by counting the teeth, so in rare cases, some thicknesses must be polished by 9-9. Is possible.

したがって一定の品質の板状体奮得る ことができ、従来のような熟縁者の大月・を要せず、製
造コストも安価にできる。Therefore, it is possible to obtain a plate-shaped body of a constant quality, it does not require a large number of experts as in the past, and the manufacturing cost can be reduced.

２図は第１図の一部側面図、第３図は不発１０・・・・
・・板状体、 １２２・・・・・・フォトセンサー、１４２・・・・・
・ピンチローラ−１１４４・・・・・・アクチェエータ
、１６２・・・・・・検測ローラー、１６４・・・・・
・板厚センサー、１６６・・・・・・フォトセンサー、
２０２・・・・・・下部ベル）、　２０４・・・・・・
上面用回転ブラシ、２０６・・・・・・上部ベル）、　
２０８・・・・・・下口用回転ブラシ、２２０・・・・
・・サーボモータ、Figure 2 is a partial side view of Figure 1, Figure 3 is the unexploded 10...
... Plate-shaped body, 122 ... Photo sensor, 142 ...
・Pinch roller - 1144...Actuator, 162...Inspection roller, 164...
・Plate thickness sensor, 166...photo sensor,
202... lower bell), 204...
Rotating brush for upper surface, 206...upper bell),
208... Rotating brush for lower mouth, 220...
··Servomotor,

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、　板状体を略水平に移送しながらその上下両面を回
転ブラシによシ研磨するための両面研磨機において、 上記板状体両面の表面を選択された仕 上げ設定厚だけ研氏ｒするように上面用回転ブラシと下
面用回転ブラシをｌ’ｉＵ］時に又は別個に上下Ｎｂせ
しめるための自動昇降＋段と、 該上Ｏ下面周回ｒト、、、ブラシの磨札卿による径の変
化に応じて回転軸心の基準位置ｆ：調移するための手動
昇降手段と、 全備えてなる板状体の両面研１Ｆ！？に規〇２　自動昇
降子Ｒが、回転ブラシを上下動可能に支持する支持機構
と、該支持機構を駆動するための駆動機構と、該駆′！
ＪＩＪ機栴を制御するための電気的制御回路とからなる
前記特許請求の範囲第１項記嘱の両面研磨機。 ３、回転ブラシが、上・下それぞれ複数本づつ配備され
てなる前記特許請求の範囲第１項記載の研磨様。 ４、　自動外１１手段が、サーボモータと、該サーボモ
ータにカップリングを介して連結され、サーボ七−夕の
回転を伝えるポールスクリウからなる駆動機構と、該ボ
ールスクリウの回転によって昇降するフローティングフ
レームと、該７０−ティングフレームの両端にそれぞれ
面Ｈジきれ九回転ブラシと同数のナツトホルダに回動可
能に軸支式れたネジ軸と、回転ブラシの両端を軸支し、
前記ネジ軸の回転によって昇降する軸受とからなる支持
機構とから構成され、手動昇降手段が、前記研磨ブラシ
ロールの軸受を回転によシ昇降させるネジ軸を回動自在
に軸支するフレームと、該フレームの片側のネジ軸に固
設δれたハンドルと、該ハンドルの回転を前記フレーム
の反対側のネジ軸に伝達する機構とからなるｈ・Ｊ配％
ｉｔ’Ｆ　請求の範囲第１項記載の研磨徒。 ５、電気的制御回路が、フォトセンサーからの板状体を
検出した旨の（Ｍ号の久方ｌ−Ｊに板厚センサーからの
（ｉ号にょシ板状体の厚みのデータを平均化する平均化
回路と、 サーボモータの回転により佃゛号を発するμ−タリーエ
ンコーダと、該筒−タリーエンコーダからの信号をカウ
ントするカウンタと、該カウンタからの信号により前記
上面用回転ブラシおよび下面用回転ブラシの位置データ
を設定する位置データ設定回路と、前記上面用回転ブラ
シおよび下面用回転ブラシの研磨による消耗を補正する
信号を設定するブラシ補正信号設定回路と、カ１」記平
均化回路、位置データ設定回路およびブラシ補正信号設
定回路からの信号によりて上面用回転ブラシおよび下面
用回転ブラシの位置をイレ圧するデータ？！−演算する
比較演算回路と、該比較演算回路からの信号を転送する
データ転送回路と、該データ転送回路からの信号によシ
上面用回転ブラシおよび下面用回転ブラシの位置を調節
するそれぞれのサーボモータを制御する第１ザーボモー
タ制御回路および第２サーボモータ制御回路からなる前
記特許請求の範囲第１項記載の研磨機。[Claims] 1. In a double-sided polishing machine for polishing both upper and lower surfaces of a plate-shaped body using a rotating brush while conveying the plate-shaped body substantially horizontally, the surfaces of both sides of the plate-shaped body are polished to a selected finish setting thickness. Automatic lifting and lowering steps for raising and lowering the upper and lower rotating brushes at the same time or separately for polishing, and polishing of the brushes when rotating the upper and lower surfaces. The reference position f of the axis of rotation according to the change in diameter due to the change in diameter: Manual lifting means for adjusting the adjustment, and double-sided grinding of the plate-shaped body 1F! ? 2. The automatic elevator R includes a support mechanism for vertically movably supporting the rotating brush, a drive mechanism for driving the support mechanism, and a drive mechanism for driving the support mechanism.
A double-sided polishing machine according to claim 1, comprising an electric control circuit for controlling a JIJ machine. 3. The polishing method according to claim 1, wherein a plurality of rotating brushes are provided on each of the upper and lower sides. 4. The automatic outer 11 means includes a servo motor, a drive mechanism comprising a pole screw connected to the servo motor via a coupling and transmitting the rotation of the servo Tanabata, and a floating frame that is raised and lowered by the rotation of the ball screw; At each end of the 70-ring frame, there is a threaded shaft rotatably supported by the same number of nut holders as the nine rotary brushes, each having a surface H angle, and both ends of the rotary brush are pivotally supported.
a support mechanism including a bearing that moves up and down as the screw shaft rotates, and a frame in which a manual lifting means rotatably supports the screw shaft that moves the polishing brush roll bearing up and down through the rotation; An h-J arrangement consisting of a handle fixed to a threaded shaft on one side of the frame, and a mechanism for transmitting the rotation of the handle to the threaded shaft on the opposite side of the frame.
it'F The polisher according to claim 1. 5. The electrical control circuit averages the data of the thickness of the plate-like body from the plate thickness sensor (No. a μ-tally encoder that emits a signal when the servo motor rotates; a counter that counts signals from the tube-tally encoder; a position data setting circuit for setting position data of the rotating brush; a brush correction signal setting circuit for setting a signal for correcting wear due to polishing of the upper rotating brush and the lower rotating brush; and (1) an averaging circuit; Data for adjusting the positions of the upper rotating brush and lower rotating brush based on the signals from the position data setting circuit and the brush correction signal setting circuit, and the comparison calculation circuit that calculates the data and transfers the signal from the comparison calculation circuit. Consisting of a data transfer circuit, and a first servo motor control circuit and a second servo motor control circuit that control respective servo motors that adjust the positions of the top rotating brush and the bottom rotating brush according to signals from the data transfer circuit. A polishing machine according to claim 1.