JPS6079608A - 保護膜付き透明導電性薄膜 - Google Patents
保護膜付き透明導電性薄膜Info
- Publication number
- JPS6079608A JPS6079608A JP18892683A JP18892683A JPS6079608A JP S6079608 A JPS6079608 A JP S6079608A JP 18892683 A JP18892683 A JP 18892683A JP 18892683 A JP18892683 A JP 18892683A JP S6079608 A JPS6079608 A JP S6079608A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent conductive
- conductive thin
- thin film
- protective film
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は保護膜付き透明導電性薄ll臭に関する。
本発明の保護膜付き透明導電性薄膜は、液晶表示用の透
明電極、防曇ガラスの発熱体、赤外線を遮断する選択透
過膜等に好適である。
明電極、防曇ガラスの発熱体、赤外線を遮断する選択透
過膜等に好適である。
t’ro膜〔インジウムオキサイド(In20゜)と二
酸化錫(S n、o 2 )の固溶体〕等からなる透明
導電性M賎は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング、
イオンブレーティング等の真空成膜法あるいはスプレー
法等により、ガラス等の基板上に形成され、種々の用途
に供されている。
酸化錫(S n、o 2 )の固溶体〕等からなる透明
導電性M賎は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング、
イオンブレーティング等の真空成膜法あるいはスプレー
法等により、ガラス等の基板上に形成され、種々の用途
に供されている。
ところで、従来は、この透明導電性薄膜は主にディスプ
レイ関係、光学系など比較的静的な環境下で用いられる
ことが多く、それゆえ透明導電性薄膜の耐久性が要求さ
れることは少ながった。しかるに、近年では、透明導電
性薄等の優れた特性に注目され、車両、航空機、建築等
において動的な用い方をされはじめ、物理的、化学的に
胞しい環境下に晒されるようになった。このため、透明
導電性薄膜の耐久性を上げる必要が生じ、種々の保護方
法が講じちれている。
レイ関係、光学系など比較的静的な環境下で用いられる
ことが多く、それゆえ透明導電性薄膜の耐久性が要求さ
れることは少ながった。しかるに、近年では、透明導電
性薄等の優れた特性に注目され、車両、航空機、建築等
において動的な用い方をされはじめ、物理的、化学的に
胞しい環境下に晒されるようになった。このため、透明
導電性薄膜の耐久性を上げる必要が生じ、種々の保護方
法が講じちれている。
かかる透明導電性薄膜の保護方法として、従来は、第1
図に示す如く、合わせガラス1内に透明導電性薄膜2を
ポリビニルブチラール中間膜3と共に挟持したり、第2
図に示す如く、プラスチックカバー4で覆ったり、また
第3図に示す如く、アクリルやウレタン等の樹脂5をコ
ーティングしたり、あるいは二酸化珪素(Sin、)を
蒸着すル等の方法が採られている。
図に示す如く、合わせガラス1内に透明導電性薄膜2を
ポリビニルブチラール中間膜3と共に挟持したり、第2
図に示す如く、プラスチックカバー4で覆ったり、また
第3図に示す如く、アクリルやウレタン等の樹脂5をコ
ーティングしたり、あるいは二酸化珪素(Sin、)を
蒸着すル等の方法が採られている。
しかしながら、上記合わせガラス内に透明導電性薄股を
形成したものは、熱効率等の性能上問題があり、またプ
ラスチックカバーを被せたものは、見栄えが良くなく意
匠性に問題がある。この点、透明導電性薄膜上に直接保
護膜を形成したものが望ましい。しかしながら、従来の
如く、透明導電性薄膜に樹脂や二酸化珪素を被覆したも
のは、耐摩耗性、耐擦過性、密着性が十分でばないとい
う問題があった。
形成したものは、熱効率等の性能上問題があり、またプ
ラスチックカバーを被せたものは、見栄えが良くなく意
匠性に問題がある。この点、透明導電性薄膜上に直接保
護膜を形成したものが望ましい。しかしながら、従来の
如く、透明導電性薄膜に樹脂や二酸化珪素を被覆したも
のは、耐摩耗性、耐擦過性、密着性が十分でばないとい
う問題があった。
このため、透明導電性薄膜との密着性が高く、かつ強固
な保護膜が要望されている。
な保護膜が要望されている。
本発明は、上記従来技術の問題を解決するためになされ
たもので、厳しい環境下での使用に十分耐えうる、耐久
性に優れた保護膜付き透明導電性薄膜を提供することを
目的とする。
たもので、厳しい環境下での使用に十分耐えうる、耐久
性に優れた保護膜付き透明導電性薄膜を提供することを
目的とする。
〔発明の構成〕
かかる目的は、本発明によれば、透明導電性薄膜の表面
に、酸化ジルコニウム(ZrO□)、酸化アルミニウム
(A6+O+)のうぢ、いずれか一方からなる保護膜を
形成したごとを特徴とする保護膜(;Jき透明導電性薄
膜によって達成される。
に、酸化ジルコニウム(ZrO□)、酸化アルミニウム
(A6+O+)のうぢ、いずれか一方からなる保護膜を
形成したごとを特徴とする保護膜(;Jき透明導電性薄
膜によって達成される。
酸化ジルコニウムおよび酸化アルミニウムは、透明導電
性薄膜としてのビro股との密着性がよく、かつ酸化ジ
ルコニウム、酸化アルミニウム自体が耐摩耗性、耐擦過
性に優れているため、本考案の保護膜付き透明導電性薄
膜の面j天性が向」二する。
性薄膜としてのビro股との密着性がよく、かつ酸化ジ
ルコニウム、酸化アルミニウム自体が耐摩耗性、耐擦過
性に優れているため、本考案の保護膜付き透明導電性薄
膜の面j天性が向」二する。
以上より、本発明の保護膜付き透明導電性薄膜は、以下
の効果を奏する。
の効果を奏する。
(イ)透明導電性薄膜の耐久性が大幅に向上する。
従って、厳しい環境下での使用も可能となり、適用範囲
が大幅に拡大する。
が大幅に拡大する。
(ロ)真空成膜法により、透明導電性薄膜と同様に保護
膜の成形が可能なため、作業性が良い。
膜の成形が可能なため、作業性が良い。
次に、本発明の詳細な説明する。
(第1実施例)
本考案の保護膜イ1き透明導電性薄膜の耐摩耗性試験を
、従来のものと比較のうえ行った。
、従来のものと比較のうえ行った。
−辺100龍、厚さ5龍で中心に直径6I1mの孔のあ
いたガラスを、トリクレンと純水で十分に洗浄した後、
乾燥し、透明導電性薄膜としてのITOと各種保護映利
料をスパフタリングして、A、B、C,Dの4種の試験
片を作製した。この4種の試験片のうち、AとBは従来
例を示し、CとDは本発明の例を示す。かかる4種の試
験片の構成は次の通りである。
いたガラスを、トリクレンと純水で十分に洗浄した後、
乾燥し、透明導電性薄膜としてのITOと各種保護映利
料をスパフタリングして、A、B、C,Dの4種の試験
片を作製した。この4種の試験片のうち、AとBは従来
例を示し、CとDは本発明の例を示す。かかる4種の試
験片の構成は次の通りである。
A試験片:1TO(60(10人)十
三酸化珪素(3000人)
B試験片:ITO(6000人)+
弗化マグネシウム(3000人)
C試験片:1TO(6000人)+
酸化ジルコニウム(3000人)
D試験片:1TO(6000人)+
酸化アルミニウム(3000人)
この4種の試験片をテーバ型摩耗試験機にかけてくもり
度(ヘーズ値)を調べた。ここで、テーバ型摩耗試験機
は、研@わ)入りゴムホイールを試料面で回転し、摩耗
さ・Uることにより、試験後の試料の重量減少あるいは
くもり度を調べる機械である。試験は、摩耗ホイール(
C3−10F)を用い・荷重500gで1o001ia
1転さ−U、くもり度の増加をヘーズメータによりJ、
す定した。
度(ヘーズ値)を調べた。ここで、テーバ型摩耗試験機
は、研@わ)入りゴムホイールを試料面で回転し、摩耗
さ・Uることにより、試験後の試料の重量減少あるいは
くもり度を調べる機械である。試験は、摩耗ホイール(
C3−10F)を用い・荷重500gで1o001ia
1転さ−U、くもり度の増加をヘーズメータによりJ、
す定した。
この結果、従来例を示すA試験片と13試験片は、それ
ぞれ保護膜である二酸化珪素と弗化マグネシウムが完全
に剥離したのに対し、本考案の例を示ずC試験片とD試
験片には、剥離は全く見られず、ヘーズ値ばそれぞれ0
.8%、1.1%であった。このヘーズ値は、自動車用
安全ガラスのJIS規格で決められている2、0%以内
という条件を十分満足するものである。因に、ガラス自
体のヘーズ値は0.8%であり、本発明の保護膜イ1き
透明導電性薄膜は、ガラスなみの耐摩耗性をイjするこ
とが確かめられた。
ぞれ保護膜である二酸化珪素と弗化マグネシウムが完全
に剥離したのに対し、本考案の例を示ずC試験片とD試
験片には、剥離は全く見られず、ヘーズ値ばそれぞれ0
.8%、1.1%であった。このヘーズ値は、自動車用
安全ガラスのJIS規格で決められている2、0%以内
という条件を十分満足するものである。因に、ガラス自
体のヘーズ値は0.8%であり、本発明の保護膜イ1き
透明導電性薄膜は、ガラスなみの耐摩耗性をイjするこ
とが確かめられた。
(第2実施例)
本発明の保護膜付き透明導電性薄膜の耐薬品性と耐熱、
耐水性を調べた。
耐水性を調べた。
一辺50鰭、厚さ51INのガラスに、第1実施例と同
様にして、E試験片とF試験片を作製した。
様にして、E試験片とF試験片を作製した。
ここで、E試験片はC試験片と、またF試験片ばD試験
片と実質的に同じである。この両試験片を複数作製し、
以下の試験を行った。
片と実質的に同じである。この両試験片を複数作製し、
以下の試験を行った。
(a)0.INのN a OH溶液に、室温で240時
間浸漬した。この結果、ITO膜のみの場合は、約10
時間後に白濁を生じたが、本発明のE試験片とF試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
間浸漬した。この結果、ITO膜のみの場合は、約10
時間後に白濁を生じたが、本発明のE試験片とF試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
(b)28%のアンモニアン容ン夜に、室温で240時
冊浸漬した。この結果、ITO膜のみの場合は、約15
時間後に白濁を生じたが、本発明のE試験片とF試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
冊浸漬した。この結果、ITO膜のみの場合は、約15
時間後に白濁を生じたが、本発明のE試験片とF試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
(C)沸騰水中に2時間浸漬した。この結果、ITO膜
のみの場合は変色を生じたが、本発明のE試験片とF試
験片の場合は、なんら変化が認められなかった。
のみの場合は変色を生じたが、本発明のE試験片とF試
験片の場合は、なんら変化が認められなかった。
以上より、本発明の保護膜付き透明導電性薄膜は、耐薬
品性および耐熱、耐水性に優れていることが荀[1忍さ
れた。
品性および耐熱、耐水性に優れていることが荀[1忍さ
れた。
(第3実施例)
第4Mに示す保護膜イ」き透明導電性)°・V膜を作製
した。第4図は本発明の第3実施例に係る保護膜イζJ
き透明導電性薄膜の概要を示ず概略構成図である。
した。第4図は本発明の第3実施例に係る保護膜イζJ
き透明導電性薄膜の概要を示ず概略構成図である。
一辺50龍、厚さ5關の透明ガラスlに、スパッタリン
グにより、11゛0膜2を約10 (100人形成した
。このときのシート抵抗ば;3.8Ω/口であった。次
いで、保護膜として酸化ジルコニウムIW6を、スパッ
クリングにより5000人の股F’−に形成した。更に
、この酸化ジルコニウムl1% 6の上に、スパッタリ
ングにより反射防止脈とし゛C二酸化珪素膜7を約90
0人形成した。この二酸化珪素膜7の膜厚dは、反射さ
せたくない可視光線の中心波長を520鰭と設定し、n
d−λ/4に、n=1.45(二酸化珪素の屈折率)、
λ−520鰭を代入してめた。
グにより、11゛0膜2を約10 (100人形成した
。このときのシート抵抗ば;3.8Ω/口であった。次
いで、保護膜として酸化ジルコニウムIW6を、スパッ
クリングにより5000人の股F’−に形成した。更に
、この酸化ジルコニウムl1% 6の上に、スパッタリ
ングにより反射防止脈とし゛C二酸化珪素膜7を約90
0人形成した。この二酸化珪素膜7の膜厚dは、反射さ
せたくない可視光線の中心波長を520鰭と設定し、n
d−λ/4に、n=1.45(二酸化珪素の屈折率)、
λ−520鰭を代入してめた。
この結果得られた保護膜付きふ明導電性薄膜は、二酸化
珪素膜を設りない場合には、可視光線の反射率がガラス
の反射も含め一ζ25%であったのに対し、15%に低
減した。
珪素膜を設りない場合には、可視光線の反射率がガラス
の反射も含め一ζ25%であったのに対し、15%に低
減した。
また、第1実施例と同様に、テーバ型摩耗試験機にかけ
たところ、ガラスと同程度の傷付きしか受けず、くもり
度を示ずヘーズ値の増加は僅かに1.5%であった。
たところ、ガラスと同程度の傷付きしか受けず、くもり
度を示ずヘーズ値の増加は僅かに1.5%であった。
このように、l ′rO膜と二酸化珪素膜の間に酸化ジ
ルコニウム股を介在さ・Uることにより、各層の密着強
度が増し、耐久性の向上が図れるとともに、反射防止機
能をも持たせることができた。
ルコニウム股を介在さ・Uることにより、各層の密着強
度が増し、耐久性の向上が図れるとともに、反射防止機
能をも持たせることができた。
以上、本発明の特定の実施例について説明したが、本発
明は、この実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載の範囲内で種々の実Jll!i態様が包含
されるものである。
明は、この実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載の範囲内で種々の実Jll!i態様が包含
されるものである。
第1図〜第3図は、従来の透明導電性薄膜の保護方法を
示す機略構成図、 第4図は本発明の第3実施例に係る保護膜イ」き透明導
電性薄膜の概要を示す概略構成図である。 1−−−−ガラス 2−−−− I T O股(透明導電性薄膜)3−−−
−ポリビニルブチラール中間膜4−−−−−プラスチソ
クカハー 5−−−−4削脂(ウレタン等) 6−−−−−酸化ジルコニウム股(保護膜)7−、−−
二酸化珪素膜 出Jf(人 トヨタ自動車株入会社 第2図 第4図
示す機略構成図、 第4図は本発明の第3実施例に係る保護膜イ」き透明導
電性薄膜の概要を示す概略構成図である。 1−−−−ガラス 2−−−− I T O股(透明導電性薄膜)3−−−
−ポリビニルブチラール中間膜4−−−−−プラスチソ
クカハー 5−−−−4削脂(ウレタン等) 6−−−−−酸化ジルコニウム股(保護膜)7−、−−
二酸化珪素膜 出Jf(人 トヨタ自動車株入会社 第2図 第4図
Claims (1)
- (1)透明導電性薄膜の表面に、酸化ジルコニウム(Z
rO2)、酸化アルミニウム(A lt r Ol)の
うち、いずれか一方からなる保護膜を形成したことを特
徴とする保護膜付き透明導電性薄膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18892683A JPS6079608A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 保護膜付き透明導電性薄膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18892683A JPS6079608A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 保護膜付き透明導電性薄膜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6079608A true JPS6079608A (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=16232300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18892683A Pending JPS6079608A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 保護膜付き透明導電性薄膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6079608A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017513542A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-06-01 | アライン テクノロジー, インコーポレイテッド | 熱防曇システム及び方法 |
US11254608B2 (en) * | 2016-02-23 | 2022-02-22 | Saint-Gobain Glass France | Article comprising a protective top layer based on mixed oxide of zirconium and aluminum |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5136477A (en) * | 1974-09-20 | 1976-03-27 | Toray Industries | Arufua amino ipushiron kapurorakutamu no tanriho |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP18892683A patent/JPS6079608A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5136477A (en) * | 1974-09-20 | 1976-03-27 | Toray Industries | Arufua amino ipushiron kapurorakutamu no tanriho |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017513542A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-06-01 | アライン テクノロジー, インコーポレイテッド | 熱防曇システム及び方法 |
US10111581B2 (en) | 2014-02-27 | 2018-10-30 | Align Technology, Inc. | Thermal defogging system and method |
US11134834B2 (en) | 2014-02-27 | 2021-10-05 | Alighn Technology, Inc. | Protective sleeve for intraoral scanner |
US11254608B2 (en) * | 2016-02-23 | 2022-02-22 | Saint-Gobain Glass France | Article comprising a protective top layer based on mixed oxide of zirconium and aluminum |
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