JPS6079608A - 保護膜付き透明導電性薄膜 - Google Patents
保護膜付き透明導電性薄膜Info
- Publication number
- JPS6079608A JPS6079608A JP18892683A JP18892683A JPS6079608A JP S6079608 A JPS6079608 A JP S6079608A JP 18892683 A JP18892683 A JP 18892683A JP 18892683 A JP18892683 A JP 18892683A JP S6079608 A JPS6079608 A JP S6079608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent conductive
- conductive thin
- thin film
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は保護膜付き透明導電性薄ｌｌ臭に関する。
本発明の保護膜付き透明導電性薄膜は、液晶表示用の透
明電極、防曇ガラスの発熱体、赤外線を遮断する選択透
過膜等に好適である。
明電極、防曇ガラスの発熱体、赤外線を遮断する選択透
過膜等に好適である。
ｔ’ｒｏ膜〔インジウムオキサイド（Ｉｎ２０゜）と二
酸化錫（Ｓ ｎ、ｏ ２ ）の固溶体〕等からなる透明
導電性Ｍ賎は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング、
イオンブレーティング等の真空成膜法あるいはスプレー
法等により、ガラス等の基板上に形成され、種々の用途
に供されている。
酸化錫（Ｓ ｎ、ｏ ２ ）の固溶体〕等からなる透明
導電性Ｍ賎は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング、
イオンブレーティング等の真空成膜法あるいはスプレー
法等により、ガラス等の基板上に形成され、種々の用途
に供されている。
ところで、従来は、この透明導電性薄膜は主にディスプ
レイ関係、光学系など比較的静的な環境下で用いられる
ことが多く、それゆえ透明導電性薄膜の耐久性が要求さ
れることは少ながった。しかるに、近年では、透明導電
性薄等の優れた特性に注目され、車両、航空機、建築等
において動的な用い方をされはじめ、物理的、化学的に
胞しい環境下に晒されるようになった。このため、透明
導電性薄膜の耐久性を上げる必要が生じ、種々の保護方
法が講じちれている。
レイ関係、光学系など比較的静的な環境下で用いられる
ことが多く、それゆえ透明導電性薄膜の耐久性が要求さ
れることは少ながった。しかるに、近年では、透明導電
性薄等の優れた特性に注目され、車両、航空機、建築等
において動的な用い方をされはじめ、物理的、化学的に
胞しい環境下に晒されるようになった。このため、透明
導電性薄膜の耐久性を上げる必要が生じ、種々の保護方
法が講じちれている。
かかる透明導電性薄膜の保護方法として、従来は、第１
図に示す如く、合わせガラス１内に透明導電性薄膜２を
ポリビニルブチラール中間膜３と共に挟持したり、第２
図に示す如く、プラスチックカバー４で覆ったり、また
第３図に示す如く、アクリルやウレタン等の樹脂５をコ
ーティングしたり、あるいは二酸化珪素（Ｓｉｎ、）を
蒸着すル等の方法が採られている。
図に示す如く、合わせガラス１内に透明導電性薄膜２を
ポリビニルブチラール中間膜３と共に挟持したり、第２
図に示す如く、プラスチックカバー４で覆ったり、また
第３図に示す如く、アクリルやウレタン等の樹脂５をコ
ーティングしたり、あるいは二酸化珪素（Ｓｉｎ、）を
蒸着すル等の方法が採られている。
しかしながら、上記合わせガラス内に透明導電性薄股を
形成したものは、熱効率等の性能上問題があり、またプ
ラスチックカバーを被せたものは、見栄えが良くなく意
匠性に問題がある。この点、透明導電性薄膜上に直接保
護膜を形成したものが望ましい。しかしながら、従来の
如く、透明導電性薄膜に樹脂や二酸化珪素を被覆したも
のは、耐摩耗性、耐擦過性、密着性が十分でばないとい
う問題があった。
形成したものは、熱効率等の性能上問題があり、またプ
ラスチックカバーを被せたものは、見栄えが良くなく意
匠性に問題がある。この点、透明導電性薄膜上に直接保
護膜を形成したものが望ましい。しかしながら、従来の
如く、透明導電性薄膜に樹脂や二酸化珪素を被覆したも
のは、耐摩耗性、耐擦過性、密着性が十分でばないとい
う問題があった。
このため、透明導電性薄膜との密着性が高く、かつ強固
な保護膜が要望されている。
な保護膜が要望されている。
本発明は、上記従来技術の問題を解決するためになされ
たもので、厳しい環境下での使用に十分耐えうる、耐久
性に優れた保護膜付き透明導電性薄膜を提供することを
目的とする。
たもので、厳しい環境下での使用に十分耐えうる、耐久
性に優れた保護膜付き透明導電性薄膜を提供することを
目的とする。
〔発明の構成〕
かかる目的は、本発明によれば、透明導電性薄膜の表面
に、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）、酸化アルミニウム
（Ａ６＋Ｏ＋）のうぢ、いずれか一方からなる保護膜を
形成したごとを特徴とする保護膜（；Ｊき透明導電性薄
膜によって達成される。
に、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）、酸化アルミニウム
（Ａ６＋Ｏ＋）のうぢ、いずれか一方からなる保護膜を
形成したごとを特徴とする保護膜（；Ｊき透明導電性薄
膜によって達成される。
酸化ジルコニウムおよび酸化アルミニウムは、透明導電
性薄膜としてのビｒｏ股との密着性がよく、かつ酸化ジ
ルコニウム、酸化アルミニウム自体が耐摩耗性、耐擦過
性に優れているため、本考案の保護膜付き透明導電性薄
膜の面ｊ天性が向」二する。
性薄膜としてのビｒｏ股との密着性がよく、かつ酸化ジ
ルコニウム、酸化アルミニウム自体が耐摩耗性、耐擦過
性に優れているため、本考案の保護膜付き透明導電性薄
膜の面ｊ天性が向」二する。
以上より、本発明の保護膜付き透明導電性薄膜は、以下
の効果を奏する。
の効果を奏する。
（イ）透明導電性薄膜の耐久性が大幅に向上する。
従って、厳しい環境下での使用も可能となり、適用範囲
が大幅に拡大する。
が大幅に拡大する。
（ロ）真空成膜法により、透明導電性薄膜と同様に保護
膜の成形が可能なため、作業性が良い。
膜の成形が可能なため、作業性が良い。
次に、本発明の詳細な説明する。
（第１実施例）
本考案の保護膜イ１き透明導電性薄膜の耐摩耗性試験を
、従来のものと比較のうえ行った。
、従来のものと比較のうえ行った。
−辺１００龍、厚さ５龍で中心に直径６Ｉ１ｍの孔のあ
いたガラスを、トリクレンと純水で十分に洗浄した後、
乾燥し、透明導電性薄膜としてのＩＴＯと各種保護映利
料をスパフタリングして、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄの４種の試験
片を作製した。この４種の試験片のうち、ＡとＢは従来
例を示し、ＣとＤは本発明の例を示す。かかる４種の試
験片の構成は次の通りである。
いたガラスを、トリクレンと純水で十分に洗浄した後、
乾燥し、透明導電性薄膜としてのＩＴＯと各種保護映利
料をスパフタリングして、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄの４種の試験
片を作製した。この４種の試験片のうち、ＡとＢは従来
例を示し、ＣとＤは本発明の例を示す。かかる４種の試
験片の構成は次の通りである。
Ａ試験片：１ＴＯ（６０（１０人）十
三酸化珪素（３０００人）
Ｂ試験片：ＩＴＯ（６０００人）＋
弗化マグネシウム（３０００人）
Ｃ試験片：１ＴＯ（６０００人）＋
酸化ジルコニウム（３０００人）
Ｄ試験片：１ＴＯ（６０００人）＋
酸化アルミニウム（３０００人）
この４種の試験片をテーバ型摩耗試験機にかけてくもり
度（ヘーズ値）を調べた。ここで、テーバ型摩耗試験機
は、研＠わ）入りゴムホイールを試料面で回転し、摩耗
さ・Ｕることにより、試験後の試料の重量減少あるいは
くもり度を調べる機械である。試験は、摩耗ホイール（
Ｃ３−１０Ｆ）を用い・荷重５００ｇで１ｏ００１ｉａ
１転さ−Ｕ、くもり度の増加をヘーズメータによりＪ、
す定した。
度（ヘーズ値）を調べた。ここで、テーバ型摩耗試験機
は、研＠わ）入りゴムホイールを試料面で回転し、摩耗
さ・Ｕることにより、試験後の試料の重量減少あるいは
くもり度を調べる機械である。試験は、摩耗ホイール（
Ｃ３−１０Ｆ）を用い・荷重５００ｇで１ｏ００１ｉａ
１転さ−Ｕ、くもり度の増加をヘーズメータによりＪ、
す定した。
この結果、従来例を示すＡ試験片と１３試験片は、それ
ぞれ保護膜である二酸化珪素と弗化マグネシウムが完全
に剥離したのに対し、本考案の例を示ずＣ試験片とＤ試
験片には、剥離は全く見られず、ヘーズ値ばそれぞれ０
．８％、１．１％であった。このヘーズ値は、自動車用
安全ガラスのＪＩＳ規格で決められている２、０％以内
という条件を十分満足するものである。因に、ガラス自
体のヘーズ値は０．８％であり、本発明の保護膜イ１き
透明導電性薄膜は、ガラスなみの耐摩耗性をイｊするこ
とが確かめられた。
ぞれ保護膜である二酸化珪素と弗化マグネシウムが完全
に剥離したのに対し、本考案の例を示ずＣ試験片とＤ試
験片には、剥離は全く見られず、ヘーズ値ばそれぞれ０
．８％、１．１％であった。このヘーズ値は、自動車用
安全ガラスのＪＩＳ規格で決められている２、０％以内
という条件を十分満足するものである。因に、ガラス自
体のヘーズ値は０．８％であり、本発明の保護膜イ１き
透明導電性薄膜は、ガラスなみの耐摩耗性をイｊするこ
とが確かめられた。
（第２実施例）
本発明の保護膜付き透明導電性薄膜の耐薬品性と耐熱、
耐水性を調べた。
耐水性を調べた。
一辺５０鰭、厚さ５１ＩＮのガラスに、第１実施例と同
様にして、Ｅ試験片とＦ試験片を作製した。
様にして、Ｅ試験片とＦ試験片を作製した。
ここで、Ｅ試験片はＣ試験片と、またＦ試験片ばＤ試験
片と実質的に同じである。この両試験片を複数作製し、
以下の試験を行った。
片と実質的に同じである。この両試験片を複数作製し、
以下の試験を行った。
（ａ）０．ＩＮのＮ ａ ＯＨ溶液に、室温で２４０時
間浸漬した。この結果、ＩＴＯ膜のみの場合は、約１０
時間後に白濁を生じたが、本発明のＥ試験片とＦ試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
間浸漬した。この結果、ＩＴＯ膜のみの場合は、約１０
時間後に白濁を生じたが、本発明のＥ試験片とＦ試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
（ｂ）２８％のアンモニアン容ン夜に、室温で２４０時
冊浸漬した。この結果、ＩＴＯ膜のみの場合は、約１５
時間後に白濁を生じたが、本発明のＥ試験片とＦ試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
冊浸漬した。この結果、ＩＴＯ膜のみの場合は、約１５
時間後に白濁を生じたが、本発明のＥ試験片とＦ試験片
の場合は、なんら変化が認められなかった。
（Ｃ）沸騰水中に２時間浸漬した。この結果、ＩＴＯ膜
のみの場合は変色を生じたが、本発明のＥ試験片とＦ試
験片の場合は、なんら変化が認められなかった。
のみの場合は変色を生じたが、本発明のＥ試験片とＦ試
験片の場合は、なんら変化が認められなかった。
以上より、本発明の保護膜付き透明導電性薄膜は、耐薬
品性および耐熱、耐水性に優れていることが荀［１忍さ
れた。
品性および耐熱、耐水性に優れていることが荀［１忍さ
れた。
（第３実施例）
第４Ｍに示す保護膜イ」き透明導電性）°・Ｖ膜を作製
した。第４図は本発明の第３実施例に係る保護膜イζＪ
き透明導電性薄膜の概要を示ず概略構成図である。
した。第４図は本発明の第３実施例に係る保護膜イζＪ
き透明導電性薄膜の概要を示ず概略構成図である。
一辺５０龍、厚さ５關の透明ガラスｌに、スパッタリン
グにより、１１゛０膜２を約１０ （１００人形成した
。このときのシート抵抗ば；３．８Ω／口であった。次
いで、保護膜として酸化ジルコニウムＩＷ６を、スパッ
クリングにより５０００人の股Ｆ’−に形成した。更に
、この酸化ジルコニウムｌ１％ ６の上に、スパッタリ
ングにより反射防止脈とし゛Ｃ二酸化珪素膜７を約９０
０人形成した。この二酸化珪素膜７の膜厚ｄは、反射さ
せたくない可視光線の中心波長を５２０鰭と設定し、ｎ
ｄ−λ／４に、ｎ＝１．４５（二酸化珪素の屈折率）、
λ−５２０鰭を代入してめた。
グにより、１１゛０膜２を約１０ （１００人形成した
。このときのシート抵抗ば；３．８Ω／口であった。次
いで、保護膜として酸化ジルコニウムＩＷ６を、スパッ
クリングにより５０００人の股Ｆ’−に形成した。更に
、この酸化ジルコニウムｌ１％ ６の上に、スパッタリ
ングにより反射防止脈とし゛Ｃ二酸化珪素膜７を約９０
０人形成した。この二酸化珪素膜７の膜厚ｄは、反射さ
せたくない可視光線の中心波長を５２０鰭と設定し、ｎ
ｄ−λ／４に、ｎ＝１．４５（二酸化珪素の屈折率）、
λ−５２０鰭を代入してめた。
この結果得られた保護膜付きふ明導電性薄膜は、二酸化
珪素膜を設りない場合には、可視光線の反射率がガラス
の反射も含め一ζ２５％であったのに対し、１５％に低
減した。
珪素膜を設りない場合には、可視光線の反射率がガラス
の反射も含め一ζ２５％であったのに対し、１５％に低
減した。
また、第１実施例と同様に、テーバ型摩耗試験機にかけ
たところ、ガラスと同程度の傷付きしか受けず、くもり
度を示ずヘーズ値の増加は僅かに１．５％であった。
たところ、ガラスと同程度の傷付きしか受けず、くもり
度を示ずヘーズ値の増加は僅かに１．５％であった。
このように、ｌ ′ｒＯ膜と二酸化珪素膜の間に酸化ジ
ルコニウム股を介在さ・Ｕることにより、各層の密着強
度が増し、耐久性の向上が図れるとともに、反射防止機
能をも持たせることができた。
ルコニウム股を介在さ・Ｕることにより、各層の密着強
度が増し、耐久性の向上が図れるとともに、反射防止機
能をも持たせることができた。
以上、本発明の特定の実施例について説明したが、本発
明は、この実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載の範囲内で種々の実Ｊｌｌ！ｉ態様が包含
されるものである。
明は、この実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載の範囲内で種々の実Ｊｌｌ！ｉ態様が包含
されるものである。
第１図〜第３図は、従来の透明導電性薄膜の保護方法を
示す機略構成図、 第４図は本発明の第３実施例に係る保護膜イ」き透明導
電性薄膜の概要を示す概略構成図である。 １−−−−ガラス ２−−−− Ｉ Ｔ Ｏ股（透明導電性薄膜）３−−−
−ポリビニルブチラール中間膜４−−−−−プラスチソ
クカハー ５−−−−４削脂（ウレタン等） ６−−−−−酸化ジルコニウム股（保護膜）７−、−−
二酸化珪素膜 出Ｊｆ（人 トヨタ自動車株入会社 第２図 第４図
示す機略構成図、 第４図は本発明の第３実施例に係る保護膜イ」き透明導
電性薄膜の概要を示す概略構成図である。 １−−−−ガラス ２−−−− Ｉ Ｔ Ｏ股（透明導電性薄膜）３−−−
−ポリビニルブチラール中間膜４−−−−−プラスチソ
クカハー ５−−−−４削脂（ウレタン等） ６−−−−−酸化ジルコニウム股（保護膜）７−、−−
二酸化珪素膜 出Ｊｆ（人 トヨタ自動車株入会社 第２図 第４図
Claims (1)
- （１）透明導電性薄膜の表面に、酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒＯ２）、酸化アルミニウム（Ａ ｌｔ ｒ Ｏｌ）の
うち、いずれか一方からなる保護膜を形成したことを特
徴とする保護膜付き透明導電性薄膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18892683A JPS6079608A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 保護膜付き透明導電性薄膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18892683A JPS6079608A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 保護膜付き透明導電性薄膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079608A true JPS6079608A (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=16232300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18892683A Pending JPS6079608A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 保護膜付き透明導電性薄膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079608A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017513542A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-06-01 | アライン テクノロジー， インコーポレイテッド | 熱防曇システム及び方法 |
| US11254608B2 (en) * | 2016-02-23 | 2022-02-22 | Saint-Gobain Glass France | Article comprising a protective top layer based on mixed oxide of zirconium and aluminum |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5136477A (en) * | 1974-09-20 | 1976-03-27 | Toray Industries | Arufua amino ipushiron kapurorakutamu no tanriho |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP18892683A patent/JPS6079608A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5136477A (en) * | 1974-09-20 | 1976-03-27 | Toray Industries | Arufua amino ipushiron kapurorakutamu no tanriho |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017513542A (ja) * | 2014-02-27 | 2017-06-01 | アライン テクノロジー， インコーポレイテッド | 熱防曇システム及び方法 |
| US10111581B2 (en) | 2014-02-27 | 2018-10-30 | Align Technology, Inc. | Thermal defogging system and method |
| US11134834B2 (en) | 2014-02-27 | 2021-10-05 | Alighn Technology, Inc. | Protective sleeve for intraoral scanner |
| US11254608B2 (en) * | 2016-02-23 | 2022-02-22 | Saint-Gobain Glass France | Article comprising a protective top layer based on mixed oxide of zirconium and aluminum |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2132951C (en) | Improved high transmittance, low emissivity coatings for substrates | |
| JP2901676B2 (ja) | 多層熱反射複合膜および該膜を含む窓ガラス製品 | |
| EP1160080B1 (en) | Antireflection sheet and process for producing the same | |
| AU624753B2 (en) | Solar screening assembly | |
| EP0662458B1 (en) | Coatings on glass | |
| EP0632849A1 (en) | Abrasion-resistant overcoat for coated substrates | |
| JP2011509193A5 (ja) | ||
| JPH04221901A (ja) | シリコン基板またはゲルマニウム基板用反射防止膜 | |
| US4628005A (en) | Heat wave shielding lamination | |
| CN102831962A (zh) | 一种介质导电膜、制备方法及电致变色后视镜 | |
| JPS6079608A (ja) | 保護膜付き透明導電性薄膜 | |
| JP2882725B2 (ja) | 紫外線吸収断熱ガラス | |
| JPS60246508A (ja) | 保護膜付き低反射透明導電性薄膜 | |
| JP2811885B2 (ja) | 熱線遮蔽ガラス | |
| JPH08201791A (ja) | 透明電極基板 | |
| KR102444567B1 (ko) | 개선된 코팅 층을 가진 코팅 렌즈 및 이를 위한 증착 방법 | |
| JPS61248742A (ja) | 導電性透明部材の製造方法 | |
| JP2002120321A (ja) | 高耐久性反射フイルム | |
| JPH0764598B2 (ja) | 赤外線遮断ガラス | |
| JP4088670B2 (ja) | 転写シート | |
| JPS589850A (ja) | 熱線反射積層ガラス | |
| JPS6283140A (ja) | 積層フイルムおよびこれを用いた安全ガラス | |
| JPH04217201A (ja) | 赤外線光学部品 | |
| WO2022080137A1 (ja) | 反射防止層付き偏光板および画像表示装置 | |
| JPH04217202A (ja) | 赤外線光学部品 |