JPS6078871U - 表面処理装置 - Google Patents
表面処理装置Info
- Publication number
- JPS6078871U JPS6078871U JP17019683U JP17019683U JPS6078871U JP S6078871 U JPS6078871 U JP S6078871U JP 17019683 U JP17019683 U JP 17019683U JP 17019683 U JP17019683 U JP 17019683U JP S6078871 U JPS6078871 U JP S6078871U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical body
- surface treatment
- discharge pipe
- tank
- storage tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の断面図、第２図は他の従来例の断面図
、第３図は本考案に係る表面処理装置の１実施例を示す
断面図、第４図は他の実施例を示す要部斜視断面図であ
る。 １・・・・・・貯溜槽、２・・・・・・処理槽、３・・
・・・・排出管、１３・・・・・・スカート、１４・・
・・・・泡送り出し管。
、第３図は本考案に係る表面処理装置の１実施例を示す
断面図、第４図は他の実施例を示す要部斜視断面図であ
る。 １・・・・・・貯溜槽、２・・・・・・処理槽、３・・
・・・・排出管、１３・・・・・・スカート、１４・・
・・・・泡送り出し管。
Claims (5)
- （１）基板等に所定の処理液により表面処理を施す′た
めの処理槽、該処理槽に隣接し、当該処理槽から排出管
を介して排出される処理液を貯溜するための貯溜槽、前
記処理槽と貯溜槽との間に処理液を循環させるための手
段を備えた表面処理装置において、排出管の貯溜検測開
口部分に、その一端が貯溜槽の処扉液中に開口して空間
部分を形成すべく配設された筒状体と、該筒状体の空間
部分にその一端が連通ずる泡送り出し管と、該泡送り出
し管の他端に連通ずる排気チャンバーとから成る消泡手
段を付設したことを特徴とする表面処理装置。 - （２）処理槽と貯溜槽とを上下に隣接し、筒状体の一端
を該処理槽の底部に固着した実用新案登録請求の範囲第
１項に記載の表面処理装置。 - （３）排出管と筒状体との間に、その一端が貯溜槽底部
に固着され、他端が開口した第２の筒状体を設けた実用
新案登録請求の範囲第１項もしくは第２項のいずれかに
記載の表面処理装置。 - （４）排出管と第２の筒状体との間、もしくは筒状体と
第２の筒状体との間１こ螺旋状の傾斜板を付設した実用
新案請求の範囲第３項に記載の表面処理装置。 - （５） 排気チャンバー内にミストキャッチャ−を設
けた実用新案登録請求の範囲第１項乃至第４項のいずれ
かに記載の表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17019683U JPS6078871U (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17019683U JPS6078871U (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 表面処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078871U true JPS6078871U (ja) | 1985-06-01 |
| JPS6319331Y2 JPS6319331Y2 (ja) | 1988-05-30 |
Family
ID=30371608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17019683U Granted JPS6078871U (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078871U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001032081A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-06 | Electroplating Eng Of Japan Co | 添加剤供給装置 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP17019683U patent/JPS6078871U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001032081A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-06 | Electroplating Eng Of Japan Co | 添加剤供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6319331Y2 (ja) | 1988-05-30 |
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