JPS6077180A - 接合体 - Google Patents
接合体Info
- Publication number
- JPS6077180A JPS6077180A JP18049683A JP18049683A JPS6077180A JP S6077180 A JPS6077180 A JP S6077180A JP 18049683 A JP18049683 A JP 18049683A JP 18049683 A JP18049683 A JP 18049683A JP S6077180 A JPS6077180 A JP S6077180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- joint
- ceramic
- joined
- joining
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は例えばセラミック部材と金属部材とを接合して
なる接合体に関すする。
なる接合体に関すする。
一般にセラミック部材と金属部材とを接合する接合体に
おいて、第1図で示すように例えば棒状をなすセラミッ
ク部材1と棒状をなす金属部材2とを接合する場合に、
セラミック部材Iの接合面1aを凸状とし且つ金属部材
2の接合面2aを接合面Inの外側に接する凹状にして
、両接合面1g、2*を嵌合して接合する構成が作業性
の良さと高い接合強度を得られることが広く採用されて
いる。
おいて、第1図で示すように例えば棒状をなすセラミッ
ク部材1と棒状をなす金属部材2とを接合する場合に、
セラミック部材Iの接合面1aを凸状とし且つ金属部材
2の接合面2aを接合面Inの外側に接する凹状にして
、両接合面1g、2*を嵌合して接合する構成が作業性
の良さと高い接合強度を得られることが広く採用されて
いる。
このようなセラミック部材1と金属部材2との接合体に
おける接合部の接合方法は、接合部の構成および各部材
1,2の熱膨張率の差を利用して焼ばめにより接合する
方法が多く行なわれておシ、またろう材を用いたろう付
けにょ多接合する方法も行なわれている。
おける接合部の接合方法は、接合部の構成および各部材
1,2の熱膨張率の差を利用して焼ばめにより接合する
方法が多く行なわれておシ、またろう材を用いたろう付
けにょ多接合する方法も行なわれている。
しかしながら、焼ばめやろう付けのように加熱を伴う方
法によ多接合する場合には、セラミック部材1の接合面
7mの傾面と金属部材2の接合面2aの底面との間にお
ける接合部内空間3に残存するわずかな空気が、接合作
業時の熱により加熱されて膨張する。そして、この膨張
した空気は密閉された接合部内空間3から外部へ逃げる
ことができないために、膨張した空気が接合面1aと接
合面2aとの接触部に侵入して気泡を形成して接合面積
を減少させ、あるいは接合部材間の軸ズレ、はめ合い寸
法不良などの現象を生じ、接合面Za、2aが確実に接
合できず、セラミック部材と金属部材との接合不良の原
因になるという問題がある。
法によ多接合する場合には、セラミック部材1の接合面
7mの傾面と金属部材2の接合面2aの底面との間にお
ける接合部内空間3に残存するわずかな空気が、接合作
業時の熱により加熱されて膨張する。そして、この膨張
した空気は密閉された接合部内空間3から外部へ逃げる
ことができないために、膨張した空気が接合面1aと接
合面2aとの接触部に侵入して気泡を形成して接合面積
を減少させ、あるいは接合部材間の軸ズレ、はめ合い寸
法不良などの現象を生じ、接合面Za、2aが確実に接
合できず、セラミック部材と金属部材との接合不良の原
因になるという問題がある。
しかして最近は自動車のエンジンの分野にセラミック部
品を用いることが実用化されつつある。例えば、ター?
エンジンにおけるターボチャージャをセラミックで形成
し、このターボチャージャの軸部5を金属製の回転軸に
接合することが考えられる。この場合、ターボチャージ
ャは回転体であるから、回転軸との接合部には接合強度
を高めるために前記の構成が適している。そこで、前記
の構成をなす接合部における接合を確実に行なうことが
必袂である。
品を用いることが実用化されつつある。例えば、ター?
エンジンにおけるターボチャージャをセラミックで形成
し、このターボチャージャの軸部5を金属製の回転軸に
接合することが考えられる。この場合、ターボチャージ
ャは回転体であるから、回転軸との接合部には接合強度
を高めるために前記の構成が適している。そこで、前記
の構成をなす接合部における接合を確実に行なうことが
必袂である。
〔発明の目的〕
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、一方の部材
と他方の部材との接合部の内部空間に残存する空気の熱
膨張に伴う接合不良ケ防止し、部材を確実に接合できる
接合体全提供するものである。
と他方の部材との接合部の内部空間に残存する空気の熱
膨張に伴う接合不良ケ防止し、部材を確実に接合できる
接合体全提供するものである。
〔発明の概要」
本発明の接合体は、接合面を有する一方の部の部材とを
、各接合面を嵌合させて接合し、且つこの接合部に接合
部内空間と絨合部の外部とを連通ずる空気孔を設けてな
るものである。
、各接合面を嵌合させて接合し、且つこの接合部に接合
部内空間と絨合部の外部とを連通ずる空気孔を設けてな
るものである。
すなわち、各部材の接合面を嵌合でせてなる接合部の内
部空間に残存する空気が、接合作業の熱によシ膨張した
時に、膨張空気全位気孔金通して外部へ逃がすことによ
りzr気が接合面の接触部に侵入して気泡を形成したシ
、接合部材間の軸ズレ、はめあい寸法不良などの接合不
良の原因となる現象の発生を防止できるものである。
部空間に残存する空気が、接合作業の熱によシ膨張した
時に、膨張空気全位気孔金通して外部へ逃がすことによ
りzr気が接合面の接触部に侵入して気泡を形成したシ
、接合部材間の軸ズレ、はめあい寸法不良などの接合不
良の原因となる現象の発生を防止できるものである。
本発明はセラミック、部材と金属部材とを接合してなる
接合体に接合できる。すなわち、一方の部材をセラミッ
ク部材とし、一方の部材よシ熱膨張率が犬なる他方の部
材を金属部材とする。
接合体に接合できる。すなわち、一方の部材をセラミッ
ク部材とし、一方の部材よシ熱膨張率が犬なる他方の部
材を金属部材とする。
セラミック部材としては、窒化けい素、窒化アルミニウ
ムなどの菫化物、炭化けい累などの炭化物またはホウ化
物などの非酸化物系セラミックおよびアルミナなどの酸
化物系があげられる。
ムなどの菫化物、炭化けい累などの炭化物またはホウ化
物などの非酸化物系セラミックおよびアルミナなどの酸
化物系があげられる。
金属部材としては、銅、鉄、クロム、ニッケルなどの単
体、合金あるいは混合物があげられる。
体、合金あるいは混合物があげられる。
本発明の接合体における接合部の形態は、第2図および
第3図で示すようにセラミック部材1の接合面Jam突
状とし、金属部材2の接合面2aを接合71 aに適合
する形状の凹状として、両接会面Za、2*を嵌合した
ものである。
第3図で示すようにセラミック部材1の接合面Jam突
状とし、金属部材2の接合面2aを接合71 aに適合
する形状の凹状として、両接会面Za、2*を嵌合した
ものである。
接合面1h、2hの形状は第2図で示すテーパ状のもの
、第3図で示すストレート状のものあるいはその他の形
状のものであっても良い0セラミック部材1と金属部材
2の形状は、第2図および第3図で示すような棒状のも
のに限らず、板状のものなど種々の形状に適用できる。
、第3図で示すストレート状のものあるいはその他の形
状のものであっても良い0セラミック部材1と金属部材
2の形状は、第2図および第3図で示すような棒状のも
のに限らず、板状のものなど種々の形状に適用できる。
接合体の接合部に設ける空気孔は、第2図および第3図
で示すようにセラミック部材1と金属部材2との接合部
における内部空間3とその外部とを連通ずるもので、図
示するように金属部材2の方に空気孔4を形成すること
が望ましい。これは金属部材2の方が空気孔4の機械加
工が容易であるからである。また、空気孔4の数、形成
位置、寸法などは、接合部の形状、接合体の用途などに
よシ適当なものを選択する。
で示すようにセラミック部材1と金属部材2との接合部
における内部空間3とその外部とを連通ずるもので、図
示するように金属部材2の方に空気孔4を形成すること
が望ましい。これは金属部材2の方が空気孔4の機械加
工が容易であるからである。また、空気孔4の数、形成
位置、寸法などは、接合部の形状、接合体の用途などに
よシ適当なものを選択する。
例えば、第2図で示すように空気孔4を金属部材2の軸
方向に沿って形成し、接合部内壁間3よシ離れた箇所で
外部に開口する。第3図で示すように金属部材2の空間
3に近接した丙所に形成する。また、セラミック部材1
にを気孔を形成する、あるいはセラミック部材1の接合
面1aと金属部材2の接合部2aとの接触部に空気孔を
形成するということもb]能である。なお、接合部の内
部空間とは接合面Za、2a(1)間でで形成される密
閉空間のことを対象にしている。
方向に沿って形成し、接合部内壁間3よシ離れた箇所で
外部に開口する。第3図で示すように金属部材2の空間
3に近接した丙所に形成する。また、セラミック部材1
にを気孔を形成する、あるいはセラミック部材1の接合
面1aと金属部材2の接合部2aとの接触部に空気孔を
形成するということもb]能である。なお、接合部の内
部空間とは接合面Za、2a(1)間でで形成される密
閉空間のことを対象にしている。
セラミック部材と金属部材とを接合する接合方法として
は、両部材の接合面間にチタン、ジルコニウムまたはそ
れらの合金からなる活性金属を介在して加熱することに
より、(両部材間に加圧する場合もある)直接拡散接合
する方法、セラミック部材の接合面會メタライズ処理し
てろう付けによ多金属部材と接合する方法、焼きばめに
よシ接合する方法、さらにはセラミック部材と金属部材
とを接触して接合する方法などがある。
は、両部材の接合面間にチタン、ジルコニウムまたはそ
れらの合金からなる活性金属を介在して加熱することに
より、(両部材間に加圧する場合もある)直接拡散接合
する方法、セラミック部材の接合面會メタライズ処理し
てろう付けによ多金属部材と接合する方法、焼きばめに
よシ接合する方法、さらにはセラミック部材と金属部材
とを接触して接合する方法などがある。
なかでも次の方法によシ両部材を直接接合する方法が望
ましい。すなわち金属部材を酸素等の結合剤で表面処理
するかあるいは霊属部材に結合剤を含有させて、これを
セラミック部材に接触配置させ、窒素ガス等の不活性ガ
ス中で加熱する方法、または結合剤を含有しないあるい
は結合剤で処理されていない金M部材全使用する場合は
、金属部材をセラミック部材と接触配置して結合剤を含
むガス雰囲気中で加熱する方法が望ましい。結合剤は、
金属との間に共晶合金を生成するものであり、ハ累、イ
オウ、リン、ケイ素等があげられる。これらはセラミッ
ク部材と金属のそれぞれの種類および組合せに応じて適
宜選択する。例えば金属が銅、鉄、りaムの場合は、結
合剤としては成葉、イオウが適しており、アルミニウム
の場合はケイ素が適している。
ましい。すなわち金属部材を酸素等の結合剤で表面処理
するかあるいは霊属部材に結合剤を含有させて、これを
セラミック部材に接触配置させ、窒素ガス等の不活性ガ
ス中で加熱する方法、または結合剤を含有しないあるい
は結合剤で処理されていない金M部材全使用する場合は
、金属部材をセラミック部材と接触配置して結合剤を含
むガス雰囲気中で加熱する方法が望ましい。結合剤は、
金属との間に共晶合金を生成するものであり、ハ累、イ
オウ、リン、ケイ素等があげられる。これらはセラミッ
ク部材と金属のそれぞれの種類および組合せに応じて適
宜選択する。例えば金属が銅、鉄、りaムの場合は、結
合剤としては成葉、イオウが適しており、アルミニウム
の場合はケイ素が適している。
またセラミック部材と金属部材とを接触させて加熱する
温度は金属の融点以下でかつ金属と結合剤との共晶合金
の共晶温度以上が適している。またセラミック部材が窒
化けい素等の非酸化物系セラミックの場合は、セラミッ
ク部材をあらかじめ結合剤で表面処理あるいは結合剤を
含有させてから金属部材と接触させて加熱することが望
ましい。すなわち結合剤が酸素の場合、セラミック部材
を酸化処理するかあるいはセラミック部材に酸化物を含
有させる。この直接接触させる方法が好ましい理由は、
前述したろう付は方法の場合では、セラミック部材の追
随、移動によりろう材の分布が変化して不均一になシ、
接合状態が部分劣化する欠点があり、またこのろう付は
方法では少なくとも2回の熱処理が必賛でらるのに対し
、直接接合させる場合は1回の熱処理で済むことによる
。
温度は金属の融点以下でかつ金属と結合剤との共晶合金
の共晶温度以上が適している。またセラミック部材が窒
化けい素等の非酸化物系セラミックの場合は、セラミッ
ク部材をあらかじめ結合剤で表面処理あるいは結合剤を
含有させてから金属部材と接触させて加熱することが望
ましい。すなわち結合剤が酸素の場合、セラミック部材
を酸化処理するかあるいはセラミック部材に酸化物を含
有させる。この直接接触させる方法が好ましい理由は、
前述したろう付は方法の場合では、セラミック部材の追
随、移動によりろう材の分布が変化して不均一になシ、
接合状態が部分劣化する欠点があり、またこのろう付は
方法では少なくとも2回の熱処理が必賛でらるのに対し
、直接接合させる場合は1回の熱処理で済むことによる
。
上記の方法でセラミックに接合しやすい金属部材を接合
した上、更にロウ材にて目的の金属を一体化し、接合体
とすることもよい。
した上、更にロウ材にて目的の金属を一体化し、接合体
とすることもよい。
またいずれの接合法においても、セラミックと金属の間
の熱膨張率差に基因する残留歪を解消するための中間緩
衝層を設けることは接合強度を高めるために好ましい。
の熱膨張率差に基因する残留歪を解消するための中間緩
衝層を設けることは接合強度を高めるために好ましい。
なお、本発明の接合体は静止状態で用いられる部品に用
いるだけでなく、回転部品などの機械的運動を行なう部
品に用いると有効である。
いるだけでなく、回転部品などの機械的運動を行なう部
品に用いると有効である。
また、本発明はセラミック部材と金属部材との接合体に
限らず、金属部材同士を接合したものやセラミック部材
同士+c接合したものなどにも適用できる。
限らず、金属部材同士を接合したものやセラミック部材
同士+c接合したものなどにも適用できる。
第4図は本発明の一実施例を示し、これは目動車エンジ
ンに用いられるセラミックで形成されたターボチャージ
ャの軸と金属で形成された回転軸とを接合したもので必
る。第5図はチャージャ軸上回転軸との接合部を拡大し
て示している。ターボチャージャ5とチャージャ’1i
lll 6は望化けい素(si3N4)で一体に形成さ
れ、チャージャ軸6の端部はテーパ状の接合UM6 a
を有している。回転軸7はクロム−モリブデン鋼で形成
され、端部にはチー・ぐ孔状をなす接合部7aを有し、
この接合面7aの紙部と軸外表面との間を貫通して空気
孔8が形成されている。チャージャ111116の接合
面6aと回転軸7の接合面7aは嵌合して次に述べる方
法で接合されている。
ンに用いられるセラミックで形成されたターボチャージ
ャの軸と金属で形成された回転軸とを接合したもので必
る。第5図はチャージャ軸上回転軸との接合部を拡大し
て示している。ターボチャージャ5とチャージャ’1i
lll 6は望化けい素(si3N4)で一体に形成さ
れ、チャージャ軸6の端部はテーパ状の接合UM6 a
を有している。回転軸7はクロム−モリブデン鋼で形成
され、端部にはチー・ぐ孔状をなす接合部7aを有し、
この接合面7aの紙部と軸外表面との間を貫通して空気
孔8が形成されている。チャージャ111116の接合
面6aと回転軸7の接合面7aは嵌合して次に述べる方
法で接合されている。
チャージャ軸6の接合面6aに離化処理(温度1290
℃、10時間)によシば化膜9を形成し、酸化膜9に厚
さ約0.3朋の銅膜10を接して不活性雰囲気中で約1
0750に刀口熱して接合させる。軸7の接合面7aの
表面にはメッキ処理によりニッケルメッキ%xzを形成
する。
℃、10時間)によシば化膜9を形成し、酸化膜9に厚
さ約0.3朋の銅膜10を接して不活性雰囲気中で約1
0750に刀口熱して接合させる。軸7の接合面7aの
表面にはメッキ処理によりニッケルメッキ%xzを形成
する。
そして、チャージャ軸6の接合面6aと回転軸7の接合
面7aとを嵌合し、銀ろう12を用いてろう付けによシ
接合する。ここで、接合面6aの頂面と接合面7aの底
面との間に生じた内部空間13は、回転軸7に形成した
空気孔8によシ外部と連通する。このため、ろう付けを
行なう時にその熱によシ内部空間13に残存する空気が
加熱されて膨張しても、この膨張した空気が空気孔8を
介して外部へ逃げる。従って、膨張した空気が接合部6
aと接合面7aとの接触部(ろう付は部)に侵入したシ
、接合部材6゜7の回転軸がズしたシすることがなく、
接合面6aと接合面7aのろう付けによる接合及び回転
体のバランシングが確実となる。また、空気孔7はろう
付けに用いたろう材の余剰分が溜まる空間として有用で
おる。しかして、チャージャ軸6と回転軸7はターがチ
ャージャ5によって回転される。このため、両軸6,7
の接合部には大なる接合強度が要求されるが、前記のよ
うに両軸6,7の接合部は確実に接合されているので回
転に充分耐え得る接合強度を有している。
面7aとを嵌合し、銀ろう12を用いてろう付けによシ
接合する。ここで、接合面6aの頂面と接合面7aの底
面との間に生じた内部空間13は、回転軸7に形成した
空気孔8によシ外部と連通する。このため、ろう付けを
行なう時にその熱によシ内部空間13に残存する空気が
加熱されて膨張しても、この膨張した空気が空気孔8を
介して外部へ逃げる。従って、膨張した空気が接合部6
aと接合面7aとの接触部(ろう付は部)に侵入したシ
、接合部材6゜7の回転軸がズしたシすることがなく、
接合面6aと接合面7aのろう付けによる接合及び回転
体のバランシングが確実となる。また、空気孔7はろう
付けに用いたろう材の余剰分が溜まる空間として有用で
おる。しかして、チャージャ軸6と回転軸7はターがチ
ャージャ5によって回転される。このため、両軸6,7
の接合部には大なる接合強度が要求されるが、前記のよ
うに両軸6,7の接合部は確実に接合されているので回
転に充分耐え得る接合強度を有している。
本発明の接合体は以上説明したように、接合部の内部空
間に残存する空気の熱膨張による接合不良を防止し、接
合すべき部材同士を確実に接合できる。
間に残存する空気の熱膨張による接合不良を防止し、接
合すべき部材同士を確実に接合できる。
特にセラミック部材と金属部材とを接合して構成される
回転部品に、本発明を適用すると有効である。
回転部品に、本発明を適用すると有効である。
第1図は従来の接合体を示す断面図、第2図および第3
図は夫々本発明の接合体を示す断面図、第4図は本発明
の接合体の一実施例?示す一部切欠正面図、第5図は同
接合体の接合部を示す拡大断面図である。 1・・・セラミック部材、Ia・・・接合面、2・・・
金属部材、2a・・・接合面、3・・・接合部内部空間
、4・・・空気孔、5・・・ターボチャージャ、6・・
・チャージャ軸、2・・・回転軸、8・・・壁気孔。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第4図 第5N
図は夫々本発明の接合体を示す断面図、第4図は本発明
の接合体の一実施例?示す一部切欠正面図、第5図は同
接合体の接合部を示す拡大断面図である。 1・・・セラミック部材、Ia・・・接合面、2・・・
金属部材、2a・・・接合面、3・・・接合部内部空間
、4・・・空気孔、5・・・ターボチャージャ、6・・
・チャージャ軸、2・・・回転軸、8・・・壁気孔。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第4図 第5N
Claims (2)
- (1) 接合面を有する一片の部材と、この部材の接合
面の外側に接する接合面を有する前記部材よシ熱膨張率
が大なる他方の部材とを、前記各接合面を嵌合させて接
合し、且つこの接合部に接合部内空間と接合部の外部と
を連通ずる空気孔を設けてなる接合体。 - (2)一方の部材はセラミック部材、他方の部材は金属
部材である特許請求の範囲第1項に記載の接合体。 (初 一方の部材と他方の部材との接合体は回転体であ
る特許請求の範囲第1項に記載の接合体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18049683A JPS6077180A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 接合体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18049683A JPS6077180A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 接合体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6077180A true JPS6077180A (ja) | 1985-05-01 |
JPH0260635B2 JPH0260635B2 (ja) | 1990-12-17 |
Family
ID=16084257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18049683A Granted JPS6077180A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 接合体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6077180A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63103873A (ja) * | 1986-10-20 | 1988-05-09 | 日産自動車株式会社 | セラミツクスと金属との接合構造 |
JP2004230474A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 切削工具 |
JP2005114081A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Kss Kk | 軸部材及びそれを用いた電動リニアアクチュエータ |
JP2006203177A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-08-03 | Shibaura Mechatronics Corp | 搬送用シャフト、ロールブラシシャフト及び基板の処理装置 |
US7090423B2 (en) | 2002-02-21 | 2006-08-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Connecting structures |
JP2009058526A (ja) * | 1999-06-23 | 2009-03-19 | Asulab Sa | 防水時計 |
JP2009078353A (ja) * | 2008-12-01 | 2009-04-16 | Kyocera Corp | 切削工具 |
US10362403B2 (en) | 2014-11-24 | 2019-07-23 | Apple Inc. | Mechanically actuated panel acoustic system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5978983A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-08 | 日産自動車株式会社 | セラミツクスと金属との接合構造 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP18049683A patent/JPS6077180A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5978983A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-08 | 日産自動車株式会社 | セラミツクスと金属との接合構造 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63103873A (ja) * | 1986-10-20 | 1988-05-09 | 日産自動車株式会社 | セラミツクスと金属との接合構造 |
JP2009058526A (ja) * | 1999-06-23 | 2009-03-19 | Asulab Sa | 防水時計 |
US7090423B2 (en) | 2002-02-21 | 2006-08-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Connecting structures |
JP2004230474A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 切削工具 |
JP2005114081A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Kss Kk | 軸部材及びそれを用いた電動リニアアクチュエータ |
JP2006203177A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-08-03 | Shibaura Mechatronics Corp | 搬送用シャフト、ロールブラシシャフト及び基板の処理装置 |
JP4681441B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2011-05-11 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 搬送用シャフト、ロールブラシシャフト及び基板の処理装置 |
KR101199803B1 (ko) | 2004-12-22 | 2012-11-09 | 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 | 반송용 샤프트, 롤브러시 샤프트 및 기판 처리 장치 |
JP2009078353A (ja) * | 2008-12-01 | 2009-04-16 | Kyocera Corp | 切削工具 |
US10362403B2 (en) | 2014-11-24 | 2019-07-23 | Apple Inc. | Mechanically actuated panel acoustic system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0260635B2 (ja) | 1990-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS59120384A (ja) | カムシヤフトの製造方法 | |
JPS6077180A (ja) | 接合体 | |
US4580714A (en) | Hard solder alloy for bonding oxide ceramics to one another or to metals | |
JPH0336787B2 (ja) | ||
US5073085A (en) | Ceramic turbocharger rotor | |
US6131797A (en) | Method for joining ceramic to metal | |
JPS6227380A (ja) | セラミツクス構造体の軸部と金属構造体のボス部との接合方法 | |
JPH024553B2 (ja) | ||
JPS5891088A (ja) | セラミツクと金属との接合方法 | |
JP2572800B2 (ja) | 金属・セラミックス接合体 | |
JPH0218244Y2 (ja) | ||
JP2822405B2 (ja) | セラミック回転体と金属軸との結合方法 | |
JPH0240031B2 (ja) | ||
JPH0220189Y2 (ja) | ||
JPH01153577A (ja) | 金属・セラミックス接合体およびその製造方法 | |
JPS61219766A (ja) | セラミツクス軸と金属軸との接合構造 | |
JPH0339030B2 (ja) | ||
JP2615675B2 (ja) | セラミックスシャフトと金属部材との接合方法 | |
JPS61157779A (ja) | 圧縮機の軸受装置 | |
JPS61146424A (ja) | セラミツクスと金属との接合方法 | |
JPH0411512B2 (ja) | ||
JPS638273A (ja) | セラミツクス部材と金属部材の結合方法 | |
JPS59207885A (ja) | 金属部材にセラミツク部材を接合する方法 | |
JP2747865B2 (ja) | セラミックスと金属との接合構造 | |
JPH01119570A (ja) | セラミックス−金属複合機械部品 |