JPS6069537A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
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- JPS6069537A JPS6069537A JP58177595A JP17759583A JPS6069537A JP S6069537 A JPS6069537 A JP S6069537A JP 58177595 A JP58177595 A JP 58177595A JP 17759583 A JP17759583 A JP 17759583A JP S6069537 A JPS6069537 A JP S6069537A
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- gas
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- blades
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
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- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明はガスの赤外縁吸収特性を利用して混合ガス中の
所定成分ガスの濃度を連続的に測定する赤外線ガス分析
計、特に混合ガスが試料ガ、スとして導かれる試料セル
を構成している赤外線透過窓を、自動的に掃除するよう
にした赤外線ガス分析計に関する。
所定成分ガスの濃度を連続的に測定する赤外線ガス分析
計、特に混合ガスが試料ガ、スとして導かれる試料セル
を構成している赤外線透過窓を、自動的に掃除するよう
にした赤外線ガス分析計に関する。
第１図は従来よく用いられている非分散植光束形の赤外
線ガス分析計の構成図である。この分析計では、光源部
１から放射された赤外線が分配管２によって光量の等し
い測定光線３と基準光線４とに分配され、測定光ｍ３は
測定セル５に入射され基準光線４は基準セル６に入射さ
れる。測定セル５は試料ガス導管７，８を介して試料ガ
スが導入されるように構成されており、基準セル６には
赤外線吸収特性を有しないガス、たとえば窒素が封入さ
れているので、測定セル５に赤外線吸収特性を有する測
定成分ガスが導かれると、該ガスの濃度に応じた該ガス
の特性吸収波長帯域における赤外線吸収か測定セル５に
入射された測定光線３に発生し、測定セル６に入射され
た基準光線４には赤外線吸収は発生しない。９は第１検
出室１０と第２検出室１１とを鳴し、この両室の境に流
速検出素子１２が設けられ、かつ画室に測定成分ガスが
所定濃度で充填された検出器で、測定セル５および基準
セ、ル６を透過した測定光線３および基準光線４はそれ
ぞれ第１検出室１０および第２検出室１１に入射される
。検出素子１２は検出室１０゜１１に充填されたガスが
この検出素子を通って流動しうるように構成されてい□
る。したがって検出室１０．１１に入射された光線３．
４１土前記封入ガスによって該ガス固有の波長領域が吸
Ｊヌされ、封入ガスは温度が上昇して膨張する。測定セ
ル５および基準セル６と検出器９との間にはモータ１３
によって秘動されるセクタ１４が設けられ、このセクタ
１４によって検出器９に入射される光線３゜４は同時に
かつ周期的に断続されている。この結果検出室１０．１
１における充填ガスの膨１肢は周期的にくり返される。
線ガス分析計の構成図である。この分析計では、光源部
１から放射された赤外線が分配管２によって光量の等し
い測定光線３と基準光線４とに分配され、測定光ｍ３は
測定セル５に入射され基準光線４は基準セル６に入射さ
れる。測定セル５は試料ガス導管７，８を介して試料ガ
スが導入されるように構成されており、基準セル６には
赤外線吸収特性を有しないガス、たとえば窒素が封入さ
れているので、測定セル５に赤外線吸収特性を有する測
定成分ガスが導かれると、該ガスの濃度に応じた該ガス
の特性吸収波長帯域における赤外線吸収か測定セル５に
入射された測定光線３に発生し、測定セル６に入射され
た基準光線４には赤外線吸収は発生しない。９は第１検
出室１０と第２検出室１１とを鳴し、この両室の境に流
速検出素子１２が設けられ、かつ画室に測定成分ガスが
所定濃度で充填された検出器で、測定セル５および基準
セ、ル６を透過した測定光線３および基準光線４はそれ
ぞれ第１検出室１０および第２検出室１１に入射される
。検出素子１２は検出室１０゜１１に充填されたガスが
この検出素子を通って流動しうるように構成されてい□
る。したがって検出室１０．１１に入射された光線３．
４１土前記封入ガスによって該ガス固有の波長領域が吸
Ｊヌされ、封入ガスは温度が上昇して膨張する。測定セ
ル５および基準セル６と検出器９との間にはモータ１３
によって秘動されるセクタ１４が設けられ、このセクタ
１４によって検出器９に入射される光線３゜４は同時に
かつ周期的に断続されている。この結果検出室１０．１
１における充填ガスの膨１肢は周期的にくり返される。
第１図のガス分析計は上述のように構成されているので
、試料ガス中に測定成分ガスが含まれ℃いない場合は、
測定セル５および基準セル６における赤外線吸収はない
ので検出室１０．１１に入射する赤外線光量は等しく、
したかつて画室における充填ガスの温度上昇および膨張
の太きさも等しく、この結果両室間に４ψ出素子１２を
通って流れるガス流は発生しない。しかし試料ガス中に
測定成分ガスが含まれていると、測定セル５においては
前述のような赤外線吸収が発生するので検出室１０に入
射する光量は検出室１１に入射する光量よりも減少し、
この結果両横出室に発生するガス膨張の太さにも差を生
じ、したがってこの画室間に検出索子１２を通るガス流
が発生する。このガス流は試料ガスに含まれている測定
成分ガスの濃度に応じた太さを有しており、検出素子１
２はこのガス流の太さに応じた信号を出方するので、こ
の信号によって試料ガス中の測定成分ガス濃度が両足さ
れる。上述の説明では１２を流速検出素子としたがこの
素子の代りに圧力検出素子が用いられることもある。第
１図において、１５は円筒状の本体部、１６．１７は本
体部１５の両端を気密に塞ぐように設けた；たとえば弗
化カルシウム製の赤外線透過窓で、測定セル５は、この
場合本体部１５とこの本体部に設けられた試料ガス導管
７゜８と赤外線透過窓１６．１７とで構成され、基準セ
ル６も導管１６．１７の構成を除いて測定セル５と同様
に構成されている。したがって光線３．４はそれぞれセ
ル５．６を透過することができる。
、試料ガス中に測定成分ガスが含まれ℃いない場合は、
測定セル５および基準セル６における赤外線吸収はない
ので検出室１０．１１に入射する赤外線光量は等しく、
したかつて画室における充填ガスの温度上昇および膨張
の太きさも等しく、この結果両室間に４ψ出素子１２を
通って流れるガス流は発生しない。しかし試料ガス中に
測定成分ガスが含まれていると、測定セル５においては
前述のような赤外線吸収が発生するので検出室１０に入
射する光量は検出室１１に入射する光量よりも減少し、
この結果両横出室に発生するガス膨張の太さにも差を生
じ、したがってこの画室間に検出索子１２を通るガス流
が発生する。このガス流は試料ガスに含まれている測定
成分ガスの濃度に応じた太さを有しており、検出素子１
２はこのガス流の太さに応じた信号を出方するので、こ
の信号によって試料ガス中の測定成分ガス濃度が両足さ
れる。上述の説明では１２を流速検出素子としたがこの
素子の代りに圧力検出素子が用いられることもある。第
１図において、１５は円筒状の本体部、１６．１７は本
体部１５の両端を気密に塞ぐように設けた；たとえば弗
化カルシウム製の赤外線透過窓で、測定セル５は、この
場合本体部１５とこの本体部に設けられた試料ガス導管
７゜８と赤外線透過窓１６．１７とで構成され、基準セ
ル６も導管１６．１７の構成を除いて測定セル５と同様
に構成されている。したがって光線３．４はそれぞれセ
ル５．６を透過することができる。
第２図は公知の非分散単光束形光外線ガス分析計の構成
図で、本図の第１図と異なる主な点は基準セルが設けら
れていないことであり、この分析計においても光源部１
から放射された赤外線は第１検出室１０に入射し、この
入射した赤外線光量が検出素子１２で検出される。第１
図の分析計では検出室１０．１１に入射した光量の差を
検出素子１２で検出しているが、本図の分析計では検出
量１０に入射する光量の絶対値を検出していることにな
る。
図で、本図の第１図と異なる主な点は基準セルが設けら
れていないことであり、この分析計においても光源部１
から放射された赤外線は第１検出室１０に入射し、この
入射した赤外線光量が検出素子１２で検出される。第１
図の分析計では検出室１０．１１に入射した光量の差を
検出素子１２で検出しているが、本図の分析計では検出
量１０に入射する光量の絶対値を検出していることにな
る。
第１図および第２図の分析計では上述したように試料ガ
スが測定セル５に導かれる。したがって、この試料ガス
中にカーボン粒子や灰分などのダストが含まれていると
、このダストが赤外線透過窓１６．１７に付着して第１
検出室１０に入射する赤外線の光量が変化し、この結果
検出素子１２の出力信号、すなわちガス分析計の出力信
号に測定誤ろ過して除塵した後廁定セル５に尋＜、いわ
ゆるガスサンプリング方式が広く用いられている。とこ
ろがこのようなガスサンプリング方式を採用すると、サ
ンプリングパスが長くなりまたフィルタで圧損な生じる
ので測定セル５内での試料ガスの置換に時間を要し、こ
の結果分析計の応答が遅（なって、近い応答速度を要求
されるプロセス、た問題がある。またこのようなサンプ
リング方式にはフィルタの保守に手間がかかるという問
題もある。
スが測定セル５に導かれる。したがって、この試料ガス
中にカーボン粒子や灰分などのダストが含まれていると
、このダストが赤外線透過窓１６．１７に付着して第１
検出室１０に入射する赤外線の光量が変化し、この結果
検出素子１２の出力信号、すなわちガス分析計の出力信
号に測定誤ろ過して除塵した後廁定セル５に尋＜、いわ
ゆるガスサンプリング方式が広く用いられている。とこ
ろがこのようなガスサンプリング方式を採用すると、サ
ンプリングパスが長くなりまたフィルタで圧損な生じる
ので測定セル５内での試料ガスの置換に時間を要し、こ
の結果分析計の応答が遅（なって、近い応答速度を要求
されるプロセス、た問題がある。またこのようなサンプ
リング方式にはフィルタの保守に手間がかかるという問
題もある。
本発明は上述のような従来の赤外線ガス分析計における
問題点を解決して、ダストフィルタを用いることなく試
料ガスを測定セルに尋くことができ、この結果高速応答
が可能で、かつ測定精度がダストによって１戊下するこ
とがなく、さらに連続測定が可能な赤外線ガス分析計を
提供することを目的とするものである。
問題点を解決して、ダストフィルタを用いることなく試
料ガスを測定セルに尋くことができ、この結果高速応答
が可能で、かつ測定精度がダストによって１戊下するこ
とがなく、さらに連続測定が可能な赤外線ガス分析計を
提供することを目的とするものである。
〔発１刃の要点〕
本発明は上述の目的を達成するために、筒状の本体部と
その本体部の両端に設けた赤外ａ透過窓とを有し内部に
試料ガスが導かれるようにした測定セルを備え、この測
定セル内を前記赤外線透過窓を介して赤外線を透過させ
、この透過してきた赤外線の光量を検出して試料ガスに
含まれている測定成分ガスの濃度を測定するようにした
赤外線ガス分析計において、板状の窓取り付は部材と閉
塞板駆動機構とクリーニング機構とを設け、前記本体部
の端面にＱ ＩＪング等のシール部材を装着し、一方、
前記赤外線透過窓を前記窓取り付は部材に気密に貫設し
て両者の前記本体部側の面が一平面をなすように形成す
ることによってこの両者で閉塞板を構成し、この閉塞板
の前記本体部側の面を前記シール部材に当接させてこの
閉塞板によって前記本体部を気密に塞いだ状態で該閉塞
板をシール部材に対して摺動させながら移動させるよう
に前記閉塞板駆動機構を構成し、さらに、この閉塞板駆
動機構によって移動させられる前記赤外線透過窓の前記
本体部を塞いでいた部分の該本体部側の面を、前記測定
セルから外れた位置において閉塞板が移動するにつれて
自動的に掃除するように前記クリーニング機構を構成す
るとと疋よって、試料ガス中のダストが付着した赤外線
透過窓の部分を、測定セルから試料ガスが漏洩すること
な（連続的または間欠的に測定セルから外れた位置に移
動させ、この移動の過程で赤外線透過窓に付着したダス
トを測定セルの外部でクリーニング機構によって自動的
に掃除するようにしたもので、このように赤外線ガス分
析計を構成することによって測定セルにおける赤外線透
過窓の内面を常に清浄に保ち、この結果試料ガスを測定
セルに導（際ダストフィルタを用いないでもよいように
してガス分析計の測定精度、応答性および保守性を向上
させ、ダストを含む試料ガスに対してもガス分析計の連
続測定がモきるようにしたものである。
その本体部の両端に設けた赤外ａ透過窓とを有し内部に
試料ガスが導かれるようにした測定セルを備え、この測
定セル内を前記赤外線透過窓を介して赤外線を透過させ
、この透過してきた赤外線の光量を検出して試料ガスに
含まれている測定成分ガスの濃度を測定するようにした
赤外線ガス分析計において、板状の窓取り付は部材と閉
塞板駆動機構とクリーニング機構とを設け、前記本体部
の端面にＱ ＩＪング等のシール部材を装着し、一方、
前記赤外線透過窓を前記窓取り付は部材に気密に貫設し
て両者の前記本体部側の面が一平面をなすように形成す
ることによってこの両者で閉塞板を構成し、この閉塞板
の前記本体部側の面を前記シール部材に当接させてこの
閉塞板によって前記本体部を気密に塞いだ状態で該閉塞
板をシール部材に対して摺動させながら移動させるよう
に前記閉塞板駆動機構を構成し、さらに、この閉塞板駆
動機構によって移動させられる前記赤外線透過窓の前記
本体部を塞いでいた部分の該本体部側の面を、前記測定
セルから外れた位置において閉塞板が移動するにつれて
自動的に掃除するように前記クリーニング機構を構成す
るとと疋よって、試料ガス中のダストが付着した赤外線
透過窓の部分を、測定セルから試料ガスが漏洩すること
な（連続的または間欠的に測定セルから外れた位置に移
動させ、この移動の過程で赤外線透過窓に付着したダス
トを測定セルの外部でクリーニング機構によって自動的
に掃除するようにしたもので、このように赤外線ガス分
析計を構成することによって測定セルにおける赤外線透
過窓の内面を常に清浄に保ち、この結果試料ガスを測定
セルに導（際ダストフィルタを用いないでもよいように
してガス分析計の測定精度、応答性および保守性を向上
させ、ダストを含む試料ガスに対してもガス分析計の連
続測定がモきるようにしたものである。
〔発明の実施例〕
次に本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第３図は本発明による赤外線ガス分析計の一実施例の概
略縦断側面図、第４図は第３図の要部を説明するための
平面図である。第３図および第４図において、１５ａお
よび１５ｂはそれぞれ本体部１５の光源部１および検出
部９側にあってかつ一平面上にあるように形成された端
面で、これら端面にはそれぞれシール部材としてＱ Ｉ
Ｊング１８１゜状をした弗化カルシウム製の赤外ｉｏ、
ａ過窓、２０１゜２０２はそれぞれ円板状の芯取り付は
部材で、赤外線透過窓１９１′ｉ６よび１９２は、それ
ぞれ窓堰り付は部材２０１および２０２をこれら取り付
は部材と同軸状態で貫通ずるようにして接漸剤でこれら
の取り付は部材に固定されている。２１１，２１２はそ
れぞれ窓取り伺は部材２０１．２０２の外側面に設けた
ギアの歯である。２２１，２２２は上述のようにして赤
外線透過％１９１，１９２と窓取り付は部制２０１．２
０２とによって構成された閉塞板で、閉塞板２２１およ
び２２２はそれぞれ赤外線透過窓１９１および１９２の
各一部によって本体部１５の端面１５ａおよび１５ ｂ
ｉｔｌ！ｌの谷開口部を塞ぐように配置され、これら
閉塞板の前記端面側においては、赤外線透過窓の面と窓
取り付は部Ｉの面とが一平面上にあるように形成されて
いる。２３１．２３２はそれぞれ窓取り付は部材２０１
，２０２、すなわち閉塞板２２１．２２２の中心に固定
した軸、２４１゜２４２はこれら軸２３１．２３２の軸
受け、２５１゜２５２はそれぞれ歯２１１，２１２にか
み合うようにしたギア、２６はギア２５１，２５２に共
通な軸、２７は軸２６を駆動するモータで、閉塞板２２
１゜２２２は、モータ２７によって＠２６、ギア２５１
゜２５２、歯２１１．２１２を順次介して軸２３１．２
３２を中心として同時に回転する。この時これら閉塞板
２２１．２２２は、０リング１８１．１８２に当接して
赤外線透過窓１９１．１９２の部分で本体部１５０両端
両端部を塞ぎなから０リング１８１．１８２との蟲接面
を摺動して回転するように構成されている。
略縦断側面図、第４図は第３図の要部を説明するための
平面図である。第３図および第４図において、１５ａお
よび１５ｂはそれぞれ本体部１５の光源部１および検出
部９側にあってかつ一平面上にあるように形成された端
面で、これら端面にはそれぞれシール部材としてＱ Ｉ
Ｊング１８１゜状をした弗化カルシウム製の赤外ｉｏ、
ａ過窓、２０１゜２０２はそれぞれ円板状の芯取り付は
部材で、赤外線透過窓１９１′ｉ６よび１９２は、それ
ぞれ窓堰り付は部材２０１および２０２をこれら取り付
は部材と同軸状態で貫通ずるようにして接漸剤でこれら
の取り付は部材に固定されている。２１１，２１２はそ
れぞれ窓取り伺は部材２０１．２０２の外側面に設けた
ギアの歯である。２２１，２２２は上述のようにして赤
外線透過％１９１，１９２と窓取り付は部制２０１．２
０２とによって構成された閉塞板で、閉塞板２２１およ
び２２２はそれぞれ赤外線透過窓１９１および１９２の
各一部によって本体部１５の端面１５ａおよび１５ ｂ
ｉｔｌ！ｌの谷開口部を塞ぐように配置され、これら
閉塞板の前記端面側においては、赤外線透過窓の面と窓
取り付は部Ｉの面とが一平面上にあるように形成されて
いる。２３１．２３２はそれぞれ窓取り付は部材２０１
，２０２、すなわち閉塞板２２１．２２２の中心に固定
した軸、２４１゜２４２はこれら軸２３１．２３２の軸
受け、２５１゜２５２はそれぞれ歯２１１，２１２にか
み合うようにしたギア、２６はギア２５１，２５２に共
通な軸、２７は軸２６を駆動するモータで、閉塞板２２
１゜２２２は、モータ２７によって＠２６、ギア２５１
゜２５２、歯２１１．２１２を順次介して軸２３１．２
３２を中心として同時に回転する。この時これら閉塞板
２２１．２２２は、０リング１８１．１８２に当接して
赤外線透過窓１９１．１９２の部分で本体部１５０両端
両端部を塞ぎなから０リング１８１．１８２との蟲接面
を摺動して回転するように構成されている。
２８は閉塞板２２１ 、２２２を上述のように駆動する
、軸２３１，２３２、軸受け２４１，２４２、歯２１１
，２１２、ギア２５１，２５２、軸２６およびモータ２
７からなる閉塞板駆動機構である。上述の実施例では閉
塞板２２１，２２２はギア機構で駆動されるようにした
がロール機構で駆動されるようにしても着し支えない。
、軸２３１，２３２、軸受け２４１，２４２、歯２１１
，２１２、ギア２５１，２５２、軸２６およびモータ２
７からなる閉塞板駆動機構である。上述の実施例では閉
塞板２２１，２２２はギア機構で駆動されるようにした
がロール機構で駆動されるようにしても着し支えない。
２９１，２９２はそれぞれ閉塞板２２１ 、２２２の本
体ｓ１５側にあって、かつ軸２３１．２３２に対して本
体部１５側とは反対側に放射状に設けたブレードで、こ
れらブレード２９１，２９２は各先端部の幅Ｌ１． Ｌ
、が赤外線透過窓１９１，１９２の円環の幅に等しく形
成され、かつ前記各先端部がこれら透過光 窓１９１．１９２の物面に接触するように（′ｉ４成さ
れている。ブレード２９１．２９２は上述のように構成
されているので、閉基板２２１ 、２２２が回転するに
つれて、本体部１５の開ロ端ン塞いでいた時該本体部中
の試料ガスに含まれたダストが付着した赤外線透過窓１
９１ 、１９２の部分がブレード２９１，２９２の位置
に（ると、前記の付着ダストは閉基板２２１゜２２２の
回転に伴なってこれらのグレードによって自動的に除去
される。すなわちブレード２９１゜２９２は上記のよう
にして赤外線透過窓１９１，１９２を掃除するクリーニ
ング機構の機能な有している。
体ｓ１５側にあって、かつ軸２３１．２３２に対して本
体部１５側とは反対側に放射状に設けたブレードで、こ
れらブレード２９１，２９２は各先端部の幅Ｌ１． Ｌ
、が赤外線透過窓１９１，１９２の円環の幅に等しく形
成され、かつ前記各先端部がこれら透過光 窓１９１．１９２の物面に接触するように（′ｉ４成さ
れている。ブレード２９１．２９２は上述のように構成
されているので、閉基板２２１ 、２２２が回転するに
つれて、本体部１５の開ロ端ン塞いでいた時該本体部中
の試料ガスに含まれたダストが付着した赤外線透過窓１
９１ 、１９２の部分がブレード２９１，２９２の位置
に（ると、前記の付着ダストは閉基板２２１゜２２２の
回転に伴なってこれらのグレードによって自動的に除去
される。すなわちブレード２９１゜２９２は上記のよう
にして赤外線透過窓１９１，１９２を掃除するクリーニ
ング機構の機能な有している。
このクリーニング機構は上記のようなブレードに代えて
空気ジェット機構としてもよいものである。
空気ジェット機構としてもよいものである。
第３図の実施例では分析計が上述のように構成されてい
るので、試料ガス中のダストが付着した赤外線透過窓１
９１．１９２の部分は、閉塞板駆動機構２８によって試
料ガスが廁足セル５外に漏れることなく該測定セル外に
連続的に移動させられ、クリーニング機構としてのブレ
ード２９１，２９２によって自動的に掃除される。すな
わちこの分析計では閉塞板２２１，２２２が回転しても
本体部１５の開口端は常に赤外線透過窓１９１．１９２
で塞がれ、またこれら透過窓の本体部１５を塞いでいる
部分はブレード２９１．２９２によって常に清浄に保た
れることになる。なお上記の実施例ではブレード２９１
．２９２の位置を軸２３１．２３２に対して本体部１５
側とは反対側の位置とし、かつ各ブレードの個数を一個
としたが、これらのブレードは、測定上ル５から外れた
任意の位置に配置されてよいもの゛で、あること、およ
び個数が複数個であってもよいものであることは明らか
である。
るので、試料ガス中のダストが付着した赤外線透過窓１
９１．１９２の部分は、閉塞板駆動機構２８によって試
料ガスが廁足セル５外に漏れることなく該測定セル外に
連続的に移動させられ、クリーニング機構としてのブレ
ード２９１，２９２によって自動的に掃除される。すな
わちこの分析計では閉塞板２２１，２２２が回転しても
本体部１５の開口端は常に赤外線透過窓１９１．１９２
で塞がれ、またこれら透過窓の本体部１５を塞いでいる
部分はブレード２９１．２９２によって常に清浄に保た
れることになる。なお上記の実施例ではブレード２９１
．２９２の位置を軸２３１．２３２に対して本体部１５
側とは反対側の位置とし、かつ各ブレードの個数を一個
としたが、これらのブレードは、測定上ル５から外れた
任意の位置に配置されてよいもの゛で、あること、およ
び個数が複数個であってもよいものであることは明らか
である。
第５図は第３図における閉塞板の他の実施例の平面図で
、第５図の閉塞板３０１では、窓城り付は部材２０１に
少なくとも不休部１５の内径に等しい直径を有する円板
状の赤外線透過窓３１が軸２３１に対して対称に４個貝
設されている。第３図の分析計において閉塞板２２１．
２２２の代りにこのような閉塞板３０１を用いた場合、
これら閉塞板を間欠的に回転させて赤外線透過窓３１を
本体部１５の位置にもってくるように閉塞板駆動機構を
構成することによって、赤外線透過窓をブレードによっ
て掃除しながら分析計をほぼ連続的に動作させることが
できる。この場合ブレード２９１゜２９２は、第５図に
示したように軸２３１に対して本体部１５を塞いでいる
透過窓３１と対称な位置にある透過窓を挾むようにして
９０°の角度をなすようにそれぞれ二個配置されると、
透過窓、３１のクリーニングを行なうのに好都合である
。
、第５図の閉塞板３０１では、窓城り付は部材２０１に
少なくとも不休部１５の内径に等しい直径を有する円板
状の赤外線透過窓３１が軸２３１に対して対称に４個貝
設されている。第３図の分析計において閉塞板２２１．
２２２の代りにこのような閉塞板３０１を用いた場合、
これら閉塞板を間欠的に回転させて赤外線透過窓３１を
本体部１５の位置にもってくるように閉塞板駆動機構を
構成することによって、赤外線透過窓をブレードによっ
て掃除しながら分析計をほぼ連続的に動作させることが
できる。この場合ブレード２９１゜２９２は、第５図に
示したように軸２３１に対して本体部１５を塞いでいる
透過窓３１と対称な位置にある透過窓を挾むようにして
９０°の角度をなすようにそれぞれ二個配置されると、
透過窓、３１のクリーニングを行なうのに好都合である
。
以上の実施例は単光束形の赤外線ガス分析計に関するも
のであったが、第３図の１１・ｙ成を第１図の測定セル
部に適用することによって、複光束形の赤外線ガス分析
計においても第３図の場合と同様なりリーニングが行な
われることは明らかであり、また上述の実施例では閉塞
板か回転運動をするように構成したが、閉塞板を往復運
動をするように構成しても前述と同様なりリーニングを
行なわせることができることもまた明らかである。
のであったが、第３図の１１・ｙ成を第１図の測定セル
部に適用することによって、複光束形の赤外線ガス分析
計においても第３図の場合と同様なりリーニングが行な
われることは明らかであり、また上述の実施例では閉塞
板か回転運動をするように構成したが、閉塞板を往復運
動をするように構成しても前述と同様なりリーニングを
行なわせることができることもまた明らかである。
以上に説明したように本発明においては、筒状の本体部
と前記本体部の両端に設けた赤外線透過窓とからなり内
部に試料ガスが導かれる測定セルと、赤外線を前記赤外
線透過窓を介して前記測定セル内を透過させるようにし
た光源部と、前記測定セルを透過した前記赤外線の光量
を検出する検出部とを備え、前記検出部によって前記試
料ガス中の測定成分ガスの濃度を測定する赤外線ガス分
析計において、板状の窓取り付は部材と閉塞板駆動機構
とクリーニング機構とを設け、前記本体部の端面な一平
面上にあるように形成してこの端面にシー／Ｉ／部材を
装着し、前記赤外線透過窓を前記窓取り付は部材に気密
に貫設しかつ前記赤外線透過窓および前記窓取り付は部
材の各々の前記本体部側の面が一平面上にあるように形
成して前記赤外線透過窓と前記窓取り付は部材とで閉塞
板を構成し、前記閉塞板の前記本体部側の面を前記シー
ル部材に当接させて前記本体部′？：塞ぎ、かつ前記閉
塞板を前記シール部材に対して摺動させて移動させるよ
うに前記閉塞板駆動機構を構成し、前記閉塞板駆動機構
によって移動させられる前記赤外線透過窓の前記本体部
を塞いでいた部分の前記本体部側の面を、前記測定セル
から外れた位置において前記閉塞板の移動に伴なって掃
除するように前記クリーニング機構を構成するようにし
て赤外線ガス分析計を構成したので、このようなガス分
析計においては、試料ガス中のダストが付着した赤外線
透過窓の部分が、閉塞板駆動機構によって、測定セルか
ら試料カスが漏出することな（連続的または間欠的にＴ
：Ｒ＋１定セルから外れた位置に移動させられ、この移
動の過程で前記透過窓に付着したダストが測定セルの外
部においてクリーニング機構によって自動的に掃除され
、この掃除された前記透過窓の部分が閉塞板駆動機構に
よって再び測定セルの本体部に設置される。したがって
このようなガス分析計では測定セルにおける赤外線透過
窓の内面が常にダスト付着の少ない清浄な状態に保たれ
るので、本発明によれば、試料ガスを清浄にするための
ダストフィルタを用いる必要がなく、この結果、応答性
および保守性が良くその上測定精度の低下が少なくかつ
連続測定が可能な赤外線ガス分析計を構成できる効果が
ある。
と前記本体部の両端に設けた赤外線透過窓とからなり内
部に試料ガスが導かれる測定セルと、赤外線を前記赤外
線透過窓を介して前記測定セル内を透過させるようにし
た光源部と、前記測定セルを透過した前記赤外線の光量
を検出する検出部とを備え、前記検出部によって前記試
料ガス中の測定成分ガスの濃度を測定する赤外線ガス分
析計において、板状の窓取り付は部材と閉塞板駆動機構
とクリーニング機構とを設け、前記本体部の端面な一平
面上にあるように形成してこの端面にシー／Ｉ／部材を
装着し、前記赤外線透過窓を前記窓取り付は部材に気密
に貫設しかつ前記赤外線透過窓および前記窓取り付は部
材の各々の前記本体部側の面が一平面上にあるように形
成して前記赤外線透過窓と前記窓取り付は部材とで閉塞
板を構成し、前記閉塞板の前記本体部側の面を前記シー
ル部材に当接させて前記本体部′？：塞ぎ、かつ前記閉
塞板を前記シール部材に対して摺動させて移動させるよ
うに前記閉塞板駆動機構を構成し、前記閉塞板駆動機構
によって移動させられる前記赤外線透過窓の前記本体部
を塞いでいた部分の前記本体部側の面を、前記測定セル
から外れた位置において前記閉塞板の移動に伴なって掃
除するように前記クリーニング機構を構成するようにし
て赤外線ガス分析計を構成したので、このようなガス分
析計においては、試料ガス中のダストが付着した赤外線
透過窓の部分が、閉塞板駆動機構によって、測定セルか
ら試料カスが漏出することな（連続的または間欠的にＴ
：Ｒ＋１定セルから外れた位置に移動させられ、この移
動の過程で前記透過窓に付着したダストが測定セルの外
部においてクリーニング機構によって自動的に掃除され
、この掃除された前記透過窓の部分が閉塞板駆動機構に
よって再び測定セルの本体部に設置される。したがって
このようなガス分析計では測定セルにおける赤外線透過
窓の内面が常にダスト付着の少ない清浄な状態に保たれ
るので、本発明によれば、試料ガスを清浄にするための
ダストフィルタを用いる必要がなく、この結果、応答性
および保守性が良くその上測定精度の低下が少なくかつ
連続測定が可能な赤外線ガス分析計を構成できる効果が
ある。
第１図および第２図はそれぞれ従来の複光束形および単
光束形赤外線ガス分析計の構成図、第３図は本発明によ
る赤外線ガス分析計の一実施例の概略縦断側面図、第４
図は第３図の要部説明用平面図、第５図は閉塞板の第２
実施例の平面図である。 １・・・・・・光源部、５・・・・・・測定セル、９・
・・・・・検出部、１５・・・・・・本体部、１５ ａ
、 １５ ｂ−旧一端面、１６．１７・・・・・・赤
外線透過窓、２８・・・・・・閉塞板駆動機構、 １８
１ 、１８２・・・・・・シール部材としての０リング
、１９１ 、１９２・・・・・・赤外線透過窓、２０１
．２０２・・・・・・窓取り付は部材、２２１ 、２２
２・・・・・・閉塞板、２９１．２９２・・・・・・ク
リーニング機構としてのブレード、３０１・・・・・・
閉塞板。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 ７
光束形赤外線ガス分析計の構成図、第３図は本発明によ
る赤外線ガス分析計の一実施例の概略縦断側面図、第４
図は第３図の要部説明用平面図、第５図は閉塞板の第２
実施例の平面図である。 １・・・・・・光源部、５・・・・・・測定セル、９・
・・・・・検出部、１５・・・・・・本体部、１５ ａ
、 １５ ｂ−旧一端面、１６．１７・・・・・・赤
外線透過窓、２８・・・・・・閉塞板駆動機構、 １８
１ 、１８２・・・・・・シール部材としての０リング
、１９１ 、１９２・・・・・・赤外線透過窓、２０１
．２０２・・・・・・窓取り付は部材、２２１ 、２２
２・・・・・・閉塞板、２９１．２９２・・・・・・ク
リーニング機構としてのブレード、３０１・・・・・・
閉塞板。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 ７
Claims (1)
- 筒状の本体部と前記本体部の両端に設けた赤外線透過窓
とからなり内部に試料ガスが導かれる測定セルと、赤外
線を前記赤外線透過窓を介して前記測定セル内を透過さ
せるようにした光源部と、前記測定セルを透過した前記
赤外線の光量を検出する検出部とを備え、前記検出部に
よって前記試料ガス中の測定成分ガスの濃度を測定する
赤外線ガス分析計において、板状の窓取り付は部材と閉
塞板駆動機構とクリーニング機構とを設け、前記本体部
の端面な一平面上にあるように形成してこの端面にシー
ル部材を装着し、前記赤外線透過窓を前記窓取り付は部
材に気密に貫設しかつ前記赤外線透過窓および前記窓取
り付は部材の各々の前記本体部側の面が一平面上にある
ように形成して前記赤外線透過窓と前記窓取り付は部材
とで閉塞板を構成し、前記閉塞板の前記本体部側の面を
前記シール部材に当接させて前記本体部を塞ぎ、かつ前
記閉塞板を前記シール部材に対し℃摺動させるように前
記閉塞板駆動機構を構成し、前記閉塞板駆動機構によっ
て移動させられる前記赤外線透過窓の前記本体部を塞い
でいた部分の前記本体部側の面を、前記測定セルから外
れた位置において前記閉塞板の移動に伴なって掃除する
ように前記クリーニング機構を構成したことを特徴とす
る赤外線ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58177595A JPS6069537A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58177595A JPS6069537A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069537A true JPS6069537A (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=16033738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58177595A Pending JPS6069537A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069537A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103063579A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 东南大学 | 存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置及检测方法 |
| CN103245616A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 利得仪器股份有限公司 | 环境监测的光径量测反射装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110981A (ja) * | 1974-05-28 | 1976-01-28 | Bosch Gmbh Robert | |
| JPS51122490A (en) * | 1975-03-26 | 1976-10-26 | Hitachi Ltd | Photoabsorbing analyzer |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP58177595A patent/JPS6069537A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110981A (ja) * | 1974-05-28 | 1976-01-28 | Bosch Gmbh Robert | |
| JPS51122490A (en) * | 1975-03-26 | 1976-10-26 | Hitachi Ltd | Photoabsorbing analyzer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103245616A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 利得仪器股份有限公司 | 环境监测的光径量测反射装置 |
| CN103063579A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 东南大学 | 存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置及检测方法 |
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