JPS605896B2 - 反射率測定装置 - Google Patents
反射率測定装置Info
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- JPS605896B2 JPS605896B2 JP53040615A JP4061578A JPS605896B2 JP S605896 B2 JPS605896 B2 JP S605896B2 JP 53040615 A JP53040615 A JP 53040615A JP 4061578 A JP4061578 A JP 4061578A JP S605896 B2 JPS605896 B2 JP S605896B2
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- light
- reflected
- measurement
- detector
- reflectance
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光の反射率を測定するためのもので特に曲面で
の反射率を測定するのに通した反射率測定装置に関する
ものである。
の反射率を測定するのに通した反射率測定装置に関する
ものである。
従来の反射率測定装置の原理を示すと第１図に示す通り
である。
である。
図において、１は光源よりの光、２，３は夫々反射鏡、
４，５はプリズムで面４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂが夫々反
射面になっている。６は測定面、７は参照面、８，９は
夫々反射鏡、１川ま検出器である。
４，５はプリズムで面４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂが夫々反
射面になっている。６は測定面、７は参照面、８，９は
夫々反射鏡、１川ま検出器である。
このような構成の反射率測定装置において光源よりの光
１は夫々反射鏡２，３にて反射され二つに分けられ夫々
プリズム４，５の面４ａ，５ａにて反射されて測定面６
および参照面７を照射する。そして測定面６、参照面７
にて反射された光は夫々プリズム４，５の面４ｂ，５ｂ
にて反射され更に反射面８，９にて反射されてから検出
器１０にて検出される。この従来の装置においては測定
面と参照面とへの光の入射は全く同じ状態にて行なわね
ばならない。
１は夫々反射鏡２，３にて反射され二つに分けられ夫々
プリズム４，５の面４ａ，５ａにて反射されて測定面６
および参照面７を照射する。そして測定面６、参照面７
にて反射された光は夫々プリズム４，５の面４ｂ，５ｂ
にて反射され更に反射面８，９にて反射されてから検出
器１０にて検出される。この従来の装置においては測定
面と参照面とへの光の入射は全く同じ状態にて行なわね
ばならない。
即ち入射光の入射角や光東の断面積などの要因が測定両
面と参照両側とで同じでなければならない。そのために
は反射鏡等の各光学素子が夫々対応するもので同じ形状
であり、その配置も同様になされていなければならない
。しかし各光学素子を正確に製作することは容易ではな
く、特にその配置を正しく行なうことは極めて困難であ
る。更に測定物の材料がガラス等の場合は測定光の中に
測定物の裏面で反射した光がフレャー、コーストとなり
側度精度を低下させることになる。したがって従来は第
２図に示すように測定面の前に絞り１１をおいて裏面で
の反射光をカットするようにしている。しかし測定物が
平面板でなく、第３図に示すような凹面の場合には、絞
りを反射面に近づけるのにも限度があり、また表面と裏
面とが接近していると表面反射光と裏面反射光とが測定
物の近くで重なってしまうため、この図からも明らかな
ように絞り１１を配置するのみでは裏面での反射光を完
全にカットすることは出来ない。更に測定物を変換する
と絞り面と測定面上の反射部分との間隔が変化するため
に、その都度絞りの径を変える必要がある。又裏面での
反射を防止する方法として第４図および第５図に示すよ
うな方法がある。そのうち第４図に示すものは測定物６
′の裏面６′ａを斜めにすることによって裏面での反射
光を測定面での反射光とは異なる方向に向うようにした
ものである。しかしこの方法では裏面を傾斜させる必要
があるためにテスト用の物の反射率しか測定出来ず、実
際の製品の測定は出来ない。又第５図の方法は測定物６
の裏面にいわゆる光トラップと称するもので「角状の容
器１２の内部に測定物と同じ屈折率の油１３を入れたも
のを測定物の裏面に配置してある。このようにして測定
物の裏面に達した光を油中に導き減衰させるようしたも
のである。この方法では油を入れた光を減衰させる装置
を必要とし、これを測定毎に測定物裏面に取付けなけれ
ばならない欠点がある。本発明は以上のような従来例の
欠点を除去するためになされたもので、反射鏡等の光学
素子が出来るだけ少なくなるようにし又、曲面を有する
測定物でも裏面での反射光を容易に除去し得るような構
成にした反射率測定装置を提供するものである。以下本
発明の反射率測定装置の詳細な内容を図示した各実施例
に基づき説明する。
面と参照両側とで同じでなければならない。そのために
は反射鏡等の各光学素子が夫々対応するもので同じ形状
であり、その配置も同様になされていなければならない
。しかし各光学素子を正確に製作することは容易ではな
く、特にその配置を正しく行なうことは極めて困難であ
る。更に測定物の材料がガラス等の場合は測定光の中に
測定物の裏面で反射した光がフレャー、コーストとなり
側度精度を低下させることになる。したがって従来は第
２図に示すように測定面の前に絞り１１をおいて裏面で
の反射光をカットするようにしている。しかし測定物が
平面板でなく、第３図に示すような凹面の場合には、絞
りを反射面に近づけるのにも限度があり、また表面と裏
面とが接近していると表面反射光と裏面反射光とが測定
物の近くで重なってしまうため、この図からも明らかな
ように絞り１１を配置するのみでは裏面での反射光を完
全にカットすることは出来ない。更に測定物を変換する
と絞り面と測定面上の反射部分との間隔が変化するため
に、その都度絞りの径を変える必要がある。又裏面での
反射を防止する方法として第４図および第５図に示すよ
うな方法がある。そのうち第４図に示すものは測定物６
′の裏面６′ａを斜めにすることによって裏面での反射
光を測定面での反射光とは異なる方向に向うようにした
ものである。しかしこの方法では裏面を傾斜させる必要
があるためにテスト用の物の反射率しか測定出来ず、実
際の製品の測定は出来ない。又第５図の方法は測定物６
の裏面にいわゆる光トラップと称するもので「角状の容
器１２の内部に測定物と同じ屈折率の油１３を入れたも
のを測定物の裏面に配置してある。このようにして測定
物の裏面に達した光を油中に導き減衰させるようしたも
のである。この方法では油を入れた光を減衰させる装置
を必要とし、これを測定毎に測定物裏面に取付けなけれ
ばならない欠点がある。本発明は以上のような従来例の
欠点を除去するためになされたもので、反射鏡等の光学
素子が出来るだけ少なくなるようにし又、曲面を有する
測定物でも裏面での反射光を容易に除去し得るような構
成にした反射率測定装置を提供するものである。以下本
発明の反射率測定装置の詳細な内容を図示した各実施例
に基づき説明する。
第６図は本発明の第一の実施例の構成を示す図であって
、２１，２２は夫々モノクロメーター等よりの単色光で
夫夫互いに平行に進むビームをなしている。２３はその
表裏両面が反射面となっている反射鏡「２４，２５，２
６はいずれも集光レンズ「 ２７は集光レンズ２４の焦
点位置におかれた測定面「 ２８は集光レンズ２５の焦
点位置におかれた参照面「 ２９は集光レンズ２６の焦
点位置におかれた検出器「 ３０，３１はいずれも絞り
である。
、２１，２２は夫々モノクロメーター等よりの単色光で
夫夫互いに平行に進むビームをなしている。２３はその
表裏両面が反射面となっている反射鏡「２４，２５，２
６はいずれも集光レンズ「 ２７は集光レンズ２４の焦
点位置におかれた測定面「 ２８は集光レンズ２５の焦
点位置におかれた参照面「 ２９は集光レンズ２６の焦
点位置におかれた検出器「 ３０，３１はいずれも絞り
である。
尚反射鏡２３は鎖線で示す符号２３′の位置においても
良い。以上のような構成の装置においてビーム２１は反
射鏡２３にて反射された集光レンズ２４を通って測定面
２７に照射される。
良い。以上のような構成の装置においてビーム２１は反
射鏡２３にて反射された集光レンズ２４を通って測定面
２７に照射される。
更に測定面２７にて反射された光は集光レンズ２４，２
６を通って検出器２９上に達する。他方ビーム２２は集
光レンズ２６を通って参照面２８上に照射される。そし
て参照面２８１こて反射された光は集光レンズ２５を通
り反射面２３にて反射されて集光レンズ２６を通って検
出器２９上に達する。このようにして測定面２７および
参照面２８にて反射された光はいずれも検出器２９にて
検出され比較されて相対反射率が測定される。この測定
装置では測定物の裏面での反射光の大部分は絞りでとり
除くことが出来る。しかも測定面が曲面であっても裏面
での反射による影響をほとんど受けることなく精度の良
い測定が可能である。そして測定面が曲面の場合にはそ
の曲率中心を中心として移動させることにより曲面上の
任意の場所の反射率を測定することが出来る。尚測定中
に両ビームが通る集光レンズは夫々異なるが、測定面お
よび参照面での反射光の検出された値の比を求めるので
、集光レンズの透過率による影響はない。
６を通って検出器２９上に達する。他方ビーム２２は集
光レンズ２６を通って参照面２８上に照射される。そし
て参照面２８１こて反射された光は集光レンズ２５を通
り反射面２３にて反射されて集光レンズ２６を通って検
出器２９上に達する。このようにして測定面２７および
参照面２８にて反射された光はいずれも検出器２９にて
検出され比較されて相対反射率が測定される。この測定
装置では測定物の裏面での反射光の大部分は絞りでとり
除くことが出来る。しかも測定面が曲面であっても裏面
での反射による影響をほとんど受けることなく精度の良
い測定が可能である。そして測定面が曲面の場合にはそ
の曲率中心を中心として移動させることにより曲面上の
任意の場所の反射率を測定することが出来る。尚測定中
に両ビームが通る集光レンズは夫々異なるが、測定面お
よび参照面での反射光の検出された値の比を求めるので
、集光レンズの透過率による影響はない。
しかし更に精度を向上させたい時は、測定面と参照面と
を交換して測定するようにすれ‘ま良い。第７図は第６
図の実施例において検出器を二つ配置した例で、３２，
３３が検出器で測定面および参照面にて反射した光を夫
々反射面３４，３５で反射させた後集光レンズ３６，３
７にて集光せしめ絞り３８，３９を通して検出器３２，
３３にて側光するようにしてある。第８図は第二の実施
例で二つのビームのうちビーム４１はしンズ４３によっ
て参照面４５上に集光され、又ビーム４２は反射鏡４４
にて反射された後測定面４６上に集光される。
を交換して測定するようにすれ‘ま良い。第７図は第６
図の実施例において検出器を二つ配置した例で、３２，
３３が検出器で測定面および参照面にて反射した光を夫
々反射面３４，３５で反射させた後集光レンズ３６，３
７にて集光せしめ絞り３８，３９を通して検出器３２，
３３にて側光するようにしてある。第８図は第二の実施
例で二つのビームのうちビーム４１はしンズ４３によっ
て参照面４５上に集光され、又ビーム４２は反射鏡４４
にて反射された後測定面４６上に集光される。
更に参照面４５で反射された光は反射鏡４４の裏面で反
射された後レンズ４７にて検出器４８に集光され、一方
測定面４６で反射された光もしンズ４７にて検出器４８
に集光され検出される。尚４９，５０は夫々絞りである
。この実施例の場合は第一の実施例よりレンズの数が少
なくて良く、またコンパクトに構成することが出来る。
本発明の反射率測定装置は以上説明したような構成であ
るので、反射鏡等の光学素子を従来のものより少なくす
ることができ、装置全体をコンパクトになし得る。
射された後レンズ４７にて検出器４８に集光され、一方
測定面４６で反射された光もしンズ４７にて検出器４８
に集光され検出される。尚４９，５０は夫々絞りである
。この実施例の場合は第一の実施例よりレンズの数が少
なくて良く、またコンパクトに構成することが出来る。
本発明の反射率測定装置は以上説明したような構成であ
るので、反射鏡等の光学素子を従来のものより少なくす
ることができ、装置全体をコンパクトになし得る。
又光学素子が少ないので、光学素子の配置誤差による測
定誤差は極めて少ない。更に光路の途中に絞りを挿入す
ることによって測定物の裏面での反射光を除くことが出
来る。又、測定面および参照面からの光を受光面に集光
するようにしたので、測定面、参照面の夫々の前に絞り
を置くことなく、受光面の前のみで良いので絞りの調整
が容易である。このように測定面の前に絞りがないこと
により、平面のみでなく任意の形状（曲面）の反射率を
測定することが可能である。そして測定物が球面の場合
、その曲率中心を中心にして測定物を回動させれば、球
面上の各点での反射率の測定が可能になる。尚第１図に
示すような従来例においても集光レンズを配置して検出
器上に集光するようにすることは可能である。
定誤差は極めて少ない。更に光路の途中に絞りを挿入す
ることによって測定物の裏面での反射光を除くことが出
来る。又、測定面および参照面からの光を受光面に集光
するようにしたので、測定面、参照面の夫々の前に絞り
を置くことなく、受光面の前のみで良いので絞りの調整
が容易である。このように測定面の前に絞りがないこと
により、平面のみでなく任意の形状（曲面）の反射率を
測定することが可能である。そして測定物が球面の場合
、その曲率中心を中心にして測定物を回動させれば、球
面上の各点での反射率の測定が可能になる。尚第１図に
示すような従来例においても集光レンズを配置して検出
器上に集光するようにすることは可能である。
しかし、光源（この場合は反射点）からの光路が長いた
めにし集光レンズと検出器の間隔を大にしなければ絞り
の径を大きくすることが出来ないので具合いが悪い。つ
まり集光レンズと検出器の間隔を大にした場合装置全体
が大型になる。これに対し、本発明では、反射点からの
集光レンズまでの距離が短いので、集光レンズと検出器
との距離が短かくとも絞りの径を極端に小さくしなくと
も良いので好ましい。更に第一の実施例においては集光
レンズ２６に入る光が平行光束であるので、絞りの径は
反射点から集光レンズまでの距離には影響されない。図
面の簡単な説明第１図は従来の反射率測定装置の構成を
示す図、第２図および第３図は夫々測定物の測定面およ
び裏面での反射の状況を示す図、第４図および第５図は
裏面での反射光を除去する方法を示す図、第６図は本発
明の第一の実施例の構成を示す図、第７図は本発明実施
例における検出器の配置の他の例を示す図「第８図は本
発明の第二の実施例の構成を示す図である。
めにし集光レンズと検出器の間隔を大にしなければ絞り
の径を大きくすることが出来ないので具合いが悪い。つ
まり集光レンズと検出器の間隔を大にした場合装置全体
が大型になる。これに対し、本発明では、反射点からの
集光レンズまでの距離が短いので、集光レンズと検出器
との距離が短かくとも絞りの径を極端に小さくしなくと
も良いので好ましい。更に第一の実施例においては集光
レンズ２６に入る光が平行光束であるので、絞りの径は
反射点から集光レンズまでの距離には影響されない。図
面の簡単な説明第１図は従来の反射率測定装置の構成を
示す図、第２図および第３図は夫々測定物の測定面およ
び裏面での反射の状況を示す図、第４図および第５図は
裏面での反射光を除去する方法を示す図、第６図は本発
明の第一の実施例の構成を示す図、第７図は本発明実施
例における検出器の配置の他の例を示す図「第８図は本
発明の第二の実施例の構成を示す図である。
２１，２２，４１，４２……光ビーム、２４，２５，２
６，４３……集光レンズ、２７，４６……測定面、２８
，４５…・・・参照面「 ３０，３１，１４９，５０…
…絞り「 ２９，３２，３３，４８……検出器。
６，４３……集光レンズ、２７，４６……測定面、２８
，４５…・・・参照面「 ３０，３１，１４９，５０…
…絞り「 ２９，３２，３３，４８……検出器。
第１図
第２図
第３図
第４図
第５図
第６図
第７図
第８図
Claims (1)
- １ 同一光源よりの光軸に平行で該光軸外を通る二つの
ビームのうちの一方のビームを測定面もしくは参照面の
うちの一方の面上に集光させまた他方のビームを表裏両
面が反射面である反射鏡にて反射させた後に上記測定面
、参照面のうちの他方の面上に集光させるためのレンズ
系と、上記の一方の面にての反射光を上記反射鏡の裏に
て反射させた後に検出器に集光させまた上記の他方の面
にての反射光を直接検出器に集光させるためのレンズ系
と、上記検出器の直前に配置された絞りとを備え、上記
検出器にて検出された測定面および参照面での反射光に
より測定面の反射率を測定するようにした反射率測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53040615A JPS605896B2 (ja) | 1978-04-06 | 1978-04-06 | 反射率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53040615A JPS605896B2 (ja) | 1978-04-06 | 1978-04-06 | 反射率測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54133180A JPS54133180A (en) | 1979-10-16 |
| JPS605896B2 true JPS605896B2 (ja) | 1985-02-14 |
Family
ID=12585423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53040615A Expired JPS605896B2 (ja) | 1978-04-06 | 1978-04-06 | 反射率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605896B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046283U (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-01 | ティーディーケイ株式会社 | 製図機用直定規 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627706B2 (ja) * | 1985-04-25 | 1994-04-13 | オリンパス光学工業株式会社 | 反射率測定装置 |
| JPS6454231A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-01 | Hitachi Ltd | Measurement of surface reflection for transparent material |
-
1978
- 1978-04-06 JP JP53040615A patent/JPS605896B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046283U (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-01 | ティーディーケイ株式会社 | 製図機用直定規 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54133180A (en) | 1979-10-16 |
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