JPS6057241A - 円盤状情報記録媒体の欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
円盤状情報記録媒体の欠陥検査方法及びその装置Info
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- JPS6057241A JPS6057241A JP16700883A JP16700883A JPS6057241A JP S6057241 A JPS6057241 A JP S6057241A JP 16700883 A JP16700883 A JP 16700883A JP 16700883 A JP16700883 A JP 16700883A JP S6057241 A JPS6057241 A JP S6057241A
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- recording medium
- disk
- reflected
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
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- Pathology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は円盤状情報記録媒体の欠陥検査方法及びその装
置に係り、レーザビームを一平面上に拡散して記録媒体
の半径上に照射し、その反射レーザビームを一点に集光
してこのうちの上記半径上の各点毎の反射レーザビーム
を順次選択して取り出し受光素子に供給することにより
、記録媒体の欠陥部分を幾何光学的に拡大でき検出信号
のＳＮ比が向上し、記録媒体の面振れの影響をうけにく
く、検査時間を短縮できる円盤状情報記録媒体の欠陥検
査方法及びその装置を提供することを目的とする。
置に係り、レーザビームを一平面上に拡散して記録媒体
の半径上に照射し、その反射レーザビームを一点に集光
してこのうちの上記半径上の各点毎の反射レーザビーム
を順次選択して取り出し受光素子に供給することにより
、記録媒体の欠陥部分を幾何光学的に拡大でき検出信号
のＳＮ比が向上し、記録媒体の面振れの影響をうけにく
く、検査時間を短縮できる円盤状情報記録媒体の欠陥検
査方法及びその装置を提供することを目的とする。
本出願人は先に特願昭５２−２５２６０号その他により
、針案内溝を形成することなく主要情報信号並びに第１
乃至第３のトラッキング制御用参照信号（以下ドラッギ
ング信号という）が大々幾何学的形状の変化として記録
された電極機能を有する円盤状情報記録媒体、及びそれ
を電１船を有する再生釦との相対的摺動走査により上記
主要情報信号並びに第１乃至第３のトラックキング信号
を静電容量の変化として読取り再生りる再生ｉｉを提案
した。また、上記の本出願人の提案になる円盤状情報記
録媒体は映像信号等が主要情報信号と（）て螺旋状の主
トラツクに１回転宛４フィールド記録されており、かつ
、主要情報信号の記録周波数帯域よりも低域周波数で、
互いに相異なる周波数の第１及び第２のトラックキング
信８［Ｐｌ及びｆｐ２が夫々記録媒体の１回転周期毎に
り換えられ、かつ、水平帰線消去期間部分に対応してバ
ースト状に相隣る上記主トラツク間の中間部分に副トラ
ツクを形成して記録されており、更にｆ ｐ＋ 、ｆ
Ｐ２の切換接続部分（垂直ブランキング期間内にある）
には、トラッキングリ”−小回路のトラッキング極性を
切換えるための第３３のトラッキング信号ｆＰ３が主要
情報信号に影響を与えないよう所定レベル以下のレベル
で記録されている。
、針案内溝を形成することなく主要情報信号並びに第１
乃至第３のトラッキング制御用参照信号（以下ドラッギ
ング信号という）が大々幾何学的形状の変化として記録
された電極機能を有する円盤状情報記録媒体、及びそれ
を電１船を有する再生釦との相対的摺動走査により上記
主要情報信号並びに第１乃至第３のトラックキング信号
を静電容量の変化として読取り再生りる再生ｉｉを提案
した。また、上記の本出願人の提案になる円盤状情報記
録媒体は映像信号等が主要情報信号と（）て螺旋状の主
トラツクに１回転宛４フィールド記録されており、かつ
、主要情報信号の記録周波数帯域よりも低域周波数で、
互いに相異なる周波数の第１及び第２のトラックキング
信８［Ｐｌ及びｆｐ２が夫々記録媒体の１回転周期毎に
り換えられ、かつ、水平帰線消去期間部分に対応してバ
ースト状に相隣る上記主トラツク間の中間部分に副トラ
ツクを形成して記録されており、更にｆ ｐ＋ 、ｆ
Ｐ２の切換接続部分（垂直ブランキング期間内にある）
には、トラッキングリ”−小回路のトラッキング極性を
切換えるための第３３のトラッキング信号ｆＰ３が主要
情報信号に影響を与えないよう所定レベル以下のレベル
で記録されている。
第１図は上記本出願人の提案になる円盤状情報記録媒体
と再生釦との再生状態を示１部分拡大斜視図で、１は上
記本出願人の提案になる円盤状情報記録媒体で、前記主
要情報信号としてカラー映像信号等が周波数変調されて
記録されたディスクである。このディスク１はターンテ
ーブル（図示ぽず）上に載置せしめられてターンテーブ
ルと共にモータザーボ回路の制御の下に高速で同期回転
せしめられる。ディスク１上の表面上には第１図に示す
如く平坦面２とピット３とが繰り返され′Ｃなるカラー
映像信号等の記録主トラツクと４で示すピットと平坦面
２との繰り返しによるトラッキング信号ｆｐ＋記録副ト
ラックと、５で示すピットと平坦面２との繰り返しによ
る１へラックキング信＠［ρ２記録副トラックとが夫）
Ｚ形成されており、矢印方向へ回転せしめられる。ディ
スク１の回転数は、ＮＴＳＣ方式カラー映像信号が記録
されているディスクを再生ずる装置では９００ｒｐｍで
ある。
と再生釦との再生状態を示１部分拡大斜視図で、１は上
記本出願人の提案になる円盤状情報記録媒体で、前記主
要情報信号としてカラー映像信号等が周波数変調されて
記録されたディスクである。このディスク１はターンテ
ーブル（図示ぽず）上に載置せしめられてターンテーブ
ルと共にモータザーボ回路の制御の下に高速で同期回転
せしめられる。ディスク１上の表面上には第１図に示す
如く平坦面２とピット３とが繰り返され′Ｃなるカラー
映像信号等の記録主トラツクと４で示すピットと平坦面
２との繰り返しによるトラッキング信号ｆｐ＋記録副ト
ラックと、５で示すピットと平坦面２との繰り返しによ
る１へラックキング信＠［ρ２記録副トラックとが夫）
Ｚ形成されており、矢印方向へ回転せしめられる。ディ
スク１の回転数は、ＮＴＳＣ方式カラー映像信号が記録
されているディスクを再生ずる装置では９００ｒｐｍで
ある。
また６は再生針で、その後端面に電極６ａが蒸着固定さ
れており、６ｂで示す底部がディスク１の表面と摺動せ
しめられ、電極６ｉｉとディスク１との間に形成される
静電容量が断続するビット列の変化に応じて変化するこ
とを検出し、高周波信号に変換する。
れており、６ｂで示す底部がディスク１の表面と摺動せ
しめられ、電極６ｉｉとディスク１との間に形成される
静電容量が断続するビット列の変化に応じて変化するこ
とを検出し、高周波信号に変換する。
上記のディスク１はその製造過程でディスク１の表面上
の平坦面が一部凸状又は凹状に変彫り“る等の欠陥を生
じる場合がある。再生時に、１１■牛針６が例えば凸状
変形部分を走査すると、ｒＩｊ生計６は凸部で飛び上が
りディスク１の表面にり離間するために再生ができず情
報信号のドロップアウト・を生じ、また再生針６が横飛
びした場合にＧ≧Ｌ再生針６が別のトラックに移行して
トラッキングエラーを生じ、高品質の画像を得ることが
できない。
の平坦面が一部凸状又は凹状に変彫り“る等の欠陥を生
じる場合がある。再生時に、１１■牛針６が例えば凸状
変形部分を走査すると、ｒＩｊ生計６は凸部で飛び上が
りディスク１の表面にり離間するために再生ができず情
報信号のドロップアウト・を生じ、また再生針６が横飛
びした場合にＧ≧Ｌ再生針６が別のトラックに移行して
トラッキングエラーを生じ、高品質の画像を得ることが
できない。
従来、ディスク１の表面の欠陥の有無は第２図に示す如
き方法で検査していた。第２図にＪ５いて、レーザー光
源１０より出射されたレーザビームはスキ゛１７す１１
で・反射されてディスク１に照射される。このスキＸ７
す１１はその軸１１ａを中心に矢印へ方向に回転し、こ
れによってレーザビームはディスク１の半径１ａ上を内
周より外周側に順次走査する。ディスク１で反射された
レーザビームはレンズ１２で光電子倍増管１３に集光さ
れ、ここで反射光量に応じた電流が発生される。ディス
ク１に欠陥が有るとレーザビームは欠陥部分で乱反射さ
れ、光電子倍増管１３の出力電流は飲手づるので、この
出力電流の値を基準値と比較し−Ｃ欠陥の有無を検出づ
ることができる。
き方法で検査していた。第２図にＪ５いて、レーザー光
源１０より出射されたレーザビームはスキ゛１７す１１
で・反射されてディスク１に照射される。このスキＸ７
す１１はその軸１１ａを中心に矢印へ方向に回転し、こ
れによってレーザビームはディスク１の半径１ａ上を内
周より外周側に順次走査する。ディスク１で反射された
レーザビームはレンズ１２で光電子倍増管１３に集光さ
れ、ここで反射光量に応じた電流が発生される。ディス
ク１に欠陥が有るとレーザビームは欠陥部分で乱反射さ
れ、光電子倍増管１３の出力電流は飲手づるので、この
出力電流の値を基準値と比較し−Ｃ欠陥の有無を検出づ
ることができる。
しかし、上記従来の検査方法では光電子倍増管１３はレ
ンズ１２の焦点位置におがれており、微小欠陥を精度良
く検出するにはディスク１上におけるレーザビームのス
ポット径を小とする必要がある。このため、ディスク１
が面振れを起こりとディスク１で反射されたレーザビー
ムの光電子倍増管１］、７対づる集光位置がずれるので
、光電子倍増管１３の入光部であるピンホール゛１３８
の径をある程度大きくする必要がある。このため、外部
よりの光が光電子倍増管１３内に入光し検出信号のＳＮ
比が悪化づ−るという欠点があった。
ンズ１２の焦点位置におがれており、微小欠陥を精度良
く検出するにはディスク１上におけるレーザビームのス
ポット径を小とする必要がある。このため、ディスク１
が面振れを起こりとディスク１で反射されたレーザビー
ムの光電子倍増管１］、７対づる集光位置がずれるので
、光電子倍増管１３の入光部であるピンホール゛１３８
の径をある程度大きくする必要がある。このため、外部
よりの光が光電子倍増管１３内に入光し検出信号のＳＮ
比が悪化づ−るという欠点があった。
本発明は上記欠点を除去したものであり、以下図面と共
にその一実施例につき説明する。
にその一実施例につき説明する。
第３図は本発明方法を適用した装置の一実施例の描成図
を示す。同図中、第２図と同一部分には同一符号イ（イ
」−４−０第３図において、１０はレーザ光源であり、
このレーザ光源より山田されたレーザビーム（ｊ反ｑ１
鏡１５で反射されてレンズ１６に入射される。レンズ１
６は入来Ｊるレーリ゛ビームを一平面−１の所定角度範
囲に亘って拡散りる。この拡散されたレーザビームは反
０＝Ｉ鏡１７で反射された後、同時にディスク１０半径
１ａ上に照射される。
を示す。同図中、第２図と同一部分には同一符号イ（イ
」−４−０第３図において、１０はレーザ光源であり、
このレーザ光源より山田されたレーザビーム（ｊ反ｑ１
鏡１５で反射されてレンズ１６に入射される。レンズ１
６は入来Ｊるレーリ゛ビームを一平面−１の所定角度範
囲に亘って拡散りる。この拡散されたレーザビームは反
０＝Ｉ鏡１７で反射された後、同時にディスク１０半径
１ａ上に照射される。
ディスク１の欠陥のない部分は照射されたレーザビーム
を全反射し、欠陥部分はレーザビームを乱反射４る。こ
のディスク１の半径１ ａ 、、、ＪＺ℃反則されたレ
ーザじ−ムは反射鏡１８で反射され（レンズ１２に入射
される。レンズ１２は反ＩＪ＝Ｉ鏡１ε３より入来づる
レーリ゛ビームをこのレンズ１２の焦点位置に配置され
たスギャナ１つに集光りる。スキ１７］−１９は断面正
多角形の柱状−Ｑ各外周壁ＩＪ反射鏡どされでおり、そ
の＠１９ａを中心に矢印［３方向に一定速度で回転する
もの−Ｃ゛ある。なｄ３、このスキＡ７ブ１９として軸
１９ａを中心に一定周期で揺動するガルバノスキＡ７ン
ーングミラーが用いてもよい。スキＡ７す１９の外周壁
はレンズ１２Ｊ−りのレーザビームを反射（〕、その反
ｑ４されｌこレーザビームの一部が反射鏡２０に大剣す
る。つまり、反射鏡２０にはスキＮ７す１９の回転に応
じ−Ｃデ・イスク１の半径１ａ上で反射されたレ−ザビ
ームが半径１ａ上の内周側から外周側へ順次ｒパ択され
（供給される。口の反ＯＡ鏡２０で反射されｌこスＡ′
Ｉｌ′？す’Ｉ ９ にりのレーザビームは更に反ｒＪ
Ｊ１２１で反射された後、受光素子である光電子倍増管
１３に入射づ−る。光電子倍増管１３は入来づるレーザ
ビーへの光量に応じた電流を発生覆る。この電流は増幅
された後基準値と比較され、電流値が基準値に満たない
場合つまりレーザビームがディスク１の表面にある欠陥
で乱反射され光電子倍増管１３に入来づ−るレーザビー
ムの光量が小なるとき、欠陥有りと判定される。
を全反射し、欠陥部分はレーザビームを乱反射４る。こ
のディスク１の半径１ ａ 、、、ＪＺ℃反則されたレ
ーザじ−ムは反射鏡１８で反射され（レンズ１２に入射
される。レンズ１２は反ＩＪ＝Ｉ鏡１ε３より入来づる
レーリ゛ビームをこのレンズ１２の焦点位置に配置され
たスギャナ１つに集光りる。スキ１７］−１９は断面正
多角形の柱状−Ｑ各外周壁ＩＪ反射鏡どされでおり、そ
の＠１９ａを中心に矢印［３方向に一定速度で回転する
もの−Ｃ゛ある。なｄ３、このスキＡ７ブ１９として軸
１９ａを中心に一定周期で揺動するガルバノスキＡ７ン
ーングミラーが用いてもよい。スキＡ７す１９の外周壁
はレンズ１２Ｊ−りのレーザビームを反射（〕、その反
ｑ４されｌこレーザビームの一部が反射鏡２０に大剣す
る。つまり、反射鏡２０にはスキＮ７す１９の回転に応
じ−Ｃデ・イスク１の半径１ａ上で反射されたレ−ザビ
ームが半径１ａ上の内周側から外周側へ順次ｒパ択され
（供給される。口の反ＯＡ鏡２０で反射されｌこスＡ′
Ｉｌ′？す’Ｉ ９ にりのレーザビームは更に反ｒＪ
Ｊ１２１で反射された後、受光素子である光電子倍増管
１３に入射づ−る。光電子倍増管１３は入来づるレーザ
ビーへの光量に応じた電流を発生覆る。この電流は増幅
された後基準値と比較され、電流値が基準値に満たない
場合つまりレーザビームがディスク１の表面にある欠陥
で乱反射され光電子倍増管１３に入来づ−るレーザビー
ムの光量が小なるとき、欠陥有りと判定される。
また、十記スキへ７す１９の回転と共に、ディスク１は
矢印Ｃ方向に一定速度で回転し、ディスク１が１回転す
る間１記の欠陥検査の動作が繰り返し行なわれ−にのデ
ィスク１の検査が終ｆりる。
矢印Ｃ方向に一定速度で回転し、ディスク１が１回転す
る間１記の欠陥検査の動作が繰り返し行なわれ−にのデ
ィスク１の検査が終ｆりる。
ここで、第３図示の装置ではレンズ１２からス８−Ａ７
す１９までの距離Ｌ１に対してスギｊＩす１９より反射
鏡２０．２１を経て光電子倍増管１３に至る距離Ｌ２が
大とされている。このため、第３図示の装置は等価的に
第４図に示り如くなり、ディスク１の半径１ａは光電子
倍増管１３の配置された面においで点Ｄ＋□〜Ｄ２と幾
何光学的に拡大され、半径１ａ上の点ａ１〜ａ２に欠陥
があるとこの欠陥の乱反射によって点ａ１〜ａ２より人
なる光電子倍増管１３の面の点ｂｌ＝ｂ２が影の部分と
なる。この拡大ｆｌ用は）へ′：電了倍増笛１３３の配
置された面にＪｊい℃ディスク１ど直交−づる而のｈず
直線方向にも動く。
す１９までの距離Ｌ１に対してスギｊＩす１９より反射
鏡２０．２１を経て光電子倍増管１３に至る距離Ｌ２が
大とされている。このため、第３図示の装置は等価的に
第４図に示り如くなり、ディスク１の半径１ａは光電子
倍増管１３の配置された面においで点Ｄ＋□〜Ｄ２と幾
何光学的に拡大され、半径１ａ上の点ａ１〜ａ２に欠陥
があるとこの欠陥の乱反射によって点ａ１〜ａ２より人
なる光電子倍増管１３の面の点ｂｌ＝ｂ２が影の部分と
なる。この拡大ｆｌ用は）へ′：電了倍増笛１３３の配
置された面にＪｊい℃ディスク１ど直交−づる而のｈず
直線方向にも動く。
このため、デ′イスク１が面据れを起こｔノ／こ場合に
も、光電子イ１１増管１３のピンホール１ζ３ａＯ）位
置は欠陥の乱反射により生ずる影の部分内に収まる。従
って、ピンホール１３ａの径を小Ｊりることがでさ、外
部よりの光が光゛重子イアｒ、増色（Ｊ入来りる吊が減
りＳＮ比が良くなる。また、ディスク」が多少の面振れ
を起こ（〕てへも欠陥を検出りるＣ二どが−Ｃさる。
も、光電子イ１１増管１３のピンホール１ζ３ａＯ）位
置は欠陥の乱反射により生ずる影の部分内に収まる。従
って、ピンホール１３ａの径を小Ｊりることがでさ、外
部よりの光が光゛重子イアｒ、増色（Ｊ入来りる吊が減
りＳＮ比が良くなる。また、ディスク」が多少の面振れ
を起こ（〕てへも欠陥を検出りるＣ二どが−Ｃさる。
’ｃＣ（１，）、本発明方法は第１図示の如きデーｒス
クの検査に適用して特に好適であるが、ディスク（ａ製
造するためのマザー、スタンパ等の検査に適用（〕でも
良く、また再生素子としＣ再生層の代りにレーザビーム
を用いて再生されるディスクの検査にも適用でき、」−
記実施例に限定されない。
クの検査に適用して特に好適であるが、ディスク（ａ製
造するためのマザー、スタンパ等の検査に適用（〕でも
良く、また再生素子としＣ再生層の代りにレーザビーム
を用いて再生されるディスクの検査にも適用でき、」−
記実施例に限定されない。
」二連の如く、本発明になる円盤状情報記録媒体の欠陥
検査方法は、レーザビームを円盤状情報記録媒体に＋Ｖ
＋射し記録媒体で反射された反ｑ」レーリ゛ビームを受
光素子で検出して記録媒体表面の欠陥を検査する円盤状
情報記録媒体の欠陥検査方法において、レーザビームを
一平面上の所定角度範囲に亘って拡散させ、拡散された
レーザビームを記録媒体の半径上に同時に照射し、半径
１０反射された反射レーザビーム壬一点に集光し、一点
に集光されたレーザビームより半径上の各点ｆυの反射
レーザビームを順次選択して取り出し受光素子に供給す
るため、欠陥部分を幾何光学的に拡大でき、これによっ
て受光素子の入光部であるピンホールの径を小さくでき
検出信号のＳＮ比が向上し、また、記録媒体の面振れの
影響を受けにくくなる等の特長を有するものである。
検査方法は、レーザビームを円盤状情報記録媒体に＋Ｖ
＋射し記録媒体で反射された反ｑ」レーリ゛ビームを受
光素子で検出して記録媒体表面の欠陥を検査する円盤状
情報記録媒体の欠陥検査方法において、レーザビームを
一平面上の所定角度範囲に亘って拡散させ、拡散された
レーザビームを記録媒体の半径上に同時に照射し、半径
１０反射された反射レーザビーム壬一点に集光し、一点
に集光されたレーザビームより半径上の各点ｆυの反射
レーザビームを順次選択して取り出し受光素子に供給す
るため、欠陥部分を幾何光学的に拡大でき、これによっ
て受光素子の入光部であるピンホールの径を小さくでき
検出信号のＳＮ比が向上し、また、記録媒体の面振れの
影響を受けにくくなる等の特長を有するものである。
ｊ−た、本発明になる１、円盤状情報記録媒体の欠陥検
査装置は、レーザビームを円盤状情報記録媒体に照射し
記録媒体で反射された反射レーザビームを受光素子で検
出して記録媒体表面の欠陥を検査する円盤状情報記録媒
体の欠陥検査装置において、１ノーザビームを一平面上
の所定角度範囲に亘って拡散させこの拡散されたレーザ
ビームを記録媒体の半径上に同時に照射するレンズと、
半径上で反射された反射レーザビームを一点に集光りる
レンズと、一点に集光されｌζレーザビームより半径上
の各点毎の反射レーザビームを順次選択して取り出し受
光素子に供給するスキャナとよりなるため、上記本発明
方法を実現することができる等の特長を有づ゛るもので
ある。
査装置は、レーザビームを円盤状情報記録媒体に照射し
記録媒体で反射された反射レーザビームを受光素子で検
出して記録媒体表面の欠陥を検査する円盤状情報記録媒
体の欠陥検査装置において、１ノーザビームを一平面上
の所定角度範囲に亘って拡散させこの拡散されたレーザ
ビームを記録媒体の半径上に同時に照射するレンズと、
半径上で反射された反射レーザビームを一点に集光りる
レンズと、一点に集光されｌζレーザビームより半径上
の各点毎の反射レーザビームを順次選択して取り出し受
光素子に供給するスキャナとよりなるため、上記本発明
方法を実現することができる等の特長を有づ゛るもので
ある。
第１図は本出願人が先に提案した円盤状情報記録媒体と
再生♀１との再生状態を示す部分拡大斜視図、第２図は
従来の検査方法の一例の構成図、第３図は本発明方法の
一実施例の構成図、第４図は第３図示の装置の拡大作用
を説明するための図である。 １・・・円盤状情報記録媒体（ディスク）、１０・・・
レーザ光源、１１．１９・・・スキャナ、１２．１６・
・・レンズ、１３・・・光電子倍増管、１’５．１７゜
１８．２０．２１・・・反射鏡。 特許出願人 日本ビクター株式会社 代 理 人 弁理士 伊 東 忠 彦 第３図
再生♀１との再生状態を示す部分拡大斜視図、第２図は
従来の検査方法の一例の構成図、第３図は本発明方法の
一実施例の構成図、第４図は第３図示の装置の拡大作用
を説明するための図である。 １・・・円盤状情報記録媒体（ディスク）、１０・・・
レーザ光源、１１．１９・・・スキャナ、１２．１６・
・・レンズ、１３・・・光電子倍増管、１’５．１７゜
１８．２０．２１・・・反射鏡。 特許出願人 日本ビクター株式会社 代 理 人 弁理士 伊 東 忠 彦 第３図
Claims (2)
- （１） レーザビームを円盤状情報記録媒体に照射し該
記録媒体で反則された反射レーザビームを受光素子で検
出して該記録媒体表面の欠陥を検査する円盤状情報記録
媒体の欠陥検査方法において、該レーザビームを一平面
上の所定角度範囲に亘って拡散さけ、拡散されたレーザ
ビームを該記録媒体の半径上に同時に照射し、該半径上
で反則された反射レーザビームを一点に集光し、該一点
に集光されたレーザビームＪ二り該半径上の各点毎の反
射しメーザビームを順次選択して取り出し該受光素子に
供給することを特徴とする円盤状情報記録媒体の欠陥検
査方法。 - （２） レーザビームを円盤状情報記録媒体に照射し該
記録媒体で反射された反射レーザビームを受光素子で検
出して該記録媒体表面の欠陥を検査する円盤状情報記録
媒体の欠陥検査装置において、該レーザビームを一平面
上の所定角度範囲に亘って拡散さけこの拡散されたレー
ザビームを該記録媒体の半径上に同時に照０４するレン
ズと、該半径上で反射された反射レーザビームを一点に
集光Ｊるレンズと、該一点に集光されたレーザビームよ
り該半径、Ｆの各点毎の反射レーザビームを順次選択し
て取り出し該受光素子に供給するス４−Ａ７すとよりな
ることを特徴とする円盤状情報記録媒体の欠陥検査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16700883A JPS6057241A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 円盤状情報記録媒体の欠陥検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16700883A JPS6057241A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 円盤状情報記録媒体の欠陥検査方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057241A true JPS6057241A (ja) | 1985-04-03 |
Family
ID=15841666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16700883A Pending JPS6057241A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 円盤状情報記録媒体の欠陥検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057241A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60258729A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-20 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク塗膜の検査方法及びその装置 |
| JPS6284433A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光デイスク検査装置 |
| JPS6315615U (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-02 | ||
| EP0345786A2 (en) * | 1988-06-08 | 1989-12-13 | Dai Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | System for detecting defective portions in data recording portions of optical recording medium |
| US5301012A (en) * | 1992-10-30 | 1994-04-05 | International Business Machines Corporation | Optical technique for rapid inspection of via underetch and contamination |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16700883A patent/JPS6057241A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60258729A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-20 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク塗膜の検査方法及びその装置 |
| JPH0352649B2 (ja) * | 1984-06-04 | 1991-08-12 | Hitachi Ltd | |
| JPS6284433A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光デイスク検査装置 |
| JPH0652586B2 (ja) * | 1985-10-08 | 1994-07-06 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 光デイスク検査装置 |
| JPS6315615U (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-02 | ||
| EP0345786A2 (en) * | 1988-06-08 | 1989-12-13 | Dai Nippon Insatsu Kabushiki Kaisha | System for detecting defective portions in data recording portions of optical recording medium |
| US5301012A (en) * | 1992-10-30 | 1994-04-05 | International Business Machines Corporation | Optical technique for rapid inspection of via underetch and contamination |
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