JPS6052230A - 微動ステ−ジ機構 - Google Patents

微動ステ−ジ機構

Info

Publication number
JPS6052230A
JPS6052230A JP58162266A JP16226683A JPS6052230A JP S6052230 A JPS6052230 A JP S6052230A JP 58162266 A JP58162266 A JP 58162266A JP 16226683 A JP16226683 A JP 16226683A JP S6052230 A JPS6052230 A JP S6052230A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
piezo
electric elements
voltage
flexible
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58162266A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadao Sugiyama
定夫 杉山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Tateisi Electronics Co
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tateisi Electronics Co, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Tateisi Electronics Co
Priority to JP58162266A priority Critical patent/JPS6052230A/ja
Publication of JPS6052230A publication Critical patent/JPS6052230A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B23Q1/36—Springs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈発明の技術分野〉 本発明は半導体製造装置、精密測定機、精密加工機等に
適用する微動ステージ機構に関する。
〈発明の背景〉 従来この種微動ステージ機構としては、第５図および第
６図に示す如く、固定部４／１７に板バネ等の可撓性支
持部材８を水平または垂直方向に介装してステージ１を
支持し、■２つ支持部材８と直交方向をなすステージ１
と固定部祠７との間に圧電素子９を介装し、該圧電素子
に印加する電圧を制御することにより、第５図ではステ
ージ１の角度αおよび上下ｌを、また第６図では水平方
向Ｘを微動調整するものである。しかし、これら微動機
構においては角度α、水平Ｘ、上下２の微動を個々に行
ない、これ等を組合せて構成するため、メカニズムおよ
び制御か複雑化し、これが微動機構をコンパクトに出来
ない一因をなしている。
〈発明の目的〉 本発明は、極めて簡単な構成により角度、上下、水平方
向の微動を実現し、装置の小型化、軽量化に効果を有す
微動ステージ機構を提供することを目的とする。
〈実施例の説明〉 本発明の微動ステージ機構は、ステージ１に一対の可撓
性支持片２，２を対向配備し、両支持片２，２の先端数
例部２１を、夫々電圧印加により伸長、収縮するピエゾ
等の圧電素子３゜４を介して固定部材５に支持したもの
である。
上記ステージ１および取付部２１を含む可撓性支持片２
，２は、ワイヤカット放電加工等により一体構成され、
両支持片２，２には、基端部および先端部に薄肉の可撓
部２２．２３を形成して支持片に可撓性を附与している
。尚、上記１■撓性支持片は板バネにて構成するも可い
。
然して、ステージ１の微動調節に際し、第２図において
、一方の圧電素子４に電圧を印加することにより、該圧
電素子４はＸだけ右方に伸長し、このとき、該素子側の
支持片２は上、下可撓部２３．２２の屈曲により傾き変
位し、ステージ１は角度αだけ微傾斜する。他方の圧電
素子３を電圧調整により収縮するも、これを同様な角度
微動が得られる。次に、第３図に示す如く、一方の圧電
素子４をＸｎ　たけ伸長させ他方の圧電素子３をＸ−ｎ
　たけ収縮させることにより、ステージ１はＸだけ水平
方向に微動する。
また第４図に示す如（、両圧電素子３，４をそれぞれＸ
−ｎたけ収縮させることにより、両支持片２，２は互い
に起立方向に変位し、ステージ１を２だけ上下微動する
もので、このように、両圧電素子３，４に印加する電圧
を制御することによって、ステージ１を」二下、水平、
傾斜の三方向に微動できる。
〈発明の効果〉 本発明は上記の如く、ステージ１に一対の可撓性支持片
２，２を配備し、両支持片２，２を圧電素子３，４を介
して固定部材５に支持し、両圧電素子３，４に印加する
゛直圧を制御することによって、ステージ１を上下、水
平、傾斜の三方向に微動するようにしたから、従来装置
に比較して構成、制御が簡易化し、且つ高速微動および
分解能の向上を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図の縦断面図、第３図および第４図は作動状況を示す断
面図、第５図および第６図は従来例を示す断面図である
。 １・・・・・・ステージ　２・・・・・・可撓性支持片
３．４・・・・・・圧電素子　５・・・・・・固定部拐
芳６　面

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ステージに一対の可撓性支持片を対向配備し、両支持片
    は、夫々電圧印加により伸長、収縮する圧電素子を介し
    て固定部利に支持して成る微動ステージ機構。
JP58162266A 1983-09-02 1983-09-02 微動ステ−ジ機構 Pending JPS6052230A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58162266A JPS6052230A (ja) 1983-09-02 1983-09-02 微動ステ−ジ機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58162266A JPS6052230A (ja) 1983-09-02 1983-09-02 微動ステ−ジ機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6052230A true JPS6052230A (ja) 1985-03-25

Family

ID=15751180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58162266A Pending JPS6052230A (ja) 1983-09-02 1983-09-02 微動ステ−ジ機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6052230A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61265266A (ja) * 1985-05-20 1986-11-25 Ntn Toyo Bearing Co Ltd ワ−クレスト
JPS6288008A (ja) * 1985-10-14 1987-04-22 Hitachi Ltd 多自由度空間微動機構
JPS62264543A (ja) * 1986-03-27 1987-11-17 フォルシュングスツエントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング 対象物の微小移動のための装置
JPS6395383A (ja) * 1986-10-09 1988-04-26 オムロン株式会社 微小位置決め装置
JPS63195589A (ja) * 1987-02-09 1988-08-12 工業技術院長 微小位置決め機構
JPS63226709A (ja) * 1987-03-17 1988-09-21 Hitachi Constr Mach Co Ltd 微細位置決め装置
JPS63305410A (ja) * 1987-06-08 1988-12-13 Hitachi Constr Mach Co Ltd 微細位置決め装置
JPH0351371A (ja) * 1989-07-20 1991-03-05 Yushiro Chem Ind Co Ltd 繊維チーズ用処理剤組成物
WO1994025209A1 (de) * 1993-04-21 1994-11-10 Mahle Gmbh Auslenkbare lagerung einer bohrstange an der arbeitsspindel einer feinbohrmaschine
JP2008517251A (ja) * 2004-10-09 2008-05-22 フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 物体を分析または加工するためのナノマニピュレータ

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61265266A (ja) * 1985-05-20 1986-11-25 Ntn Toyo Bearing Co Ltd ワ−クレスト
JPH0530593B2 (ja) * 1985-05-20 1993-05-10 Ntn Toyo Bearing Co Ltd
JPS6288008A (ja) * 1985-10-14 1987-04-22 Hitachi Ltd 多自由度空間微動機構
JPS62264543A (ja) * 1986-03-27 1987-11-17 フォルシュングスツエントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング 対象物の微小移動のための装置
JPS6395383A (ja) * 1986-10-09 1988-04-26 オムロン株式会社 微小位置決め装置
JPS63195589A (ja) * 1987-02-09 1988-08-12 工業技術院長 微小位置決め機構
JPS63226709A (ja) * 1987-03-17 1988-09-21 Hitachi Constr Mach Co Ltd 微細位置決め装置
JPS63305410A (ja) * 1987-06-08 1988-12-13 Hitachi Constr Mach Co Ltd 微細位置決め装置
JPH0351371A (ja) * 1989-07-20 1991-03-05 Yushiro Chem Ind Co Ltd 繊維チーズ用処理剤組成物
WO1994025209A1 (de) * 1993-04-21 1994-11-10 Mahle Gmbh Auslenkbare lagerung einer bohrstange an der arbeitsspindel einer feinbohrmaschine
JP2008517251A (ja) * 2004-10-09 2008-05-22 フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 物体を分析または加工するためのナノマニピュレータ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6052230A (ja) 微動ステ−ジ機構
EP0102838A3 (en) Vibration damping supports
JPH05269145A (ja) 手術用顕微鏡の３次元的位置調節の可能な天井懸吊装置
US6594093B2 (en) Adjusting apparatus for an optical element in a lens system
JP2009521664A (ja) バランス装置
Bergander et al. Micropositioners for microscopy applications based on the stick-slip effect
JP2746670B2 (ja) 洗浄装置
JP2902225B2 (ja) 位置決め装置
JPS63244205A (ja) 位置決め装置
EP0252174B1 (en) Coarse-approach positioning device
JP3458227B2 (ja) ステージ機構
JPH0449675B2 (ja)
JP2539124B2 (ja) 固体型アクチュエ―タ―を利用したウェ―ハの精密駆動装置
JPS61146440A (ja) Ｘｙ微動位置決め装置
KR100800387B1 (ko) 브릿지와 레버를 혼합한 증폭기구
JPH01172796A (ja) 微動ステージ
JP2805164B2 (ja) 一次元微小移動装置
JP2714858B2 (ja) 加工用治具
SU1465515A1 (ru) Динамический гаситель колебаний
JPS63281111A (ja) ミラ−支持装置
SU723696A1 (ru) Устройство дл прецизионного перемещени изделий
JP4240981B2 (ja) 超精密移動台装置
JPS59208467A (ja) 微小駆動装置
JP2758185B2 (ja) 微動載物台
JPH0894780A (ja) ｘ−ｙ−θ微動ステージ