JPS6052230A - 微動ステ−ジ機構 - Google Patents
微動ステ−ジ機構Info
- Publication number
- JPS6052230A JPS6052230A JP58162266A JP16226683A JPS6052230A JP S6052230 A JPS6052230 A JP S6052230A JP 58162266 A JP58162266 A JP 58162266A JP 16226683 A JP16226683 A JP 16226683A JP S6052230 A JPS6052230 A JP S6052230A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- piezo
- electric elements
- voltage
- flexible
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は半導体製造装置、精密測定機、精密加工機等に
適用する微動ステージ機構に関する。
適用する微動ステージ機構に関する。
〈発明の背景〉
従来この種微動ステージ機構としては、第5図および第
6図に示す如く、固定部4/17に板バネ等の可撓性支
持部材8を水平または垂直方向に介装してステージ1を
支持し、■2つ支持部材8と直交方向をなすステージ1
と固定部祠7との間に圧電素子9を介装し、該圧電素子
に印加する電圧を制御することにより、第5図ではステ
ージ1の角度αおよび上下lを、また第6図では水平方
向Xを微動調整するものである。しかし、これら微動機
構においては角度α、水平X、上下2の微動を個々に行
ない、これ等を組合せて構成するため、メカニズムおよ
び制御か複雑化し、これが微動機構をコンパクトに出来
ない一因をなしている。
6図に示す如く、固定部4/17に板バネ等の可撓性支
持部材8を水平または垂直方向に介装してステージ1を
支持し、■2つ支持部材8と直交方向をなすステージ1
と固定部祠7との間に圧電素子9を介装し、該圧電素子
に印加する電圧を制御することにより、第5図ではステ
ージ1の角度αおよび上下lを、また第6図では水平方
向Xを微動調整するものである。しかし、これら微動機
構においては角度α、水平X、上下2の微動を個々に行
ない、これ等を組合せて構成するため、メカニズムおよ
び制御か複雑化し、これが微動機構をコンパクトに出来
ない一因をなしている。
〈発明の目的〉
本発明は、極めて簡単な構成により角度、上下、水平方
向の微動を実現し、装置の小型化、軽量化に効果を有す
微動ステージ機構を提供することを目的とする。
向の微動を実現し、装置の小型化、軽量化に効果を有す
微動ステージ機構を提供することを目的とする。
〈実施例の説明〉
本発明の微動ステージ機構は、ステージ1に一対の可撓
性支持片2,2を対向配備し、両支持片2,2の先端数
例部21を、夫々電圧印加により伸長、収縮するピエゾ
等の圧電素子3゜4を介して固定部材5に支持したもの
である。
性支持片2,2を対向配備し、両支持片2,2の先端数
例部21を、夫々電圧印加により伸長、収縮するピエゾ
等の圧電素子3゜4を介して固定部材5に支持したもの
である。
上記ステージ1および取付部21を含む可撓性支持片2
,2は、ワイヤカット放電加工等により一体構成され、
両支持片2,2には、基端部および先端部に薄肉の可撓
部22.23を形成して支持片に可撓性を附与している
。尚、上記1■撓性支持片は板バネにて構成するも可い
。
,2は、ワイヤカット放電加工等により一体構成され、
両支持片2,2には、基端部および先端部に薄肉の可撓
部22.23を形成して支持片に可撓性を附与している
。尚、上記1■撓性支持片は板バネにて構成するも可い
。
然して、ステージ1の微動調節に際し、第2図において
、一方の圧電素子4に電圧を印加することにより、該圧
電素子4はXだけ右方に伸長し、このとき、該素子側の
支持片2は上、下可撓部23.22の屈曲により傾き変
位し、ステージ1は角度αだけ微傾斜する。他方の圧電
素子3を電圧調整により収縮するも、これを同様な角度
微動が得られる。次に、第3図に示す如く、一方の圧電
素子4をXn たけ伸長させ他方の圧電素子3をX−n
たけ収縮させることにより、ステージ1はXだけ水平
方向に微動する。
、一方の圧電素子4に電圧を印加することにより、該圧
電素子4はXだけ右方に伸長し、このとき、該素子側の
支持片2は上、下可撓部23.22の屈曲により傾き変
位し、ステージ1は角度αだけ微傾斜する。他方の圧電
素子3を電圧調整により収縮するも、これを同様な角度
微動が得られる。次に、第3図に示す如く、一方の圧電
素子4をXn たけ伸長させ他方の圧電素子3をX−n
たけ収縮させることにより、ステージ1はXだけ水平
方向に微動する。
また第4図に示す如(、両圧電素子3,4をそれぞれX
−nたけ収縮させることにより、両支持片2,2は互い
に起立方向に変位し、ステージ1を2だけ上下微動する
もので、このように、両圧電素子3,4に印加する電圧
を制御することによって、ステージ1を」二下、水平、
傾斜の三方向に微動できる。
−nたけ収縮させることにより、両支持片2,2は互い
に起立方向に変位し、ステージ1を2だけ上下微動する
もので、このように、両圧電素子3,4に印加する電圧
を制御することによって、ステージ1を」二下、水平、
傾斜の三方向に微動できる。
〈発明の効果〉
本発明は上記の如く、ステージ1に一対の可撓性支持片
2,2を配備し、両支持片2,2を圧電素子3,4を介
して固定部材5に支持し、両圧電素子3,4に印加する
゛直圧を制御することによって、ステージ1を上下、水
平、傾斜の三方向に微動するようにしたから、従来装置
に比較して構成、制御が簡易化し、且つ高速微動および
分解能の向上を実現できる。
2,2を配備し、両支持片2,2を圧電素子3,4を介
して固定部材5に支持し、両圧電素子3,4に印加する
゛直圧を制御することによって、ステージ1を上下、水
平、傾斜の三方向に微動するようにしたから、従来装置
に比較して構成、制御が簡易化し、且つ高速微動および
分解能の向上を実現できる。
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図は第1
図の縦断面図、第3図および第4図は作動状況を示す断
面図、第5図および第6図は従来例を示す断面図である
。 1・・・・・・ステージ 2・・・・・・可撓性支持片
3.4・・・・・・圧電素子 5・・・・・・固定部拐
芳6 面
図の縦断面図、第3図および第4図は作動状況を示す断
面図、第5図および第6図は従来例を示す断面図である
。 1・・・・・・ステージ 2・・・・・・可撓性支持片
3.4・・・・・・圧電素子 5・・・・・・固定部拐
芳6 面
Claims (1)
- ステージに一対の可撓性支持片を対向配備し、両支持片
は、夫々電圧印加により伸長、収縮する圧電素子を介し
て固定部利に支持して成る微動ステージ機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58162266A JPS6052230A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 微動ステ−ジ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58162266A JPS6052230A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 微動ステ−ジ機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6052230A true JPS6052230A (ja) | 1985-03-25 |
Family
ID=15751180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58162266A Pending JPS6052230A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 微動ステ−ジ機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6052230A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61265266A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | ワ−クレスト |
JPS6288008A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Hitachi Ltd | 多自由度空間微動機構 |
JPS62264543A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-11-17 | フォルシュングスツエントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 対象物の微小移動のための装置 |
JPS6395383A (ja) * | 1986-10-09 | 1988-04-26 | オムロン株式会社 | 微小位置決め装置 |
JPS63195589A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | 工業技術院長 | 微小位置決め機構 |
JPS63226709A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微細位置決め装置 |
JPS63305410A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-13 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微細位置決め装置 |
JPH0351371A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-05 | Yushiro Chem Ind Co Ltd | 繊維チーズ用処理剤組成物 |
WO1994025209A1 (de) * | 1993-04-21 | 1994-11-10 | Mahle Gmbh | Auslenkbare lagerung einer bohrstange an der arbeitsspindel einer feinbohrmaschine |
JP2008517251A (ja) * | 2004-10-09 | 2008-05-22 | フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 物体を分析または加工するためのナノマニピュレータ |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP58162266A patent/JPS6052230A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61265266A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | ワ−クレスト |
JPH0530593B2 (ja) * | 1985-05-20 | 1993-05-10 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | |
JPS6288008A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Hitachi Ltd | 多自由度空間微動機構 |
JPS62264543A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-11-17 | フォルシュングスツエントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 対象物の微小移動のための装置 |
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JP2008517251A (ja) * | 2004-10-09 | 2008-05-22 | フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 物体を分析または加工するためのナノマニピュレータ |
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