JPS6052070A - 同軸型レ−ザ発振器 - Google Patents
同軸型レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6052070A JPS6052070A JP16065583A JP16065583A JPS6052070A JP S6052070 A JPS6052070 A JP S6052070A JP 16065583 A JP16065583 A JP 16065583A JP 16065583 A JP16065583 A JP 16065583A JP S6052070 A JPS6052070 A JP S6052070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electrode
- auxiliary electrode
- medium gas
- discharge tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、同軸型レーザ発振器の放電管内における放
電特性の改良に関するものである。
電特性の改良に関するものである。
従来この種の同軸型レーザ発振器としては、第１図に示
すものがあった。第１図は従来の同軸型レーザ発振器の
構成を示す断面図である。図に示す様に、ガラス管等の
誘電体で構成される放電管１内にレーザ媒質ガス２を流
し、放電管１内に設けた１対の電極３Ａ、３Ｂ間には直
流高電圧電源４を接続してグロー放電５を生成し、この
グロー放電５によりレーザ媒質ガス２を励起する。また
、グロー放電５の中心軸上に全反射鏡６と部分透過鏡７
を対向して配設することによりレーザ発振を発生し、と
のレーザ発振を部分透過鏡７側よりレーザ光８として外
部に出力する。
すものがあった。第１図は従来の同軸型レーザ発振器の
構成を示す断面図である。図に示す様に、ガラス管等の
誘電体で構成される放電管１内にレーザ媒質ガス２を流
し、放電管１内に設けた１対の電極３Ａ、３Ｂ間には直
流高電圧電源４を接続してグロー放電５を生成し、この
グロー放電５によりレーザ媒質ガス２を励起する。また
、グロー放電５の中心軸上に全反射鏡６と部分透過鏡７
を対向して配設することによりレーザ発振を発生し、と
のレーザ発振を部分透過鏡７側よりレーザ光８として外
部に出力する。
従来の同軸型レーザ発振器は以上の様に構成されており
、１対の電極３Ａ 、３Ｂ間の間隔が比較的に離れてい
るため、上記したグロー放電５を初期に発生することは
非常に回船である。そして、グロー放電５による放電電
流が少ない時にはグロー放電５が不安定となり、時には
消失してしまうことがあり、このため、放電電流の可変
範囲が狭い等の欠点があった。また、直流高電圧電源４
は約２０〜３５ＫＶという非常に高い電圧であるため、
グロー放電５の放電電流を高速度で制御することは極め
て困難であるなどの欠点があった。
、１対の電極３Ａ 、３Ｂ間の間隔が比較的に離れてい
るため、上記したグロー放電５を初期に発生することは
非常に回船である。そして、グロー放電５による放電電
流が少ない時にはグロー放電５が不安定となり、時には
消失してしまうことがあり、このため、放電電流の可変
範囲が狭い等の欠点があった。また、直流高電圧電源４
は約２０〜３５ＫＶという非常に高い電圧であるため、
グロー放電５の放電電流を高速度で制御することは極め
て困難であるなどの欠点があった。
この発明け、上記の様な従来のものの欠点を改善する目
的でなされたもので、ガラス管等の誘電体で構成される
放電管内に、レーザ媒質ガスを流し、前記放電管内に設
けた１対の電極間に直流高電圧を印加し、グロー放電を
生成することにより前記レーザ媒質ガスを励起し、レー
ザ発振を行う同軸型レーザ発振器において、前記１対の
電極の少なくとも１つの電極の近傍で、かつ前記放電管
の外側に補助電極を設け、この補助電極と前記電極との
間に交流電圧を印加し、無声放電を生成する様にして成
る構成を有し、グロー放電の初期の発生を容易となし、
安定的に放電電流の可変範囲が広いグロー放電を生成す
ることができる同軸型レーザ発振器を提供するものであ
る。
的でなされたもので、ガラス管等の誘電体で構成される
放電管内に、レーザ媒質ガスを流し、前記放電管内に設
けた１対の電極間に直流高電圧を印加し、グロー放電を
生成することにより前記レーザ媒質ガスを励起し、レー
ザ発振を行う同軸型レーザ発振器において、前記１対の
電極の少なくとも１つの電極の近傍で、かつ前記放電管
の外側に補助電極を設け、この補助電極と前記電極との
間に交流電圧を印加し、無声放電を生成する様にして成
る構成を有し、グロー放電の初期の発生を容易となし、
安定的に放電電流の可変範囲が広いグロー放電を生成す
ることができる同軸型レーザ発振器を提供するものであ
る。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第２図はこの発明の一実施例である同軸型レーザ発振器
の構成を示す断面図で、第１図と同一部分は同一符号を
用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する。図に
示す様に、９は補助電極であり、この補助電極９は、１
対の電極３Ａ、３Ｂの少なくとも１つの電極、例えば放
電管１内を流れるレーザ媒質ガス２の流れの上流側にあ
る陰極側の電極３Ａの近傍で、放電管１の外側に密着し
て設けられる。陰極側の電極３Ａと補助電極９との間に
、交流電源１０より交流高電圧を印加することにより無
声放電１１を生成する。この無声放電１１は、レーザ媒
質ガス２を予備励起する作用がある。放電管１の−１：
流側において、無声放電１１により予備励起されたレー
ザ媒質ガス２は放電管１内を流れて陽極側の電極３Ｂに
到達する。グロー放電５け、予備励起されたレーザ媒質
ガス２内では放電電流が下り、グロー放電５の初期の発
生も容易であり、これにより、安定したグロー放電５が
得られる。また、グロー放電５の放電電流を少なくして
も、不安定になる電流はこの種の従来例のものに比べる
と約１７２〜１／３以下であり、広範囲にわたりグロー
放電５の放電電流を変化させることができる。補助電極
９を直流高電圧電源４の負極側、す々わち陰極側の電極
３Ａの近傍に設けることにより、無声放電１１によって
引き出された電子は、陽極側の電極３Ｂに容易に流れる
ことができ、そして、レーザ媒質ガス２の流れ方向が電
子の流れ方向と同一であれば、さらに容易に陽極側の電
極３Ｂに到達することができて、グロー放電５の放電を
安定化させ得る。
の構成を示す断面図で、第１図と同一部分は同一符号を
用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する。図に
示す様に、９は補助電極であり、この補助電極９は、１
対の電極３Ａ、３Ｂの少なくとも１つの電極、例えば放
電管１内を流れるレーザ媒質ガス２の流れの上流側にあ
る陰極側の電極３Ａの近傍で、放電管１の外側に密着し
て設けられる。陰極側の電極３Ａと補助電極９との間に
、交流電源１０より交流高電圧を印加することにより無
声放電１１を生成する。この無声放電１１は、レーザ媒
質ガス２を予備励起する作用がある。放電管１の−１：
流側において、無声放電１１により予備励起されたレー
ザ媒質ガス２は放電管１内を流れて陽極側の電極３Ｂに
到達する。グロー放電５け、予備励起されたレーザ媒質
ガス２内では放電電流が下り、グロー放電５の初期の発
生も容易であり、これにより、安定したグロー放電５が
得られる。また、グロー放電５の放電電流を少なくして
も、不安定になる電流はこの種の従来例のものに比べる
と約１７２〜１／３以下であり、広範囲にわたりグロー
放電５の放電電流を変化させることができる。補助電極
９を直流高電圧電源４の負極側、す々わち陰極側の電極
３Ａの近傍に設けることにより、無声放電１１によって
引き出された電子は、陽極側の電極３Ｂに容易に流れる
ことができ、そして、レーザ媒質ガス２の流れ方向が電
子の流れ方向と同一であれば、さらに容易に陽極側の電
極３Ｂに到達することができて、グロー放電５の放電を
安定化させ得る。
一方、交流電源１０が出力する無声放電１１の電流を、
第３図（ａ）に示す様に変調することにより、第３図の
）に示す様に、グロー放電５の放電電流を高速度で制御
することができ、また、第３図（Ｃ）に示す様に、レー
ザ光８の出力は、グロー放電５の強度に応じたパルスレ
ーザ出力とすることができる。
第３図（ａ）に示す様に変調することにより、第３図の
）に示す様に、グロー放電５の放電電流を高速度で制御
することができ、また、第３図（Ｃ）に示す様に、レー
ザ光８の出力は、グロー放電５の強度に応じたパルスレ
ーザ出力とすることができる。
また、上記実施例において、補助電極９を陰極側の電極
３Ａの近傍に設け、この電極３Ａと補助電極９との間に
交流電源１０により交流高電圧を印加し、無声放電１１
によって予備励起することにより、レーザ媒質ガス２の
圧力を高めることによっても安定なグロー放電５を維持
することができる。このため、同一の管長を有する放電
管１において、この発明の上記実施例によれば、大きな
放電電力を投入することができ、小型で大出力の同軸型
レーザ発振器を構成することが可能となる。
３Ａの近傍に設け、この電極３Ａと補助電極９との間に
交流電源１０により交流高電圧を印加し、無声放電１１
によって予備励起することにより、レーザ媒質ガス２の
圧力を高めることによっても安定なグロー放電５を維持
することができる。このため、同一の管長を有する放電
管１において、この発明の上記実施例によれば、大きな
放電電力を投入することができ、小型で大出力の同軸型
レーザ発振器を構成することが可能となる。
この発明は以上説明した様に、同軸型レーザ発振器にお
いて、放電管の外側に補助電極を設け、この補助電極と
１対の電極の少なくとも１つの電極との間に生成する無
声放電により、レーザ媒質ガスを予備励起する様に構成
したので、グロー放電の初期の発生を容易となし、安定
性をもって広範囲にグロー放電の放電電流を変化すると
とができ、また、無声放電の強度を変調することにより
、レーザ光出力の高速度の応答ができる様にした同軸型
レーザ発振器が得られるという優れた効果を奏するもの
である。
いて、放電管の外側に補助電極を設け、この補助電極と
１対の電極の少なくとも１つの電極との間に生成する無
声放電により、レーザ媒質ガスを予備励起する様に構成
したので、グロー放電の初期の発生を容易となし、安定
性をもって広範囲にグロー放電の放電電流を変化すると
とができ、また、無声放電の強度を変調することにより
、レーザ光出力の高速度の応答ができる様にした同軸型
レーザ発振器が得られるという優れた効果を奏するもの
である。
第１図は従来の同軸型レーザ発振器の構成を示す断面図
、第２図はこの発明の一実施例である同軸型レーザ発振
器の構成を示す断面図、第３図（ａ）ないしくｃ）は、
この発明の他の実施例である同軸型レーザ発振器の動作
態様を説明するための各部の波形を示すタイムチート図
である。 図において、１・・・放電管、２・・・レーザ媒質ガス
、３Ａ、３１１−・・・１対の電極、４・・・直流高電
圧電源、ｌ、β＼ ５・・・グロー放電、６・・・全反射鏡、７・・・部分
透過鏡、８・・・レーザ光、９・・・補助電極、１０・
・・交流電源、１１・・・無声放電である。 なｐ１各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄
、第２図はこの発明の一実施例である同軸型レーザ発振
器の構成を示す断面図、第３図（ａ）ないしくｃ）は、
この発明の他の実施例である同軸型レーザ発振器の動作
態様を説明するための各部の波形を示すタイムチート図
である。 図において、１・・・放電管、２・・・レーザ媒質ガス
、３Ａ、３１１−・・・１対の電極、４・・・直流高電
圧電源、ｌ、β＼ ５・・・グロー放電、６・・・全反射鏡、７・・・部分
透過鏡、８・・・レーザ光、９・・・補助電極、１０・
・・交流電源、１１・・・無声放電である。 なｐ１各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄
Claims (4)
- （１） ガラス管等の誘電体で構成される放電管内に、
レーザ媒質ガスを流し、前記放電管内に設けた１対の電
極間に直流高電圧を印加し、グロー放電を生成すること
により前記レーザ媒質ガスを励起し、レーザ発振を行う
同軸型レーザ発振器において、前記１対の電極の少なく
とも１つの電極の近傍で、かつ前記放電管の外側に補助
電極を設け、との補助電極と前記電極との間に交流電圧
を印加し、無声放電を生成する様にして成ることを特徴
とする同軸型レーザ発振器。 - （２）前記補助電極は、前記放電管内を流れるレーザ媒
質ガス流の上流側に設けることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の同軸型レーザ発振器。 - （３） 前記補助電極は、前記１対の電極の内、陰極側
の電極の近傍に設けることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の同軸型レーザ発振器。 - （４）前記無声放電は、その強度を変調することにより
、前記グロー放電の強度を制御することを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の同軸型レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16065583A JPS6052070A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 同軸型レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16065583A JPS6052070A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 同軸型レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052070A true JPS6052070A (ja) | 1985-03-23 |
Family
ID=15719626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16065583A Pending JPS6052070A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 同軸型レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052070A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183581A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 高速軸流ガスレ−ザ発振器 |
| US4754849A (en) * | 1986-09-29 | 1988-07-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Control system for elevator cage guide magnets |
| EP0294492A1 (en) * | 1986-12-23 | 1988-12-14 | Fanuc Ltd. | High-frequency discharge-excited laser unit |
-
1983
- 1983-09-01 JP JP16065583A patent/JPS6052070A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183581A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 高速軸流ガスレ−ザ発振器 |
| JPH0347753B2 (ja) * | 1986-02-07 | 1991-07-22 | Shimada Rika Kogyo Kk | |
| US4754849A (en) * | 1986-09-29 | 1988-07-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Control system for elevator cage guide magnets |
| EP0294492A1 (en) * | 1986-12-23 | 1988-12-14 | Fanuc Ltd. | High-frequency discharge-excited laser unit |
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