JPS6048376A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS6048376A JPS6048376A JP58156819A JP15681983A JPS6048376A JP S6048376 A JPS6048376 A JP S6048376A JP 58156819 A JP58156819 A JP 58156819A JP 15681983 A JP15681983 A JP 15681983A JP S6048376 A JPS6048376 A JP S6048376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- heating resistor
- thermal head
- impurity diffusion
- glaze
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は感熱記録紙上に画像を再生するサーマルヘッ
ドに関する。
ドに関する。
（従来技？１ＰＪ）
サーマルヘッドを用いた感熱記録方式は、無騒音、無臭
、取扱い容易な記録方式として種々の分野で応用が進め
られている。
、取扱い容易な記録方式として種々の分野で応用が進め
られている。
サーマルヘッドの発熱抵抗体部分のパターン例を第１図
に示す。蛇行した形状の複数個の発熱抵抗体１が互いに
平行に、かつサーマルヘッドの長手方向（図では縦方向
）に沿って配列され、各発熱抵抗体１の一端が共通の電
極２に接続され、かつ各発熱抵抗体１の他端がそれぞれ
に対応する電極３に接続さ′れている。
に示す。蛇行した形状の複数個の発熱抵抗体１が互いに
平行に、かつサーマルヘッドの長手方向（図では縦方向
）に沿って配列され、各発熱抵抗体１の一端が共通の電
極２に接続され、かつ各発熱抵抗体１の他端がそれぞれ
に対応する電極３に接続さ′れている。
ｔＩＳ１図のＡ Ａ ’線断面図の従来の一例を第２図
に示す。４はセラミック等からなる基板で、その基板上
面にグレーズ層６が形成され、このグレーズ層６上に窒
化タンタル層からなる発熱抵抗体パターン１が形成され
、その発熱抵抗体パターンの接続部上面に電極パターン
７が形成されている。
に示す。４はセラミック等からなる基板で、その基板上
面にグレーズ層６が形成され、このグレーズ層６上に窒
化タンタル層からなる発熱抵抗体パターン１が形成され
、その発熱抵抗体パターンの接続部上面に電極パターン
７が形成されている。
電極パターンはニクロム層７ａ、金層７ｂ及び金メッキ
層７ｃの多層構造を有する。
層７ｃの多層構造を有する。
８は発熱抵抗体の酸化による抵抗増加を防止するために
設けられｔこ二酸化ケイ素スパッタ膜からなる酸化防止
膜、９は感熱記録紙との摩擦から発熱抵抗体を保護する
ために設けられた五酸化タンタル層からなる耐摩耗層で
ある。
設けられｔこ二酸化ケイ素スパッタ膜からなる酸化防止
膜、９は感熱記録紙との摩擦から発熱抵抗体を保護する
ために設けられた五酸化タンタル層からなる耐摩耗層で
ある。
この種のサーマルヘッドにおいては、従来はグレーズ層
６の直上に発熱抵抗体１が形ｒｔｔされているために、
グレーズ層６内に含まれるアルカリ等の不純物が発熱抵
抗体１内に拡散し、この発熱抵抗体の劣化を促進し、そ
の信頼性を低下させるという問題かあった。この種の不
純物の拡散を防ぐために５酸化タンタル等の酸化物絶縁
層を発熱抵抗体とグレーズ層との開に設ける方法が提案
されている。しｈ化ながら５酸化タンタル等の酸化物絶
縁層膜には大量の酸素原子が含まれており、この酸素の
影響により、発熱駆動中の抵抗体１の酸化が促進され、
発熱抵抗体の信頼性か低下するという欠点があった。
６の直上に発熱抵抗体１が形ｒｔｔされているために、
グレーズ層６内に含まれるアルカリ等の不純物が発熱抵
抗体１内に拡散し、この発熱抵抗体の劣化を促進し、そ
の信頼性を低下させるという問題かあった。この種の不
純物の拡散を防ぐために５酸化タンタル等の酸化物絶縁
層を発熱抵抗体とグレーズ層との開に設ける方法が提案
されている。しｈ化ながら５酸化タンタル等の酸化物絶
縁層膜には大量の酸素原子が含まれており、この酸素の
影響により、発熱駆動中の抵抗体１の酸化が促進され、
発熱抵抗体の信頼性か低下するという欠点があった。
（目 的）
この発明は」二連の欠点を除くためになされたちのであ
って、グレーズ層からの不純物の拡散による発熱抵抗体
の劣化を有効に防止し、信頼性の高いサーマルヘッドを
提供することを目的とするものである。
って、グレーズ層からの不純物の拡散による発熱抵抗体
の劣化を有効に防止し、信頼性の高いサーマルヘッドを
提供することを目的とするものである。
（構 成）
以下にこの発明の一実施例を図面とともに説明する。な
お第１図と第２図における部分と均等な部分には同一の
符号をイ１１シた。
お第１図と第２図における部分と均等な部分には同一の
符号をイ１１シた。
第３図において、グレーズ層６の」二面には非酸化物材
料にてなる不純物拡散防止層１０がグレーズ層全面に亘
って形成される。不純物拡散防止層１０の非酸化物材料
としてはＳｉＣ，ＡＩＮ、Ｓｉ３凪。
料にてなる不純物拡散防止層１０がグレーズ層全面に亘
って形成される。不純物拡散防止層１０の非酸化物材料
としてはＳｉＣ，ＡＩＮ、Ｓｉ３凪。
ＢＮ等が用いられる。或いはこれらのうちの２以上の化
合物であってもよい。
合物であってもよい。
この不純物拡散防止層１０はたとえば′１００〜の厚さ
で、たとえばスパンタ法等により形成される。尚、この
実施例では不純物板ｒ１１防止層１０の非酸化物材料と
してＳ ｉ、Ｎ 、を用いた。
で、たとえばスパンタ法等により形成される。尚、この
実施例では不純物板ｒ１１防止層１０の非酸化物材料と
してＳ ｉ、Ｎ 、を用いた。
そして、この不純物拡散防止層」０」二に、公知の方法
で発熱抵抗体層１としてＴａ２Ｎ膜を形成し、さらに電
極層７を形成した後、７オトリソグラフ処理によって、
抵抗体および電極のパターンを形成する。さらに５ｉｎ
２にてなる酸化防止膜８、Ｔａ２０５にてなる耐摩耗層
９が形成される。
で発熱抵抗体層１としてＴａ２Ｎ膜を形成し、さらに電
極層７を形成した後、７オトリソグラフ処理によって、
抵抗体および電極のパターンを形成する。さらに５ｉｎ
２にてなる酸化防止膜８、Ｔａ２０５にてなる耐摩耗層
９が形成される。
上述の構成において、５ｉ＝Ｎ４を用いた不純物拡散防
止層１０によってグレーズ層６からの酸素、アルカリな
どの不純物の発熱抵抗体１への拡散が防止され、発熱抵
抗体１の劣化が防止される。
止層１０によってグレーズ層６からの酸素、アルカリな
どの不純物の発熱抵抗体１への拡散が防止され、発熱抵
抗体１の劣化が防止される。
第４図に上述の実施例のサーマルヘッドにおける、印加
パルス数に対する発熱抵抗体１の抵抗値Ｒの変化ΔＲ／
Ｒを示す。また第５図はグレーズ層６」〕にＴａ２０
５にてなる拡散防止層を設けたサーマルヘッドにおける
印加パルス数に対する発熱抵抗体の抵抗値Ｒの変化ΔＲ
／ Ｒを示す。
パルス数に対する発熱抵抗体１の抵抗値Ｒの変化ΔＲ／
Ｒを示す。また第５図はグレーズ層６」〕にＴａ２０
５にてなる拡散防止層を設けたサーマルヘッドにおける
印加パルス数に対する発熱抵抗体の抵抗値Ｒの変化ΔＲ
／ Ｒを示す。
両図の比較から判るように、この発明の実施例によれば
、印加パルス数の増加、即ち時間の経過に対する抵抗の
変化率ΔＲ／Ｒは、拡散防止層に１”ａ２０．を用いた
従来例に比して小さく、発熱抵抗体か安定して動作する
。
、印加パルス数の増加、即ち時間の経過に対する抵抗の
変化率ΔＲ／Ｒは、拡散防止層に１”ａ２０．を用いた
従来例に比して小さく、発熱抵抗体か安定して動作する
。
なお、この発明は上述の実施例に限らず、たとえば、グ
レーズ層６」二にＴａ２０５にてなる層を設けて、さら
にこのＴａ２０５層上にＳｉＣ等の非酸化物にてなる不
純物拡散防止層を設け、その上に発熱抵抗体層１を形成
することにより、酸素とアルカリの拡散をより効果的に
防止することができる。
レーズ層６」二にＴａ２０５にてなる層を設けて、さら
にこのＴａ２０５層上にＳｉＣ等の非酸化物にてなる不
純物拡散防止層を設け、その上に発熱抵抗体層１を形成
することにより、酸素とアルカリの拡散をより効果的に
防止することができる。
（効 果）
以上に詳述したように、この発明はグレーズ層」二に非
酸化物にてなる不純物拡散防止層を設け、この不純物拡
散防止層上に発熱抵抗体を形成したものであるか呟グレ
ーズ層からの発熱抵抗体への不純物の拡散を効果的に防
止することがでと、発熱抵抗体の抵抗値の変化や劣化を
防止しで、容易に信頼性を向上することかできる。
酸化物にてなる不純物拡散防止層を設け、この不純物拡
散防止層上に発熱抵抗体を形成したものであるか呟グレ
ーズ層からの発熱抵抗体への不純物の拡散を効果的に防
止することがでと、発熱抵抗体の抵抗値の変化や劣化を
防止しで、容易に信頼性を向上することかできる。
第１図はサーマルヘッドの一例を示す平面図、第２図は
第１図のＡ−Ａ’線断面図、第３図はこの発明め一実施
例を示す断面図、第４図は第３図の実施例のサーマルヘ
ッドの印加パルス数に対する抵抗値の変化率を示すグラ
フ、第５図はグレーズ層と発熱抵抗体との間に”Ｉ’
ａ ２０５層を設けた、従来のサーマルヘッドの印加パ
ルス数に対する抵抗値の変化率を示すグラフである。 １・・・・・・発熱抵抗体、４・・・・・基板、６・・
・・・・グレーズ層、７・・・・・・電極、１０・・・
・・・不純物拡散防止層。 特許出願人 株式会社 リ コ 一 代 理 人 弁理士青白 在外１名 第１図 第２１図 第４図 第５図 ＩＦ−” １０１ ＩＱ’
第１図のＡ−Ａ’線断面図、第３図はこの発明め一実施
例を示す断面図、第４図は第３図の実施例のサーマルヘ
ッドの印加パルス数に対する抵抗値の変化率を示すグラ
フ、第５図はグレーズ層と発熱抵抗体との間に”Ｉ’
ａ ２０５層を設けた、従来のサーマルヘッドの印加パ
ルス数に対する抵抗値の変化率を示すグラフである。 １・・・・・・発熱抵抗体、４・・・・・基板、６・・
・・・・グレーズ層、７・・・・・・電極、１０・・・
・・・不純物拡散防止層。 特許出願人 株式会社 リ コ 一 代 理 人 弁理士青白 在外１名 第１図 第２１図 第４図 第５図 ＩＦ−” １０１ ＩＱ’
Claims (3)
- （１）基板に設けたグレーズ層」二に発熱抵抗体を形成
したサーマルヘッドにおいて、グレーズ層と発熱抵抗体
との間に非酸化物にてなる不純物拡散防止層を形成した
ことを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）不純物拡散防止層に用いる非酸化物はｓｌＣ，Ａ
ＩＮ、Ｓｉ３Ｎ、、ＢＨのうちの１つである特許請求の
範囲第１項に記載のサーマルヘッド。 - （３） グレーズ層と非酸化物にてなる不純物拡散防止
層との間にＴａ２０５にてなる層を有する特許請求の範
囲＠１項に記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58156819A JPS6048376A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58156819A JPS6048376A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6048376A true JPS6048376A (ja) | 1985-03-16 |
Family
ID=15636029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58156819A Pending JPS6048376A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6048376A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63307964A (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-15 | Rohm Co Ltd | 厚膜サーマルヘッドの製造方法 |
| US4795887A (en) * | 1985-04-13 | 1989-01-03 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Thermal printhead with common electrode formed directly over glazing layer |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP58156819A patent/JPS6048376A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4795887A (en) * | 1985-04-13 | 1989-01-03 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Thermal printhead with common electrode formed directly over glazing layer |
| JPS63307964A (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-15 | Rohm Co Ltd | 厚膜サーマルヘッドの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6688951B2 (en) | Thermal head lapping apparatus | |
| JPS6048376A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS6046271A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPH02292058A (ja) | 厚膜型サーマルヘッド | |
| JPH11179948A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP4925537B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JP3652831B2 (ja) | 発熱装置およびその製造方法 | |
| JPH0737147B2 (ja) | サーマルヘッド及びその製造方法 | |
| JP2558500B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JP4131757B2 (ja) | 発熱抵抗体、サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2816207B2 (ja) | 厚膜型サーマルヘッド及びその製造方法 | |
| JP4925536B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH0577462A (ja) | サーマルヘツドとその製造方法 | |
| JPS6139195B2 (ja) | ||
| JP2551773B2 (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPH0143633B2 (ja) | ||
| JPH03136874A (ja) | サーマルヘッドとその製造方法 | |
| JPS63115765A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS63237964A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPH11129516A (ja) | サーマルヘッド及びその製造方法 | |
| JPS60227459A (ja) | 集積回路装置 | |
| JPH0269256A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH01178461A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH06106749A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH09104127A (ja) | サーマルヘッド |