JPS6040940Y2 - スル−スバルブ - Google Patents
スル−スバルブInfo
- Publication number
- JPS6040940Y2 JPS6040940Y2 JP15897080U JP15897080U JPS6040940Y2 JP S6040940 Y2 JPS6040940 Y2 JP S6040940Y2 JP 15897080 U JP15897080 U JP 15897080U JP 15897080 U JP15897080 U JP 15897080U JP S6040940 Y2 JPS6040940 Y2 JP S6040940Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- valve
- cavity
- piston
- valve body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Sliding Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は相互に連結された真空室間の真空を遮断するス
ルースバルブの改良に関する。
ルースバルブの改良に関する。
斯種バルブの従来装置としては弁体と弁座の位置まで移
動させ、次で斜面又はリンク機構等により弁体を弁座に
押しつけるようになした構造のものが広く使用されてい
る。
動させ、次で斜面又はリンク機構等により弁体を弁座に
押しつけるようになした構造のものが広く使用されてい
る。
しかし乍ら斯様な構造においては弁体の開閉動作をスム
ーズに行なうために、斜面又はリンク等の可動部分に潤
滑剤が必要となる。
ーズに行なうために、斜面又はリンク等の可動部分に潤
滑剤が必要となる。
そのため潤滑剤が真空室内に進入するので、超高真空且
つクリーンな真空を必要とする例えば電子顕微鏡や電子
線露光装置の如き真空装置には不向きである。
つクリーンな真空を必要とする例えば電子顕微鏡や電子
線露光装置の如き真空装置には不向きである。
本考案は斯様な点に鑑み、潤滑剤を真空室内に進入させ
ることなく可動部分を潤滑することのできるスルースバ
ルブを提供することを目的とするものである。
ることなく可動部分を潤滑することのできるスルースバ
ルブを提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本考案は弁座を備えた弁本
体と、該弁本体内におかれ且つ空洞を有した移動体と、
該空洞内に気密を保った状態で移動可能に収納された弁
体と、一端が前記空洞内に位置する様に前記移動体を気
密を保って移動可能に貫通した軸と、該軸を常に前記移
動体から外す方向に押圧するための弾性体と、該弾性体
により押圧された軸が前記移動体から外れるのを防止す
るためのストッパーと、前記軸の他端に連結されたピス
トンと、該ピストンを収納するシリンダーと、該シリン
ダー内に導入する圧力流体に潤滑剤を混入するための手
段と、前記移動体の空洞内に組み込まれ且つ移動体が弁
座の位置まで移動したとき前記軸の移動に関連して弁体
を弁座に押圧させるための駆動手段とを備え、前記ピス
トンによって形威される2つのシリンダーの室の内ピス
トンを弁座方向に移動させる側のシリンダーの室と前記
移動体の空洞とを連通させるための通路を前記軸に形威
したことを特徴とする。
体と、該弁本体内におかれ且つ空洞を有した移動体と、
該空洞内に気密を保った状態で移動可能に収納された弁
体と、一端が前記空洞内に位置する様に前記移動体を気
密を保って移動可能に貫通した軸と、該軸を常に前記移
動体から外す方向に押圧するための弾性体と、該弾性体
により押圧された軸が前記移動体から外れるのを防止す
るためのストッパーと、前記軸の他端に連結されたピス
トンと、該ピストンを収納するシリンダーと、該シリン
ダー内に導入する圧力流体に潤滑剤を混入するための手
段と、前記移動体の空洞内に組み込まれ且つ移動体が弁
座の位置まで移動したとき前記軸の移動に関連して弁体
を弁座に押圧させるための駆動手段とを備え、前記ピス
トンによって形威される2つのシリンダーの室の内ピス
トンを弁座方向に移動させる側のシリンダーの室と前記
移動体の空洞とを連通させるための通路を前記軸に形威
したことを特徴とする。
以下図面に基づき詳説する。
第1図は本考案の一実施例を示す断面図であり、1は弁
本体である。
本体である。
該弁本体1は二つの真空室2と3との間に設置され、又
両頁空室2と3とを連通ずるための穴4及び5が形威し
である。
両頁空室2と3とを連通ずるための穴4及び5が形威し
である。
6は該弁本体1内におかれた移動体で、上方から円形の
穴が穿たれ空洞7を形成しており、又下部には4個のロ
ーラ8a、8b、8c、8d (8c及び8dは図示せ
ず)が回転可能に取り付けられている。
穴が穿たれ空洞7を形成しており、又下部には4個のロ
ーラ8a、8b、8c、8d (8c及び8dは図示せ
ず)が回転可能に取り付けられている。
9は前記穴4を塞ぐためのOリングバッキング10を備
えた弁体で、下部に円筒状の突出部11が形成してあり
、該突出部11が前記移動体6の空洞7内に上下動可能
に嵌合されている。
えた弁体で、下部に円筒状の突出部11が形成してあり
、該突出部11が前記移動体6の空洞7内に上下動可能
に嵌合されている。
又該弁体9と移動体6との間にはベローズ12が設けて
あって、弁本体1内と移動体6の空洞7内とが遮断され
ている。
あって、弁本体1内と移動体6の空洞7内とが遮断され
ている。
13は前記移動体6を移動させるための軸で、該軸13
の一端は移動体6を貫通して空洞7内に挿入され且つ先
端が空洞7の内壁に形成した凹部14内に嵌合されてい
る。
の一端は移動体6を貫通して空洞7内に挿入され且つ先
端が空洞7の内壁に形成した凹部14内に嵌合されてい
る。
尚前記弁体9の突出部11の軸13が交叉する部分には
切欠が設けである。
切欠が設けである。
前記空洞7内におかれた軸13には筒状のカム15が移
動可能にはめこまれており、該カムの外周にはテーパー
面16aを挾んで二つの摺動面16b及び16cが形成
しである。
動可能にはめこまれており、該カムの外周にはテーパー
面16aを挾んで二つの摺動面16b及び16cが形成
しである。
又これらの摺動面には前記弁体9の突出部11内壁にピ
ン17を介して回転可能に取り付けられたローラ18が
当接されている。
ン17を介して回転可能に取り付けられたローラ18が
当接されている。
尚図示はしないが該ローラ18とカム15との接触を常
に維持するためにスプリングにより弁体9は下方向に引
張られている。
に維持するためにスプリングにより弁体9は下方向に引
張られている。
又該カム15は軸13に固定されたストッパー19によ
って移動が阻止されている。
って移動が阻止されている。
20は前記移動体6の空洞7内の軸13に巻装されたス
プリングで、該スプリングはカム15及びストッパー1
9を介して軸13を矢印A方向つまり軸13を移動体6
からはずす方向に押圧するためのものである。
プリングで、該スプリングはカム15及びストッパー1
9を介して軸13を矢印A方向つまり軸13を移動体6
からはずす方向に押圧するためのものである。
21a及び21bは移動体6に固定された軸13のスベ
リ軸受である。
リ軸受である。
一方前記軸13の他端は前記弁本体1に固定されたシリ
ンダー22の側壁を気密を保って貫通し、シリンダー2
2内に摺動可能に収納されたピストン23に連結されて
いる。
ンダー22の側壁を気密を保って貫通し、シリンダー2
2内に摺動可能に収納されたピストン23に連結されて
いる。
該ピストン23を挾んでシリンダーの両側の室22a及
び22bは夫々パイプ24a、24b、四方口電磁弁2
5及びパイプ26を介してコンプレッサー27に接続さ
れている。
び22bは夫々パイプ24a、24b、四方口電磁弁2
5及びパイプ26を介してコンプレッサー27に接続さ
れている。
該コンプレッサー27と電磁弁25との間には霧化器2
8が設けてあり、該霧化器28はタンク29内の潤滑剤
を霧化した状態でコンプレッサー27からの圧搾空気中
に混入させるためのものである。
8が設けてあり、該霧化器28はタンク29内の潤滑剤
を霧化した状態でコンプレッサー27からの圧搾空気中
に混入させるためのものである。
30は前記弁本体1内に露出した軸13の外周を包囲す
るようにおかれたベローズで、一端は移動体6の軸13
の貫通縁部に固定され、又他端はシリンダー22側壁の
軸13の貫通縁部に固定されている。
るようにおかれたベローズで、一端は移動体6の軸13
の貫通縁部に固定され、又他端はシリンダー22側壁の
軸13の貫通縁部に固定されている。
31は前記軸13に形成した連通穴で、シリンダーの室
22a内に導入された圧搾空気を移動体6の空洞7.凹
部14及びベローズ30内に夫々溝びくための役目を果
す。
22a内に導入された圧搾空気を移動体6の空洞7.凹
部14及びベローズ30内に夫々溝びくための役目を果
す。
斯かる装置における動作を次に説明する。
先ず第1図の状態では電磁弁25はオフの状態(即ち電
流が供給されていない)で、シリンダー22の室22b
内に圧搾空気が導入され、ピストン23が最右端に位置
していて弁体9が弁座32(穴4.5)の位置から離れ
(この状態を開放と称す)、真空室4と5は連通されて
いる。
流が供給されていない)で、シリンダー22の室22b
内に圧搾空気が導入され、ピストン23が最右端に位置
していて弁体9が弁座32(穴4.5)の位置から離れ
(この状態を開放と称す)、真空室4と5は連通されて
いる。
この状態において電磁弁25に電流を供給してオン状態
にするとパイプ26とパイプ24aとが接続され、シリ
ンダー22の室22a内に圧搾空気が導入(このときパ
イプ24bは大気中に開放されるため、シリンダーの室
22b内の圧搾空気は大気に放出される)されるため、
ピストン23は第1図中左方(矢印Aとは逆の方向)に
移動し、軸13を介して移動体6も同方向に移動する。
にするとパイプ26とパイプ24aとが接続され、シリ
ンダー22の室22a内に圧搾空気が導入(このときパ
イプ24bは大気中に開放されるため、シリンダーの室
22b内の圧搾空気は大気に放出される)されるため、
ピストン23は第1図中左方(矢印Aとは逆の方向)に
移動し、軸13を介して移動体6も同方向に移動する。
この動きが更に進んで移動体6(弁体9)が弁座32の
位置まで移動するストッパー33に突き当たり、移動体
6はその前進が阻止されて停止するが、ピストン23に
一体化されている軸13及びカム15はスプリング20
の抗力に反して更に移動する。
位置まで移動するストッパー33に突き当たり、移動体
6はその前進が阻止されて停止するが、ピストン23に
一体化されている軸13及びカム15はスプリング20
の抗力に反して更に移動する。
これによりローラ18がカム15のテーパー面16aに
より押し上げられるため、第2図にその状態を示すよう
に弁体9は弁座32に押圧され(この状態を閉鎖と称す
)、真空室4と5を遮断する。
より押し上げられるため、第2図にその状態を示すよう
に弁体9は弁座32に押圧され(この状態を閉鎖と称す
)、真空室4と5を遮断する。
しかしてローラ18がカム15の摺動面16C上に位置
するとピストン23の移動は停止する。
するとピストン23の移動は停止する。
次は第2図の状態において電磁弁25への通電を停止す
ると再びパイプ26と24bとが接続され、シリンダー
22の室22b内に圧搾空気が導入(このときシリンダ
ーの室22aはパイプ24aを介して大気に接続される
)されるため、ピストン23が第1図中左方A方向に移
動する。
ると再びパイプ26と24bとが接続され、シリンダー
22の室22b内に圧搾空気が導入(このときシリンダ
ーの室22aはパイプ24aを介して大気に接続される
)されるため、ピストン23が第1図中左方A方向に移
動する。
このピストンの移動により先ず軸13とカム15が矢印
A方向に移動するため、ローラ18がテーパー面16a
に沿って下降し、弁体9が弁座32から離れる。
A方向に移動するため、ローラ18がテーパー面16a
に沿って下降し、弁体9が弁座32から離れる。
しかして該弁体9が弁座から離れた後、軸13に設けた
ストッパー19が移動体6に当接するため、軸13を介
して移動体6はピストン23と一体に移動し、第1図で
示す状態に復帰して真空室2と3は連通される。
ストッパー19が移動体6に当接するため、軸13を介
して移動体6はピストン23と一体に移動し、第1図で
示す状態に復帰して真空室2と3は連通される。
ところで本考案装置においては移動体6の空洞7内はベ
ローズ12及び30により弁本体1内と遮断されており
、しかも軸13に設けた連通穴31によりシリンダー2
2の室22a内と連通されているため、弁体9の開閉動
作によって生ずる空洞7内の容積変化によりシリンダー
の室22aの圧搾空気が導入される。
ローズ12及び30により弁本体1内と遮断されており
、しかも軸13に設けた連通穴31によりシリンダー2
2の室22a内と連通されているため、弁体9の開閉動
作によって生ずる空洞7内の容積変化によりシリンダー
の室22aの圧搾空気が導入される。
つまり弁体9を閉じるために移動体6を第1図の状態か
ら弁座32の位置(第2図の状態)まで移動させるとベ
ローズ30が伸長してその容積が増大するので、このベ
ローズ30内に連通穴31及び横穴31aを介してシリ
ンダーの室22aの圧搾空気が導入される。
ら弁座32の位置(第2図の状態)まで移動させるとベ
ローズ30が伸長してその容積が増大するので、このベ
ローズ30内に連通穴31及び横穴31aを介してシリ
ンダーの室22aの圧搾空気が導入される。
更にカム15によって弁体9が弁座32に向けて押し上
げられるとベローズ12即ち移動体6の空洞7内の容積
が増大するため、この空洞内に連通穴31及び横穴31
bを介してシリンダーの室22a内の圧搾空気が導入さ
れる。
げられるとベローズ12即ち移動体6の空洞7内の容積
が増大するため、この空洞内に連通穴31及び横穴31
bを介してシリンダーの室22a内の圧搾空気が導入さ
れる。
このときこの圧搾空気には霧化器28により潤滑剤が霧
化した状態で混入されているため、移動体6及びベロー
ズ30内に露出した軸13やカム15及びローラ18の
表面は潤滑剤でぬらされる。
化した状態で混入されているため、移動体6及びベロー
ズ30内に露出した軸13やカム15及びローラ18の
表面は潤滑剤でぬらされる。
これにより移動体6に対する弁体9及び軸13の移動を
なめらかに行なわせることができる。
なめらかに行なわせることができる。
しかして弁体9を開放するために移動体6を第2図の状
態から第1図の状態に復帰させると空洞7及びベローズ
30内の容積は減少するので、この空洞7及びベローズ
30内の圧搾空気は連通穴31.横穴31a及び31b
を介して大気中に放出される。
態から第1図の状態に復帰させると空洞7及びベローズ
30内の容積は減少するので、この空洞7及びベローズ
30内の圧搾空気は連通穴31.横穴31a及び31b
を介して大気中に放出される。
以上の如き構成となすことにより潤滑剤を真空室内に進
入させることなく弁体を弁座に押圧させるための駆動機
構部分を潤滑させることができる。
入させることなく弁体を弁座に押圧させるための駆動機
構部分を潤滑させることができる。
又潤滑剤の供給にあたっては弁体の開閉動作時に生ずる
容積変化を利用しているため、バルブを分解する必要が
なくなり、実用性大である。
容積変化を利用しているため、バルブを分解する必要が
なくなり、実用性大である。
尚前述の実施例では弁体9を弁座32に押し付ける駆動
機構としてテーパー面を有したカム15を利用したが、
リンク機構等の既知の駆動機構を利用してもよい。
機構としてテーパー面を有したカム15を利用したが、
リンク機構等の既知の駆動機構を利用してもよい。
又、軸13の移動体6への貫通部分をシールするための
ベローズ30は移動体6とシリンダー22の側壁とに夫
々固定したが、シリンダー22に固定する代わりに軸1
3に固定してもよい。
ベローズ30は移動体6とシリンダー22の側壁とに夫
々固定したが、シリンダー22に固定する代わりに軸1
3に固定してもよい。
更にベローズ12及び30に代えてOリングバッキング
を使用することも可能である。
を使用することも可能である。
但しこの場合ベローズのように潤滑剤の真空室への進入
を完全に防止することができない。
を完全に防止することができない。
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2図は動作
を説明する断面図である。 1:弁本体、2及び3:真空室、4及び5:穴、6:移
動体、7:空洞、9:弁体、10:Oリングバッキング
、11:突出部、12:ベローズ、13:軸、15:カ
ム、16a:テーパー面、16b及び16c:摺動面、
18:ローラ、19:ストッパー、20ニスプリング、
22ニジリンダ−123:ピストン、24a、24b及
び26:パイプ、25:’[磁弁、27:コンプレッサ
ー 28:霧化器、29:タンク、30:べローズ、3
1:連通穴。
を説明する断面図である。 1:弁本体、2及び3:真空室、4及び5:穴、6:移
動体、7:空洞、9:弁体、10:Oリングバッキング
、11:突出部、12:ベローズ、13:軸、15:カ
ム、16a:テーパー面、16b及び16c:摺動面、
18:ローラ、19:ストッパー、20ニスプリング、
22ニジリンダ−123:ピストン、24a、24b及
び26:パイプ、25:’[磁弁、27:コンプレッサ
ー 28:霧化器、29:タンク、30:べローズ、3
1:連通穴。
Claims (1)
- 弁座を備えた弁本体と、該弁本体内におかれ且つ空洞を
有した移動体と、該空洞内に気密を保った状態で移動可
能に収納された弁体と、一端が前記空洞内に位置する様
に前記移動体を気密を保って移動可能に貫通した軸と、
該軸を常に前記移動体から外す方向に押圧するための弾
性体と、該弾性体により押圧された軸が前記移動体から
外れるのを防止するためのストッパーと、前記軸の他端
に連結されたピストンと、該ピストンを収納するシリン
ダーと、該シリンダー内に導入する圧力流体に潤滑剤を
混入するための手段と、前記移動体の空洞内に組み込ま
れ且つ移動体が弁座の位置まで移動したとき前記軸の移
動に関連して弁体を弁座に押圧させるための駆動手段と
を備え、前記ピストンによつ”@’:PFIM4”シリ
ンダーの室の内ピストン せる側のシ
リンダーの室と前記移動体の空洞とを連通させるための
通路を前記軸に形成してなるスルースバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15897080U JPS6040940Y2 (ja) | 1980-11-06 | 1980-11-06 | スル−スバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15897080U JPS6040940Y2 (ja) | 1980-11-06 | 1980-11-06 | スル−スバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5780767U JPS5780767U (ja) | 1982-05-19 |
JPS6040940Y2 true JPS6040940Y2 (ja) | 1985-12-11 |
Family
ID=29518010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15897080U Expired JPS6040940Y2 (ja) | 1980-11-06 | 1980-11-06 | スル−スバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6040940Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009109006A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-05-21 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
-
1980
- 1980-11-06 JP JP15897080U patent/JPS6040940Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5780767U (ja) | 1982-05-19 |
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