JPS6035528A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPS6035528A JPS6035528A JP58143867A JP14386783A JPS6035528A JP S6035528 A JPS6035528 A JP S6035528A JP 58143867 A JP58143867 A JP 58143867A JP 14386783 A JP14386783 A JP 14386783A JP S6035528 A JPS6035528 A JP S6035528A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- terminal
- electronic component
- pressure piece
- contact
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、検査技術、特に、半導体装置等の電子部品（
以下、ＩＣという。）の外部リードを測定等用の端子に
加圧接触させる技術に関し、たとえば、フラットバンク
パンケージ（以下、ＰＰＰという。）型ＩＣについての
オートハンドラに利用して有効な技術に関する。
以下、ＩＣという。）の外部リードを測定等用の端子に
加圧接触させる技術に関し、たとえば、フラットバンク
パンケージ（以下、ＰＰＰという。）型ＩＣについての
オートハンドラに利用して有効な技術に関する。
［背景技術］
ＦＰＰ型ＩＣについての選別検査が自動的に実施できる
オートハンドラの開発が要望されている。
オートハンドラの開発が要望されている。
ＦＰＰ型ＩＣにおいては、外部リードがパンケージから
四方にアキシャルに突出しているため、外部リードを押
して端子に直角に当てがい、かつ加圧駒により外部リー
ドを反側から押して端子に加圧接触させる必要があり、
また、接触不良が発生し易いため、接触不良に対処する
必要があるという課題が、本発明者によって明らかにさ
れた。
四方にアキシャルに突出しているため、外部リードを押
して端子に直角に当てがい、かつ加圧駒により外部リー
ドを反側から押して端子に加圧接触させる必要があり、
また、接触不良が発生し易いため、接触不良に対処する
必要があるという課題が、本発明者によって明らかにさ
れた。
［発明の目的］
本発明の目的は、リードを押して端子に加圧接触するこ
とができるとともに、接触不良に対処することができる
検査技術を提供することにある。
とができるとともに、接触不良に対処することができる
検査技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、リードを押して端子に接触させる加圧駒を２
段往復動するように設けるとともに、ＩＣ受は部材を加
圧駒に連動させて設け、また、ＩＣの姿勢を検出する手
段を設けることにより、ストロークの１段目においてリ
ードと端子とを予備接触させ、この状態で姿勢良が検出
されたときに、２段目のストロークを実行させて本加圧
接触させることができるようにしたものである。
段往復動するように設けるとともに、ＩＣ受は部材を加
圧駒に連動させて設け、また、ＩＣの姿勢を検出する手
段を設けることにより、ストロークの１段目においてリ
ードと端子とを予備接触させ、この状態で姿勢良が検出
されたときに、２段目のストロークを実行させて本加圧
接触させることができるようにしたものである。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例であるＦＰＰ型ＩＣオートハ
ンドラを示す縦断面図、第２図はその作動状態を示す縦
断面図、第３図は第２図ｍ−ｍ線に沿う平断面図、第４
図は第３図ＩＶ −ＩＶ線に沿う縦断面図、第５図は別
の作動状態を示す縦断面図である。
ンドラを示す縦断面図、第２図はその作動状態を示す縦
断面図、第３図は第２図ｍ−ｍ線に沿う平断面図、第４
図は第３図ＩＶ −ＩＶ線に沿う縦断面図、第５図は別
の作動状態を示す縦断面図である。
本実施例において、選別検査の対象となる電子部品とし
てのＩＣＩは、正方形の平盤に形成されたＰＰＰ２を備
えており、このＦＰＰ２の４つの側面にはり−ド３が複
数本ずつ四方にアキシャルにそれぞれ突設されている。
てのＩＣＩは、正方形の平盤に形成されたＰＰＰ２を備
えており、このＦＰＰ２の４つの側面にはり−ド３が複
数本ずつ四方にアキシャルにそれぞれ突設されている。
リード３は中間部においてジグザグ形状に折曲され、通
常、折曲された方向が下側になる。
常、折曲された方向が下側になる。
このハンドラは水平に据え付けられたソケット４を備え
ており、ソケット４の中央部にはＩ（１を収容可能な空
所５が形成されている。空所５の底部６には複数本の端
子７が前記ＩＣＩのり一ド３に対応するように４辺に配
列されて立設されており、端子７は選別検査を実施する
テスタ（図示せず。）に接続されている。なお、図示は
省略するが、各端子７はガイド溝に嵌入され横倒れを防
止されている。
ており、ソケット４の中央部にはＩ（１を収容可能な空
所５が形成されている。空所５の底部６には複数本の端
子７が前記ＩＣＩのり一ド３に対応するように４辺に配
列されて立設されており、端子７は選別検査を実施する
テスタ（図示せず。）に接続されている。なお、図示は
省略するが、各端子７はガイド溝に嵌入され横倒れを防
止されている。
ソケット４の空所５の中心線上にはロッド８が中心線方
向（以下、上下方向とする。）に上下動自在に配設され
、このロッド８の上端には、ＩＣ１のＦＰＰ２を載置状
態に受ける受け部材９が水平に固着されている。ロッド
８の下端には横部材１０が水平に固着され、横部材ｌＯ
の両端部には複数本のガイドロッド１１が垂直に立設さ
れている。ガイドロッド１１はソケット４に垂直に穿設
されたガイド孔１２に摺動自在に挿通され、ソケット上
面との間に挟設された第１スプリング１３により常時」
ニガに付勢されている。
向（以下、上下方向とする。）に上下動自在に配設され
、このロッド８の上端には、ＩＣ１のＦＰＰ２を載置状
態に受ける受け部材９が水平に固着されている。ロッド
８の下端には横部材１０が水平に固着され、横部材ｌＯ
の両端部には複数本のガイドロッド１１が垂直に立設さ
れている。ガイドロッド１１はソケット４に垂直に穿設
されたガイド孔１２に摺動自在に挿通され、ソケット上
面との間に挟設された第１スプリング１３により常時」
ニガに付勢されている。
ソケット４の上方には、長ストロークを有する第１シリ
ンダ装置１４が垂直に設備され、そのピストンロッド１
４ａの下端には、短ストロークを有する第２シリンダ装
置１５が同軸的に吊持されている。第２シリンダ１５の
ピストンロッド１５ａの下端には加圧駒１６が固着され
、加圧駒１６の下面にはリード押さえ１７が周辺部に突
設されている。加圧駒１６の下面中央には、加熱手段と
してのヒータ１８が段番ノられ、ヒータ１８はＩＣ１の
ＦＰＰ２を所定温度に加熱し得るように構成されている
。加圧駒１６の側部には、複数本のブツシュロッド１９
が前記ガイドロッド１１にそれぞれ対向するように配さ
れて上下動自在に吊持されている。ブツシュロッド１９
には第２スプリング２０が品時下方に付勢するように外
装されており、第２スプリング２０の強さは前記第１ス
プリング１３のそれよりも強くなるように設定されてい
る。
ンダ装置１４が垂直に設備され、そのピストンロッド１
４ａの下端には、短ストロークを有する第２シリンダ装
置１５が同軸的に吊持されている。第２シリンダ１５の
ピストンロッド１５ａの下端には加圧駒１６が固着され
、加圧駒１６の下面にはリード押さえ１７が周辺部に突
設されている。加圧駒１６の下面中央には、加熱手段と
してのヒータ１８が段番ノられ、ヒータ１８はＩＣ１の
ＦＰＰ２を所定温度に加熱し得るように構成されている
。加圧駒１６の側部には、複数本のブツシュロッド１９
が前記ガイドロッド１１にそれぞれ対向するように配さ
れて上下動自在に吊持されている。ブツシュロッド１９
には第２スプリング２０が品時下方に付勢するように外
装されており、第２スプリング２０の強さは前記第１ス
プリング１３のそれよりも強くなるように設定されてい
る。
端子７群の上端付近を通る水平面内には、ＩＣＩの上下
方向（Ｚ方向）の姿勢を検出するための姿勢検出装置２
１が設けられている。この装置２■は３組の投光器（発
光ダイオード等）と受光器（ホトセンザ等）２２ｘと２
３ｘ、２２ｙと２３ｙ、２２ｄと２３ｄを備えており、
各組の投光器 ゛と受光器は、端子７群の上端付近を通
る水平面内におけるソケット４のＸ軸線、ＹｉＩＩＪ線
および対角線に沿って穿設された３組の透孔２４Ｘ、２
４ｙおよび２４ｄを通して対向するようにソケット４の
外方にそれぞれ配設されている。
方向（Ｚ方向）の姿勢を検出するための姿勢検出装置２
１が設けられている。この装置２■は３組の投光器（発
光ダイオード等）と受光器（ホトセンザ等）２２ｘと２
３ｘ、２２ｙと２３ｙ、２２ｄと２３ｄを備えており、
各組の投光器 ゛と受光器は、端子７群の上端付近を通
る水平面内におけるソケット４のＸ軸線、ＹｉＩＩＪ線
および対角線に沿って穿設された３組の透孔２４Ｘ、２
４ｙおよび２４ｄを通して対向するようにソケット４の
外方にそれぞれ配設されている。
ソケット４の残りの対角線上には、ＩＣＩの回転方向（
θ方向）の位置を決めるための位置決め装置２５が設け
られている。この位置決め装置は、一対の修正駒２６を
備えており、両駒２６はソヶノｌ−４の所定高さにおけ
る対角線上に穿設された一対のガイド２７に摺動自在に
それぞれ嵌合されている。修正駒２６の内側先端には位
置決め溝２８がＩｃＩのＦＰＰ２の角部に整合するよう
に直角の■溝形状に切設されている。修正駒２６とガイ
ド２７との間にはリターンスプリング２９が修正駒を外
方へ常時付勢するように介設されている。
θ方向）の位置を決めるための位置決め装置２５が設け
られている。この位置決め装置は、一対の修正駒２６を
備えており、両駒２６はソヶノｌ−４の所定高さにおけ
る対角線上に穿設された一対のガイド２７に摺動自在に
それぞれ嵌合されている。修正駒２６の内側先端には位
置決め溝２８がＩｃＩのＦＰＰ２の角部に整合するよう
に直角の■溝形状に切設されている。修正駒２６とガイ
ド２７との間にはリターンスプリング２９が修正駒を外
方へ常時付勢するように介設されている。
修正駒２６の上面には従動側方向変換部材３゜が固定的
に立設され、この部材３ｏの上端には伸斜面が１１１記
加圧駒１６に下向きに突設された原動側方向変換部材３
１の下端に慴接するように形成され、これにより、修正
駒２６は内方向に押し出されるようになっている。
に立設され、この部材３ｏの上端には伸斜面が１１１記
加圧駒１６に下向きに突設された原動側方向変換部材３
１の下端に慴接するように形成され、これにより、修正
駒２６は内方向に押し出されるようになっている。
次に作用を説明する。
ＩＣＩが移送装置３２によってソケット４の真上に搬入
されるとき、第１図に示されるように、受は部材９はガ
イドロッド１１を第１スプリング１３によって押し上げ
られることによりＩＣ１１１人位置まで持ち上げられて
いる。移動装置３２の保持が解除されると、ＩＣＩは受
け部材９上に静粛に受け渡される。
されるとき、第１図に示されるように、受は部材９はガ
イドロッド１１を第１スプリング１３によって押し上げ
られることによりＩＣ１１１人位置まで持ち上げられて
いる。移動装置３２の保持が解除されると、ＩＣＩは受
け部材９上に静粛に受け渡される。
ＩＣＩが受け渡されると、第２図に示されるように、第
１シリンダ装置１４が伸長動作されて加圧駒１６が第１
段下降される。この下降により、加圧駒１６のブツシュ
ロッド１９がガイドロッド１１に突合し、第１スプリン
グ１３が第２スプリング２０より弱く設定されているた
め、ガイドロッド１１は押し下げられる。これに伴って
、ガイドロッド１１に一体となった受け部材９は所定位
置まで第１段下降される。この第１段下降により、受は
部材９に受けられたＩＣＩのり一部３はソケット４にお
ける端子７に軽く予備接触する状態になる。
１シリンダ装置１４が伸長動作されて加圧駒１６が第１
段下降される。この下降により、加圧駒１６のブツシュ
ロッド１９がガイドロッド１１に突合し、第１スプリン
グ１３が第２スプリング２０より弱く設定されているた
め、ガイドロッド１１は押し下げられる。これに伴って
、ガイドロッド１１に一体となった受け部材９は所定位
置まで第１段下降される。この第１段下降により、受は
部材９に受けられたＩＣＩのり一部３はソケット４にお
ける端子７に軽く予備接触する状態になる。
一方、第３図、第４図に示されるように、加圧駒１６の
第１段下降に伴ない、原動側方向変換部材３１および従
動側方向変換部材３０の働きにより、一対の修正駒２６
は内方向に互いに等しい設定距離だけ摺動され、ＩＣの
ＦＰＰ２の対角に対向力を軽く付勢する。このとき、修
正駒２６の位置決め溝２８がＰＰＰ２Ｏ対角にそれぞれ
整合するため、受は部材９に載置されたＩＣＩはθ方向
の位Ｗ（姿勢）を正しく決められることになる。
第１段下降に伴ない、原動側方向変換部材３１および従
動側方向変換部材３０の働きにより、一対の修正駒２６
は内方向に互いに等しい設定距離だけ摺動され、ＩＣの
ＦＰＰ２の対角に対向力を軽く付勢する。このとき、修
正駒２６の位置決め溝２８がＰＰＰ２Ｏ対角にそれぞれ
整合するため、受は部材９に載置されたＩＣＩはθ方向
の位Ｗ（姿勢）を正しく決められることになる。
前記ＩＣリード３の端子７への接触状態において、片寄
りがあると、ＩＣＩは高さ方向において１頃斜する。こ
のように、ＩＣＩが高さ方向に傾斜すると、Ｘ、Ｙ軸線
および対角線上の３組の投光器２２ｘ、２２Ｆ、２２ｄ
における投光のうち少なくとも１つがＩＣＩの一部によ
って遮蔽されることになるため、３組の受光器２３ｘ、
２３ｙ、２３ｄのうち少なくとも１つにおいて受光が検
出されないことになる。かかる非受光状態が検出された
場合にはＩＣＩが傾斜し、リード３と端子７との接触に
不良があると判定される。
りがあると、ＩＣＩは高さ方向において１頃斜する。こ
のように、ＩＣＩが高さ方向に傾斜すると、Ｘ、Ｙ軸線
および対角線上の３組の投光器２２ｘ、２２Ｆ、２２ｄ
における投光のうち少なくとも１つがＩＣＩの一部によ
って遮蔽されることになるため、３組の受光器２３ｘ、
２３ｙ、２３ｄのうち少なくとも１つにおいて受光が検
出されないことになる。かかる非受光状態が検出された
場合にはＩＣＩが傾斜し、リード３と端子７との接触に
不良があると判定される。
この接触不良の検出により、第１シリンダ装置１４が一
度短縮動作された後、再度伸長動作される。この往復動
により、受は部材９が上昇および下降され、修正駒２６
が外方移動および内方移動される。この複合動作により
、ＩＣＩは高さ方向および回転方向の姿勢を再調整され
る。この調整操作は、ＩＣＩの姿勢が修正されるか、ま
たはあらかじめ設定された回数が終了するまで実施され
る。ＩＣの姿勢が修正されない場合には、ＦＰＰ２やリ
ード３に欠陥がある等と判定され、欠陥品として移送装
置３２等によりソケット４から取り除かれる。
度短縮動作された後、再度伸長動作される。この往復動
により、受は部材９が上昇および下降され、修正駒２６
が外方移動および内方移動される。この複合動作により
、ＩＣＩは高さ方向および回転方向の姿勢を再調整され
る。この調整操作は、ＩＣＩの姿勢が修正されるか、ま
たはあらかじめ設定された回数が終了するまで実施され
る。ＩＣの姿勢が修正されない場合には、ＦＰＰ２やリ
ード３に欠陥がある等と判定され、欠陥品として移送装
置３２等によりソケット４から取り除かれる。
受光器２３ｘ、２３ｙ、２３ｄの全部において受光が検
出されると、第５図に示されるように、第２シリンダ装
置１５が伸長動作され、加圧駒１６が第２段下降される
。これにより、加圧駒１６のリード押さえ１７はＩＣｌ
７−ド３を押さえて端子７に所定の付勢力をもって加圧
接触させる。また、加圧駒１６のヒータ１８はＩＣＩの
ＦＰＰ２を所定の温度に加熱する。この加熱が効果的に
実行されるように、ＩＣＩは逆向き（下面を上向き）に
して受り部ｊｒＡ９上に受け渡すことが望ましい。
出されると、第５図に示されるように、第２シリンダ装
置１５が伸長動作され、加圧駒１６が第２段下降される
。これにより、加圧駒１６のリード押さえ１７はＩＣｌ
７−ド３を押さえて端子７に所定の付勢力をもって加圧
接触させる。また、加圧駒１６のヒータ１８はＩＣＩの
ＦＰＰ２を所定の温度に加熱する。この加熱が効果的に
実行されるように、ＩＣＩは逆向き（下面を上向き）に
して受り部ｊｒＡ９上に受け渡すことが望ましい。
ちなみに、ＩＣＩを逆向きに受け渡すと、重心が下がる
ため、前述したＩＣ１の姿勢の検出も効果的に実行され
ることになる。
ため、前述したＩＣ１の姿勢の検出も効果的に実行され
ることになる。
このようにして、リード３が端子７に遡正に加圧接触さ
れ、かつＰＰＰ２が所定温度に加熱されると、テスタか
ら端子７にテスト信号が入力され所定の検査が適宜実行
される。
れ、かつＰＰＰ２が所定温度に加熱されると、テスタか
ら端子７にテスト信号が入力され所定の検査が適宜実行
される。
検査終了後、第１、第２シリンダ装置１４．１５が短縮
動作されると、加圧駒１６が上昇され、受は部材９が第
１スプリング１３によって差し上げられ、修正輪２６が
リターンスプリング２９によって外方向に押し戻される
。受は部材９上のＩＣ１は移送装置３２等により所定の
場所へ移送され、選別検査が完了する。
動作されると、加圧駒１６が上昇され、受は部材９が第
１スプリング１３によって差し上げられ、修正輪２６が
リターンスプリング２９によって外方向に押し戻される
。受は部材９上のＩＣ１は移送装置３２等により所定の
場所へ移送され、選別検査が完了する。
以後、前記動作が繰り返されて１？ Ｐ Ｐ型ＩＣにつ
いての選別検査が自動的かつ個別的に実施されて行く。
いての選別検査が自動的かつ個別的に実施されて行く。
［効果］
（１）、加圧駒を２段往復動するように設け、電子部品
受は部材を加圧駒に連動させて設け、さらに電子部品の
姿勢の良否を検出する手段を設けることにより、第１段
ストロークにより電子部品のリードを端子に予備接触さ
せ、かつこのときの電子部品の姿勢の良否が検出できる
ため、第２段ストロークさせたときにリードと端子とを
常に適正に加圧接触させることができる。
受は部材を加圧駒に連動させて設け、さらに電子部品の
姿勢の良否を検出する手段を設けることにより、第１段
ストロークにより電子部品のリードを端子に予備接触さ
せ、かつこのときの電子部品の姿勢の良否が検出できる
ため、第２段ストロークさせたときにリードと端子とを
常に適正に加圧接触させることができる。
（２）、加圧駒を２段ストロークにするように構成する
ことにより、端子側を固定構造とすることができるため
、電気配線構造等が簡素化することができ、かつ、電子
部品を受け部材に受け渡すための空間を十分に確保する
ことができる。
ことにより、端子側を固定構造とすることができるため
、電気配線構造等が簡素化することができ、かつ、電子
部品を受け部材に受け渡すための空間を十分に確保する
ことができる。
（３）、電子部品受は部材の外方に一対の修正輪を電子
部品に対向力を付勢するように設けることにより、電子
部品の回転方向の姿勢を修正することができるため、受
は部材上に電子部品を位置決めするためのガイド突起を
設ける必要がなくなり、位置決め作業の効率が良くなる
。また、リード先端群による位置決めでないため、リー
ドの折り曲げ誤差に影響されず、正確な位置決めが確保
できる。
部品に対向力を付勢するように設けることにより、電子
部品の回転方向の姿勢を修正することができるため、受
は部材上に電子部品を位置決めするためのガイド突起を
設ける必要がなくなり、位置決め作業の効率が良くなる
。また、リード先端群による位置決めでないため、リー
ドの折り曲げ誤差に影響されず、正確な位置決めが確保
できる。
（４）、修正輪を加圧駒の往復動に連動させることによ
り、リード、端子間の予備接触、加圧接触動作と姿勢修
正動作とのマ・／ランクが簡単に、しかも通正に行われ
る。
り、リード、端子間の予備接触、加圧接触動作と姿勢修
正動作とのマ・／ランクが簡単に、しかも通正に行われ
る。
（５）、電子部品の姿勢不良が検出されたときに、受は
部材および加圧駒を往復動させることにより、電子部品
の姿勢の再修正が実施されるため、姿勢不良の都度、電
子部品の入れ替え作業を初めからやり直す必要がなく、
作業全体における能率が良好になる。
部材および加圧駒を往復動させることにより、電子部品
の姿勢の再修正が実施されるため、姿勢不良の都度、電
子部品の入れ替え作業を初めからやり直す必要がなく、
作業全体における能率が良好になる。
（６）、加圧駒に加熱手段を設けることにより、端子側
の加熱手段が省略できるため、端子の長さが短縮化でき
、したがって高周波電子部品についての電気特性試験等
も実行できる。すなわち、端子が長いと、線間容量が大
きくなるため、高周波電子部品の電気特性試験は不能な
いしは回器になる。
の加熱手段が省略できるため、端子の長さが短縮化でき
、したがって高周波電子部品についての電気特性試験等
も実行できる。すなわち、端子が長いと、線間容量が大
きくなるため、高周波電子部品の電気特性試験は不能な
いしは回器になる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、加熱手段は加圧駒に設けるに限らず、受は部
材またはこれら双方に設げ°ζもよい。
材またはこれら双方に設げ°ζもよい。
電子部品の姿勢を検出する手段は光学的手段に限らず、
マイクロスイッチ等を使用することもでき、また、ＸＹ
軸および対角線の３方に設けるに限らず、少なくとも１
つに設けて十分なこともある。
マイクロスイッチ等を使用することもでき、また、ＸＹ
軸および対角線の３方に設けるに限らず、少なくとも１
つに設けて十分なこともある。
修正輪は加熱駒に連動させるに限らず、受は部拐上の電
子部品が所定位置に来たときに自動的に移動するように
してもよい。
子部品が所定位置に来たときに自動的に移動するように
してもよい。
加圧駒と受け部材との連携構造は、ブツシュロソドおよ
びガイドロッドによる連携構造に限らない。
びガイドロッドによる連携構造に限らない。
加圧駒の駆動手段は、シリンダ装置に限らず、ビニオン
ランク装置や送りねし装置等が使用できる。
ランク装置や送りねし装置等が使用できる。
し利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるＦＰＰ型ＩＣのオー
トハンドラに通用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、たとえば、アキシャルリード
型抵抗器やコンデンサ、シングルインラインパッケージ
型ＩＣ、デュアルインラインパッケージ型ＩＣ等のリー
ドを渕足端子に加圧接触させる場合等に通用できる。
をその背景となった利用分野であるＦＰＰ型ＩＣのオー
トハンドラに通用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、たとえば、アキシャルリード
型抵抗器やコンデンサ、シングルインラインパッケージ
型ＩＣ、デュアルインラインパッケージ型ＩＣ等のリー
ドを渕足端子に加圧接触させる場合等に通用できる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図はそ
の作動状態を示す縦断面図、第３図は第２図ｍ−ｍ線に
沿う平断面図、第４図は第３図ＩＶ−ＩＶ線に沿う縦断
面図、第５図は他の作動状態を示す縦断面図であるゆ１
・・・ＩＣ（電子部品）、３・・・リード、４・・・ソ
ケット、５・・・空所、７・・９・端子、８・・・ロッ
ド、９・・・受は部材、１０・・・横部材、１１・・・
ガイドロッド、１３，２０゜２９・・・スプリング、１
４．１５・・・シリンダ装置、１６・・・加圧駒、１７
・・・リード押さえ、１８・・・ヒータ、１９・・・ブ
ツシュロッド、２１・・・・姿勢検出装置、２２ｘ、２
２ｙ。 ２２ｄ−・・投光器、２３ｘ、２３ｙ、２３ｄ−・・受
光器、２５・・・位置決め装置、２６・・・修正駒、２
７・・・ガイド、２８・・・位置決め溝、３０．３１・
・・方向変換部材。 第 １ 図 ６ １０ 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図
の作動状態を示す縦断面図、第３図は第２図ｍ−ｍ線に
沿う平断面図、第４図は第３図ＩＶ−ＩＶ線に沿う縦断
面図、第５図は他の作動状態を示す縦断面図であるゆ１
・・・ＩＣ（電子部品）、３・・・リード、４・・・ソ
ケット、５・・・空所、７・・９・端子、８・・・ロッ
ド、９・・・受は部材、１０・・・横部材、１１・・・
ガイドロッド、１３，２０゜２９・・・スプリング、１
４．１５・・・シリンダ装置、１６・・・加圧駒、１７
・・・リード押さえ、１８・・・ヒータ、１９・・・ブ
ツシュロッド、２１・・・・姿勢検出装置、２２ｘ、２
２ｙ。 ２２ｄ−・・投光器、２３ｘ、２３ｙ、２３ｄ−・・受
光器、２５・・・位置決め装置、２６・・・修正駒、２
７・・・ガイド、２８・・・位置決め溝、３０．３１・
・・方向変換部材。 第 １ 図 ６ １０ 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子部品のリードを押して端子に接触させる加圧駒
を２段往復動するように設けるとともに、この電子部品
を受ける受け部材をこの加圧駒に連動させて設け、また
、電子部品の姿勢を検出する姿勢検出手段を設けてなる
検査装置。 ２、加圧駒が、電子部品を加熱可能であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の検査装置。 ３、電子部品のリードを押し”Ｃ端子に接触させる加圧
駒を２段往復動するように設けるとともに、この電子部
品を受ける受け部材をこの加圧駒に連動させて設け、さ
らに、受は部材の外方位置に一対の修正駒を電子部品に
対し互いに等しい対向力を（＝Ｊ勢するように設けてな
る検査装置。 ４、修正駒が、加圧駒に連携されたことを特徴とする特
許請求の範囲第３項記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143867A JPS6035528A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143867A JPS6035528A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035528A true JPS6035528A (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=15348834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143867A Pending JPS6035528A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035528A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1126123A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Enplas Corp | 電気部品用ソケット |
| US6429670B2 (en) * | 1995-07-18 | 2002-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of examining posture of an electronic part |
| JP2013231626A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Honda Motor Co Ltd | 半導体チップの通電検査装置及び半導体チップの通電検査方法 |
| WO2021149417A1 (ja) * | 2020-01-21 | 2021-07-29 | 株式会社エンプラス | ソケット |
-
1983
- 1983-08-08 JP JP58143867A patent/JPS6035528A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6429670B2 (en) * | 1995-07-18 | 2002-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of examining posture of an electronic part |
| JPH1126123A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Enplas Corp | 電気部品用ソケット |
| JP2013231626A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Honda Motor Co Ltd | 半導体チップの通電検査装置及び半導体チップの通電検査方法 |
| WO2021149417A1 (ja) * | 2020-01-21 | 2021-07-29 | 株式会社エンプラス | ソケット |
| JP2021114447A (ja) * | 2020-01-21 | 2021-08-05 | 株式会社エンプラス | ソケット |
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