JPS6035335A - 可撓性磁気記録体の製造方法 - Google Patents
可撓性磁気記録体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6035335A JPS6035335A JP14293383A JP14293383A JPS6035335A JP S6035335 A JPS6035335 A JP S6035335A JP 14293383 A JP14293383 A JP 14293383A JP 14293383 A JP14293383 A JP 14293383A JP S6035335 A JPS6035335 A JP S6035335A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- magnetic
- curl
- internal stress
- magnetic film
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気テープ装置才たはフレキシブル磁気ディ
スク装置などに用いられる可撓性磁気記録体の製造方法
に関する。
スク装置などに用いられる可撓性磁気記録体の製造方法
に関する。
磁気記録装置における記録密度の向上は斯界の変わらぬ
鐸勢であり、これを実現する為には磁気記録体の薄層化
、薄膜化が不可決である。
鐸勢であり、これを実現する為には磁気記録体の薄層化
、薄膜化が不可決である。
従来、媒体としては酸化鉄微粒子とバインダーの混合物
を０Ｊ撓性基体上に塗布し１こいわゆるコーティング媒
体が広く用いられている。これらの記録体には音声用の
磁気テープ、Ｖ Ｔ Ｒ用の磁気テープ、コンピュータ
ー用磁気テープまたはフレキシブル磁気ディスクがあり
、音声用、Ｖ ’Ｉ’ Ｒ用磁気テープ及びコンピユー
クー磁気テープ、フレキンプル磁気ディスクでは磁性膜
−の薄層化と相まって媒体の高保磁力化によって高記録
密度化を図ろうａしている。しかしコーチインク媒体に
おいては、厚さが数千へ以下でしかも均一な記録再生特
性を実現することはきわめて困難である。そこでコーテ
ィング媒体に代わる高密度記録体として薄層化、高保磁
力化が容易な連続薄膜媒体としてＣ。
を０Ｊ撓性基体上に塗布し１こいわゆるコーティング媒
体が広く用いられている。これらの記録体には音声用の
磁気テープ、Ｖ Ｔ Ｒ用の磁気テープ、コンピュータ
ー用磁気テープまたはフレキシブル磁気ディスクがあり
、音声用、Ｖ ’Ｉ’ Ｒ用磁気テープ及びコンピユー
クー磁気テープ、フレキンプル磁気ディスクでは磁性膜
−の薄層化と相まって媒体の高保磁力化によって高記録
密度化を図ろうａしている。しかしコーチインク媒体に
おいては、厚さが数千へ以下でしかも均一な記録再生特
性を実現することはきわめて困難である。そこでコーテ
ィング媒体に代わる高密度記録体として薄層化、高保磁
力化が容易な連続薄膜媒体としてＣ。
蒸着テープまたはメッキテープが注目されている。
しかしこのような金属薄膜はフェライトのようζこ固い
ヘッドとの接触ｌこよって膜表面の損傷、摩耗が生じた
りまた腐食が起り易く薄層化が進む稈信頼性の観点から
問題となる。
ヘッドとの接触ｌこよって膜表面の損傷、摩耗が生じた
りまた腐食が起り易く薄層化が進む稈信頼性の観点から
問題となる。
そこで本発明者らは、かかる点を解決しようと可撓性基
体上に耐摩耗性、耐腐食性が良好な酸化鉄磁性薄膜であ
るγ−Ｆｅ２０．抜たはγ−Ｆｅ２Ｏ３とＦｅ５０．の
中間組成物を主成分とする磁性酸化鉄連続薄膜を直接形
成した可撓性磁気記録体を提案している（特願昭５６−
０６３６６５．５６−０６４７３４等）この可撓性磁気
記録体の製造方法としては、可撓性基体上に” ８０４
才ＩＣはＦｅ、０４とｒ−Ｊ＞’ｅ２０３の中間組成
物を主成分とする磁性酸化鉄連続薄膜を形成した後、こ
れを熱酸化する工程がとられる。
体上に耐摩耗性、耐腐食性が良好な酸化鉄磁性薄膜であ
るγ−Ｆｅ２０．抜たはγ−Ｆｅ２Ｏ３とＦｅ５０．の
中間組成物を主成分とする磁性酸化鉄連続薄膜を直接形
成した可撓性磁気記録体を提案している（特願昭５６−
０６３６６５．５６−０６４７３４等）この可撓性磁気
記録体の製造方法としては、可撓性基体上に” ８０４
才ＩＣはＦｅ、０４とｒ−Ｊ＞’ｅ２０３の中間組成
物を主成分とする磁性酸化鉄連続薄膜を形成した後、こ
れを熱酸化する工程がとられる。
この熱酸化工程によってγ−Ｆｅ２Ｏ３もしくはγ−Ｆ
ｅ２０．とＦｅ３Ｏ４中間組成物を生成分とする酸化度
の高い膜へ変換されるが最も酸化が進んだγ−Ｆｅ、０
．（まＦｅ３Ｏ４よりも結晶格子間隔が小さくベースフ
ィルムに形成されたＦｅ５０．膜は熱酸化によって収ａ
Ｔることにより引張り応力が生じ、カールや磁性膜のク
ランクが発生した。したがって可撓性磁気記録体の最も
基本的な糸外である平坦性及び表面性が損なわれ使用に
供しえなかった。
ｅ２０．とＦｅ３Ｏ４中間組成物を生成分とする酸化度
の高い膜へ変換されるが最も酸化が進んだγ−Ｆｅ、０
．（まＦｅ３Ｏ４よりも結晶格子間隔が小さくベースフ
ィルムに形成されたＦｅ５０．膜は熱酸化によって収ａ
Ｔることにより引張り応力が生じ、カールや磁性膜のク
ランクが発生した。したがって可撓性磁気記録体の最も
基本的な糸外である平坦性及び表面性が損なわれ使用に
供しえなかった。
そこで本発明者は特願昭５７−１４８９８４ ！こおい
ては、熱酸化によるＦｅ５（４膜の収量を基体の熱収縮
によって吸収させ記録体の平坦性を達成させるこ占を提
案した。しかしながらその方法においては基板の熱収縮
を利用するため基体の収縮率を磁性膜の収縮率と同じに
下るため熱酸化温度が基体の熱収縮の温度に一義的に決
められまたその温度が生じ使用に耐えなかった。
ては、熱酸化によるＦｅ５（４膜の収量を基体の熱収縮
によって吸収させ記録体の平坦性を達成させるこ占を提
案した。しかしながらその方法においては基板の熱収縮
を利用するため基体の収縮率を磁性膜の収縮率と同じに
下るため熱酸化温度が基体の熱収縮の温度に一義的に決
められまたその温度が生じ使用に耐えなかった。
本発明は、かかる点を解決しようと下るものでその目的
とするところは可撓性基体上に形成した磁性酸化鉄連続
薄膜の熱酸化に対して広い温度範囲でカール、クラック
のない平坦性、表面性１？ＸＴぐれた記録体の製造方法
を提供することｌこある。
とするところは可撓性基体上に形成した磁性酸化鉄連続
薄膜の熱酸化に対して広い温度範囲でカール、クラック
のない平坦性、表面性１？ＸＴぐれた記録体の製造方法
を提供することｌこある。
本発明は、マグネタイト焼結体をターゲットとしスパッ
タリングにより可撓性基体上にマグネタイトまたは添加
物を含むマグネタイトを主成分とする磁性酸化鉄連続薄
膜を形成した後、これを酸化してｙ−Ｆｅ、０３または
ｒ −Ｆｅ２０３ トＦｅｓ ｏ、の中間組成物を主成
分とするまたはそれらに添加物を含む母性酸化鉄連続薄
膜を形成する可撓性磁気記録体の製造方法において形成
時のｉ”ｅ、０． または添加物を含むＦｅ３Ｏ４を主
成分とする磁性酸化鉄連続薄膜の内部応力を一３ＸＩＯ
ｄｙｎｅ、／：ｒＩ から２Ｘ１０ ｄｙｎｅ／ｃＪ
の範囲ζこすることを特徴とするものでこの範囲に形成
された磁性１厘は形成時は勿論、熱酸化によっても室温
から基体の使用耐熱温度までの広い温度領域で記録体の
平坦性、表面性が確保でき、才たカールの発生が生じて
も十分使用に供し、熱酸化工程大幅ｔ゛改善可能上なる
。
タリングにより可撓性基体上にマグネタイトまたは添加
物を含むマグネタイトを主成分とする磁性酸化鉄連続薄
膜を形成した後、これを酸化してｙ−Ｆｅ、０３または
ｒ −Ｆｅ２０３ トＦｅｓ ｏ、の中間組成物を主成
分とするまたはそれらに添加物を含む母性酸化鉄連続薄
膜を形成する可撓性磁気記録体の製造方法において形成
時のｉ”ｅ、０． または添加物を含むＦｅ３Ｏ４を主
成分とする磁性酸化鉄連続薄膜の内部応力を一３ＸＩＯ
ｄｙｎｅ、／：ｒＩ から２Ｘ１０ ｄｙｎｅ／ｃＪ
の範囲ζこすることを特徴とするものでこの範囲に形成
された磁性１厘は形成時は勿論、熱酸化によっても室温
から基体の使用耐熱温度までの広い温度領域で記録体の
平坦性、表面性が確保でき、才たカールの発生が生じて
も十分使用に供し、熱酸化工程大幅ｔ゛改善可能上なる
。
以下に不発明の具体的実施例について説明する。
実施例
長尺の町撓性基俸として基体厚１２５μｍのポリイミド
上に重量パーセントで５％Ｃｏ、４％Ｏｕ％含むマグネ
タイト（Ｆｅｓ Ｑ４ ）Ｋターゲット直上、磁性膜の
形成装置としてプレーナーマグネトロン型スパッタ装置
（ターゲット直上の最大磁場〜５０００ｅ）を用いた。
上に重量パーセントで５％Ｃｏ、４％Ｏｕ％含むマグネ
タイト（Ｆｅｓ Ｑ４ ）Ｋターゲット直上、磁性膜の
形成装置としてプレーナーマグネトロン型スパッタ装置
（ターゲット直上の最大磁場〜５０００ｅ）を用いた。
スパック装置内には、基体の送り出し、巻き取り機構を
設け、長尺基体を水冷した円筒のクーリングキャンに沿
わせて磁性膜を連続形成した。
設け、長尺基体を水冷した円筒のクーリングキャンに沿
わせて磁性膜を連続形成した。
第１図に磁性膜の平坦性、表面性ζこ係わるカール、ク
ラックの発生にもっとも影響があるアルゴン圧力（ＰＡ
ｒ）、スパッタ′咀力（ＦＷ）−に変えて基体上へ形成
したＦｅＢＯ４を主成分とする磁性膜のカール及びクラ
ックの状ｍｆ示した。図においてクラックの有無を○（
無）、△（少し有）、×（多く有）で表わし、カールの
状態を＋（磁性膜を内側ζこＴるカール）、・（カール
なし）、−（磁性膜を外側にするカール）で表わした。
ラックの発生にもっとも影響があるアルゴン圧力（ＰＡ
ｒ）、スパッタ′咀力（ＦＷ）−に変えて基体上へ形成
したＦｅＢＯ４を主成分とする磁性膜のカール及びクラ
ックの状ｍｆ示した。図においてクラックの有無を○（
無）、△（少し有）、×（多く有）で表わし、カールの
状態を＋（磁性膜を内側ζこＴるカール）、・（カール
なし）、−（磁性膜を外側にするカール）で表わした。
図よりＰｈｒがらの内部応力（σ）をもつ磁性膜に対し
て５０℃以上の熱酸化温度でアニールしたときの磁性膜
のカール及びクラックの状態を示したものである。図か
られかるように内部応力Ｏのもの（１、＜Ｐｈｒ ＜
３Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ）は基体の熱収縮か顕著となる温
度（〉〜２７０℃）韮での広い領域でクラック及びカー
ルの発生がな゛く平坦性、表面性に丁ぐれ、またその内
部応力σが一３Ｘ］Ｃ１ｄｙｎｅ／Ｊ ＜ σ＜２Ｘ１
．Ｏｄｙｎｅ／ｃｒＡ （０を除く）の範囲では若干の
カールは生じるが実用上許容出来る範囲であった。この
ようにして作製し１こ記録体の表面粗さｌ（＋ｎａｘは
４００Ａ以下で市販のＶ ’１’ １け−ブのＳ面粗さ
ｌ（−ｍａｘ ８００〜１０００Ａより良好であった。
て５０℃以上の熱酸化温度でアニールしたときの磁性膜
のカール及びクラックの状態を示したものである。図か
られかるように内部応力Ｏのもの（１、＜Ｐｈｒ ＜
３Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ）は基体の熱収縮か顕著となる温
度（〉〜２７０℃）韮での広い領域でクラック及びカー
ルの発生がな゛く平坦性、表面性に丁ぐれ、またその内
部応力σが一３Ｘ］Ｃ１ｄｙｎｅ／Ｊ ＜ σ＜２Ｘ１
．Ｏｄｙｎｅ／ｃｒＡ （０を除く）の範囲では若干の
カールは生じるが実用上許容出来る範囲であった。この
ようにして作製し１こ記録体の表面粗さｌ（＋ｎａｘは
４００Ａ以下で市販のＶ ’１’ １け−ブのＳ面粗さ
ｌ（−ｍａｘ ８００〜１０００Ａより良好であった。
表に実際に不法をＶＴ且用磁気テープに適用したときの
テープ特性及び市販ＶＴＲ装置を用いて測定した記録密
度特性の結果と同一装置で調べ１こ市販Ｖ ’］’ ｉ
ｔ用磁気テープの結果乏比１膜して示し１こ。
テープ特性及び市販ＶＴＲ装置を用いて測定した記録密
度特性の結果と同一装置で調べ１こ市販Ｖ ’］’ ｉ
ｔ用磁気テープの結果乏比１膜して示し１こ。
図では記録’＆［特１生として記録体の表面性、平坦性
が基本となる。
が基本となる。
孤立波出力値の一６ｄＢの出力値を与える記録密度Ｉ）
ｓｏを示した。表に示す如（不法によって作製された磁
気テープは市販の磁気テープの〜２倍の高密度特性を示
しその表面性、平坦性も良好であった０ 本発明は以上説明したように本実施例に係イつる可撓性
磁気記録体の製造方法において、クラック及びカールが
問題とならない高密度特性に０丁ぐれた可撓性磁気記録
体の製造が可能となる。
ｓｏを示した。表に示す如（不法によって作製された磁
気テープは市販の磁気テープの〜２倍の高密度特性を示
しその表面性、平坦性も良好であった０ 本発明は以上説明したように本実施例に係イつる可撓性
磁気記録体の製造方法において、クラック及びカールが
問題とならない高密度特性に０丁ぐれた可撓性磁気記録
体の製造が可能となる。
第１図は、酸化物磁性薄膜をスパッタ電力Ｐｗ、スパッ
タ圧力ＰＡｒ７，２変えて形成したときの磁性膜鎚その
内部応力に対応する磁性膜を熱酸化したときの磁性膜の
カール及びクラックの状態を示した図である。 Ｐｗ （ＫＷ）
タ圧力ＰＡｒ７，２変えて形成したときの磁性膜鎚その
内部応力に対応する磁性膜を熱酸化したときの磁性膜の
カール及びクラックの状態を示した図である。 Ｐｗ （ＫＷ）
Claims (1)
- マグネタイト（Ｆｅｓ０４ ）をターゲットさしスパッ
タリングにより可撓性基体上にマグネタイトまたは添加
物を含むマグネタイト’ ｉ−主成分とする磁性酸化鉄
連続薄膜を形成した後、これを酸化してガンマヘマタイ
ト（γ−Ｆｅ２Ｏ３）またはカンマへマタイトとマグネ
タイトの中間組成物を主成分占するまたはそれらに添加
物を含む磁性酸化鉄連続薄膜を形成する可撓性磁気記録
体の製造方法ｔこおいて形成時のマグネタイトまたは添
加物を含むマグネタイトを主成分とする磁性酸化鉄連続
薄膜の内部応力ｆ −３Ｘ １０９ｄｙｎｅ／ｃｎから
２Ｘ１０ ｄｙｎｅ／−の範囲にすることを特徴とする
可撓性磁気記録体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14293383A JPS6035335A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 可撓性磁気記録体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14293383A JPS6035335A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 可撓性磁気記録体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035335A true JPS6035335A (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=15327016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14293383A Pending JPS6035335A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 可撓性磁気記録体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035335A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4995024A (en) * | 1987-10-30 | 1991-02-19 | Kyocera Corporation | Magneto-optical recording element |
| US5263534A (en) * | 1990-11-30 | 1993-11-23 | Shinagawa Refractories Co., Ltd. | Exothermic type mold additives for continuous casting |
-
1983
- 1983-08-04 JP JP14293383A patent/JPS6035335A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4995024A (en) * | 1987-10-30 | 1991-02-19 | Kyocera Corporation | Magneto-optical recording element |
| US5263534A (en) * | 1990-11-30 | 1993-11-23 | Shinagawa Refractories Co., Ltd. | Exothermic type mold additives for continuous casting |
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