JPS6034856A - マ−キング装置 - Google Patents
マ−キング装置Info
- Publication number
- JPS6034856A JPS6034856A JP14384883A JP14384883A JPS6034856A JP S6034856 A JPS6034856 A JP S6034856A JP 14384883 A JP14384883 A JP 14384883A JP 14384883 A JP14384883 A JP 14384883A JP S6034856 A JPS6034856 A JP S6034856A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marking
- distance
- wafer
- marker
- marked
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- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41K—STAMPS; STAMPING OR NUMBERING APPARATUS OR DEVICES
- B41K3/00—Apparatus for stamping articles having integral means for supporting the articles to be stamped
- B41K3/62—Details or accessories
- B41K3/66—Safety devices, e.g. for preventing extraction of copy matter before completion of stamping operation
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明はマーキング技術、さらにはウェハプローブ工程
でウェハ上にマーキングを付するために適用して特に効
果のあるマーキング技術に関するものである。
でウェハ上にマーキングを付するために適用して特に効
果のあるマーキング技術に関するものである。
[背景技術]
半導体製造過程においてウェハ上に形成された回路素子
の特性を試験する場合、試験結果にしたがって不良素子
にマークを付するのが通常である。
の特性を試験する場合、試験結果にしたがって不良素子
にマークを付するのが通常である。
ところが、この場合に、ウェハ面に対するマーキング装
置のマーキング機構の高さが適正な値に維持されていな
いと、マーキング不良をひき起こすことがあり得る。
置のマーキング機構の高さが適正な値に維持されていな
いと、マーキング不良をひき起こすことがあり得る。
すなわち、マーキング部がウェハ面に近づきすぎると、
先端部がウェハ面に接触して、マーキング不要の良品素
子を損なう。また、先端部がウェハに近づきすぎたり遠
くなりすぎたりした場合にはマークが大きすぎたり小さ
すぎたりする。さらに、極端に遠すぎる場合にはマーキ
ングが行われないということさえあり得る。
先端部がウェハ面に接触して、マーキング不要の良品素
子を損なう。また、先端部がウェハに近づきすぎたり遠
くなりすぎたりした場合にはマークが大きすぎたり小さ
すぎたりする。さらに、極端に遠すぎる場合にはマーキ
ングが行われないということさえあり得る。
このような不良をなくするためには、マーキング部の高
さを目視で1 (II 1個手動調整することが考えら
れるが、この方式では調整に時間がかかる上に正確な調
整は困難であることが本発明者によって明らかにされた
。
さを目視で1 (II 1個手動調整することが考えら
れるが、この方式では調整に時間がかかる上に正確な調
整は困難であることが本発明者によって明らかにされた
。
[発明の目的]
本発明の目的は、被マーキング面からのマーキング機構
の距離を自動的に検出し、設定値からずれた時には警報
を与えるマーキング技術を提供することにある。
の距離を自動的に検出し、設定値からずれた時には警報
を与えるマーキング技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、マーキング機構を複数個一体化し
て調整制御できるマーキング技術を提供することにある
。
て調整制御できるマーキング技術を提供することにある
。
本発明の他の目的はマーキング終了と同時に乾燥を実施
することにより、インクのにじみ出し等を防ぐことにあ
る。
することにより、インクのにじみ出し等を防ぐことにあ
る。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
[発明の概要]
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、被マーキング面とマーキング機構との間の距
離を検出する手段を設け、その距離が設定値からずれた
時には、該検出手段からの指令によりアラーム手段を作
動させることにより前記目的を達成するものである。
離を検出する手段を設け、その距離が設定値からずれた
時には、該検出手段からの指令によりアラーム手段を作
動させることにより前記目的を達成するものである。
[実施例1]
第1図は本発明の実施例1であるマーキング装置の概略
説明図である。
説明図である。
この実施例において、被マーキング物であるシリコン(
Si)のウェハlはステージ2の上にXY方向に移動可
能に載置されている。
Si)のウェハlはステージ2の上にXY方向に移動可
能に載置されている。
ウェハ1の各回路素子はウエハプローバのプローブ針3
により特性試験を受ける。この特性試験において何らか
の原因により不良品と判断された素子はその上に識別用
のマークをインク等で付される。
により特性試験を受ける。この特性試験において何らか
の原因により不良品と判断された素子はその上に識別用
のマークをインク等で付される。
このようなマーキングのため、本実施例では、ウェハ1
の上方にマーカー4が斜め方向に配置され、その下端(
先端)からマーキング用インクをウェハ1の表面に付着
させることによって良不良の識別マークを付すことがで
きるようになっている。
の上方にマーカー4が斜め方向に配置され、その下端(
先端)からマーキング用インクをウェハ1の表面に付着
させることによって良不良の識別マークを付すことがで
きるようになっている。
このマーキング装置におけるマーカー4の先端部には、
ウェハ1の表面とマーカー4の先端との間の距離の変化
を空間容量の変化として検出する容量検出センサ5が設
けられている。このセンサ5はメータ6に接続されてい
る。
ウェハ1の表面とマーカー4の先端との間の距離の変化
を空間容量の変化として検出する容量検出センサ5が設
けられている。このセンサ5はメータ6に接続されてい
る。
また、電源7がステージ2およびメータ6に接続されて
いる。
いる。
メータ6は増巾器8に接続されている。増巾器8は、マ
ーカー4の先端とウェハ1の表面との間の距離が設定値
から外れた時にその警報を発生するアラーム9に接続さ
れ、またその警報発生と共に特性祇験およびマーキング
作業を停止する信号も発生する。
ーカー4の先端とウェハ1の表面との間の距離が設定値
から外れた時にその警報を発生するアラーム9に接続さ
れ、またその警報発生と共に特性祇験およびマーキング
作業を停止する信号も発生する。
次に、本実施例の作用について説明する。
ステージ2上のウェハlの回路素子の特性をプローブ針
3により測定し、不良品と判断された場合にはマーカー
4によりその不良素子上に識別マークを付する。
3により測定し、不良品と判断された場合にはマーカー
4によりその不良素子上に識別マークを付する。
このマーカー4の先端とウェハ1の表面との間の距離は
近すぎても遠すぎてもマーク不良やマーキング不良等の
問題をひき起こす。そこで、本実施例では、マーカー4
の先端とウェハ1の表面との間の距離の変化をセンサ5
により空間容量の変化として検出する。
近すぎても遠すぎてもマーク不良やマーキング不良等の
問題をひき起こす。そこで、本実施例では、マーカー4
の先端とウェハ1の表面との間の距離の変化をセンサ5
により空間容量の変化として検出する。
センサ5による容量変化の検出値が予め定められた設定
値から外れた場合、センサ5はその信号をメーク6を経
て増巾器8に送り、アラーム9を作動させて警報を発す
ると共に、停止信号を発してウエハプローバおよびマー
カー4による特性試験とマーキングの作業を停止させる
。
値から外れた場合、センサ5はその信号をメーク6を経
て増巾器8に送り、アラーム9を作動させて警報を発す
ると共に、停止信号を発してウエハプローバおよびマー
カー4による特性試験とマーキングの作業を停止させる
。
そして、マーカー4の先端とウェハ1の表面との間の距
離を設定値に調整した後、作業を再開する。
離を設定値に調整した後、作業を再開する。
ウェハ1への電圧の印加はステージ2から行うか、ある
いはブロービング時に使用する針3等によりウェハ表面
側から行う。ブロービング時にこの電圧印加が素子の特
性測定の際に影響を及ぼす場合にはブロービングを終了
してマーキングすると同時に電圧を印加し、他の時間に
は印加しないようにする。
いはブロービング時に使用する針3等によりウェハ表面
側から行う。ブロービング時にこの電圧印加が素子の特
性測定の際に影響を及ぼす場合にはブロービングを終了
してマーキングすると同時に電圧を印加し、他の時間に
は印加しないようにする。
[実施例2]
第2図は本発明の実施例2であるマーキング装置の概略
説明図である。
説明図である。
この実施例2においては、ウェハ1の表面とマーカー4
の先端との間の距離の変化を検出するために、ホトセン
サlOを用いた構造となっている。
の先端との間の距離の変化を検出するために、ホトセン
サlOを用いた構造となっている。
すなわち、ホトセンサ10の投光器tOaと10bはウ
ェハ1のわずか上に108と10bの結ぶ線がウェハと
平行になるように設けられている。
ェハ1のわずか上に108と10bの結ぶ線がウェハと
平行になるように設けられている。
この実施例2では、マーカー4の先端がウェハ1の表面
に所定量以上に接近し過ぎると、マーカー4の先端がホ
トセンサ10の投光器10aから受光器10bに投射さ
れる光の通路を遮断するので、その場合にはメータ6お
よび増巾器8を経てアラーム9を作動させて警報を発す
ると共に、停止信号を発してウエハプローバおよびマー
カー4による特性試験とマーキングの作業を停止させる
。
に所定量以上に接近し過ぎると、マーカー4の先端がホ
トセンサ10の投光器10aから受光器10bに投射さ
れる光の通路を遮断するので、その場合にはメータ6お
よび増巾器8を経てアラーム9を作動させて警報を発す
ると共に、停止信号を発してウエハプローバおよびマー
カー4による特性試験とマーキングの作業を停止させる
。
なお、本実施例2におけるホトセンサ10の投光器10
aと受光器10bの配置は、素子の特性を測定するため
のプローブ針3とマーカー4の先端とを識別するために
被測定素子と測定済みのマーキングすべき素子とをずら
し、マーカー4の先端のみの位置を検出するようになっ
ている。
aと受光器10bの配置は、素子の特性を測定するため
のプローブ針3とマーカー4の先端とを識別するために
被測定素子と測定済みのマーキングすべき素子とをずら
し、マーカー4の先端のみの位置を検出するようになっ
ている。
[実施例3]
第3図は本発明によるマーキング装置に用いることので
きるマーカーの他の実施例を示す概略斜視図である。
きるマーカーの他の実施例を示す概略斜視図である。
この実施例のマーカー4は4本のマーカー針4a、4b
、4c、4dを一体化し、かつこれらのマーカー針の長
さ調整は1本のねし11で行う構造となっている。
、4c、4dを一体化し、かつこれらのマーカー針の長
さ調整は1本のねし11で行う構造となっている。
本実施例によれば、マーカー針の長さおよび位置の調整
を同時に行うことができ、調整時間や測定時間の短縮と
調整の簡単化および均一化が可能である。
を同時に行うことができ、調整時間や測定時間の短縮と
調整の簡単化および均一化が可能である。
[実施例4]
第4図は本発明のマーキング装置の実施例4を示す概略
説明図である。
説明図である。
本実施例では、プローブ検査とマーキングを終了したウ
ェハ1はステージ2上から1枚ずつヒータ13を持つ加
熱ステージ12の上に送られ、順次ウェハ1上のマーク
を乾燥させるものである。
ェハ1はステージ2上から1枚ずつヒータ13を持つ加
熱ステージ12の上に送られ、順次ウェハ1上のマーク
を乾燥させるものである。
この実施例によれば、マーカー4でウェハl上に付され
たインクはプローブ検査およびマーキング終了直後に各
ウェハl毎に順次直ちに乾燥されるので、インクの良品
ペレットへのにしみ出しや、ウェハ1の重なり合いによ
るインクの他のウエノ\への付着汚れ等が阻止され、ま
た口・ノド単位のインク乾燥に比べて待ち時間がす(少
なく、乾燥時間の短縮が可能である。
たインクはプローブ検査およびマーキング終了直後に各
ウェハl毎に順次直ちに乾燥されるので、インクの良品
ペレットへのにしみ出しや、ウェハ1の重なり合いによ
るインクの他のウエノ\への付着汚れ等が阻止され、ま
た口・ノド単位のインク乾燥に比べて待ち時間がす(少
なく、乾燥時間の短縮が可能である。
加熱ステージ12でインク乾燥後のウニ/%11はその
後占−ダ・アンローダ部14に送られる。
後占−ダ・アンローダ部14に送られる。
[実施例5]
第5図は本発明のマーキング装置の実施例5を示す概略
説明図である。
説明図である。
この実施例においては、プローブ検査とマーキングを終
了したウェハlを1枚ずつ搬送ベルト15によりローダ
・アンローダ部14に送るにつれて、赤外ランプ16で
加熱してインクを直ちに乾燥するようになっている。
了したウェハlを1枚ずつ搬送ベルト15によりローダ
・アンローダ部14に送るにつれて、赤外ランプ16で
加熱してインクを直ちに乾燥するようになっている。
[実施例6]
第6図は本発明のマーキング装置の実施例6を示す概略
説明図である。
説明図である。
本実施例の場合、プローブ検査とマーキングを終了した
ウェハ1を1枚ずつ搬送ベル)15でローダ・アンロー
ダ部14に送る際にベータトンネル17内を通過させる
ことによりインクを直ちに乾燥する構造である。
ウェハ1を1枚ずつ搬送ベル)15でローダ・アンロー
ダ部14に送る際にベータトンネル17内を通過させる
ことによりインクを直ちに乾燥する構造である。
[効果]
(1)、被マーキング面からのマーキング機構の距離を
自動的に検出し、設定値からずれた時には警報を与える
ことができ、常に適正な距離を保つことができることに
より、良品への損傷や誤マーキング、マークの過大や過
小等のマーキング不良を防止することができる。
自動的に検出し、設定値からずれた時には警報を与える
ことができ、常に適正な距離を保つことができることに
より、良品への損傷や誤マーキング、マークの過大や過
小等のマーキング不良を防止することができる。
(2)、複数個のマーキング機構を一体化することによ
り、距離調整時間や測定時間の短縮、調整の簡単化およ
び均一化が可能となる。
り、距離調整時間や測定時間の短縮、調整の簡単化およ
び均一化が可能となる。
(3)、マーキング終了後に1個の被マーキング物毎に
マークを直ちに乾燥することにより、良品へのインクの
にじみ出しや、重なり合いによる他の被マーキング物へ
のインク付着汚れを防止でき、待ち時間も短縮できる。
マークを直ちに乾燥することにより、良品へのインクの
にじみ出しや、重なり合いによる他の被マーキング物へ
のインク付着汚れを防止でき、待ち時間も短縮できる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、被マーキング面とマーキング機構との間の距
離を検出する手段としては、空間容量の変化を検出する
手段やホトセンサの他に、微小電圧の印加による検出手
段等を用いることもできる。
離を検出する手段としては、空間容量の変化を検出する
手段やホトセンサの他に、微小電圧の印加による検出手
段等を用いることもできる。
[利用分野]
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハへのマーキン
グ装置に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、たとえば、他の各種電子部品等へ
のマーキングに広く適用できる。
をその背景となった利用分野であるウェハへのマーキン
グ装置に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、たとえば、他の各種電子部品等へ
のマーキングに広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例1であるマーキング装置の概略
説明図、 第2図は本発明の実施例2の概略説明図、第3図は本発
明の実施例3であるマーキング機構の概略斜視図、 第4図は本発明の実施例4の概略説明図、第5図は本発
明の実施例5の概略説明図、第6図は本発明の実施例6
の概略説明図である。 1・・・ウェハ(被マーキング物)、2・・・ステージ
、3・・・プローブ針、4・・・マーカー(マーキング
機構)、5・・・容量検出センサ(検出手段)、6・・
・メータ、7・・・電源、8・・・項中器、9・・・ア
ラーム(アラーム手段)、10・・・ホトセンサ(検出
手段)、1゜a・・・投光器、10b・・・受光器、1
1・・・ねじ、12・・・加熱ステージ、13・・・ヒ
ータ、14・・・ローダ・アンローダ部、15・・・搬
送ベルト、16・・・赤外ランプ、17・・・ベークト
ンネル。 代理人 弁理士 高 橋 明 夫 第 2 図 第 3 図 第 5 図 第 6 図
説明図、 第2図は本発明の実施例2の概略説明図、第3図は本発
明の実施例3であるマーキング機構の概略斜視図、 第4図は本発明の実施例4の概略説明図、第5図は本発
明の実施例5の概略説明図、第6図は本発明の実施例6
の概略説明図である。 1・・・ウェハ(被マーキング物)、2・・・ステージ
、3・・・プローブ針、4・・・マーカー(マーキング
機構)、5・・・容量検出センサ(検出手段)、6・・
・メータ、7・・・電源、8・・・項中器、9・・・ア
ラーム(アラーム手段)、10・・・ホトセンサ(検出
手段)、1゜a・・・投光器、10b・・・受光器、1
1・・・ねじ、12・・・加熱ステージ、13・・・ヒ
ータ、14・・・ローダ・アンローダ部、15・・・搬
送ベルト、16・・・赤外ランプ、17・・・ベークト
ンネル。 代理人 弁理士 高 橋 明 夫 第 2 図 第 3 図 第 5 図 第 6 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、被マーキング物に対してマークを付するマーキング
装置において、被マーキング面とマーキング機構との間
の距離を検出する手段と、被マーキング面とマーキング
機構との間の距離が設定値からずれた場合に前記検出手
段からの指令に基づいて警報を発生するアラーム手段と
を備えてなることを特徴とするマーキング装置。 2、検出手段は、被マーキング面とマーキング機構との
間の距離の変化を空間容量の変化として検出する手段よ
りなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のマ
ーキング装置。 3、検出手段は、被マーキング面に対するマーキング機
構の高さを検出するホトセンサよりなることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載のマーキング装置。 4、マーキング機構は、複数個のマーキング手段を一体
化してなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
のマーキング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14384883A JPS6034856A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | マ−キング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14384883A JPS6034856A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | マ−キング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6034856A true JPS6034856A (ja) | 1985-02-22 |
Family
ID=15348360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14384883A Pending JPS6034856A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | マ−キング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6034856A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62131621A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-13 | Pioneer Electronic Corp | 車載用オ−トプリセツト受信装置 |
JPS63136829A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Pioneer Electronic Corp | ラジオデ−タシステム受信機 |
JPS63136828A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Pioneer Electronic Corp | ラジオデ−タシステム受信機 |
JPH0252742A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | スクリーンレスパターン描画装置 |
JPH02178046A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-11 | Nissha Printing Co Ltd | 印刷圧調整装置 |
US5147462A (en) * | 1990-02-16 | 1992-09-15 | Alcan Aluminum Corporation | Apparatus for automatic film thickness control |
-
1983
- 1983-08-08 JP JP14384883A patent/JPS6034856A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62131621A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-13 | Pioneer Electronic Corp | 車載用オ−トプリセツト受信装置 |
JPS63136829A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Pioneer Electronic Corp | ラジオデ−タシステム受信機 |
JPS63136828A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Pioneer Electronic Corp | ラジオデ−タシステム受信機 |
JPH0511809B2 (ja) * | 1986-11-28 | 1993-02-16 | Pioneer Electronic Corp | |
JPH0511808B2 (ja) * | 1986-11-28 | 1993-02-16 | Pioneer Electronic Corp | |
JPH0252742A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | スクリーンレスパターン描画装置 |
JPH02178046A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-11 | Nissha Printing Co Ltd | 印刷圧調整装置 |
US5147462A (en) * | 1990-02-16 | 1992-09-15 | Alcan Aluminum Corporation | Apparatus for automatic film thickness control |
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