JPS6029996A - 光磁気記録担体 - Google Patents

光磁気記録担体

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JPS6029996A
JPS6029996A JP13754183A JP13754183A JPS6029996A JP S6029996 A JPS6029996 A JP S6029996A JP 13754183 A JP13754183 A JP 13754183A JP 13754183 A JP13754183 A JP 13754183A JP S6029996 A JPS6029996 A JP S6029996A
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JP
Japan
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film
garnet
magnetic
magneto
thin film
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Pending
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JP13754183A
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English (en)
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Shinji Takayama
高山 新司
Ken Sugita
杉田 愃
Toshio Niihara
敏夫 新原
Katsuhiro Kaneko
金子 克弘
Yuzuru Hosoe
譲 細江
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はレーザー光を用いて情報の記録・再生・消去を
行う光磁気記録に係シ、特に性能指数を改善し、S/N
比を向上させた光磁気記録担体に関するものである。
〔蛇明の背景〕
情報量の増大、愼器のコンパクト化と伴に記録密度は今
後益々萬密度化の傾向にあシ、高密度・大容量・情厭の
任意読み出し、簀き候え等々が可能な光磁気記録が最近
注目を浴びている。光磁気記録においては、換向と垂直
な方向に磁化容易軸のある磁性薄膜(垂直磁化膜)が用
いられ、光ビームによって任意の位置に反転磁区を作る
ことによって、それらの磁化の向きに対応して′1”。
0”の2値情報が記録される。一方、かかる反転配球を
行なった2値信号の読み出しは、通常ポーラ−・カー効
果あるいは7アラデー効果を利用して行なう。
従来、これら光磁気記録用磁性薄膜として、MnB1系
結晶負膜、布上婿−遷移金属系非晶買薄換、ガーネット
に代表される化合物単結晶薄膜等の垂直磁化薄膜が提粟
されている。中でも希土類−迩移金属系非晶貞薄膜は、
結晶粒界がないので媒体ノイズが小さく、大面積薄膜作
製が6易でおることから、現在最も有望視されている。
しかしこれら非晶質垂直磁化薄膜から、反射光を利用し
てポーラ−・カー効果によシ情報の絖み出しを行なう方
式においては、膜自体のカー回転角が小さいため、再生
信号レベル(S/N比)が低いという欠点がある。そこ
でこの再生信号レベルを高めるため、7アラデ一回転角
の比較的大きいガーネット系単結晶pg膜、あるいは反
射膜等を垂直磁性薄膜と組み仕わせて多層化することに
よ、!DS/N比向上が試みられている。
しかし、ガーネット系単結晶薄層と非晶質磁性薄膜の多
層膜では、カー回転角は約1.5倍に増力Uするが膜か
らの反射率が、非晶質磁性薄膜単独の場合と比べて約半
分に減するため、S/N比の大きな増加が得られず、ま
た単結晶薄膜を用いるため高価であ多いまた大面積化が
困難である。一方、反射膜を非晶質磁性薄膜に設けた多
層膜でもS/N比は約1.2倍程匿に増加するのみであ
る。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、θr/αで表わされる性能指数の大き
い(ここでθFは7アラデ一回転角、αは吸収係e)、
保磁力が小さい、磁化曲線の角型比の高いBi元累全含
有するガーネット系化合物のスパッタ膜あるいは蒸着膜
を垂直磁化膜の上あるいは下に配設し、さらに金属反射
膜、非磁性d゛亀体膜を備えた多層膜を形成することに
よシ、光磁気記録媒体の性能指数71・θK(ここでR
は反射率、θにはカー回転角を表わす)を増加させ、実
用に十分逸した8/N比が得られる安価な光磁気配録担
体を提供することにある。
〔発明の概要〕
磁性ガーネットが強磁性金属や合金に比べて、著しく光
に透明であシ、しかもファラデー効果が比較的大きいこ
とはよく知られている。特にBlを含む磁性ガーネット
は、Bi無添加のそれと比べて可視から近赤外光波長領
域まで性能指数(θF/α)が著しく大きくなシ、光応
用素子材料として優れた性質をもっている。
本発明者等はこの光応用素子材料として優れた性質をも
つBiを含む磁性ガーネット系の博t&をスパッタ法あ
るいは蒸着法で作製することによυ大面積化を行ない、
垂直磁化金属磁性薄膜の片側に配設することによシ、そ
の記録情報を磁気転写させてカー効果のエンハンストを
図シ、磁性ガーネット系薄膜を設けたことによる反射率
の低下を、垂直磁性薄膜のもう一方の片側に金属反射膜
を設けて防ぎ、同時に反射膜による反射光が垂直磁性薄
膜とガーネット系薄膜を通過することによシさらにカー
回転角が増大する仁とを考案し、本発明に至った。また
この多層膜の反射膜上あるいはガーネット系薄膜上にS
iO2あるいはSiO等の非磁性訪亀体換を設けること
により、酸化防止効果あるいは誘電体膜内の多室反射に
よシカ−効果のエンハンストをさらに上げることも見い
出した。本発明の多層編構造において、金属磁性薄膜を
透過した光の反射膜での反射光によるカー効果のエンハ
ンスト、及び多層膜の反射率の増大効果をより有利にす
るためには、垂直磁化金属磁性薄膜の厚さを、連続均質
膜作製が比軟的容易な厚さ以上で、レーザー光が透過可
能な厚さ以下にすることが望ましく、そのために膜厚を
80−1500人にするのが望ましい。まtcBiを含
むガーネット糸洛膜が垂直磁化金属磁性薄膜に記録され
た情報を正確に磁気転写するためには、該ガーネット族
の保磁力Haが小で、残留磁化が大きく、角型比が大で
あることが望ましい。また垂直磁化金属磁性薄膜の記録
情報を正確に磁気転写し、さらに磁気光学効果による再
生ノイズを低くするためには、よシ好ましくはガーネッ
ト系化合物のスパッタ膜あるいは蒸着膜は非晶′X構造
であることが望ましい。
〔発明の実施例〕
以下兼通例によシ本発明の詳細な説明する。
第1図に本発明の一実施例を示す記録担体の断面図を示
す。透明なガラスあるいは合成高分子樹脂等の基板(1
)の上面にBi金含有ガーネット系薄膜(2)を、スパ
ッタリング法あるいは蒸着法等で形成し、該ガーネット
系薄膜(2)の上面に、磁化容易軸が膜面に垂直な磁性
薄膜(3)をスパッタリング法あるいは蒸着法で形成し
、然る後に同様の方法で彊属反射膜+4)、SiOxあ
るいはSiOの非磁性誘電体膜(5)を形成させる。こ
こで垂直磁化薄膜(3)とにはMn系あるいはCo系結
晶質磁性#l膜、あるいはR,E−TM系系非晶質磁性
模膜ここで几EはGd、Tb、Dyt TMはFe、C
oから選ばれた少なくとも一つ以上の元素から成る)で
おれば良い。例えばガーネット系薄膜(2)として、厚
さ約0.4μmO該非晶負膜を布上o、yY2.5Fe
sOtz化合物の焼結体(径100■φ)をターゲット
として用いてスパッタリング法で作製し、然る後真空蒸
庸法で垂直磁化膜として、厚さ約0.04μmのFe、
CoHTbxrの非晶買換(3)を作製し、該peCo
Tb非晶5jL換上に反射膜(4八非磁性膜(5)とし
て約0.1μmのAt膜とSiChmをそれぞれ形成さ
せた。この場合ガラス基板からのHe−Neレーザー光
による該記録媒体の性能指数vTt・θには約0.5で
、その再生S/N比は約50dBと従来の光磁気記録媒
体と比べて約10dB向上した。
第2図は他の実施例を示す配録担体の断面図であシ、透
明なガラスあるいは合成高分子樹脂等の基板fl)の上
面にAt、Ag、Mg等の金属反射膜(4)をスパッタ
法あるいは蒸着法で形成し、更に該金橋反射膜上にスパ
ッタ法あるいは蒸着法で非晶質あるいは結晶質垂直磁化
膜(3)を形成させ、その垂直磁化膜(3)の上面にB
i金含有ガーネット系化合物のスパッタ膜あるいは蒸着
膜(2)全配設したものでるる。例えばガーネット系薄
膜(2)として、厚さ約0.2μmのスパッタ非晶質膜
をGd2 B ! tF esO1tガーネット焼結体
をスパッタリングすることによシ作製し、当直磁化膜(
3)として、厚さ約0.03μmのFe12Tb211
非晶質磁性膜をスパッタ法で形成して、該垂直磁化膜(
5)の下面に厚さ約0.1μmのMg蒸宥腺を形成させ
た場合、ガーネット膜(2)側から偏光)1 e −N
 eレーザビームを照射し、前記非晶質垂直磁化膜(3
ンを通過し、反射膜(4)で反射され、再度非晶質垂直
磁化膜(3)とガーネット膜(2)を通過することによ
り生じる偏光面の回転角が、非晶質垂直磁化膜だけによ
るカー効果による回転角よりも約3倍大きくなシ、その
結果再生8/N比も第1図の多層膜と同様約10dB向
上した。
第3図、第4図は記録担体の上下両面からポーラ−・カ
ー効果方式によ多情報の記録・再生を行なうことができ
、記録’G11tを倍増したものの断面図でおる。第3
図では反射膜(4)の上下両面に垂直磁化膜の金属磁性
膜(3)、(3)を配置し、更に該谷金属磁性#(3)
、(3)の上面にスパッタリング法によシ作製したBi
含有ガーネット系薄膜(2)、(2)を形成し、更には
該ガーネット系薄膜(2)、(2)上に透明ガラスある
いは透明合成高分子樹脂膜を夫々配設している。また第
4図では8jOxあるいはSiO等の非磁性誘電体膜(
5)上に金属反射膜(4)、(4)を形成し、史に該谷
反射編上に垂直磁化膜(3)、(3)を形成し、更には
該各金属輯性膜(3J、+3)上向にスパッタリング法
あるいは蒸着法によシ作製したBi含有ガーネット系薄
膜+2)、+2)を形成し、該ガーネット膜(2)、(
2)上に透明ガラスあるいは透明合成高分子樹脂膜を夫
々配設している。上記第3図、第4図の記録担体は本質
的には前記第1図、第4図に記載した記録媒体を、各膜
層が中心N膜に対して対称になるように重ね合わせたも
のであシ、そのため各中心層の反射膜層(4)内あるい
は非磁性膜層(5)内に樹脂接着層があっても上記と同
様の効果が得られる。
第5図は前記第3図、第4図で作製した記録媒体の各中
心層の反射層層内おるいは非磁性層内に空気層(6)を
該基板外周にスペーサーを入れることによシ設け、片側
の垂直磁化膜のもれ磁界が他方の垂直磁化膜の磁化の状
態に影響を与えないようにしたことを特徴としている。
第5図の多ノー膜構造は特に保磁力の比較的小さい垂直
磁化膜を記録膜として用いた時に有効である。第5図で
(6)は窒気層(4)、(4)は反射膜、(3)、(3
)は膜に垂直に容易軸を有する金属磁性膜、+2)、(
2)はスパッタリング法あるいは蒸着法によシ作製した
Bi含有ガーネット系薄膜、(1)、(1)は透明基板
を示す。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明の光磁気記録担
体は、本質的にはスパッタ法、蒸着法により垂直磁化膜
の片側の面上に金属反射膜を他方の片側の面上に13i
を含むガーネット系薄膜を形成してなることを特徴とし
ておシ、偏光ビームガーネット展側から入射した時、記
録担体の反射率を低下させずに、スパッタ法あるいは蒸
N法で作製した磁気光学効果の大きいJ3iを含むガー
ネット系薄膜で、カー回転角が強調され、記録担体の性
能指数VK・θXを向上し、再生S/N比を増大するの
に著しい効果があることがわかった。なお本発明の多)
@膜構造では13iを含むガーネット膜の代わりに磁気
光学効果の大きい透明磁性膜を用いても同じ効果を発揮
できることは明らかである。また透明基板上にスパッタ
法、蒸着法によシ形成したガーネット膜を熱処理するこ
とによシ、ガーネット膜の特性を段適化することも出来
る。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図は夫々いずれも本発明の実厖例におけ
る光磁気記録担体を示す断面図である。 1・・・透明基板、2・・・Biを含むガーネット系薄
膜、3・・・垂直磁化膜、4・・・反射膜、5・・・非
磁性族、6第 1 (2) 第 4 図 第1頁の続き 0発 明 者 細 江 譲 国分寺市東恋ケ窪央研究所

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、透明な基板上に、Biを含有するガーネット系化合
    物のスパッタ膜あるいは蒸着膜を配設し、該薄膜の上面
    に膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する金属磁性膜を
    備え、該金属磁性層の上面に金属反射族を設け、該反射
    膜上に必要に応じて透明非磁性誘電体膜を順次形成した
    ことを特徴とする光磁気記録担体。 2、透明な基板上に金属反射膜を設け、該金属反射膜上
    に、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する金属磁性層
    を配設し、該金属磁性層の上面にBiを含有するガーネ
    ット系化合物のスパッタ膜あるいは蒸着膜を配設し、心
    安に応じて非磁性防電体膜を順次形成したことを特徴と
    する光磁気記録担体。 3、特許請求の範囲第1項記載の光磁気記録担体におい
    て、該記録担体の基板側が最外部になるようにお互に近
    接あるいは密着配置したことを特徴とする光磁気記録担
    体。 4、%許請求のk11111第1項乃至第3項のいずれ
    かの項に記載の光磁気記録担体において、該ガーネット
    系化合物のスパッタ族あるいは蒸着膜が優位的に非晶質
    化していることを%徴とする光磁気記録担体。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7726792B2 (en) 2004-12-09 2010-06-01 Canon Kabushiki Kaisha Ink tank for liquid printing apparatus, method of manufacturing same, liquid printing apparatus with same, and method of detecting remaining ink

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