JPS6057556A - 光磁気多層膜媒体 - Google Patents

光磁気多層膜媒体

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JPS6057556A
JPS6057556A JP16322983A JP16322983A JPS6057556A JP S6057556 A JPS6057556 A JP S6057556A JP 16322983 A JP16322983 A JP 16322983A JP 16322983 A JP16322983 A JP 16322983A JP S6057556 A JPS6057556 A JP S6057556A
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JP
Japan
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film
amorphous
garnet
magneto
thickness
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JP16322983A
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Shinji Takayama
高山 新司
Ken Sugita
杉田 愃
Toshio Niihara
敏夫 新原
Katsuhiro Kaneko
金子 克弘
Keikichi Ando
安藤 圭吉
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
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    • GPHYSICS
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    • G11B11/10582Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はレーザー光を用いて情報の記録・再生・消去を
行う光磁気記録に係り、特に性能指数を改善し、S/N
比を向上させた光磁気多層膜媒体に関するものである。
〔発明の背景〕
情報性の増大、機器のコンパクト化とともに記録密度は
今後益々高密度化の傾向にあ広高密度・大容量・情報の
任意仇み出し、書き換え等が可能な光磁気記録が破近庄
目を浴びている。光磁気記録においては、膜面に垂直な
方向に磁化容易軸のある磁性4−J!I!J (n=直
磁化膜)が用いられ、光ビームによって任意の位置に反
転磁区を作ることによって、それらの磁化の向きに対応
して、1”。
“0″の21直情報が記録き扛る。一方、かかる反転比
@を行なった2魚信号の「洸み出しは、通常ポーラ−・
カー効果あるいはファラデー効果を利用して行なう。
従来、これら光磁気記録用磁性薄膜として、MnB1系
結晶・山腹、希土耕−14移金川系非晶質薄膜、ガーネ
ットに代表される化合物単結晶薄膜等の世直磁化j摸が
提案されている。中でも希土類−M移金1tf4系非晶
質薄膜は、結晶粒界がないので媒体ノイズが小さく、大
面積作製が容易であることから現在最も有望視されてい
る。しかしこれら非晶・′P1垂直磁化膜から、反射光
、透過光を利用してポーラ−・カー効果及びファラデー
効果でそれぞれ情報を読み出す方式においては、膜自体
のカー回転角、あるいはファラデー回転角が小さいため
、再生信号レベル(−8/N比)が低いという欠点があ
る。そこでこの再生信号レベルを高めるだめ、ファラデ
ー回転角の比較的大きいガーネット単煤晶博膜、あるい
は810,5j02等の訪醒体膜、あるいは反射膜等を
垂直磁化膜と組み合わせて多・磁化することによすS/
N比向上が試みられている。
しかし、従来報告されている多層膜構造では、カー回転
角は約1.5倍程度に増加するが、感体自体の反射率が
垂直磁化膜単独の場合と比べて約半分以下に減じてしま
うだめ、結果的にはS/N比の大きな増加が得られない
。またGG’、G上に作製したガーネット単結晶膜を用
いた光磁気記録媒体では、高価で・ちることと大面積の
記録媒体が得られない欠点がある。さらに従来の反射膜
、あるいは非41嵌性誘電体膜と垂直磁化膜との多層膜
でもS/N比は約1.2倍程度に増加するのみである。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、ガーネット系化合物の非晶質j原を記
録媒体とすることにより再生時のポーラ−・カー回転角
、ファラデー回転角を増大させ、実用に十分通したS/
N比のある光磁気多層膜媒体を提供することにある。
〔発明の概要〕
磁性ガーネットが強磁性金属や合金に比べて、著しく光
に透明であり、しかもファラデー効果が比較的大きいこ
とはよく知られている。特にBiを含む磁性ガーネット
は、Bi無添加のそれと比べて可視から近赤外光波長領
域まで性能指数(θP/α:θFはファラデー回転角、
αは吸収係数をそれぞれ表わす)が著しく大きくなり、
光応用素子材料として陵れた性質をもっている。
本発明者等はこの光応用素子材料として陵れた性質をも
つガーネット系化合物を、スパッタリング法あるいは蒸
着法で非晶質化し、本質的には情報を記録する垂直磁化
膜の膜面の上下両側に配設することにより、垂直磁化膜
の記録情報を膜面上下に各々設けられた非晶質膜層に磁
気転写させ、再生時のポーラ−・カー回転角、ファラデ
ー回転角を該非晶質膜の二層で者しく向上させ、さらに
カー回転角による読み出し方式では非磁性)摸あるいは
金属反射膜を設けることによシ、性能指数<fi・θx
:Rは反射率、θにはカー回転角を表わす)の向上を図
ることを考茶し、本発明に至つた。
不発明者等はまた、刀−ネット化合物を例えばスパッタ
法あるいは蒸着法で作製した膜で、特に該結晶質膜よシ
も非晶質化した膜を上記光磁気記録媒体に用いることに
よシ、垂直磁化膜に記録された情報が正確に磁気転写さ
れ、再生レベルノイズも結晶質膜と比べて・匝めて低く
することが出来ることを見い出しだ。また磁気光学効果
の大きいガーネット系化合物をスパッタリングあるいは
蒸着で膜形成することは、大面積化が可能であり、大面
積のディスク媒体を作る上でも有利であり、しかも従来
の単結晶ガーネット膜と比べても安価であることは明ら
かである。
本発明の多層J摸構這において、反射膜を設けない多層
j漢媒体は特にファラデー効果によ多情報の読み出し全
行なう方式に適しておシ、反射膜を設けた多層膜媒体は
ポーラ−・カー効果によ多情報の読み出し全行なう方式
に適している。−力木発明の多層膜構造においては、垂
直磁化膜を透過した光も磁気光学効果の増幅に利用する
ため、瞑垂直磁化、膜の厚さは連続均質膜作製が比較的
容易な厚さ以上で、レーザー光が透過可能な厚さ以下の
0.05〜0.15μmの孔囲にすることが望ましい。
また垂IM磁化膜としては、再生時のノイズを小さくす
るために、布上」−選移金島非晶質膜を用いることが好
ましいが、Mn−B1糸等の多結晶(1へ性膜では結晶
粒の大きさを約0.1μm以下にすることがより好まし
い。
〔発明の実施例〕
以下実施例によ)本発明の詳細な説明する。
第1図に本発明の一笑施例を示す光磁気多層膜媒体の断
面図を示す。透明なガラスあるいは合成高分子樹脂等の
基板(1)の上面にガーネット系化合物の非晶質膜(2
)をスパッタリングあるいは蒸着で形成し、該非晶質膜
(2)の上面に、嗅面に金属磁性膜の垂直磁化膜(3)
をスパッタリング法あるいは蒸着法で形成し、更にその
上面に同様の方法でガーネット系化合物の非晶質1反(
2)、金属反射膜(4ンの順に形成させる。例えばガラ
ス基板(厚さ0.311F )上にガーネット系化合物
の非晶質膜(厚さ0.1μm)をY3F’e5012化
合吻の焼1.η体(径100wφ)をターゲットとして
、スパッタ法で作製し、同様の方法で、世直磁化1漠と
してF eys Tb2s非晶@膜(厚さ0.02μm
)を、金属反射l摸としてA7薄jt、i (厚さ0.
1μm)の多層膜を作製した。この場合、ガラス基板側
からHe−Neレーザー光を用いてd111定したカー
回転角θには約1度で、反射率Rは約40%で占った。
従って該記録媒体の性能指数VW・θには約0.6と高
く、その再生S/N比も約50dBと高い値を示した。
第2図は他の実施例を示す多層膜媒体の断面図であシ、
透明なガラスあるいは合成高分子樹脂等の塙板(1)の
上面にAL、Ag、Mg4の金属反射If!(4)をス
パッタ法あるいは蒸着法で形成し、更に該全域反射J良
上に同様の方法でガーネット系化合I吻の非晶質膜に)
、金属磁性膜の垂直磁化膜(3)、ガーネット系化合物
の非晶質膜(2)の順に形成させ、然る後に、該非晶質
膜上に8102等の非磁性誘電体膜(5)を形成させた
ものである。例えば0,3咽jV、のガラス構板を用い
、金属反射膜として厚さ0.1μmのAg蒸着膜を、ガ
ーネット系化合物の非晶j漠として径100mφのGd
2 B11F’e5012化合物の焼結体をターゲット
として用い、スパッタ法で作製し、同様の方法で、垂直
磁化膜として厚さ0.02 p mのFe69 Tb+
oGdt+ 非晶質膜を、非磁性誘電体膜として、厚さ
0.1μmのSiO膜を作製して第2図の多層膜を構成
した場合、)(e−Neレーザー光を用いて51011
g側から測定したカー回転角は約1.2度反射率Rは約
36%であづだ。従って該記録媒体の性能指数V玉・θ
には約0.72と^く、その再生S/N比は約55dB
と高い値を示した。
第3図は記録媒体の上下両面からポーラ−・カー効果方
式により情報の記録・再生を行なうことが出来、記憶容
量を倍増した断面図である。
本実施例では厚さ0.3 mmの透明なガラス基板上に
B10−7Y2.3Fe5012ガ一ネツト焼結体をタ
ーゲット(径100m+n)として用いて、スパッタ法
で非晶質膜(厚さ0.2μm)を作製し、該非晶質膜上
にスパッタ法でp e7QcO5T’blOod15非
晶質垂直磁化膜(厚さ0.02μm)を設け、5さらに
該垂直磁化J漠の上に、前記と同非ノ13io−tYz
。3 F e+ O+ 2 ノ非晶Iり膜(厚さ0.2
μm)を設け、該非晶質膜の上面にAt蒸着膜(厚さ0
.1μm)を備えた記録媒体を作製し、同様にして作製
した記録媒体を、ガラス基板が最外部になるように密着
させたものである。このような構造では前記実施例1と
同様の効果が得られ、しかも基板から入射した光は金属
反射膜で全て反射されるため両面記録・再生が可能とな
る。
第4図の多層膜構造は特にファラデー効果により、記録
情報の再生を行なうのに適してお、!t、(i)は厚さ
0.3 mrnのガラス基板、(2)、(2)はB 4
o、rY2.s Roaガーネット焼結体(径100m
mφ)をターゲットとして用いて、スパッタ法で作製し
た非晶質膜、(5)はスパッタ法で作製した厚さ約0.
15μmの8102膜をそれぞれ示す。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明の光磁気多層膜
媒体は、本質的にはスパッタ法、蒸着法により垂直磁化
膜の両側にガーネット系化合物の非晶質膜を形成してな
ることを特徴としており、垂直磁化膜に記録された情報
がガーネット系化合゛物の非晶質膜に磁気転写されるた
め、ポーラ−・カー効果あるいはファラデー効果で記録
情報を再生する場合、再生S/N比を著しく増大する効
果があることがわかった。また本発明の多層膜構造では
、ガーネット系化合′吻の非晶質ノ+ての代わシに1ガ
一ネツト化合物の組成からずれだ組成式を有する1司気
光学効果の大きい透明酸化物磁性膜を用いても同じ効果
が発揮出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図はおのおの本発明の実施例を示す光磁
気多層膜媒体。 1・・・透明基板、2・・・ガーネット系化合物の非晶
質膜、3・・・垂直磁化膜、4・・・反射膜、5・・・
非イ改性誘第1頁の続き [相]発 明 者 安 藤 圭 吉 国分寺市東恋ケ窪
央研究所内

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、非晶・訛化されたガーネット系化合物を媒体構造の
    構成層として用いたことを特徴とする光磁気多層膜媒体
    。 2、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する金属磁性膜
    の膜面に、本質的に該膜面の上下両側にガーネット系化
    合物の非晶質膜を配設したこと。 を特徴とする光磁気多層膜媒体。 3、透明な基板上に、ガーネット系化合物の非晶質膜を
    配設し、該非晶質膜の上面に膜面に垂直な方向に磁化容
    易軸を有する金属磁性膜を備え。 該金属磁性膜の上面にガーネット系化合物の非晶質ノ1
    莫を配設し、該非晶質膜上面に必要に応じて透明非磁性
    誘電体膜を順次形成したことを特徴とする光磁気多層膜
    媒体。 4、−透明な基板上に、ガーネット系化合物の非晶、1
    膜を配設し、該非晶質膜の上面に膜面に垂直な方向に磁
    化容易軸を頁する金属磁性膜を備え、該金属脆性1漠の
    上面にガーネット系化合物の非晶質;換葡3記設し、該
    非晶質膜上面に金属反射1厘を設け、該可射膜上面に必
    要に応じて透明非・丑5、&L明な晶板上に金属反射膜
    を設け、該反射膜上面にガーネット系化合物の非晶・改
    膜を1ノmえ、該非晶質膜上面に膜面に垂直な方向に磁
    化容易軸を有する金@1直性膜を設け、該金属磁性膜の
    上面にガーネット系化合物の非晶質膜を配設し、該非晶
    質膜上面に必要に応じて透明非磁性誘祇体膜を順次形成
    したことを特徴とする光磁気多層膜媒体。 6、上記特許請求の範囲第4項記載の光磁気多層膜媒体
    において、該媒体の基板側が最外部になるようにお互に
    近接あるいは密層配設したこと光磁気多層膜媒体におい
    て、原ガーネット系化合物の非晶質+gがB4を含有す
    ることを特徴と光磁気多層膜媒体において、該膜面に老
    直な方向に磁化容易軸を有する金属磁性膜の厚さが0.
    05〜0.15μmであることを特徴とする光磁気多層
    膜媒体。
JP16322983A 1983-09-07 1983-09-07 光磁気多層膜媒体 Pending JPS6057556A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01306060A (ja) * 1988-05-31 1989-12-11 Honda Motor Co Ltd ダイカスト機における射出装置
US7128934B1 (en) * 1997-02-21 2006-10-31 Key Coffee, Inc. Drink-extracting bag equipped with holding element

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01306060A (ja) * 1988-05-31 1989-12-11 Honda Motor Co Ltd ダイカスト機における射出装置
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