JPS6027806A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPS6027806A JPS6027806A JP13549583A JP13549583A JPS6027806A JP S6027806 A JPS6027806 A JP S6027806A JP 13549583 A JP13549583 A JP 13549583A JP 13549583 A JP13549583 A JP 13549583A JP S6027806 A JPS6027806 A JP S6027806A
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- Japan
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- nozzles
- nozzle
- air
- measured
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
- G01B13/16—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
- G01B13/08—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters
- G01B13/10—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters internal diameters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は被測定物の内径、真円度、円筒度、直角度を検
測するエア一式の測定装置に関するものである。
測するエア一式の測定装置に関するものである。
〈従来技術〉
エア一式の測定装置としては、被測定面に近接して配置
されたエアーノズルの背圧がノズルと被測定面との隙間
に応じて変化するのを利用している。かかるエアーノズ
ルとしては、各ノズル単独に圧力検出器を接続して独立
ノズル方式と、一対の対向するノズルを１つの圧力検出
器に接続した対向ノズル方式とがある。前者においては
、ノズル毎に圧力検出器が設けられるため、一対のノズ
ルで直径寸法の測定をする場合には、各ノズルに対応し
た圧力検出器の出力信号を演算回路で演算する必要があ
る。このため各圧力検出器の信号レベルを判定するレベ
ル判定回路の他に２信号を１信号に変換する演算回路を
も必要とするため、構成機器が多くなりコスト高となる
。
されたエアーノズルの背圧がノズルと被測定面との隙間
に応じて変化するのを利用している。かかるエアーノズ
ルとしては、各ノズル単独に圧力検出器を接続して独立
ノズル方式と、一対の対向するノズルを１つの圧力検出
器に接続した対向ノズル方式とがある。前者においては
、ノズル毎に圧力検出器が設けられるため、一対のノズ
ルで直径寸法の測定をする場合には、各ノズルに対応し
た圧力検出器の出力信号を演算回路で演算する必要があ
る。このため各圧力検出器の信号レベルを判定するレベ
ル判定回路の他に２信号を１信号に変換する演算回路を
も必要とするため、構成機器が多くなりコスト高となる
。
後者においては、供給路を共通にする一対のノズルの背
圧を１つの圧力検出器に導くものであるため、直径寸法
に応じた信号が１つの圧力検出器から出力され、圧力検
出器が減らせる上に演算回路を必要としない。
圧を１つの圧力検出器に導くものであるため、直径寸法
に応じた信号が１つの圧力検出器から出力され、圧力検
出器が減らせる上に演算回路を必要としない。
このように対向ノズル方式においては、構成機器が低減
できるので内径、真円度、円筒度の測定の場合にはコス
ト的にきわて有利になる。
できるので内径、真円度、円筒度の測定の場合にはコス
ト的にきわて有利になる。
しかしながら、端面に対する穴内周面の直角度を測定す
る場合に、穴径測定のままの構成では穴径の差は検出で
きても同一径で穴が傾いているような場合は検出不能で
ある。
る場合に、穴径測定のままの構成では穴径の差は検出で
きても同一径で穴が傾いているような場合は検出不能で
ある。
このため従来は直角度の測定は、穴径、円筒度、真円度
の測定とは別行程で別個の測定ヘッドを用いて測定が行
われていた。
の測定とは別行程で別個の測定ヘッドを用いて測定が行
われていた。
このため測定装置のコストアンプを招くばかりでなく、
別々のステーションにて測定しなければならないので測
定時間が長くかかる欠点があった。
別々のステーションにて測定しなければならないので測
定時間が長くかかる欠点があった。
〈発明の目的〉
本発明の目的は、内径、円筒度、真円度等の測定に加え
て直角度の測定も同一測定ヘッドの一同の挿入動作で達
成することであり、併せて測定装置のコストダウンを図
り、測定時間を短縮することである。
て直角度の測定も同一測定ヘッドの一同の挿入動作で達
成することであり、併せて測定装置のコストダウンを図
り、測定時間を短縮することである。
〈発明の構成〉
本発明の特徴とする構成は、測定ヘッドに、被測定物の
穴内周面に対向し少なくとも４位相に配置された複数の
エアーノズルの組を軸方向に離間して少なくとも２組設
けるとともに、被測定物の端面に対向するエアーノズル
の組を設け、端面に対向する各エアーノズルは各別に圧
力検出器に接続し、穴内周面に対向する各エアーノズル
は同一平面内に位置し逆向きの一対のエアーノズルを互
いに接続する第１の接続状態と、軸方向位置を異にする
２平面内に位置し逆向きの一対のエアーノズルを互いに
接続する第２の接続状態に切替え可能な切替弁を介して
それぞれ圧力検出器に接続したものである。
穴内周面に対向し少なくとも４位相に配置された複数の
エアーノズルの組を軸方向に離間して少なくとも２組設
けるとともに、被測定物の端面に対向するエアーノズル
の組を設け、端面に対向する各エアーノズルは各別に圧
力検出器に接続し、穴内周面に対向する各エアーノズル
は同一平面内に位置し逆向きの一対のエアーノズルを互
いに接続する第１の接続状態と、軸方向位置を異にする
２平面内に位置し逆向きの一対のエアーノズルを互いに
接続する第２の接続状態に切替え可能な切替弁を介して
それぞれ圧力検出器に接続したものである。
ここに切替弁を第１の接続状態に切替えれば、穴内周面
に対向するエアーノズルは、対向ノズル方式で内径、円
筒度、真円度等の測定ができることになり、第２の接続
状態に切替えれば、端面に対する穴内周面の直角度の測
定が対向ノズル方式のままでできることになり、被測定
物に対する１回の挿入動作で全ての測定が迅速に行なえ
ることになる。
に対向するエアーノズルは、対向ノズル方式で内径、円
筒度、真円度等の測定ができることになり、第２の接続
状態に切替えれば、端面に対する穴内周面の直角度の測
定が対向ノズル方式のままでできることになり、被測定
物に対する１回の挿入動作で全ての測定が迅速に行なえ
ることになる。
〈実施例〉
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は検測ヘッド１０を示ず縦断面図であり、基準端
面１１の中央に軸状突出部１２が垂直に突設され、その
外周面には複数のエアーノズル１３が開口している。こ
のエアーノズル１３は同一平面内において円周上４等分
位置に開口するエアーノズルの組が軸線方向位置を異に
して２組、計８個のエアーノズルが設けられている。基
準端面１１にも位相を同しくして４個のエアーノズル１
４が開口している。各ノズル１３の周囲には、流出流体
の相互干渉をなくすための逃がし溝１５が刻設され、各
週がし溝１５は軸方向溝１６を通じて大気中に連通され
ている。基準端面１１に開口するノズル１４の周囲には
放射状の逃がし溝１７が５− 刻設されている。各ノズル１３．１４の一端は検測ヘッ
ト１０に穿設された給気路２０，２１とそれぞれ連通し
、基準端面に開口するエアーノズル１４は第５図に示ず
ように給気路２１を介して圧力検出ユニットＰＤに連通
されている。
面１１の中央に軸状突出部１２が垂直に突設され、その
外周面には複数のエアーノズル１３が開口している。こ
のエアーノズル１３は同一平面内において円周上４等分
位置に開口するエアーノズルの組が軸線方向位置を異に
して２組、計８個のエアーノズルが設けられている。基
準端面１１にも位相を同しくして４個のエアーノズル１
４が開口している。各ノズル１３の周囲には、流出流体
の相互干渉をなくすための逃がし溝１５が刻設され、各
週がし溝１５は軸方向溝１６を通じて大気中に連通され
ている。基準端面１１に開口するノズル１４の周囲には
放射状の逃がし溝１７が５− 刻設されている。各ノズル１３．１４の一端は検測ヘッ
ト１０に穿設された給気路２０，２１とそれぞれ連通し
、基準端面に開口するエアーノズル１４は第５図に示ず
ように給気路２１を介して圧力検出ユニットＰＤに連通
されている。
軸状突出部１２の外周面に開口する８個のノズル１３と
格別に連通された給気路２０は、電磁切替弁ＳＶＩ〜Ｓ
Ｖ８を介して、同一平面内で対向する一対のノズルどう
しを互いに連通させる第１の状態、又軸方向位置を異に
する２平面内において対向する一対のノズルどうしを互
いに連通させる第２の状態に切替可能に接続されている
。接続切替される一対のノズルの接続点０． Ｐ、Ｑ、
Ｒは連通路２２を介して圧力検出ユニッ）ＰＤに接続さ
れている。
格別に連通された給気路２０は、電磁切替弁ＳＶＩ〜Ｓ
Ｖ８を介して、同一平面内で対向する一対のノズルどう
しを互いに連通させる第１の状態、又軸方向位置を異に
する２平面内において対向する一対のノズルどうしを互
いに連通させる第２の状態に切替可能に接続されている
。接続切替される一対のノズルの接続点０． Ｐ、Ｑ、
Ｒは連通路２２を介して圧力検出ユニッ）ＰＤに接続さ
れている。
第６図、第７図は被測定物Ｗとノズル位置を示すもので
あり、各ノズル位置を示すアルファ記号は第５図のノズ
ルに付したアルファ記号と対応させである。
あり、各ノズル位置を示すアルファ記号は第５図のノズ
ルに付したアルファ記号と対応させである。
前記電磁切替弁ＳＶＩ〜ＳＶ８の切替作用によ６−
る各ノズル相互の連通関係を次に説明する。
電磁切替弁ＳＶＩ〜ＳＶ８のソレノイドが全て無勢され
た図示状態においては、ノズルに、 Ｇ。
た図示状態においては、ノズルに、 Ｇ。
Ｆ、Ｊに通ずる給気路は閉止され、同一平面内において
互いに対向する一対のノズルどうし、例えばＨとＦとか
ＬとＪの連通はされていないし、又異なる平面内におい
て対応する一対のノズル、例えばＨとＪとかＦとＬの連
通もされていない。
互いに対向する一対のノズルどうし、例えばＨとＦとか
ＬとＪの連通はされていないし、又異なる平面内におい
て対応する一対のノズル、例えばＨとＪとかＦとＬの連
通もされていない。
（１）同一平面内対向ノズルの連通
内径、円筒度、真円度の測定は、同一平面内に位置する
４１［１のノズルの互いに対向するものどうしを連通さ
せ、両ノズルの合成背圧を１つの圧力検出器に導き計測
が行われる。かかる連通切替えは第５図の状態より電磁
切替弁ＳＶＩ、ＳＶ４゜ＳＶ６．ＳＶ７のソレノイドを
付勢することにより、ノズルＩとに、ＥとＧ、ＦとＨ，
ＬとＪがそれぞれ連通され、互いに連通された一対のノ
ズルの背圧変化が圧力検出ユニットの圧力センサに導か
れて計測される。
４１［１のノズルの互いに対向するものどうしを連通さ
せ、両ノズルの合成背圧を１つの圧力検出器に導き計測
が行われる。かかる連通切替えは第５図の状態より電磁
切替弁ＳＶＩ、ＳＶ４゜ＳＶ６．ＳＶ７のソレノイドを
付勢することにより、ノズルＩとに、ＥとＧ、ＦとＨ，
ＬとＪがそれぞれ連通され、互いに連通された一対のノ
ズルの背圧変化が圧力検出ユニットの圧力センサに導か
れて計測される。
内径測定としては、一対のノズルの組が４組（Ｅ十Ｇ）
、（Ｆ十Ｈ）、、（Ｊ十Ｋ）、（Ｊ十Ｌ）あるので各組
の最小値を内径測定値とする。
、（Ｆ十Ｈ）、、（Ｊ十Ｋ）、（Ｊ十Ｌ）あるので各組
の最小値を内径測定値とする。
真円度測定としては、４組の計測値より、直交するノズ
ル相互の差よりｌ （Ｅ十Ｇ）−（Ｆ十Ｈ）１又はｌ
（Ｉ＋Ｋ）−（Ｊ＋Ｌ）ｌの最大値とする。
ル相互の差よりｌ （Ｅ十Ｇ）−（Ｆ十Ｈ）１又はｌ
（Ｉ＋Ｋ）−（Ｊ＋Ｌ）ｌの最大値とする。
円筒度測定としては、４組の計測値より、同一位相ノズ
ル相互の差よりｌ （Ｅ＋Ｇ）−（１＋Ｋ）１又はｌ
（Ｆ＋Ｈ）−（Ｊ＋Ｌ）ｌの最大値とする。
ル相互の差よりｌ （Ｅ＋Ｇ）−（１＋Ｋ）１又はｌ
（Ｆ＋Ｈ）−（Ｊ＋Ｌ）ｌの最大値とする。
（２）異なる平面内対向ノズルの連通
被測定物Ｗのフランジ端面に対する穴内周面の直角度の
測定は、異なる平面内に位置しかつ対向するものどうし
を連通させて計測が行われる。かかる連通路切替えは、
第５図の状態より電磁切替弁ＳＶ２．ＳＶ３．ＳＶ５．
ＳＶ８のソレノイドを付勢することにより、ノズルＥと
に、ＩとＧｌＬとＦ、ＪとＨがそれぞれ連通され、互い
に連通された一対のノズルの背圧変化が圧力検出ユニッ
トＰＤのセンサに導かれて計測される。
測定は、異なる平面内に位置しかつ対向するものどうし
を連通させて計測が行われる。かかる連通路切替えは、
第５図の状態より電磁切替弁ＳＶ２．ＳＶ３．ＳＶ５．
ＳＶ８のソレノイドを付勢することにより、ノズルＥと
に、ＩとＧｌＬとＦ、ＪとＨがそれぞれ連通され、互い
に連通された一対のノズルの背圧変化が圧力検出ユニッ
トＰＤのセンサに導かれて計測される。
直角度の測定としては、基準端面１１に開口するノズル
Ａ、Ｃを基準にしてこれを含む内面での穴直角度の測定
と、ノズルＢ、Ｄを基準にしてこれを含む面内での穴直
角度の測定とがある。
Ａ、Ｃを基準にしてこれを含む内面での穴直角度の測定
と、ノズルＢ、Ｄを基準にしてこれを含む面内での穴直
角度の測定とがある。
ここにＬｌ、Ｌ２を内径測定ノズルの軸方向間隔（Ｌｌ
−ノズルＦとＪの軸方向間隔、Ｌ２−ノズルＥとＩの軸
方向間隔）とし、Ｌ３を端面測定用ノズルの対角方向の
間隔とする。
−ノズルＦとＪの軸方向間隔、Ｌ２−ノズルＥとＩの軸
方向間隔）とし、Ｌ３を端面測定用ノズルの対角方向の
間隔とする。
ノズルＡ、Ｃ基準の場合の直角度は次式％式％
ノズルＢ、Ｄ基準の場合の直角度は次式９−
ＰＡＲＩ、ＰＡＲ２の最大値を直角度の計測値とする。
尚、第５図における圧力検出ユニットＰＤには給気ライ
ン２３よりレギュレータバルブ２４を介して定圧エアー
が供給されている。
ン２３よりレギュレータバルブ２４を介して定圧エアー
が供給されている。
圧力検出ユニッ）ＰＤのそれぞれは第８図に示すように
、前記給気ライン２３からの分岐路２５と第１オリフイ
ス２６を介して各ノズル給気路は連通され、このノズル
給気路にはノズル給気路２０又は２１の圧力、即ちノズ
ル背圧を検出する圧力センサ３０が設けられている。圧
力センサ３゜からの出力信号はＡＤ変換器３１を介して
データ処理装置３２に与えられ、各圧力センサ３ｏの出
力より前記内径、円筒度、真円度、直角度の計測値が算
出される。
、前記給気ライン２３からの分岐路２５と第１オリフイ
ス２６を介して各ノズル給気路は連通され、このノズル
給気路にはノズル給気路２０又は２１の圧力、即ちノズ
ル背圧を検出する圧力センサ３０が設けられている。圧
力センサ３゜からの出力信号はＡＤ変換器３１を介して
データ処理装置３２に与えられ、各圧力センサ３ｏの出
力より前記内径、円筒度、真円度、直角度の計測値が算
出される。
〈発明の効果〉
以上述べたように検測ヘッドを被測定物Ｗに挿入した状
態において、電磁切替弁ＳＶＩ〜ＳＶ８を適宜切替える
ことにより、同一平面内に位置する一対の対向ノズル、
例えばＨ，！：Ｆを互いに連通１０− させて、両ノズルの合成された背圧が圧力センサにて計
測され、前記のように他の組のノズル背圧計測値とに応
じて内径、円筒度、真円度の測定がなされる。
態において、電磁切替弁ＳＶＩ〜ＳＶ８を適宜切替える
ことにより、同一平面内に位置する一対の対向ノズル、
例えばＨ，！：Ｆを互いに連通１０− させて、両ノズルの合成された背圧が圧力センサにて計
測され、前記のように他の組のノズル背圧計測値とに応
じて内径、円筒度、真円度の測定がなされる。
又測定ヘッドの挿入状態において電磁切替弁を切替える
と、異なる平面内に位置する一対の対向ノズル、例えば
Ｆ（！：Ｌを互いに連通させ、両ノズルの合成された背
圧が圧力センサにて計測され、端面に開口するノズル、
例えばＢとＤの計測値を基準に穴の直角度の測定がなさ
れる。
と、異なる平面内に位置する一対の対向ノズル、例えば
Ｆ（！：Ｌを互いに連通させ、両ノズルの合成された背
圧が圧力センサにて計測され、端面に開口するノズル、
例えばＢとＤの計測値を基準に穴の直角度の測定がなさ
れる。
このように−回の挿入動作で切替弁の切替作用のみで、
内径、円筒度、真円度のいずれかの測定に加えて端面に
対する大面角度の測定もできることとなり、測定ステー
ションの削減を図ることができるばかりでなく、測定時
間も大幅に短縮できる利点がある。
内径、円筒度、真円度のいずれかの測定に加えて端面に
対する大面角度の測定もできることとなり、測定ステー
ションの削減を図ることができるばかりでなく、測定時
間も大幅に短縮できる利点がある。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は検測ヘッ
ドの縦断面図、第２図はその要部外観図、第３図は第２
図におけるｍ−ｍ線矢視断面図、第４図は第２図におけ
るｒＶ−ＩＶ線矢視断面図、第５図はノズル接続状態を
切替える回路線図、第６図。 第７図は各ノズル位置と被測定物との関係を示す図、第
８図は圧力検出ユニットの構成を示す図である。 １０・・・検測ヘッド、１３．１４・・・エアーノズル
、２０．２１・・・給気路、２２・・・連通路、２３・
・・供給ライン、２４・・・レギュレータバルブ、ＰＤ
・・・圧力検出ユニット、２５・・・分岐路、２６・・
・オリフィス、３０・・・圧力センサ、３１・・・ＡＤ
変換器。 特許出願人 豊田工機株式会社
ドの縦断面図、第２図はその要部外観図、第３図は第２
図におけるｍ−ｍ線矢視断面図、第４図は第２図におけ
るｒＶ−ＩＶ線矢視断面図、第５図はノズル接続状態を
切替える回路線図、第６図。 第７図は各ノズル位置と被測定物との関係を示す図、第
８図は圧力検出ユニットの構成を示す図である。 １０・・・検測ヘッド、１３．１４・・・エアーノズル
、２０．２１・・・給気路、２２・・・連通路、２３・
・・供給ライン、２４・・・レギュレータバルブ、ＰＤ
・・・圧力検出ユニット、２５・・・分岐路、２６・・
・オリフィス、３０・・・圧力センサ、３１・・・ＡＤ
変換器。 特許出願人 豊田工機株式会社
Claims (1)
- （１）被測定物の穴内周面に対向する複数の第１エアー
ノズル及び被測定物の端面に対向する複数の第２エアー
ノズルを備えた検測ヘッドを設けるとともに各エアーノ
ズルの背圧変化を検出する圧力検出器を設けてなる測定
装置において、前記第１エアーノズルは被測定物の穴内
周面に対向し同一平面内において少なくとも４位相に配
置された複数のエアーノズルの組を軸方向に２組離間し
て設け、同一平面内に位置し逆向きの一対のエアーノズ
ルを互いに接続して１つの圧力検出器に両ノズル背圧を
導く第１の接続状態と、軸方向に離間した２平面内に位
置し逆向きの一対のエアーノズルを互いに接続して１つ
の圧力検出器に両ノズル背圧を導く第２の接続状態とに
切替可能な切替手段を設けたことを特徴とする測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549583A JPS6027806A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549583A JPS6027806A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6027806A true JPS6027806A (ja) | 1985-02-12 |
| JPH0574763B2 JPH0574763B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=15153070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13549583A Granted JPS6027806A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6027806A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0911604A3 (de) * | 1997-10-24 | 2000-10-11 | THEYSOHN GmbH | Prüfeinrichtung für Langprofile, insbesondere durch Extrusion hergestellte Langprofile |
| US6708566B1 (en) | 2003-02-21 | 2004-03-23 | Robert Bosch Gmbh | Air gauge for measuring the geometry of precision machined fluid passages |
| JP2009150780A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Honda Motor Co Ltd | 背圧式気体マイクロメータ、複数の被検査孔部の内径同時検査システムおよび内径同時検査方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4565725B2 (ja) * | 2000-09-28 | 2010-10-20 | 本田技研工業株式会社 | 軸ずれ測定用エアマイクロ装置および測定方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56137206A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-27 | Toshiba Corp | Gauging nozzle for air micrometer |
-
1983
- 1983-07-25 JP JP13549583A patent/JPS6027806A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56137206A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-27 | Toshiba Corp | Gauging nozzle for air micrometer |
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| US6708566B1 (en) | 2003-02-21 | 2004-03-23 | Robert Bosch Gmbh | Air gauge for measuring the geometry of precision machined fluid passages |
| JP2009150780A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Honda Motor Co Ltd | 背圧式気体マイクロメータ、複数の被検査孔部の内径同時検査システムおよび内径同時検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0574763B2 (ja) | 1993-10-19 |
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