JPS60256205A - 表面波フイルタ製造方法 - Google Patents
表面波フイルタ製造方法Info
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- JPS60256205A JPS60256205A JP11339784A JP11339784A JPS60256205A JP S60256205 A JPS60256205 A JP S60256205A JP 11339784 A JP11339784 A JP 11339784A JP 11339784 A JP11339784 A JP 11339784A JP S60256205 A JPS60256205 A JP S60256205A
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は映像機器のVIP回路、STF回路等に使用さ
れる表面波フィルタの製造方法に関する。
れる表面波フィルタの製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点
従来、表面波フィルタは第1図■〜■の工程で製造され
ている。つまり、工程Iではガラス基板(1)上にアル
ミニウム(2)を全面に蒸着し、工程IIではアルミニ
ウム(2)登エツチングしてくし形電極(3)に形成し
、工程■ではその上に圧電体(4)髪スパッタリングに
よって付着(結晶成長)させ、工程■ではその上にアル
ミニウム(5)を全面に蒸着し、工程■ではアルミニウ
ム(5)をエツチングして対向電極(6)を形成し、更
に、工程■ではくし形電極(3)のパッド電極(7)上
にある圧電体(4)だけをエツチングにより除去して作
成していた。
ている。つまり、工程Iではガラス基板(1)上にアル
ミニウム(2)を全面に蒸着し、工程IIではアルミニ
ウム(2)登エツチングしてくし形電極(3)に形成し
、工程■ではその上に圧電体(4)髪スパッタリングに
よって付着(結晶成長)させ、工程■ではその上にアル
ミニウム(5)を全面に蒸着し、工程■ではアルミニウ
ム(5)をエツチングして対向電極(6)を形成し、更
に、工程■ではくし形電極(3)のパッド電極(7)上
にある圧電体(4)だけをエツチングにより除去して作
成していた。
従来ではこのような■〜■のプロセスを全て通って初め
て周波数特性を観察することができ、仮に中心周波数が
合っていなければ、再度その」−すらスパッタリング、
及びパッド部の再エツチングを行なわねばならないもの
であって、プロセスが増えるばかりかそれに比例して品
質の劣化もあった。
て周波数特性を観察することができ、仮に中心周波数が
合っていなければ、再度その」−すらスパッタリング、
及びパッド部の再エツチングを行なわねばならないもの
であって、プロセスが増えるばかりかそれに比例して品
質の劣化もあった。
発明の目的
本発明はプロセスの増加、品質の劣化と云う従来の欠点
を解消して、より高精度なフィルタを作ることかできる
表面波フィルタの製造方法を提供することを目的とする
。
を解消して、より高精度なフィルタを作ることかできる
表面波フィルタの製造方法を提供することを目的とする
。
発明の構成
本発明の表面波フィルタの製造方法は、くし形電極と対
向電極を備えた表面波フィルタの製造に際し、くし形電
極作成時にウェハ上に検査用に少なくとも1ケ所の対向
電極を同時に作成し、圧電体のスパッタリング後の対向
電極作成時にはウェハ1−にすでに形成された前記検査
用の対向電極位置にだけは検査用くし形電極を同時に作
成し、この検査用くし形電極によって周波数特性を測定
して検査用くし形電極の他のくし形電極の特性を推定す
ることを特徴とする。
向電極を備えた表面波フィルタの製造に際し、くし形電
極作成時にウェハ上に検査用に少なくとも1ケ所の対向
電極を同時に作成し、圧電体のスパッタリング後の対向
電極作成時にはウェハ1−にすでに形成された前記検査
用の対向電極位置にだけは検査用くし形電極を同時に作
成し、この検査用くし形電極によって周波数特性を測定
して検査用くし形電極の他のくし形電極の特性を推定す
ることを特徴とする。
実施例の説明
以下、本発明の表面波フィルタの製造方法を具体的な一
実施例に基づいて説明する。
実施例に基づいて説明する。
まず、本発明の概略を第4図と第5図に基づいて説明す
る。つまり、1枚のウェハの中で、第4図の様にくし形
電極(3)を作成する時には、1ケ所だけ検査用に対向
電極(6)を作成し、第5図の如く対向電極を作成する
ときには先に検査用対向[極(10)を作成した1ケ所
については検査用くし形電極(3)を作成する。では、
詳しく第2図に基づいて説明する。
る。つまり、1枚のウェハの中で、第4図の様にくし形
電極(3)を作成する時には、1ケ所だけ検査用に対向
電極(6)を作成し、第5図の如く対向電極を作成する
ときには先に検査用対向[極(10)を作成した1ケ所
については検査用くし形電極(3)を作成する。では、
詳しく第2図に基づいて説明する。
工程■ではガラス基板(1)」―にアルミニラlい(2
)を全面に蒸着する。この時はウェハ全面同−状態であ
る。次に、工程11ではウェハの大部分は(a)のよう
にエツチングしてくし形電極(3)を作成するが、 ウ
ェハの中で1ケ所のみ(b)のようにエツチングして対
向電極(6)を作成する。 に稈IIIではその」−よ
り圧電体(4)をスパッタリングにより全面に付け、工
程IVではその」;にアルミニウム(5)を全面に蒸着
等の方法でつける。工程■では、ウェハの大部分は(c
)のようにエツチングしてz1向電極(6)を作成し、
ウェハの中で前記の1′、稈■で1ケ所だけ先に対向
電極(6)を作成した所にだけエツチングで(d)のよ
うにくし形電極(3)を作成する。
)を全面に蒸着する。この時はウェハ全面同−状態であ
る。次に、工程11ではウェハの大部分は(a)のよう
にエツチングしてくし形電極(3)を作成するが、 ウ
ェハの中で1ケ所のみ(b)のようにエツチングして対
向電極(6)を作成する。 に稈IIIではその」−よ
り圧電体(4)をスパッタリングにより全面に付け、工
程IVではその」;にアルミニウム(5)を全面に蒸着
等の方法でつける。工程■では、ウェハの大部分は(c
)のようにエツチングしてz1向電極(6)を作成し、
ウェハの中で前記の1′、稈■で1ケ所だけ先に対向
電極(6)を作成した所にだけエツチングで(d)のよ
うにくし形電極(3)を作成する。
この時点でウェハの中で1ケ所だけ、従来のようなパッ
ド用のエツチングをしなくてもバンド電3− 14iが表面に出ている箇所があることになる。つまり
、検査用に工程■でくし彫型11i(3)を形成した部
分が、これで、第3図に示すようにバット電極(7)が
露出している。 そこでこの露出しているパッド電極(
7)を使用して1ケ所だけの周波数特性をチェックして
、全ウェハのうちの他の部分の周波数特性を推定、して
必要であわば工程Vから直ちに再スパツタリングにまね
す。再スパツタリングの後、あるいは前記再スパツタリ
ングの必要のないと思われる場合にはパッド電極(7)
を露出させるためのパッドエツチングを従来と同じよう
に実行して全ウェハの全チップの周波数特性をチェック
する。
ド用のエツチングをしなくてもバンド電3− 14iが表面に出ている箇所があることになる。つまり
、検査用に工程■でくし彫型11i(3)を形成した部
分が、これで、第3図に示すようにバット電極(7)が
露出している。 そこでこの露出しているパッド電極(
7)を使用して1ケ所だけの周波数特性をチェックして
、全ウェハのうちの他の部分の周波数特性を推定、して
必要であわば工程Vから直ちに再スパツタリングにまね
す。再スパツタリングの後、あるいは前記再スパツタリ
ングの必要のないと思われる場合にはパッド電極(7)
を露出させるためのパッドエツチングを従来と同じよう
に実行して全ウェハの全チップの周波数特性をチェック
する。
では、ここで従来のプロセスと本発明のプロセスとを比
較する。
較する。
■ 従来例
くし形電極→スパッタ→対向電極→パッドエツチング→
ウェハ選別→再スパッタ→パッドエツチング→ウェハチ
ェック (計8プロセス) 4− ■ 本発明での方法 くし形電極(対向電極1ケ所)→スパッタ→対向電Fi
(< L形電極1ケ所)→ウェハ選別→再スパッタ→パ
ッドエツチング→ウェハチェック (計7プロセス) 尚、本発明を実施するためには第4図、第5図の如きフ
ォトマスクを作成して1ケ所のみくし形電極と対向電極
とを逆に作成できる様にした。
ウェハ選別→再スパッタ→パッドエツチング→ウェハチ
ェック (計8プロセス) 4− ■ 本発明での方法 くし形電極(対向電極1ケ所)→スパッタ→対向電Fi
(< L形電極1ケ所)→ウェハ選別→再スパッタ→パ
ッドエツチング→ウェハチェック (計7プロセス) 尚、本発明を実施するためには第4図、第5図の如きフ
ォトマスクを作成して1ケ所のみくし形電極と対向電極
とを逆に作成できる様にした。
上記実施例では全ウェハに対して1ケ所にだけ検査用チ
ップを形成したが、これは1ケ所に限定されるものでな
い。
ップを形成したが、これは1ケ所に限定されるものでな
い。
発明の詳細
な説明のように本発明の表面波フィルタの製造方法によ
ると、くし形電極のパッド電極のエツチングを実行せず
ども周波数特性を推定できるため、次のような効果が得
られた。
ると、くし形電極のパッド電極のエツチングを実行せず
ども周波数特性を推定できるため、次のような効果が得
られた。
■ プロセスを短縮でき、不良発生率の低減できた。
■ 製品の流れが早くなった。
■ 品質が安定する。特にパッドエツチングによる圧電
体のピンホール発生が半減した。
体のピンホール発生が半減した。
第1図のi〜■と■は従来の製造方法のプロセスを説明
する断面図と平面図、第2図の■〜■は本発明の製造方
法のプロセスを説明する断面図、第3図は第2図■の検
査用チップの平面図、第4図と第5図はそれぞれくし形
電極作成工程のウェハの平面図と対向電極作成工程のウ
ェハの平面図を示す。 (1)・・ガラス基板、(3)・くし形電極、(4)・
・圧電体、(6)・対向電極、(7)・・・パッド電極
代理人 森 本 義 弘 7− 勺 \ リ レ − 第2図 第3図 /7 第4図
する断面図と平面図、第2図の■〜■は本発明の製造方
法のプロセスを説明する断面図、第3図は第2図■の検
査用チップの平面図、第4図と第5図はそれぞれくし形
電極作成工程のウェハの平面図と対向電極作成工程のウ
ェハの平面図を示す。 (1)・・ガラス基板、(3)・くし形電極、(4)・
・圧電体、(6)・対向電極、(7)・・・パッド電極
代理人 森 本 義 弘 7− 勺 \ リ レ − 第2図 第3図 /7 第4図
Claims (1)
- 1、くし形電極と対向電極を備えた表面波フィルタの製
造に際し、くし形電極作成時にウェハ上に検査用に少な
くとも1ケ所の対向電極を同時に作成し、圧電体のスパ
ッタリング後の対向電極作成時にはウェハ上にすでに形
成された前記検査用の対向電極位置にだけは検査用くし
形電極を同時に作成し、この検査用くし形電極によって
周波数特性を測定して検査用くし形電極の他のくし形電
極の特性を推定する表面波フィルタ製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11339784A JPS60256205A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 表面波フイルタ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11339784A JPS60256205A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 表面波フイルタ製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60256205A true JPS60256205A (ja) | 1985-12-17 |
Family
ID=14611262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11339784A Pending JPS60256205A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 表面波フイルタ製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60256205A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023090460A1 (ja) * | 2021-11-22 | 2023-05-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置の製造方法 |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP11339784A patent/JPS60256205A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023090460A1 (ja) * | 2021-11-22 | 2023-05-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置の製造方法 |
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