JPS60244014A - 積層セラミツク部品の製造方法 - Google Patents
積層セラミツク部品の製造方法Info
- Publication number
- JPS60244014A JPS60244014A JP9848784A JP9848784A JPS60244014A JP S60244014 A JPS60244014 A JP S60244014A JP 9848784 A JP9848784 A JP 9848784A JP 9848784 A JP9848784 A JP 9848784A JP S60244014 A JPS60244014 A JP S60244014A
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- JP
- Japan
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- sheet
- sheets
- laminated
- green sheet
- internal electrodes
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- Laminated Bodies (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は積層型のチップ電子部品として用いられる積層
セラミックコンデンサや積層チップインダクタ等の電子
部品の製造方法に関する。
セラミックコンデンサや積層チップインダクタ等の電子
部品の製造方法に関する。
この種の製造方法の一例を、積層セラミックコンデンサ
の例をとって第１図により説明する。
の例をとって第１図により説明する。
まず、誘電体と有機結合剤、可塑剤とを含む泥漿を、第
１図ａに示すようにドクタープレイド１１によシキャリ
アシート１２上に成膜し、乾燥機１３により乾燥してキ
ャリア付グリーンシ一ト１４を作成する。その後、第１
図すに示すように。
１図ａに示すようにドクタープレイド１１によシキャリ
アシート１２上に成膜し、乾燥機１３により乾燥してキ
ャリア付グリーンシ一ト１４を作成する。その後、第１
図すに示すように。
キャリア付グリーンシート１４からグリーンシート１５
を剥離し、抜き装置１６で後述する積層金型より一回り
大きい形状に打ち抜きケース１７にストックする。次に
、目合せマーカを含む内部電極パターンを印刷し乾燥す
る。更に、内部電極パターンが設計位置にあるよう、目
合せマーカを基準位置に合せ、第１図Ｃに示すように、
打ち抜き金型１８内に積層してゆく。そして、第１図ｄ
に示すように、設定枚数の積層終了後、熱プレス機１９
によりプレスを行い、定形状に切断。
を剥離し、抜き装置１６で後述する積層金型より一回り
大きい形状に打ち抜きケース１７にストックする。次に
、目合せマーカを含む内部電極パターンを印刷し乾燥す
る。更に、内部電極パターンが設計位置にあるよう、目
合せマーカを基準位置に合せ、第１図Ｃに示すように、
打ち抜き金型１８内に積層してゆく。そして、第１図ｄ
に示すように、設定枚数の積層終了後、熱プレス機１９
によりプレスを行い、定形状に切断。
焼成する。最後に、外部電極を形成する。
この場合、内部電極を印刷したシートは同一形状のもの
を規定枚数だけ準備し、一枚ずつこの内部電極印刷ノー
トを目合せし、打抜き、金型への積層を行う。しかも内
部電極印刷シートは、コンデンサ内で有効内部電極が交
互に外部電極に短絡する様積層する為、交互に向きを変
えなければ彦らない。
を規定枚数だけ準備し、一枚ずつこの内部電極印刷ノー
トを目合せし、打抜き、金型への積層を行う。しかも内
部電極印刷シートは、コンデンサ内で有効内部電極が交
互に外部電極に短絡する様積層する為、交互に向きを変
えなければ彦らない。
従来のこの方法で積層した生チップの切断面を観察する
と、内部電極のズレが切りしろ（約１關）の半分の０５
咽程度有り、ズレのバラツキが非常に太きい。これは積
層枚数が多いほど顕著である。そしてこの積層ズレは積
層セラミックコンデンサに於いて、内部電極部と切りし
ろ（内部電極のない部分）との密度差の大きい部位に位
置する為、電圧印加時対向電極もしくは対向の外部電極
とのショートとなって現われ。
と、内部電極のズレが切りしろ（約１關）の半分の０５
咽程度有り、ズレのバラツキが非常に太きい。これは積
層枚数が多いほど顕著である。そしてこの積層ズレは積
層セラミックコンデンサに於いて、内部電極部と切りし
ろ（内部電極のない部分）との密度差の大きい部位に位
置する為、電圧印加時対向電極もしくは対向の外部電極
とのショートとなって現われ。
信頼性は大きく低下する。この積層ズレは目合せマーカ
の印刷精度、そして目合せ精度に起因するところが犬で
あり９両者の精度向上が印刷にじみ等により阻害され非
常に困難である。
の印刷精度、そして目合せ精度に起因するところが犬で
あり９両者の精度向上が印刷にじみ等により阻害され非
常に困難である。
本発明はこの欠点を除去し、積層ズレの度合を小さくし
た信頼性の高い積層セラミック部品を提供しようとする
ものである。
た信頼性の高い積層セラミック部品を提供しようとする
ものである。
本発明は、セラミックシー１・の打抜き一内部電極の印
刷、乾燥−積層の一連の工程をセラミックシー１・を吸
着パッドに吸着させた−１．ま行い。
刷、乾燥−積層の一連の工程をセラミックシー１・を吸
着パッドに吸着させた−１．ま行い。
＝ ３−
印刷精度、マーカの位置合せによる積層ズレをなくした
方法である。
方法である。
すなわち１本発明では積層ズレの誤差として（印刷精度
十積層精度）の２項目を考えればよく、〔従来はこれに
（マーカー印刷精度士マーカー位置合せ精度）をプラス
して考慮しなければならない。〕 積層ズレの要因を減
らし、その度合いを極端に小さくすることができる。
十積層精度）の２項目を考えればよく、〔従来はこれに
（マーカー印刷精度士マーカー位置合せ精度）をプラス
して考慮しなければならない。〕 積層ズレの要因を減
らし、その度合いを極端に小さくすることができる。
次に、第２図を参照して本発明の詳細な説明する。
誘電体磁気素材としては、 Ｐｂ（Ｎｂ １／２． Ｆ
ｅ １／２）（Ｗ１／３）０３を組成とする複合ペロブ
スカイト系誘電体材料を使用した。この材料を混合、予
焼。
ｅ １／２）（Ｗ１／３）０３を組成とする複合ペロブ
スカイト系誘電体材料を使用した。この材料を混合、予
焼。
湿式粉砕してポリビニルブチラールの有機結合剤と溶剤
とから泥漿を作成する。次に、第２図ａに示すように、
キャリアフィルム２２」二に３０μのグリーンノートを
有するキャリア付グリーンシート２４をドクタープレイ
ド２１により作成する。
とから泥漿を作成する。次に、第２図ａに示すように、
キャリアフィルム２２」二に３０μのグリーンノートを
有するキャリア付グリーンシート２４をドクタープレイ
ド２１により作成する。
２３は乾燥機である。
４−
このキャリア付グリーンシート２４は、第２図すに示す
工程でグリーンシート２５が剥離され。
工程でグリーンシート２５が剥離され。
抜き装置２６で１０１００Ｘ１２０形状に打ち抜きなが
ら保持手段としての吸着パッド３０に吸着させる。
ら保持手段としての吸着パッド３０に吸着させる。
そして、第２図Ｃに示すように、吸着パッド３０への吸
着状態のままで印刷機３１によりスクリーン３２を通し
てシー１−２５’に内部電極パターンの印刷が行われる
。次に、第２図ｄに示すように。
着状態のままで印刷機３１によりスクリーン３２を通し
てシー１−２５’に内部電極パターンの印刷が行われる
。次に、第２図ｄに示すように。
熱風ドライヤ３３により乾燥を行う。勿論、この工程も
吸着パッド３０で吸着した寸まで行われる。
吸着パッド３０で吸着した寸まで行われる。
第２図ｅでは乾燥終了後のシート２５′が吸着パッド３
０で打ち抜き金型２８へ積層される。そして。
０で打ち抜き金型２８へ積層される。そして。
所定枚数だけ積層されると、熱プレス機２９により熱圧
着が行われる。
着が行われる。
この場合の内部電極印刷シート枚数は６１枚であり、内
部電極ペーストはＡｇ粉及びＰｄ粉と有機結合剤、可塑
剤とを混練したものである。この積層体を１２Ｘ１６ｍ
＋ｎに外周刃切断機で切断し。
部電極ペーストはＡｇ粉及びＰｄ粉と有機結合剤、可塑
剤とを混練したものである。この積層体を１２Ｘ１６ｍ
＋ｎに外周刃切断機で切断し。
ノ＼１１
脱メインダー、焼成し、外部Ａｇ電極の塗布。
焼付けを行い、積層セラミソクコンデンザの信軸性試験
を行った。この結果を第１表に示す。
を行った。この結果を第１表に示す。
なお、抜き装置２６のカッター〇熱防御の為、冷却管３
４を取り付けた。印刷機３１はスクリーン印刷でナイロ
ンメツシュ＃２００を使用し、塗布コータとしてはグラ
ビアコータの改造タイプを使用した。
４を取り付けた。印刷機３１はスクリーン印刷でナイロ
ンメツシュ＃２００を使用し、塗布コータとしてはグラ
ビアコータの改造タイプを使用した。
第１表
以上１本発明を積層セラミックコンデンサについて説明
したが１本発明は積層型のチップインダクタにも適用で
きる。チップインダクタの場合は、セラミックスは磁性
材（例えばフェライト）を用い、また内部電極のパター
ン形成が上下層が導通するように層の１か所に貫通孔を
形成することに差異はあるが、その他は基本的に同じプ
ロセスである。チップインダクタでも内部電極の位置決
めが高精度にでき、再現性が良くなる。
したが１本発明は積層型のチップインダクタにも適用で
きる。チップインダクタの場合は、セラミックスは磁性
材（例えばフェライト）を用い、また内部電極のパター
ン形成が上下層が導通するように層の１か所に貫通孔を
形成することに差異はあるが、その他は基本的に同じプ
ロセスである。チップインダクタでも内部電極の位置決
めが高精度にでき、再現性が良くなる。
従来方法では、工程が単一で、連続工程ではなく、内部
電極印刷シートがストックヤードに保管されていたため
位置決めに熟練を要していたが９本発明方法のようにす
れば、生産性が大幅に向上できる。また、シートの積層
ズレの度合を小さくして高信頼性の積層セラミック部品
を提供できる。
電極印刷シートがストックヤードに保管されていたため
位置決めに熟練を要していたが９本発明方法のようにす
れば、生産性が大幅に向上できる。また、シートの積層
ズレの度合を小さくして高信頼性の積層セラミック部品
を提供できる。
７−
た図である。
図中、１１，２］はドクタープレイド、１２．２２はキ
ャリアシート、１．３．２３は乾燥機、 、 １４ 、
２４はキャリア付グリーンシート、１５．２５はグリー
ンシート、１６．２６は抜き装置、１８．２８は打ち抜
き金型、１９．２９は熱プレス機、３０は吸着パッド。 ３１は印刷機、３２はスクリーン、３３は熱風ドライヤ
。 代理人（７１２７）弁理士後藤洋介 ８− （ｂ） （Ｃ） （ｄ） （Ｃ） １ｐ＃１ ｒρ１ 紅陳 積層 熱圧煽
ャリアシート、１．３．２３は乾燥機、 、 １４ 、
２４はキャリア付グリーンシート、１５．２５はグリー
ンシート、１６．２６は抜き装置、１８．２８は打ち抜
き金型、１９．２９は熱プレス機、３０は吸着パッド。 ３１は印刷機、３２はスクリーン、３３は熱風ドライヤ
。 代理人（７１２７）弁理士後藤洋介 ８− （ｂ） （Ｃ） （ｄ） （Ｃ） １ｐ＃１ ｒρ１ 紅陳 積層 熱圧煽
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、セラミックスのグリーン（生）シートに内部電極を
印刷し積層するセラミック部品の製造方法に於いて。 （ｉ）有機フィルムのキャリア膜にセラミックスグリー
ンシートを連続して成膜する工程と。 （１１）この後、前記グリーンシートをキャリア膜から
剥離して所望寸法に打ち抜く工程と。 （ｉｉｉ）前記工程（１１）で保持手段に前記打ち抜か
れたグリーンシートを保持させた状態で、シート背面に
スクリーンを介して導電性内部電極を印刷する工程と。 （ｉＶ）引き続き前記保持手段に保持させたままでシー
トを乾燥させる工程と。 （Ｖ）この後、金型に前記工程（ｉｖ）で得られたシー
トを挿入する工程と。 （Ｖ０以下、前記工程（１１）〜（ｖ）をくり返し、シ
ートを積層する工程と。 （Ｖｌ）前記工程（ｖＤで積層されたシートを熱圧着す
る工程。 とを含むことを特徴とする積層セラミック部品の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9848784A JPS60244014A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 積層セラミツク部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9848784A JPS60244014A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 積層セラミツク部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60244014A true JPS60244014A (ja) | 1985-12-03 |
| JPH0317206B2 JPH0317206B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=14221008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9848784A Granted JPS60244014A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 積層セラミツク部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60244014A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989008923A1 (en) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing laminated ceramic electronic parts |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2532897A4 (en) * | 2010-02-02 | 2015-05-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | CENTRIFUGAL PUMP |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189211A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-26 | 太陽誘電株式会社 | 積層磁器コンデンサ用生シ−トの加工方法及び装置 |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP9848784A patent/JPS60244014A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189211A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-26 | 太陽誘電株式会社 | 積層磁器コンデンサ用生シ−トの加工方法及び装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989008923A1 (en) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing laminated ceramic electronic parts |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0317206B2 (ja) | 1991-03-07 |
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