JPS60232650A - 特性x線発生装置 - Google Patents
特性x線発生装置Info
- Publication number
- JPS60232650A JPS60232650A JP59087356A JP8735684A JPS60232650A JP S60232650 A JPS60232650 A JP S60232650A JP 59087356 A JP59087356 A JP 59087356A JP 8735684 A JP8735684 A JP 8735684A JP S60232650 A JPS60232650 A JP S60232650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- characteristic
- ray
- rays
- emitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
- H01J35/153—Spot position control
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・ 産業上の利用分野
本発明はX線表面分析等のX線試験2検査に使用する特
性X線発生装置で特性X線を試料上に集中させるだめの
特性X線集中ターゲット形状に関するものである。
性X線発生装置で特性X線を試料上に集中させるだめの
特性X線集中ターゲット形状に関するものである。
口・従来技術
高速電子をターゲットに衝突させるとターゲットからX
線を放射する。その放射X線の中でターゲット固有のス
ペクトルを持つ特性X線の放射指向性はターゲットの表
面に垂直の方向に比較的集中したパターンを有する。従
来はターゲット表面を平面にしていたから、試料上にス
ポット状の高密度の特性X線を必要とするときには、タ
ーゲット上の一点に照射電子を集中させ高密度の電子流
によってターゲットを照射する必要があった。その結果
、ターゲットが局所的に溶けたシ、損傷を受ける等の欠
点があった。
線を放射する。その放射X線の中でターゲット固有のス
ペクトルを持つ特性X線の放射指向性はターゲットの表
面に垂直の方向に比較的集中したパターンを有する。従
来はターゲット表面を平面にしていたから、試料上にス
ポット状の高密度の特性X線を必要とするときには、タ
ーゲット上の一点に照射電子を集中させ高密度の電子流
によってターゲットを照射する必要があった。その結果
、ターゲットが局所的に溶けたシ、損傷を受ける等の欠
点があった。
その外、スポット状の特性X線を照射すべきときに、ス
ポット点以外を照射する特性X線はすべて無駄であり、
分析上S / N比を低下させるだけでなく、分析等の
位置的分解能が悪くなシ、好ましくないものである。
ポット点以外を照射する特性X線はすべて無駄であり、
分析上S / N比を低下させるだけでなく、分析等の
位置的分解能が悪くなシ、好ましくないものである。
ハ、目 的
特性X線発生装置において、ターゲットが溶けたシ、損
傷を受けることなく、スポット状に集束された高密度の
特性X線を発生させることができる特性X線集中ターゲ
ットを提供する。
傷を受けることなく、スポット状に集束された高密度の
特性X線を発生させることができる特性X線集中ターゲ
ットを提供する。
二・ 構 成
熱電子を発生させるフィラメントと試料面位置に曲率中
心を有する凹面形状の特性X線集中ターゲットおよび、
熱電子をターゲットに導く電場をターゲットとともに形
成するりベラ、ウエネルトによって構成される。
心を有する凹面形状の特性X線集中ターゲットおよび、
熱電子をターゲットに導く電場をターゲットとともに形
成するりベラ、ウエネルトによって構成される。
ターゲットに入射する高速電子によって放射される特性
X線の放射指向性はターゲットの表面に垂直の方向が最
大になる比較的ビーム巾の狭いパターンである。この放
射指向特性を利用すると凹面ターゲット1の全面から放
射される特性X線を相当程度にターゲットの凹面の曲率
中心に集中させることができる。
X線の放射指向性はターゲットの表面に垂直の方向が最
大になる比較的ビーム巾の狭いパターンである。この放
射指向特性を利用すると凹面ターゲット1の全面から放
射される特性X線を相当程度にターゲットの凹面の曲率
中心に集中させることができる。
本発明は上述したように、特性X線発生器のターゲット
に凹面ターゲットを使用しているため、この凹面部分に
あたった電子によって発生した特性X線をも効率よく集
中させる装置である。
に凹面ターゲットを使用しているため、この凹面部分に
あたった電子によって発生した特性X線をも効率よく集
中させる装置である。
ホ、実施例
図は本発明の1実施例を示す。1が棒状のターゲットで
あシ、電子eの入射面1aが球形に近い凹面に成形した
ターゲットである。4はフィラメントであり、電子eを
放出する。フィラメント4から放出された電子eはリベ
ラ電極3により偏向されてウェネルト電極2によジター
ゲットlの入射面1aの適当範囲に入射し、ターゲット
固有の特性X線Xを放射させる。凹面1aから放射され
る特性X線は主としてターゲット表面に垂直に放射され
るから、凹面1aの曲率中心位置Pに向って特性X線が
強く集中されることになる。この実施例ではターゲット
表面の中心部ψの範囲は平面であり、試料面上でこの平
面部に対向する領域6に均一に特性X線を照射する。タ
ーゲット表面でψから外の領域が試料面上6の領域の中
心Pを曲率中心とする球面にしである。特性X線は10
0チターゲツト面から垂直に放射されるのではないから
、ψより外の領域から放射された特性X線は完全にP点
に集中はしないが、6の領域全体を強く照射させること
ができる。
あシ、電子eの入射面1aが球形に近い凹面に成形した
ターゲットである。4はフィラメントであり、電子eを
放出する。フィラメント4から放出された電子eはリベ
ラ電極3により偏向されてウェネルト電極2によジター
ゲットlの入射面1aの適当範囲に入射し、ターゲット
固有の特性X線Xを放射させる。凹面1aから放射され
る特性X線は主としてターゲット表面に垂直に放射され
るから、凹面1aの曲率中心位置Pに向って特性X線が
強く集中されることになる。この実施例ではターゲット
表面の中心部ψの範囲は平面であり、試料面上でこの平
面部に対向する領域6に均一に特性X線を照射する。タ
ーゲット表面でψから外の領域が試料面上6の領域の中
心Pを曲率中心とする球面にしである。特性X線は10
0チターゲツト面から垂直に放射されるのではないから
、ψより外の領域から放射された特性X線は完全にP点
に集中はしないが、6の領域全体を強く照射させること
ができる。
上述実施例ではターゲット表面は中心部が平面でその周
囲部分が球面にしであるが、もちろん全面を球面にして
もよい。また上側で球面部分をそれに接する円錐面で近
似させてもよくこのような近似を用いるとターゲットの
工作が楽になる。
囲部分が球面にしであるが、もちろん全面を球面にして
もよい。また上側で球面部分をそれに接する円錐面で近
似させてもよくこのような近似を用いるとターゲットの
工作が楽になる。
へ・効果
本発明の採用によシ、スポット状の高密度の電子流によ
ってターゲットを照射することなしに、スポット状の高
密度特性X線を作ることができるため、ターゲットを局
所的に溶かしたシ、ターゲットに損傷を与えることがな
くなる。まだ、必要とする照射点以外に分布する特性X
線が非常に少なくなり、特性X線を有効に使用すること
ができ、S/N比の良い分析が容易となり、分析等を行
う試料の照射位置の分解能を改善させることができる、
ってターゲットを照射することなしに、スポット状の高
密度特性X線を作ることができるため、ターゲットを局
所的に溶かしたシ、ターゲットに損傷を与えることがな
くなる。まだ、必要とする照射点以外に分布する特性X
線が非常に少なくなり、特性X線を有効に使用すること
ができ、S/N比の良い分析が容易となり、分析等を行
う試料の照射位置の分解能を改善させることができる、
図は本発明の一実施例の縦断側面図である。
1・・・ターゲット、la・・・ターゲットの凹面、2
・・・ウェネルト、3・・・リペラ、4・・・フィラメ
ント、6・・・試料面の特性Xa照射域、P・・・ター
ゲット凹面laの曲率中心。 代理人 弁理士 係 浩 介
・・・ウェネルト、3・・・リペラ、4・・・フィラメ
ント、6・・・試料面の特性Xa照射域、P・・・ター
ゲット凹面laの曲率中心。 代理人 弁理士 係 浩 介
Claims (1)
- 特性X線を発生させるターゲットを特性X線を集中させ
るべき点を曲率中心とする球面状にしたことを特徴とす
る特性X線発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59087356A JPS60232650A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 特性x線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59087356A JPS60232650A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 特性x線発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60232650A true JPS60232650A (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=13912600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59087356A Pending JPS60232650A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 特性x線発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60232650A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62268049A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-20 | イメイトロン インコ−ポレ−テツド | X線造影システムに使用する複合電子ビ−ムタ−ゲツト及びその製造方法 |
EP1089317A1 (en) * | 1999-09-30 | 2001-04-04 | Varian Medical Systems, Inc. | Stationary anode assembly for x-ray tube |
FR2833751A1 (fr) * | 2001-12-18 | 2003-06-20 | Thales Sa | Generateur de rayons x a rayonnement focalise |
KR100903022B1 (ko) * | 2007-05-08 | 2009-06-15 | 한국기초과학지원연구원 | X선 발생장치 |
JP2011243579A (ja) * | 2004-05-27 | 2011-12-01 | Cabot Microelectronics Corp | 本発明の非平行形状フィールドを有するx線源 |
JP2019008943A (ja) * | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 固定陽極型x線管 |
-
1984
- 1984-04-30 JP JP59087356A patent/JPS60232650A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62268049A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-20 | イメイトロン インコ−ポレ−テツド | X線造影システムに使用する複合電子ビ−ムタ−ゲツト及びその製造方法 |
JPH0373097B2 (ja) * | 1986-05-09 | 1991-11-20 | Imatron Inc | |
EP1089317A1 (en) * | 1999-09-30 | 2001-04-04 | Varian Medical Systems, Inc. | Stationary anode assembly for x-ray tube |
FR2833751A1 (fr) * | 2001-12-18 | 2003-06-20 | Thales Sa | Generateur de rayons x a rayonnement focalise |
WO2003052789A1 (fr) * | 2001-12-18 | 2003-06-26 | Thales | Generateur de rayons x a rayonnement focalise |
JP2011243579A (ja) * | 2004-05-27 | 2011-12-01 | Cabot Microelectronics Corp | 本発明の非平行形状フィールドを有するx線源 |
KR100903022B1 (ko) * | 2007-05-08 | 2009-06-15 | 한국기초과학지원연구원 | X선 발생장치 |
JP2019008943A (ja) * | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 固定陽極型x線管 |
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