JPS60225449A - 半導体集積回路パツケ−ジ - Google Patents

半導体集積回路パツケ−ジ

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JPS60225449A
JPS60225449A JP8275584A JP8275584A JPS60225449A JP S60225449 A JPS60225449 A JP S60225449A JP 8275584 A JP8275584 A JP 8275584A JP 8275584 A JP8275584 A JP 8275584A JP S60225449 A JPS60225449 A JP S60225449A
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JP
Japan
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insulating layer
conductor
integrated circuit
semiconductor integrated
conductor pattern
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Pending
Application number
JP8275584A
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English (en)
Inventor
Hisashi Takada
高田 寿士
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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Publication of JPS60225449A publication Critical patent/JPS60225449A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L28/00Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L28/10Inductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
    • H01L23/64Impedance arrangements
    • H01L23/645Inductive arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 羞1よpμ月分貫 本発明は、半導体集積回路パッケージに関するものであ
り、更に詳述するならば、電源ラインフィルタを内蔵し
た半導体集積回路パッケージに関するものである。
従来技術 半導体集積回路を収容するパッケージとして、セラミッ
クまたはプラスチックを使用したいわゆるデユアルーイ
ンライン−パッケージCD1.、P](2方向外部リー
ド型パッケージ)が広く使用さiている。このパッケー
ジは、実装をコンパクトにできるだけでなく、実装自体
が非常にしやすく、現在の半導体集積回路パッケージの
主流をなしている。
更に、最近では、4方向に外部リードが延びる0uad
型パツケージが使用されている。このノくツケージは、
外部リードの数を多くすることができ、最近の高密度半
導体集積回路のパッケージに適している。
いずれにしても、半導体集積回路チップを小型パッケー
ジに収容する際、小型化に伴う雑音の回り込みが増大す
ることが問題である。特に、電力供給線に乗った雑音は
、半導体集積回路チップに対してパッケージの外から施
す電磁シールドによっては除去できないために、パッケ
ージの外部に電源ラインフィルタを構成または配置する
必要があった。
しかし、実際に電源ラインフィルタを半導体集積回路装
置に設けることは、半導体集積回路装置を組み込んだ基
板に設けることであり、基板を大きくしなければならず
、装置が大型化せざるを得なかった。
発明の目的 そこで、本発明は、電源ラインフィルタを一々基板に設
ける必要なく、従って、半導体集積回路装置を組み込ん
だ装置を小型化できるように、各半導体集積回路チップ
ごとに電源ラインに乗った雑音を除去できる半導体集積
回路パッケージを提供せんとするものである。
発明の構成 すなわち、本発明によるならば、パッケージ基板が、第
1の絶縁層と、該第1の絶縁層の上に重ねられて該第1
の絶縁層のほぼ全面に広がる第1の導体層と、該第1の
導体層の上に重ねられて内部にインダクタをなす導体パ
ターンを有する第2の絶縁層と、該第2の絶縁層の上に
重ねられて該第2の絶縁層のほぼ全面に広がる第2の導
体層と、該第2の導体層の上に重ねられた第3の絶縁層
とを具備して構成されており、前記第1の絶縁層には、
外部より電力を供給するためのリードと、接地接続用リ
ードと、信号を入力または出力するためのリードとが設
けられ、前記第3の絶縁層の表面は、半導体集積回路チ
ップの実装面をなし、その周辺部分に導体パッドが形成
されており、前記第1及び第2の導体層は前記接地接続
用リードに接続されて、前記導体パターンとの間に分布
容量が形成され、該導体パターンと前記第1及び第2の
導体層とによりLCフィルタが構成され、前記外部より
電力を供給するためのリードは、前記導体パターンの一
端に接続され、該導体パターンの他端が、前記半導体集
積回路チップの電力供給端に接続されるべき導体パッド
に接続されていることを特徴とする半導体集積回路パッ
ケージが提供される。
以上のように構成される半導体集積回路パッケージによ
れば、外部から供給される電力は、上記構成のLCフィ
ルタを通って半導体集積回路に供給されるので、電力供
給線に乗った雑音は、そのLCフィルタでろ波されて除
去される。従って、半導体集積回路装置に付属して電源
ラインフィルタを設ける必要がなく、半導体集積回路装
置を組み込んだ装置も小型化できる。
遺1! 以下添付図面を参照して本発明による半導体集積回路パ
ッケージの実施例を説明する。
第1図は、本発明による半導体集積回路パッケージの1
実、施例の概略斜視図である。
図示の半導体集積回路パッケージは、多層構造のパッケ
ージ基板10を有している。そのパッケージ基板10は
、第1の絶縁層12を有しており、その第1の絶縁層1
2の上には、第1の絶縁層12のほぼ全面に広がるよう
に第1の導体層14が重ねられている。その第1の導電
層14の上には、後述するようにインダクタをなす導体
パターンを内部に有する第2の絶縁層16が重ねられて
いる。その第2の絶縁層16の上には、その絶縁層16
のほぼ全面に広がるように第2の導体層18が重ねられ
ている。そして、その第2の導電層18の上には、第3
の絶縁層20が重ねられている。
なお、上記絶縁層12.16.20は、例えば、ガラス
やエポキシ樹脂などで構成することができる。
また、導電層14.1Bは、例えば、導電性厚膜ペース
トの焼成体や、金属蒸着膜で構成することができる。
更に、第1の絶縁層12の裏には、DIP型パッケージ
を形成するように、その2つの長辺に沿って多数のり一
ド22が固定されている。これらリード22には、外部
より電力を供給するためのリード22Aと、接地接続用
リード22Bと、信号を入力または出力するためのリー
ドとがある。
一方、第3の絶縁層20の上面は、半導体集積回路チッ
プの実装面であり、その中央部分には、半導体集積回路
チップがグイボンドされる。そして、第3の絶縁層20
の上面の長辺に沿った周辺部分には、DIP型パッケー
ジをなすように、多数の導体パッド24が形成されてい
る。その導1体パッド24には、半導体集積回路チップ
の電力供給用端子に接続されるパッド24Aと、半導体
集積回路チップの接地端子に接続される接地接続用パッ
ド24Bと、半導体集積回路チップの信号を入力または
出力するための端子に接続されるパッドとがある。
そして、第1絶縁層12のリード22と、第3絶縁層2
4の導電パッド24とを、互いに対応するもの同志接続
するために、多層パッケージ基板10を貫通するスルー
ホール(不図示)が形成されている。
そして、接地接続用リード22Bと接地接続用パッド2
4Bとを結ぶスルーホールを除くスルーホールの内壁は
、第1及び第2の導電層14と18とから絶縁するため
に、例えば、絶縁材料層で被覆され、その中に導電材料
が充填されて対応するリード22とパッド24同志が電
気的に接続される。一方、接地接続用リード22’Bと
接地接続用パッド24Bとを結ぶスルーホールは、内壁
が絶縁材料層で被覆されることなく、その中に導電材料
が充填される。
このようにすることにより、接地接続用リード22Bと
接地接続用パッド24Bとを互いに接続すると共に、第
1及び第2の導電層14と18とも接続することができ
る。
上述した第2の絶縁層16の内部には、第2図に示すよ
うな、例えば渦巻き状の、導体パターン26によってイ
ンダクタが形成されている。この導体パターン26を有
する第2の絶縁層16は、例えば、絶縁材料層の一方の
面の全面に導体膜を形成し、その導体膜を第2図のよう
な導体パターンにエツチングし、更にその上に再び絶縁
材料層を形成す、ることによって、または、絶縁材料層
の一方の面に、厚膜導体パターンを印刷し、その上に再
び絶縁材料層を形成することによって、つくることかで
きる。
導体パターン26の一端28は、パッケージ基板lOの
内部を通って、リード22の内の電力供給用リード24
Aに接続され、導体パターン26の他端30は、同様に
、パッケージ基板10の内部を通って、導体パッド24
の内の、半導体集積回路チップの電力供給用パッドに接
続されるパッド24Aに接続されている。
かくして、導体パターン26は、それ自体でインダクタ
を構成する一方、接地接続用リード22Bに接続された
第1及び第2の導体層14及び16との間に一様に分布
する分布容量を形成している。従って、導体パターン2
6と、第1及び第2の導体層14及び16とは、第3図
に示すようなLCフィルタからなる電源ラインフィルタ
を構成している。
それ故、リード24の内の電力供給リード22Aから電
力を供給すると、その電力供給線に乗っている雑音は、
そのLCフィルタを通過するときにろ波されて除去され
る。従って、半導体集積回路チップには、電力供給パッ
ド24Aを介して雑音の除去された電力が供給される。
上記したLCフィルタは、導体パターン26と第1及び
第2の導体層14及び16との距離が短いほど、すなわ
ち、導体パターン26を中に挟み込んでいる第2の絶縁
層16の厚さを薄くするほど、分布容量が大きくなり、
除去できる雑音の周波数が低くなり、雑音除去範囲が広
がり、好ましい。
また、インダクタとコンデンサとから成るラインフィル
タは、エネルギを消費しないために、電力消費の観点か
ら有利である。その反面、インダクタからの雑音成分の
放射の問題がある。しかし、本発明による半導体集積回
路パッケージにおいては、インダクタを構成する導体パ
ターン26は、パッケージ基板のほぼ全面に広がって接
地電位にある第1及び第2の導電層14及び18によっ
て上下から挾まれているので、放射電磁界は、はぼ完全
にシールドされるので、問題とはならない。゛なお、上
記実施例にふいて、インダクタを構成する導体パターン
26は、渦巻き状であるが、インダクタを構成できるな
らば、蛇行状はかのとのような形状でもよい。例えば、
蛇行状の導体パターンとするならば、その両端から接続
線を引き出すときに、導体パターンと交差しないので、
配線に都合がよい。
また、上記実施例では、第3の絶縁層20の上面を半導
体集積回路チップ実装面としているが、第1の絶縁層1
2の下面を半導体集積回路チップ実装面とし、第3の絶
縁層の上面にリード]22を固定してもよい。
更に、上記実施例は、本発明を、DIP型パッケージを
形成する半導体集積回路パッケージに適用した例である
が、本発明による半導体集積回路パッケージは、DIP
型パッケージに限らず、4方向に外部リードが延びるQ
 uad型パッケージにも、また、SIP型パッケージ
(シングル−インライン−パッケージ)にも適用できる
発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明による半導体集
積回路パッケージは、内部に電源ラインフィルタを具備
しているので、別途電源ラインフィルタを一々基板に設
ける必要なく、従って、半導体集積回路装置を組み込ん
だ装置を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による半導体集積回路パッケージの1
実施例の斜視図、第2図は、第1図の半導体集積回路パ
ッケージに組み込まれているインダクタを形成する導体
パターンの1例を示すパターン図、そして、第3図は、
第1図の半導体集積回路パッケージに組み込すれている
インダクタと、そのインダクタを挟んでいる接地導体層
とにょっ“て構成されるLCフィルタの等価回路図であ
る。 〔主な参照番号〕 lO・・多層構造のパッケージ基板、 12・・第1の絶縁層、14・・第1の導体層、16・
・内部に導体パターンを有する第2の絶縁層、18・・
第2の導体層、20・・第3の絶縁層、20、22・・
リード、24・・導体パッド、特許出願人 住友電気工
業株式会社 代理人 弁理士新居正彦

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)パッケージ基板が、第1の絶縁層と、該第1の絶
    縁層の上に重ねられて該第1の絶縁層のほぼ全面に広が
    る第1の導体層と、該第1の導体層の上に重ねられて内
    部にインダクタをなす導体パターンを有する第2の絶縁
    層と、該第2の絶縁層の上に重ねられて該第2の絶縁層
    のほぼ全面に広がる第2の導体層と、該第2の導体層の
    上に重ねられた第3の絶縁層とを具備して構成されてお
    り、前記第1の絶縁層には、外部より電力を供給するた
    めのリードと、接地接続用リードと、信号を入力または
    出力するためのリードとが設けられ、前記第3の絶縁層
    の表面は、半導体集積回路チップの実装面をなし、その
    周辺部分に導体パッドが形成されており、前記第1及び
    第2の導体層は前記接地接続用リードに接続されて、前
    記導体パターンとの間に分布容量が形成され、該導体パ
    ターンと前記第1及び第2の導体層とによりLCフィル
    タが構成され、前記外部より電力を供給するためのリー
    ドは、前記導体パターンの一端に接続され、該導体パタ
    ーンの他端が、前記半導体集積回路チップの電力供給端
    に接続されるべき導体パッドに接続されていることを特
    徴とする半導体集積回路パッケージ。
  2. (2)前記第2の絶縁層は、一対の絶縁材料層の間に導
    体パターンが形成されて構成され]でいることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の半導体集積回路パッケ
    ージ。
  3. (3)前記導体パターンは、渦巻き状または蛇行状であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記
    載の半導体集積回路パ、ソケージ。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH668160GA3 (ja) * 1987-04-22 1988-12-15
JPH0297107A (ja) * 1988-10-03 1990-04-09 Takeshi Ikeda Ic素子用ノイズ発生防止回路
US5387551A (en) * 1992-03-04 1995-02-07 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing flat inductance element
US5428245A (en) * 1994-05-06 1995-06-27 National Semiconductor Corporation Lead frame including an inductor or other such magnetic component
EP0661805A1 (en) * 1993-12-29 1995-07-05 T.I.F. Co., Ltd. LC element, semiconductor device, and LC element manufacturing method
JP2646091B2 (ja) * 1987-08-12 1997-08-25 新光電気工業株式会社 電子部品用基体
US5831331A (en) * 1996-11-22 1998-11-03 Philips Electronics North America Corporation Self-shielding inductor for multi-layer semiconductor integrated circuits
WO2011008562A3 (en) * 2009-06-29 2011-04-07 Qualcomm Incorporated Integrated power amplifier with load inductor located under ic die

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH668160GA3 (ja) * 1987-04-22 1988-12-15
US5039895A (en) * 1987-04-22 1991-08-13 Eta Sa Fabriques D'ebauches Motor arrangement having a coil
JP2646091B2 (ja) * 1987-08-12 1997-08-25 新光電気工業株式会社 電子部品用基体
JPH0297107A (ja) * 1988-10-03 1990-04-09 Takeshi Ikeda Ic素子用ノイズ発生防止回路
US5387551A (en) * 1992-03-04 1995-02-07 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing flat inductance element
EP0661805A1 (en) * 1993-12-29 1995-07-05 T.I.F. Co., Ltd. LC element, semiconductor device, and LC element manufacturing method
US5705963A (en) * 1993-12-29 1998-01-06 T.I.F. Co., Ltd. LC element comprising a reverse biased pn junction
US5428245A (en) * 1994-05-06 1995-06-27 National Semiconductor Corporation Lead frame including an inductor or other such magnetic component
US5831331A (en) * 1996-11-22 1998-11-03 Philips Electronics North America Corporation Self-shielding inductor for multi-layer semiconductor integrated circuits
WO2011008562A3 (en) * 2009-06-29 2011-04-07 Qualcomm Incorporated Integrated power amplifier with load inductor located under ic die
JP2012532503A (ja) * 2009-06-29 2012-12-13 クゥアルコム・インコーポレイテッド 負荷インダクタがicダイの下に配置される集積電力増幅器
US8847351B2 (en) 2009-06-29 2014-09-30 Qualcomm Incorporated Integrated power amplifier with load inductor located under IC die

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