JPS60221927A - Manufacture of discharge display device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To improve the discharge characteristic by forming LaB6 cathode with LaB6 powder thermally processed under inert gas ambient after atomization. CONSTITUTION:LaB6 is atomized into fine powder then cleaned with pure water to remove impurity. Then it is thermally treated under inert gas ambient such as N2 or foaming gas under the temperature of 1,000-1,500 deg.C, for about 1-2hr. Consequently, impurities are removed from the surface of micro particle of LaB6 while the surface area is reduced to achieve stabilization. Then thermally processed LaB6 is employed to form LaB6 cathode through thick film printing method or electrodeposition resulting in improvement of burning phenomena of display pattern and reduction of aging of display quality.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、放電表示装置の製造方法、特にそのＬａＢ５
陰極の形成に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a method for manufacturing a discharge display device, and particularly to a method for manufacturing a discharge display device.
Concerning the formation of the cathode.

背景技術とその問題点 近年、放電表示装置特にＸＹマトリックスの直流型放電
表示パネル（プラズマ・ディスプレイ・パネルＦＤＰ）
の開発が進められている。Background technology and its problems In recent years, discharge display devices, especially XY matrix direct current discharge display panels (plasma display panels FDP)
development is underway.

第１図は、先に本出願人が開発したトリガー放電方式の
直流型放電表革パネルの構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a trigger discharge type DC type discharge leather panel previously developed by the present applicant.

この表示パネル（１１は前面ガラス基板（２）、背面ガ
ラス基＆　（３１及びこれらに挟まれたＸＹマトリック
ス形状の陽極（４）、陰極（５）から成り、各陽極（４
）は絶縁性のバリア（６）によっ゛Ｃ仕切られている。This display panel (11 consists of a front glass substrate (2), a rear glass substrate (31), and an XY matrix-shaped anode (4) and a cathode (5) sandwiched between these, each anode (4)
) are separated by an insulating barrier (6).

背面ガラス基板（３）では、陰極（５）の−ト部に絶縁
ＶＡ電１＠（７）を介してトリガー電極（８）が陰極（
５）と平行に設けられる。On the rear glass substrate (3), a trigger electrode (8) is connected to the negative part of the cathode (5) via an insulated VA electrode 1@(7).
5).

この表示パネル（１１の製造は通常次のようになされる
。先ず前面ガラス基板（２）上に陽極（４）と絶縁性の
バリア（６）が厚膜印刷法によっ゛ζ形成される。また
背面ガラス基板（３）上にトリガー電極（８）、絶縁誘
電層（７）及び陰極（５）が順次厚膜印刷法によって形
成される。これら各構成部は印刷後、焼成される。次い
で、この２枚のガラス基板（２）及び（３）を陽極（４
）と陰極（５）とが互いに直交するように対向して配し
、フリットシールされる。その後、加熱排気、ガス封入
（例えばＮｅ−＾ｒガス）及び最終封止等の工程を経て
完成される。　。This display panel (11) is normally manufactured as follows. First, an anode (4) and an insulating barrier (6) are formed on a front glass substrate (2) by a thick film printing method. Furthermore, a trigger electrode (8), an insulating dielectric layer (7), and a cathode (5) are sequentially formed on the rear glass substrate (3) by thick film printing.After printing, these components are fired.Next, , these two glass substrates (2) and (3) are connected to the anode (4).
) and the cathode (5) are disposed facing each other perpendicularly and are frit-sealed. Thereafter, it is completed through processes such as heating exhaust, gas filling (for example, Ne-^r gas), and final sealing. .

かかる放電表示パネル（１）においては、陽極（４）と
陰極（５）に夫々選択的に駆動電圧が印加されることに
よって、その選択された陽極（４）と陰極（５）間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示される。In such a discharge display panel (1), a driving voltage is selectively applied to the anode (4) and the cathode (5), so that the intersection between the selected anode (4) and the cathode (5) The light is emitted by discharge and displayed, for example, in a line-sequential manner.

特にこの表示パネル（１）では陽極（４）及び陰極（５
）間の放電に先立ってトリガー電極（８）にトリガー電
圧が与えられ、これによってトリガー電極（８）に対応
ずる部分の絶縁誘電層（７）上に壁電圧が誘起され、此
処と選択された陰極（５）間で瞬時の放電がなされ、陰
極（５）に沿ったガス空間がイオン化されることによっ
て以後の選択された陽極（４）及び陰極（５）間の放電
を容易にしている。In particular, this display panel (1) has an anode (4) and a cathode (5).
), a trigger voltage is applied to the trigger electrode (8), and a wall voltage is induced on the insulating dielectric layer (7) at a portion corresponding to the trigger electrode (8), and this area is selected. A momentary discharge occurs between the cathodes (5) and the gas space along the cathodes (5) is ionized to facilitate subsequent discharges between selected anodes (4) and cathodes (5).

このような放電表示パネルでは陰極としてＬａＢ６陰極
を導入する際に、厚膜印刷法、電着法が採用される。　
１ａＢｓは製造元より粗粉体として納められるＬａＢｅ
焼結粉末である。これをボールミルにより微粒子化し゛
ζペーストにする。In such a discharge display panel, when introducing a LaB6 cathode as a cathode, a thick film printing method or an electrodeposition method is employed.
1aBs is LaBe delivered as coarse powder by the manufacturer.
It is a sintered powder. This is made into fine particles using a ball mill and made into a paste.

ところが、この方法によるＬａＢ＋；陰極にはいくフか
の問題があり、その１つに、表示パターンの焼きイ１き
現象がある。すなわち、放電セル自体の表示の収縮、及
び産月セルから隣接の非産月セルへの放電阻害物質の放
出によって該物質が付着されたセルの表示の歪である。However, the LaB+ cathode produced by this method has several problems, one of which is the phenomenon of burnout of the display pattern. That is, the display of the discharge cell itself is shrunk, and the display of the cell to which the discharge inhibiting substance is attached is distorted due to the release of the discharge inhibiting substance from the birth cell to the adjacent non-birth cell.

この現象はＬａＢｅ粒子表面の汚染が原因であろうと考
えられる。ずなわぢ、ＬａＢ６焼結粉末をミル媒体中で
破砕する場合、その破砕面が酸化層でおおわれたり、ま
たその他の雑多な不純物がＬａＢｅ粉末に混在している
可能性があり、この様な不純物が原因していると考えら
れる。This phenomenon is thought to be caused by contamination on the surface of the LaBe particles. Zunawaji, when crushing LaB6 sintered powder in a mill medium, the crushed surface may be covered with an oxide layer, and other miscellaneous impurities may be mixed in with the LaBe powder. This is thought to be the cause.

発明の目的 本発明は、上述の点に鑑み、　Ｌａｃｅ陰極での放電特
性を改善した放電表示装置の製造方法を提供するもので
ある。OBJECTS OF THE INVENTION In view of the above-mentioned points, the present invention provides a method for manufacturing a discharge display device with improved discharge characteristics at a lace cathode.

発明のオ既要 本発明は、微粒子化した後に不活性ガス雰囲気中で熱処
理してなるＬａＢｅ粉末を用い゛ζＬａＢ６陰極を形成
する。Summary of the Invention In the present invention, a ζLaB6 cathode is formed using LaBe powder which is made into fine particles and then heat-treated in an inert gas atmosphere.

この発明の製法によれば、熱処理によっ′ζＬａＢ６粒
子表面の不純物が除去され、同時にＬａＢ６粒子の表面
積が小さくなり安定化する。この結果、ＬａＢ６陰極で
の焼き付現象が改善される。また、放電遅れの少ない安
定したグロー放電が得られる。According to the manufacturing method of the present invention, impurities on the surface of the 'ζLaB6 particles are removed by heat treatment, and at the same time, the surface area of the LaB6 particles is reduced and stabilized. As a result, the burning phenomenon at the LaB6 cathode is improved. Further, stable glow discharge with little discharge delay can be obtained.

実施例 以下、本発明の詳細な説明する。なお、本例は厚膜印刷
法によって１ａＢ６陰極を形成する場合である。EXAMPLES The present invention will be described in detail below. Note that this example is a case where a 1aB6 cathode is formed by a thick film printing method.

本例においては、ガラスバインダを含まずにＬａＢｅ微
粉末と適当なビークル（溶媒）のみからなるＬａＢ６ペ
ーストを作る。この作り方は、先ず粗粉砕されたＬａＢ
６焼結粉末をボールミルによってＬａＢ６微粉末にする
。このＬａＢｅ微粉末は数μｍ以ト好ましくは１〜３μ
ｍの平均粒径とし、粒径５μｍ以上の粒子が全体の５％
以）であるものとする。　ＬａＢ６を微粉末としたのち
、先ず純水洗浄して不純物を除去する。次に、このＬａ
Ｂ６微粉末を本発明の特徴である熱処理に付して安定化
させる。この熱処理条件は、Ｎ２ガス或はフォーミング
ガス（Ａｒ＋１１２）等の不活性ガス雰囲気中で１００
０“０〜１５００°Ｃ１好ましくは１２００℃〜１４０
０℃就中１３００℃で行う。雰囲気としてはフォーミン
グガスが好ましい。処理時間は１〜２時間程度でよい。In this example, a LaB6 paste consisting only of LaBe fine powder and a suitable vehicle (solvent) without containing a glass binder is prepared. To make this, first coarsely crushed LaB
6 sintered powder is made into LaB6 fine powder using a ball mill. This LaBe fine powder has a diameter of several micrometers or more, preferably 1 to 3 micrometers.
The average particle size is m, and particles with a particle size of 5 μm or more account for 5% of the total.
). After LaB6 is made into a fine powder, it is first washed with pure water to remove impurities. Next, this La
The B6 fine powder is stabilized by subjecting it to heat treatment, which is a feature of the present invention. This heat treatment condition is 100% in an inert gas atmosphere such as N2 gas or forming gas (Ar+112).
0"0~1500°C1 preferably 1200°C~140
It is carried out at 0°C, especially 1300°C. Forming gas is preferred as the atmosphere. The processing time may be about 1 to 2 hours.

この熱処理によってＬａＢ６微粒子表面の雑多な不純物
が熱分解して除去される。同時にＬａＢｅ微粒子表面（
破砕面）が焼き締められ、表面積が小さくなると思われ
る。なお熱処理温度が１０００℃より低いと不純物の熱
分解がしにくくなり、また１５００°Ｃを越えるとＬａ
Ｂ５の焼結が始まる。Through this heat treatment, miscellaneous impurities on the surface of the LaB6 particles are thermally decomposed and removed. At the same time, the surface of LaBe fine particles (
It is thought that the fractured surface) is baked and compacted, reducing the surface area. Note that if the heat treatment temperature is lower than 1000°C, it will be difficult to thermally decompose impurities, and if it exceeds 1500°C, La
Sintering of B5 begins.

この熱処理されたＬａＢ６微粉末に適当なビークルを混
合してＬａＢ６ペーストを作製する。A suitable vehicle is mixed with this heat-treated LaB6 fine powder to prepare a LaB6 paste.

そして、第２図Ａに示すように背向ガラス基板（３）上
にトリガー電極（８）及び絶縁誘電Ｎ（７）を形成した
後、この絶縁誘電Ｎ（７）上に、形成すべき陰極パター
ンに沿ってガラスバインダが含有された導電ペースト例
えばＮｉペーストを印刷塗布しＮｉペースト層ａΦを形
成する。このＮｉペースト層０θ）は爾後電流供給用の
下地電極となるものである。After forming the trigger electrode (8) and the insulating dielectric N (7) on the back glass substrate (3) as shown in FIG. 2A, the cathode to be formed is placed on the insulating dielectric N (7). A conductive paste containing a glass binder, such as Ni paste, is applied by printing along the pattern to form a Ni paste layer aΦ. This Ni paste layer 0θ) will later become a base electrode for current supply.

次に第２図Ｂに示すようにＮｉペースト層ＱＯ）を乾燥
した後、このＮｉペースト層αＧ）上に上記のＬａ５ｇ
ペーストを印刷塗布してＬａＢ６ペースト層（１１）を
形成する。Next, as shown in FIG. 2B, after drying the Ni paste layer QO), the above La5g
The paste is applied by printing to form a LaB6 paste layer (11).

次に、第２図Ｃに示ずようにＬ　ａ　１１ｅペースト１
−（１１）を乾燥した後、ＮｉペーストＮ００）とＬａ
Ｂ６ペースト層（１１）を同時に焼成する。このときの
焼成条件は空気中、５００℃〜６００℃、例えば約５６
０“Ｃで行う。この焼成によって旧ト地層（１０’）が
形成される。また焼成中にＮｉペースト層００）に含有
されていたガラスバインダの一部がＬａ８ｇ層（１１’
）内に浸潤される。このガラスバインダの浸潤によって
ガラスバインダが浸潤された部分のＬａＢ６１ｍ（ｌｌ
’ａ）でばＮｉ下地１＊（１０’）とＬａＢｅ層（１工
′〕間及びＬａＢｅ粒子間の結合力が増すことになる。Next, as shown in FIG. 2C, apply L a 11e paste 1
- After drying (11), Ni paste N00) and La
B6 paste layer (11) is fired at the same time. The firing conditions at this time are in air, 500°C to 600°C, for example, about 56°C.
This is carried out at 0"C. By this firing, the old To layer (10') is formed. Also, during firing, a part of the glass binder contained in the Ni paste layer (00) is transferred to the La8g layer (11').
) is infiltrated within. LaB61m (ll
In case of 'a), the bonding force between the Ni base layer 1* (10') and the LaBe layer (1 layer') and between the LaBe particles increases.

次に第２図りに示すようにＬａＢ５層（１１’）のガラ
スバインダが浸潤されない表面（ｌｌ’ｂ）を除去する
。次で前述したように前面ガラス基板（２）と背面ガラ
ス基板（３）とのフリットシール、加熱排気、所要ガス
の封入及び最終封止を行って後、陽極（４）及びＮ＋下
地電極（１０’）間に所定電圧を印加し、面電流でのガ
ス放電による活性化処理（カソードフォーミング）を行
う。活性化時の電流密度は２〜５　Ａ　／　ｃｒＡ程度
である。この活性化処理でＬａＢｅ　１ｍ（ｌｌ’ａ）
表面（所謂放電面）にはガラスが存在しなくなり　［、
ａ８６自身が表面に露出すると共に、さらに局部的な熱
効果によってＬａＢｅ粒子間で焼結が起こり即ぢ互に融
けてつながった状態になる。Next, as shown in the second diagram, the surface (ll'b) of the five layers of LaB (11') on which the glass binder is not infiltrated is removed. Next, as described above, after frit sealing the front glass substrate (2) and rear glass substrate (3), heating exhaust, filling the required gas, and final sealing, the anode (4) and the N+ base electrode (10 )), and an activation process (cathode forming) is performed by gas discharge with a surface current. The current density during activation is around 2-5 A/crA. With this activation process, LaBe 1m(ll'a)
Glass no longer exists on the surface (so-called discharge surface) [,
As the a86 itself is exposed on the surface, sintering occurs between the LaBe particles due to the local thermal effect, and they immediately melt and become connected to each other.

これによってＬａＢ６層の批抗が下がる。この様にし’
１ｒＮｉ下地電極（１０’）上にしａＢ６陰極（Ｉ２）
が形成される。This reduces the resistance of the LaB6 layer. Do it like this'
aB6 cathode (I2) on 1rNi base electrode (10')
is formed.

かかる製法によれば、特にペースト化する前にＬａＢ５
微粉末を不活性ガス雰囲気中で熱処理することにより、
ＬａＢｅ　ｆｆｆｓＩ粉末に混在する不純物が除去され
、またＬａＢ＋、　Ｉｌ［粉末表面が焼き締られ表面積
が小ざくなると思われる。この結果、得られたＬａＢｅ
陰極では前述した表示パターンの焼き付き現象が改善さ
れるを認めた。特に点刻セルから非点灯セルへの放電阻
害物質の放出によるものが大幅に改善された。According to this manufacturing method, especially before making into a paste, LaB5
By heat-treating fine powder in an inert gas atmosphere,
It is thought that the impurities mixed in the LaBe fffsI powder are removed, and the surface of the LaB+, Il powder is sintered and the surface area becomes smaller. As a result, the obtained LaBe
At the cathode, it was confirmed that the above-mentioned display pattern burn-in phenomenon was improved. In particular, the discharge of discharge inhibiting substances from the stippled cells to the non-lit cells was significantly improved.

また、放電遅れによるグロー放電のちらつきがなくなっ
た。これは放電開始電圧が低下しているためと考えられ
る。第１図の放電表示装置では放電遅れによるグロー放
電のちらつきに対処するためトリガー方式という一種の
プライミング効果を持たせた方法を採用している。しか
し、本発明による熱処理されたＬａＢ５粉末を用いた１
、ａＢ６陰極を具備する放電表示装置では上記したよう
にグロー放電が安定に開始するのでトリガー放電を省略
することもできる。In addition, flickering of glow discharge due to discharge delay has disappeared. This is considered to be because the discharge starting voltage is lowered. In the discharge display device shown in FIG. 1, in order to deal with the flickering of glow discharge due to discharge delay, a trigger method, which has a kind of priming effect, is adopted. However, 1 using heat-treated LaB5 powder according to the present invention
In the discharge display device equipped with the aB6 cathode, glow discharge starts stably as described above, so trigger discharge can be omitted.

尚、上例では本発明をＬａＢ６ペーストを用いた厚膜印
刷法でＬａ１ｌｅ陰極を形成した場合に適用したが、そ
の他電着法等でＬａＢ６陰極を形成する場合にも適用で
きる。In the above example, the present invention was applied to a case where a La1le cathode was formed by a thick film printing method using a LaB6 paste, but it can also be applied to a case where a LaB6 cathode is formed by other methods such as an electrodeposition method.

また、上例ではガラスバインダを含まないＬａＢｅペー
ストを用いてＬａＢ６陰極を形成したが、ガラスバイン
ダとしてアルカリガラスを含むＬａＢ６ペーストを用い
た厚膜印刷法でＬａ８ｇ陰極を形成する場合にも適用で
きる。この場合のＬａＢ６ペーストは焼成後の下地電極
上に印刷塗布される。Further, in the above example, the LaB6 cathode was formed using a LaBe paste that does not contain a glass binder, but it can also be applied to the case where a La8g cathode is formed by a thick film printing method using a LaB6 paste that contains alkali glass as a glass binder. In this case, the LaB6 paste is printed and coated on the base electrode after firing.

発明の効果 本発明によれば、ＬａＢｅ粉末を微粒子化した後に不４
！ｉ性ガス雰囲気中で熱処理することにより不純物を除
去し、且つ表面積を小さくジζ安定化させることができ
る。そして、ごの熱処理されたＬａｎ６粉末を用いて厚
膜印刷法、電着法等によってＬａＢｅ陰極を形成するこ
とにより、表ｉｆ＜パターンの焼きイ」き現象が改善さ
れ、表示品位の経時変化（劣化）が軽減される。Effects of the Invention According to the present invention, after the LaBe powder is made into fine particles,
! By heat-treating in an i-type gas atmosphere, impurities can be removed, and the surface area can be reduced and di-ζ stabilized. By forming a LaBe cathode using the heat-treated Lan6 powder by thick film printing, electrodeposition, etc., the phenomenon of pattern baking is improved, and the change in display quality over time ( deterioration) is reduced.

また、放電遅れの少ない、ちらつきの無いグロー放電が
得られる。このように本発明では放電特性が改善された
放電表示装置が得られる。Furthermore, flicker-free glow discharge with little discharge delay can be obtained. As described above, the present invention provides a discharge display device with improved discharge characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明を通用しうる放電表示装置の一例を示す
構成図、第２図Ａ−Ｄは本発明の一実施例の説明に供す
るＬａ５６陰極の形成］二稈図である。 （２）は前面ガラス基板、（３）は背面ガラス基板、（
４）は陽極、（５）は陰極、（６）はバリア、（７）は
絶縁誘電層、（８）はトリガー電極、α０）は導電ペー
ストｌ−１（１１）はＬａＢＧベースト層、（１２）は
ＬａＢ６陰極である。 °−Ｊ″− 第１図 ２ 第２図FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a discharge display device to which the present invention can be applied, and FIGS. 2A to 2D are two-culm diagrams showing the formation of a La56 cathode for explaining one embodiment of the present invention. (2) is the front glass substrate, (3) is the back glass substrate, (
4) is an anode, (5) is a cathode, (6) is a barrier, (7) is an insulating dielectric layer, (8) is a trigger electrode, α0) is a conductive paste l-1 (11) is a LaBG based layer, (12) ) is a LaB6 cathode. °−J″− Fig. 1 2 Fig. 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 微粒子化した後に不活性ガス雰囲気中で熱処理してなる
ＬａＢ５粉末を用いてＬａＢ５陰極を形成することを特
徴とする放電表示装置の製造方法。A method for manufacturing a discharge display device, characterized in that a LaB5 cathode is formed using LaB5 powder that is made into fine particles and then heat-treated in an inert gas atmosphere.