JPS60219637A - 磁気デイスクの表面平滑化方法 - Google Patents
磁気デイスクの表面平滑化方法Info
- Publication number
- JPS60219637A JPS60219637A JP7678384A JP7678384A JPS60219637A JP S60219637 A JPS60219637 A JP S60219637A JP 7678384 A JP7678384 A JP 7678384A JP 7678384 A JP7678384 A JP 7678384A JP S60219637 A JPS60219637 A JP S60219637A
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- Japan
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- head
- magnetic disc
- magnetic disk
- convex lens
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- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は磁気ディスク、特に高密度磁気ディスク(例え
ば、めっきまたはスパッタ法による薄膜媒体磁気ディス
ク)のごとき、高精度表面を要求されている磁気ディス
ク基板の表面平滑方法に関するものである。
ば、めっきまたはスパッタ法による薄膜媒体磁気ディス
ク)のごとき、高精度表面を要求されている磁気ディス
ク基板の表面平滑方法に関するものである。
(従来技術とその問題点)
一般に薄膜媒体磁気ディスクは、研磨仕上したN1−P
下地層の上に磁性薄膜として媒体(Ni −C。
下地層の上に磁性薄膜として媒体(Ni −C。
−P)をめっきまたは媒体(α−Fe、 03)をスパ
ッタし、保護膜(例えば5ffiOりを付与することに
よって製造されている。この場合、保護膜を形成した磁
気ディスク表面には高さ0.1μm以上の微小突起が存
在し、磁気ヘッドが摩耗劣化したシヘッド浮揚性が悪く
なる等の悪影響がある。
ッタし、保護膜(例えば5ffiOりを付与することに
よって製造されている。この場合、保護膜を形成した磁
気ディスク表面には高さ0.1μm以上の微小突起が存
在し、磁気ヘッドが摩耗劣化したシヘッド浮揚性が悪く
なる等の悪影響がある。
これを解決するために、回転する磁気ディスク表面にラ
ッピングフィルムの砥粒面を接触させて、磁気ディスク
表面の微小突起を除去する方式(例えば時分 昭56−
46768)が従来採用されてい 。
ッピングフィルムの砥粒面を接触させて、磁気ディスク
表面の微小突起を除去する方式(例えば時分 昭56−
46768)が従来採用されてい 。
る0
しかし、従来の方式では、ラッピングフィルムの砥粒面
が磁気ディスク表面に加圧接触して、磁気ディスク表面
を研磨加工していくので、微小突起のみ選択的に除去す
ることはできず1微小突起の存在しない保護膜部分も研
磨し除去してしまう欠点がある0このため、磁気ディス
クの保護膜厚さの不均一を生じ、磁気ディスクの耐久性
、耐食性が低下するという問題があった。
が磁気ディスク表面に加圧接触して、磁気ディスク表面
を研磨加工していくので、微小突起のみ選択的に除去す
ることはできず1微小突起の存在しない保護膜部分も研
磨し除去してしまう欠点がある0このため、磁気ディス
クの保護膜厚さの不均一を生じ、磁気ディスクの耐久性
、耐食性が低下するという問題があった。
(発明の目的)
本発明の目的は、このような従来の欠点にかんがみ、磁
気ディスク表面の微小突起のみを選択的に効率良く除去
できる磁気ディスクの表面平滑化方法を提供することに
ある0 (発明の構成) 本発明によれば、磁気ディスクを回転させ、該ディスク
面上を光線を集光する透明体を有したバーニラシーヘッ
ドを微小すきまで浮上させ1光線を該ディスク面上に照
射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去すること
を特徴とする磁気ディスクの表面平滑化方法が得られる
。
気ディスク表面の微小突起のみを選択的に効率良く除去
できる磁気ディスクの表面平滑化方法を提供することに
ある0 (発明の構成) 本発明によれば、磁気ディスクを回転させ、該ディスク
面上を光線を集光する透明体を有したバーニラシーヘッ
ドを微小すきまで浮上させ1光線を該ディスク面上に照
射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去すること
を特徴とする磁気ディスクの表面平滑化方法が得られる
。
(発明の概要)
本発明は上述の方法によシ、従来の問題点を解決した。
すなわち、磁気ディスクを回転させ、該ディスク面上を
光線を集光する透明体を有したバーニクーヘッドを該デ
ィスク面上に存在する微小突起部高さよシ小さい値で浮
上させて、該透明体によって光線が該ディスク面上の微
小突起部の頂点に集光するように設定する。光線の照射
によって、微小突起部は溶融軟化し、直ちに該バー二シ
ェヘッドのスライダ面と衝突して微小突起は除去されて
いく。この場合、微小突起の存在しないディスク面上に
も光線は照射されるが、バーニラシーヘッドは磁気ディ
スク面上を微小すきまで浮上しているので、微小突起の
存在しないディスク面はバーニラシーヘッドとは接触し
ない。従って、本発明の磁気ディスクの表面平滑化方法
によ#)1磁気ディスク表面の微小突起のみを選択的に
除去できる。
光線を集光する透明体を有したバーニクーヘッドを該デ
ィスク面上に存在する微小突起部高さよシ小さい値で浮
上させて、該透明体によって光線が該ディスク面上の微
小突起部の頂点に集光するように設定する。光線の照射
によって、微小突起部は溶融軟化し、直ちに該バー二シ
ェヘッドのスライダ面と衝突して微小突起は除去されて
いく。この場合、微小突起の存在しないディスク面上に
も光線は照射されるが、バーニラシーヘッドは磁気ディ
スク面上を微小すきまで浮上しているので、微小突起の
存在しないディスク面はバーニラシーヘッドとは接触し
ない。従って、本発明の磁気ディスクの表面平滑化方法
によ#)1磁気ディスク表面の微小突起のみを選択的に
除去できる。
(実施例)
以下1本発明の実施例について図面を用いて説明する。
磁気ディスクlは薄膜媒体(Ni −Co −P)メッ
キ後、保獲膜として8i0.を厚さ0.08μm付与し
たもので、その表面には微小突起2が存在している0バ
ーニツシユヘツド3はアルミナ材よりなシ、バーニッシ
ュヘッド3中に光線を集光させる透明体として平凸レン
ズ4(集魚距離f二2111)を設けている。)シファ
イバ5を通して照射されたアルゴンレーザ光6(パワー
0.IW) ヲ平凸レンズ4によってスポットj111
Oμmに集光させる0このような平凸レンズ4を備えた
ノく一ニッシュへ・ノド3を回転する磁気ディスク1面
上を微小突起高さよシ小さい値で浮上させながら、アル
ゴンレーザ光6を平凸レンズ4を通して磁気ディスク1
面上に照射すると、微小突起2は溶融軟化し、ノく一ニ
ッシュへノド3のスライダ面と衝突して除去され、磁気
ディスクlの表面は平滑化される。この場合、バーニツ
クユヘッド3を数往復させながら、除徐にバーニッシュ
ヘッド3の浮上量を小さくシティく。実験によ“れば、
バーニラシー前の磁気ディスク面上の微小突起高さが(
1,1〜0.25μm=%つたものが、バーニッシュ後
、微小突起高さ力i 0.05μff1以下になシ、最
小浮上高さが0.1μm以下となった0本発明の方法で
は磁気ディスク面上の微lj−突起のみ除去され、微小
突起の存在しない磁気ティスフ面部分はバーニッシュさ
れないので、磁気ディスクの保護膜厚さに不均一を生じ
ること7!l工なく、耐層性および耐食性が優れた磁気
ディスク力;獲イ尋できる0 また1本発明の方法では、集光された光線を照射して、
磁気ディスク面上の微小突起を溶融・軟 :化させてお
シ、溶融・軟化して強度の低下した微小突起をバーニッ
シュヘッドのスライダ面に衝突させて除去しているので
、光線を照射しない場合に比較して、表面平滑化時間を
大幅に短縮できる □(本実施例の場合、約半分に短縮
)とともに、従来、除去できなかった硬質な微小突起も
容易に除去できる利点がある。
キ後、保獲膜として8i0.を厚さ0.08μm付与し
たもので、その表面には微小突起2が存在している0バ
ーニツシユヘツド3はアルミナ材よりなシ、バーニッシ
ュヘッド3中に光線を集光させる透明体として平凸レン
ズ4(集魚距離f二2111)を設けている。)シファ
イバ5を通して照射されたアルゴンレーザ光6(パワー
0.IW) ヲ平凸レンズ4によってスポットj111
Oμmに集光させる0このような平凸レンズ4を備えた
ノく一ニッシュへ・ノド3を回転する磁気ディスク1面
上を微小突起高さよシ小さい値で浮上させながら、アル
ゴンレーザ光6を平凸レンズ4を通して磁気ディスク1
面上に照射すると、微小突起2は溶融軟化し、ノく一ニ
ッシュへノド3のスライダ面と衝突して除去され、磁気
ディスクlの表面は平滑化される。この場合、バーニツ
クユヘッド3を数往復させながら、除徐にバーニッシュ
ヘッド3の浮上量を小さくシティく。実験によ“れば、
バーニラシー前の磁気ディスク面上の微小突起高さが(
1,1〜0.25μm=%つたものが、バーニッシュ後
、微小突起高さ力i 0.05μff1以下になシ、最
小浮上高さが0.1μm以下となった0本発明の方法で
は磁気ディスク面上の微lj−突起のみ除去され、微小
突起の存在しない磁気ティスフ面部分はバーニッシュさ
れないので、磁気ディスクの保護膜厚さに不均一を生じ
ること7!l工なく、耐層性および耐食性が優れた磁気
ディスク力;獲イ尋できる0 また1本発明の方法では、集光された光線を照射して、
磁気ディスク面上の微小突起を溶融・軟 :化させてお
シ、溶融・軟化して強度の低下した微小突起をバーニッ
シュヘッドのスライダ面に衝突させて除去しているので
、光線を照射しない場合に比較して、表面平滑化時間を
大幅に短縮できる □(本実施例の場合、約半分に短縮
)とともに、従来、除去できなかった硬質な微小突起も
容易に除去できる利点がある。
(発明の効果)
以上説明したように、磁気ディスクを回転させ、該磁気
ディスク面上を光線を集光する透明体を有したバーニッ
シュヘッドを微小すきまで浮上させ、光線を該ディスク
面上に照射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去
する方法により、短時間に磁気ディスクの表面平滑化が
達成され、磁気ディスクの耐久性、耐食性を低下させる
ことなくヘッド浮上性を著しく改善できる利点がある0
なお、本発明の一実施例においては、バーニツシュヘッ
ド中に光線を集光させる透明体を設けたが、バーニラシ
ーヘッド自体を硬質の透明体としても良い0また、光線
としてアルゴンレーザ光を用いたが、炭酸ガスレーザ光
、YAGレーザ光等を用いても良い。
ディスク面上を光線を集光する透明体を有したバーニッ
シュヘッドを微小すきまで浮上させ、光線を該ディスク
面上に照射しながら、該ディスク面上の微小突起を除去
する方法により、短時間に磁気ディスクの表面平滑化が
達成され、磁気ディスクの耐久性、耐食性を低下させる
ことなくヘッド浮上性を著しく改善できる利点がある0
なお、本発明の一実施例においては、バーニツシュヘッ
ド中に光線を集光させる透明体を設けたが、バーニラシ
ーヘッド自体を硬質の透明体としても良い0また、光線
としてアルゴンレーザ光を用いたが、炭酸ガスレーザ光
、YAGレーザ光等を用いても良い。
Claims (1)
- 磁気ディスクを回転させ、該ディスク面上を光線を集光
する透明体を有したバーニッシュヘッドを微小すきまで
浮上させ、該ディスク面上に光線を耶射しながら該ディ
スク面上の微小突起を除去することを特徴とする磁気デ
ィスクの表面平滑化方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7678384A JPS60219637A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 磁気デイスクの表面平滑化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7678384A JPS60219637A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 磁気デイスクの表面平滑化方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60219637A true JPS60219637A (ja) | 1985-11-02 |
Family
ID=13615196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7678384A Pending JPS60219637A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 磁気デイスクの表面平滑化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60219637A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5043835A (en) * | 1987-03-09 | 1991-08-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for adjusting the position of a magnetic head relative to a recording medium |
US6394105B1 (en) * | 1998-03-19 | 2002-05-28 | Seagate Technology, Inc. | Integrated laser cleaning and inspection system for rigid thin film media for magnetic recording application |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP7678384A patent/JPS60219637A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5043835A (en) * | 1987-03-09 | 1991-08-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for adjusting the position of a magnetic head relative to a recording medium |
US6394105B1 (en) * | 1998-03-19 | 2002-05-28 | Seagate Technology, Inc. | Integrated laser cleaning and inspection system for rigid thin film media for magnetic recording application |
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