JPS60218034A - 感熱形流量検出用センサの製造方法 - Google Patents
感熱形流量検出用センサの製造方法Info
- Publication number
- JPS60218034A JPS60218034A JP59075218A JP7521884A JPS60218034A JP S60218034 A JPS60218034 A JP S60218034A JP 59075218 A JP59075218 A JP 59075218A JP 7521884 A JP7521884 A JP 7521884A JP S60218034 A JPS60218034 A JP S60218034A
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- JP
- Japan
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- platinum
- manufacturing
- film
- flow rate
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は流動流体と発熱体間の伝熱を利用して流速６る
いＩｒｉ流量を検出する感熱形流量検出用センサの製造
方法に関するものである。
いＩｒｉ流量を検出する感熱形流量検出用センサの製造
方法に関するものである。
従来この種のセンサとして第２因に示すものがあった。
図において、（１）ｔｊセラミックボビン、（２）にこ
のセラミックボビン上に均一に巻かれた％径が数１０μ
ｍの白金線、 （８１１；ｊセラミックボビン（１）を
支持する導電性のリードで、ボビンの開口部に差し込ま
れ、差し込み部にフランジ會形成して２す、上目ピリー
ド（８）と白金線（２）にスポット溶接、あるいははん
だ付けにエリ接続されている。また、白金ｆｉｉ（２）
及びボビン（１）の外表面上にｔｌｆｆ ＡＪｌＩｏ、
又σ８１０８ で成る保！！Ｉ展（４）がコーティング
されてい為上記構成′ｆｒ備える感熱形成量検出器に、
温度依存性抵抗に１１流を供給して流体温度よりも高い
温度に加熱して２き、この発熱した温度依存性抵抗体に
流体が当ると流速あるいに流量に応じた熱量が該抵抗体
からりはわれて抵抗が変化するため、このような流体の
ｆ１ｆｔ九の冷却作用による′電気抵抗の変化を利用し
て流速あるいに流ｔを検知しようとするものである。
のセラミックボビン上に均一に巻かれた％径が数１０μ
ｍの白金線、 （８１１；ｊセラミックボビン（１）を
支持する導電性のリードで、ボビンの開口部に差し込ま
れ、差し込み部にフランジ會形成して２す、上目ピリー
ド（８）と白金線（２）にスポット溶接、あるいははん
だ付けにエリ接続されている。また、白金ｆｉｉ（２）
及びボビン（１）の外表面上にｔｌｆｆ ＡＪｌＩｏ、
又σ８１０８ で成る保！！Ｉ展（４）がコーティング
されてい為上記構成′ｆｒ備える感熱形成量検出器に、
温度依存性抵抗に１１流を供給して流体温度よりも高い
温度に加熱して２き、この発熱した温度依存性抵抗体に
流体が当ると流速あるいに流量に応じた熱量が該抵抗体
からりはわれて抵抗が変化するため、このような流体の
ｆ１ｆｔ九の冷却作用による′電気抵抗の変化を利用し
て流速あるいに流ｔを検知しようとするものである。
しかるに、この温度依存性抵抗体として第２白に示した
ような巻線型を用いた場合、機械的強度には強い反面、
白金線（２）をボビン（１）の表面上に均一に巻くため
の加工が容易でないために製造コストが高く、また抵抗
値の精度が低いといった欠点があった。
ような巻線型を用いた場合、機械的強度には強い反面、
白金線（２）をボビン（１）の表面上に均一に巻くため
の加工が容易でないために製造コストが高く、また抵抗
値の精度が低いといった欠点があった。
〔発明の概要〕
この発明は上記の様な従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、低コストで抵抗値精度の高い流速２
よび流量検出用センサの製造方法を提供することを目的
としている。
になされたもので、低コストで抵抗値精度の高い流速２
よび流量検出用センサの製造方法を提供することを目的
としている。
以下、本発明の一実施例を第１図について説明する。本
発明のセンサ製造方法は、先ず円筒形セラミック（１）
の外表面上に蒸着により白金抵抗（２）を形成する・ その後、上記セラミックボビン（１）の両端開口部より
リード（８）を挿入し、接触部に銀ペーストの様な導電
ペースト（６）を塗付し、熱処理を行なう。そして所望
の抵抗値を得るため、白金膜に、らせん状のｗＹｔレー
ザ加工で作成し、溝の部分４Ｃニ白金が残らないように
する。白金抵抗（２）と導電ペースト（句の外表面上に
はポリイミド樹脂、又はガラスを被覆する・ この場合、特に円筒形セラミックの形状を慣通形で外径
（ｉ１１１１以下とすることにより、熱容量を小さくで
き、応答時間が短くなる。また長さ全極の３倍以上にす
ることにより、セラミックボビンの両端〃纂らリードに
伝わる熱損重を小さくできるので、感度は同上し、温度
ドリフトも無視できるほど小さくなる。
発明のセンサ製造方法は、先ず円筒形セラミック（１）
の外表面上に蒸着により白金抵抗（２）を形成する・ その後、上記セラミックボビン（１）の両端開口部より
リード（８）を挿入し、接触部に銀ペーストの様な導電
ペースト（６）を塗付し、熱処理を行なう。そして所望
の抵抗値を得るため、白金膜に、らせん状のｗＹｔレー
ザ加工で作成し、溝の部分４Ｃニ白金が残らないように
する。白金抵抗（２）と導電ペースト（句の外表面上に
はポリイミド樹脂、又はガラスを被覆する・ この場合、特に円筒形セラミックの形状を慣通形で外径
（ｉ１１１１以下とすることにより、熱容量を小さくで
き、応答時間が短くなる。また長さ全極の３倍以上にす
ることにより、セラミックボビンの両端〃纂らリードに
伝わる熱損重を小さくできるので、感度は同上し、温度
ドリフトも無視できるほど小さくなる。
また、特に白金膜の厚さｔｏ、１〜０．２μｍにするこ
とにより、安定した温度特性が得らｎル−ザ加工による
トリミングの際に白金膜の切りくずが残ったり、破断状
態になることもなくなる。
とにより、安定した温度特性が得らｎル−ザ加工による
トリミングの際に白金膜の切りくずが残ったり、破断状
態になることもなくなる。
さらにリード（８）として熱伝導率の比較的小さいステ
ンレススチールやニッケル等を用い、その外径をり、４
１１ｍ以下に選ぶことにより、白金抵抗（２）からリー
ド（８）に伝わる熱量が小さくなりｔＲＫの高い流速あ
るいは流量の検出が可能となる。
ンレススチールやニッケル等を用い、その外径をり、４
１１ｍ以下に選ぶことにより、白金抵抗（２）からリー
ド（８）に伝わる熱量が小さくなりｔＲＫの高い流速あ
るいは流量の検出が可能となる。
また、白金抵抗（２）膜上に被覆するポリイミド樹脂の
厚さ′ｆｒ３０μｍ〜８０μｍとすることにより、安価
で信頼性の高いセンサの実現が可能とな゛る。
厚さ′ｆｒ３０μｍ〜８０μｍとすることにより、安価
で信頼性の高いセンサの実現が可能とな゛る。
つまり、コーテイング膜が薄いとピンホールによる抵抗
値の鮭時変化が生じたり、またセンサ表面への塵等異物
の付着により、センサと流体間の熱伝達率が小さくな０
軽時変化が生じる。
値の鮭時変化が生じたり、またセンサ表面への塵等異物
の付着により、センサと流体間の熱伝達率が小さくな０
軽時変化が生じる。
こｎに対し、コーテイング膜をさらに厚くすると熱容量
が大きくなり、応答時間もそれに応じて長くなる。
が大きくなり、応答時間もそれに応じて長くなる。
以上述べた様に、本発明によれはｆＩｔ、を検出用セン
サの製造方法として白金抵抗を蒸Ｎによって形成し、セ
ラミック両端開口部より挿入したリードと導電ペースト
により接続し、その後レーザー〃口工によりトリミング
を行なった後ポリ１ミド樹脂を被模する様な方法を採用
したので、従来より製品コストが低減でき、抵抗精度も
同上できるといった長所がある。
サの製造方法として白金抵抗を蒸Ｎによって形成し、セ
ラミック両端開口部より挿入したリードと導電ペースト
により接続し、その後レーザー〃口工によりトリミング
を行なった後ポリ１ミド樹脂を被模する様な方法を採用
したので、従来より製品コストが低減でき、抵抗精度も
同上できるといった長所がある。
第ｉ１に＊、本発明方法で製造した感熱形波量検出用セ
ンサの構造図、第２図に従来の製造方法で製造した感熱
形波量検出用センサの構造図である。 （１）：セラミックボビン （２）：白金抵抗 （８１：リード （匍：保−膜 （６）：導電ペースト な２図中、同一符号に同一、又は相尚部分を示すＯ 代理人大岩増雄 第１図 第２図 手続補正書（自発） ２、発明の名称 感熱形波量検出用センサの製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者片山仁へ部 ４、代理人 ６、補正の内容 明細書第４頁第１８行の「銀ペースト」という記載な「
白金ペースト」と補正する。 以 上
ンサの構造図、第２図に従来の製造方法で製造した感熱
形波量検出用センサの構造図である。 （１）：セラミックボビン （２）：白金抵抗 （８１：リード （匍：保−膜 （６）：導電ペースト な２図中、同一符号に同一、又は相尚部分を示すＯ 代理人大岩増雄 第１図 第２図 手続補正書（自発） ２、発明の名称 感熱形波量検出用センサの製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者片山仁へ部 ４、代理人 ６、補正の内容 明細書第４頁第１８行の「銀ペースト」という記載な「
白金ペースト」と補正する。 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）円筒形セラミック外表面上に白金ケ蒸層した後該
円筒形セラミックの両端開口部よりリードを挿入し、上
記白金膜とリードを接続すると共に、しかる後、レーザ
ー加工により、該白金膜にらせん状のｍｔ−形成して所
望の抵抗値とし、該工程の後、上記白金薄膜上に電気絶
縁性の保験膜を被嶺して成る感熱形流量検出用センサの
製造方法。 （２）上記円筒形セラミックの外径＆！１１１１以下で
あンサの製造方法。 （８）上記円筒形セラミック外表面上に蒸着した自形流
量検出用センサの製造方法。 （４）上記円筒形セラミックに挿入するリードはステン
レス鋼、ニッケル、白金等熱伝導率がＩＷ／第３項のい
ずれかに記載の感熱形流量検出用センサの製造方法。 （６）上記白金膜上に被榎するコーテイング材として、
ポリイミド、ボリイｉドアミド、ポリジフェニルエーテ
ル尋耐熱性樹脂、又は非晶質ガラスのし第４項のいずれ
かに記載の感熱形流！検出用センサの製造方法。 （６）上記白金膜とリードとの接続方法として導電記載
の感熱形流量検出用センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59075218A JPS60218034A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 感熱形流量検出用センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59075218A JPS60218034A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 感熱形流量検出用センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218034A true JPS60218034A (ja) | 1985-10-31 |
Family
ID=13569854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59075218A Pending JPS60218034A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 感熱形流量検出用センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218034A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139723A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Hitachi Ltd | 空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法 |
| US4912975A (en) * | 1985-02-14 | 1990-04-03 | Nippon Soken, Inc. | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56106159A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-24 | Hitachi Ltd | Production of sensor for detecting flow speed and flow rate |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP59075218A patent/JPS60218034A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56106159A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-24 | Hitachi Ltd | Production of sensor for detecting flow speed and flow rate |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139723A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Hitachi Ltd | 空気流量計の感温抵抗体及びその製造方法 |
| JPH0441764B2 (ja) * | 1984-12-12 | 1992-07-09 | Hitachi Ltd | |
| US4912975A (en) * | 1985-02-14 | 1990-04-03 | Nippon Soken, Inc. | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics |
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