JPS6021508A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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- JPS6021508A JPS6021508A JP58128718A JP12871883A JPS6021508A JP S6021508 A JPS6021508 A JP S6021508A JP 58128718 A JP58128718 A JP 58128718A JP 12871883 A JP12871883 A JP 12871883A JP S6021508 A JPS6021508 A JP S6021508A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 11
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 abstract description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 abstract description 2
- 229910002624 Hf–Ta Inorganic materials 0.000 abstract 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229920003055 poly(ester-imide) Polymers 0.000 abstract 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 abstract 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 1
- ZTXONRUJVYXVTJ-UHFFFAOYSA-N chromium copper Chemical compound [Cr][Cu][Cr] ZTXONRUJVYXVTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- Y10T428/12806—Refractory [Group IVB, VB, or VIB] metal-base component
- Y10T428/12826—Group VIB metal-base component
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明IJ鐵贅t ili!緑碌体1、f系り、特に垂
直磁*t、 i!i!靜がCきる磁気記−・A媒体に関
すと1ものである。
直磁*t、 i!i!靜がCきる磁気記−・A媒体に関
すと1ものである。
近年、 1jil (rt 11[!HklL (4−
の41;録けIJIYを高めるため、垂直磁気i1i!
&A力式が!広iJされCいる。この記録方式に用い
ら、11.る1Ltk i+(記録媒体は、括+、iど
、その基材の表面に形成されノー第1の磁性材薄膜と、
その第1の磁性#t rtt naの表面に形成された
第2の磁性材薄膜とから111成されCいる。(t、r
この第2の磁性材薄1漠の膜1iif方向、tなわ0垂
直方向に磁化さ」することににす、所望のデータが貫己
録されるようになっている。
の41;録けIJIYを高めるため、垂直磁気i1i!
&A力式が!広iJされCいる。この記録方式に用い
ら、11.る1Ltk i+(記録媒体は、括+、iど
、その基材の表面に形成されノー第1の磁性材薄膜と、
その第1の磁性#t rtt naの表面に形成された
第2の磁性材薄膜とから111成されCいる。(t、r
この第2の磁性材薄1漠の膜1iif方向、tなわ0垂
直方向に磁化さ」することににす、所望のデータが貫己
録されるようになっている。
前記第1の磁性(オ薄膜は第2の磁性材薄膜を磁化する
とさに磁路の一部に形成する役割を有しており、保磁力
が低く、しかも透磁率ならびに飽和磁−東密度がともに
高いことが要求さオしる。一方。
とさに磁路の一部に形成する役割を有しており、保磁力
が低く、しかも透磁率ならびに飽和磁−東密度がともに
高いことが要求さオしる。一方。
第2の磁性+1薄膜どしでは、特に垂直方向に異方性シ
イiすることか要求され、この要求に応えるものとして
、コバルト−りI’:l りの2成分系合金あるいはこ
れにUジー“) 1% 13:との第3金属に添加り、
ノー3成づ)系合金などのコノ旬1川・−クロム系合
金薄膜がある。
イiすることか要求され、この要求に応えるものとして
、コバルト−りI’:l りの2成分系合金あるいはこ
れにUジー“) 1% 13:との第3金属に添加り、
ノー3成づ)系合金などのコノ旬1川・−クロム系合
金薄膜がある。
従来の・−の種の磁気記録媒体では第1の磁性材薄膜ど
【1.下、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイが用い
られている。どころがこのものはi a&率lI:らび
り、飽和磁束密度が十分に高くなく、しかも前記コバル
1〜−り[1ム系合金からなる第2の磁性材薄膜との磁
気特(チl: J、:の所謂相性が良くない、すなわち
、結晶構造が面心立方晶系のパーマロイからなる第1の
磁性材薄膜の上に、コバ用1ヘークロ11系合金の第2
の磁性材薄膜を形成した場合、それの下層にあたるパー
マロイ薄膜の影響を受けて(特に第2の磁性材薄膜が薄
いことも関係して)。
【1.下、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイが用い
られている。どころがこのものはi a&率lI:らび
り、飽和磁束密度が十分に高くなく、しかも前記コバル
1〜−り[1ム系合金からなる第2の磁性材薄膜との磁
気特(チl: J、:の所謂相性が良くない、すなわち
、結晶構造が面心立方晶系のパーマロイからなる第1の
磁性材薄膜の上に、コバ用1ヘークロ11系合金の第2
の磁性材薄膜を形成した場合、それの下層にあたるパー
マロイ薄膜の影響を受けて(特に第2の磁性材薄膜が薄
いことも関係して)。
イの−」バ刀何−−クロム系合金薄膜の結晶構造が正規
のノ、方晶系になり濯い。そのためクロム−コバ用1系
合金の特長である優れた垂直異方性が十分シこUJiJ
Iされない、このようにパーマロイはコバ用1−−−り
Uノ、系合金との磁気特性上の相性が良くないことと、
前述のように透磁率ならびに飽和磁束密度が十イ)に晶
くないことが原因で、折角、磁気特性σ)優41六二l
バIl/ l−−り【1ノ、系合金からなる第2の磁性
ト4薄膜に用いCも、ぞσ)特性が1・分に発揮eき1
7・い欠点があ−)だ。
のノ、方晶系になり濯い。そのためクロム−コバ用1系
合金の特長である優れた垂直異方性が十分シこUJiJ
Iされない、このようにパーマロイはコバ用1−−−り
Uノ、系合金との磁気特性上の相性が良くないことと、
前述のように透磁率ならびに飽和磁束密度が十イ)に晶
くないことが原因で、折角、磁気特性σ)優41六二l
バIl/ l−−り【1ノ、系合金からなる第2の磁性
ト4薄膜に用いCも、ぞσ)特性が1・分に発揮eき1
7・い欠点があ−)だ。
本発明τr)I’J的は、こ(1)よ−)アシ・従来技
術の欠点任M消1.・、磁気特性+7)1.1れだ磁気
記録媒体を提供fるにある。
術の欠点任M消1.・、磁気特性+7)1.1れだ磁気
記録媒体を提供fるにある。
本発明IIt ILは、人パ・ツタリングなどに、上−
〕で′4坪られるtt :fルノ?、I今金薄股につい
て種々研究[、また結果、lバルト((、: o )を
1ミ成、分とし、小皿のハフーニウノ、(li’+と、
タンタル(T’o)を添加したl’:: tr−it
r −−’l” r+ tノ+ 、(成57 z’i+
7モルノ/7(合金が、との抽(ン)磁束、11心族媒
体の第1の磁性材薄膜とし5(E優]また1、′?性6
: 4r シ(い・、)ごとを見出した。
〕で′4坪られるtt :fルノ?、I今金薄股につい
て種々研究[、また結果、lバルト((、: o )を
1ミ成、分とし、小皿のハフーニウノ、(li’+と、
タンタル(T’o)を添加したl’:: tr−it
r −−’l” r+ tノ+ 、(成57 z’i+
7モルノ/7(合金が、との抽(ン)磁束、11心族媒
体の第1の磁性材薄膜とし5(E優]また1、′?性6
: 4r シ(い・、)ごとを見出した。
基板に粕+ll!+化ガー21スへ用い、−1」バルト
ディスク(直径101.fi+11m、厚さ5I帽)■
二にハフニウムのベレε用−とタンタルのべ1ノツト(
い4″’A+、のベレットもN10制0.4:’L ]
f、l 1111、I’! :51 mm) を中心
より故旧状に交互にh1!贋(2,ターゲ〉川・−1゜
のパSレットの数!=’ +41.+1整−l−ン〕、
−′と1、J直1 fj’ flン4!1成が変λl二
)れと〉ようにする、−fL1T’、i’ 、/l/コ
ン□にJ、41 d a 677の真空度が3− IXIO−’Torr以下の高真空にし、7 、jLl
ゴンのγj囲気中で、亮周波電力2W/cm”でスパッ
タリングを行ない、基板上にコバルトを主成分とす%
Co −)1 f T aの3成分系アモルファス合金
薄膜を作成する。1ごのようにして作成された各種組成
の合金試料が後述の各特性試験に使用される。
ディスク(直径101.fi+11m、厚さ5I帽)■
二にハフニウムのベレε用−とタンタルのべ1ノツト(
い4″’A+、のベレットもN10制0.4:’L ]
f、l 1111、I’! :51 mm) を中心
より故旧状に交互にh1!贋(2,ターゲ〉川・−1゜
のパSレットの数!=’ +41.+1整−l−ン〕、
−′と1、J直1 fj’ flン4!1成が変λl二
)れと〉ようにする、−fL1T’、i’ 、/l/コ
ン□にJ、41 d a 677の真空度が3− IXIO−’Torr以下の高真空にし、7 、jLl
ゴンのγj囲気中で、亮周波電力2W/cm”でスパッ
タリングを行ない、基板上にコバルトを主成分とす%
Co −)1 f T aの3成分系アモルファス合金
薄膜を作成する。1ごのようにして作成された各種組成
の合金試料が後述の各特性試験に使用される。
第1図は、後記の合金組成表において合金中の1゛8含
有率Yが常に4.5原子%になるように」、。
有率Yが常に4.5原子%になるように」、。
て、ITf含有*Xを種々変えた場合の磁気特性図であ
る。
る。
合金組成表
なお図中において曲線Bsは飽和磁束密度9曲線μeは
廟波数I M Hzにおける困難軸方向の透磁率9曲線
Heは困難軸方向の保磁力である。この図から明らかな
ように、Hf含有率が0原子%のC11−’T’ a
2 rlSl”) 7% jF 1卸J−213s I
t、 d7+ l ”が、ト旨Its高過ぎ、 /l
11 hへ/IT; 1.)、 、=れにIf fを少
址添1+11 ”jると旧が極端にFhてり αL3は
jψに高く’L’る。iI′お、IIfの含有率がある
程度以にになるど、Hr:は高(fcリ If l長I
IIo(: < tgる。一方 14 gは極端ではな
いが11「のf1tfi率の増大とどもに低下する傾向
にある。
廟波数I M Hzにおける困難軸方向の透磁率9曲線
Heは困難軸方向の保磁力である。この図から明らかな
ように、Hf含有率が0原子%のC11−’T’ a
2 rlSl”) 7% jF 1卸J−213s I
t、 d7+ l ”が、ト旨Its高過ぎ、 /l
11 hへ/IT; 1.)、 、=れにIf fを少
址添1+11 ”jると旧が極端にFhてり αL3は
jψに高く’L’る。iI′お、IIfの含有率がある
程度以にになるど、Hr:は高(fcリ If l長I
IIo(: < tgる。一方 14 gは極端ではな
いが11「のf1tfi率の増大とどもに低下する傾向
にある。
、二のような特性傾向のなかで、BSを高く保ち、Hc
を下げ、高μBにするためには、Hfの含有率Xをl原
−f%以ヒでかっ5原子%未満の範囲、好ましくは1.
5〜3原子%の範囲に規制する必要がある。このことは
Ta含有!IYt&若モ変化させても同様である。。
を下げ、高μBにするためには、Hfの含有率Xをl原
−f%以ヒでかっ5原子%未満の範囲、好ましくは1.
5〜3原子%の範囲に規制する必要がある。このことは
Ta含有!IYt&若モ変化させても同様である。。
第2図は、前記・合金組成表において合金中のHf含有
率Xが常に2.2yK子%になるようIc して、Ta
含有率Yを種々変えた場合の磁気特性図である。
率Xが常に2.2yK子%になるようIc して、Ta
含有率Yを種々変えた場合の磁気特性図である。
この図から明らかなように、Ta含有率が0原子%のC
o −H,f 2成分系N金も前述と同様に、Bsは高
いが、Hcが高過ぎ、μCが低い。これにi’aを少′
MLi、]:加することによりHeが極ψ1−“dにド
がり、71 tlがiφに高くなる。なお、1”aの召
゛有Δ゛〆7:I’ J6る程度以」二(二なると、H
には高くなり、μC(J°低くなる。一方、13 sは
極端ではないが]dの店゛角率の増大とと2石に低下す
るイζ9向がある。
o −H,f 2成分系N金も前述と同様に、Bsは高
いが、Hcが高過ぎ、μCが低い。これにi’aを少′
MLi、]:加することによりHeが極ψ1−“dにド
がり、71 tlがiφに高くなる。なお、1”aの召
゛有Δ゛〆7:I’ J6る程度以」二(二なると、H
には高くなり、μC(J°低くなる。一方、13 sは
極端ではないが]dの店゛角率の増大とと2石に低下す
るイζ9向がある。
このJ:うな特性傾向のなかで、Bsを高く保ち、1−
1 を二をドげ、高μ6にするためには、ゴaの含有率
Yを4〜10加子%、好ましくは6〜8原子%の範囲に
規制側る必要がある。このことはEl f含有率Xを若
干変化させても同様である。
1 を二をドげ、高μ6にするためには、ゴaの含有率
Yを4〜10加子%、好ましくは6〜8原子%の範囲に
規制側る必要がある。このことはEl f含有率Xを若
干変化させても同様である。
第3図は、本発明に係るCo(93,3原子−X、 >
−Hf(2,2原子%)−Ta (4,5原子%)の3
成分系アモルファス合金(曲線A)とC0(TI7.8
原子%)−Hf (2,2原子%)の2成分系アモルフ
ァス合金(曲線13)の各周波数におけるμCを比較し
て示す図である。この図からも明らかなように、本発明
のアモルファス合金は各周波数においても常に高い周波
数を有し、広い周波数領域において特性が安定し−Cい
る。
−Hf(2,2原子%)−Ta (4,5原子%)の3
成分系アモルファス合金(曲線A)とC0(TI7.8
原子%)−Hf (2,2原子%)の2成分系アモルフ
ァス合金(曲線13)の各周波数におけるμCを比較し
て示す図である。この図からも明らかなように、本発明
のアモルファス合金は各周波数においても常に高い周波
数を有し、広い周波数領域において特性が安定し−Cい
る。
第4図は、本発明の実施例に係る磁気記録媒体を説明す
るための図である。ポリエステル、ボリイミ1−など′
のi′、iD’14房川1あるいは陽14i酸化し!ニ
アル−1.゛ニウム板などがI’、 /、:る基材1の
表面に、 CO含打率が9.3.3原子゛〆・、Hf占
有率が2.2原子%、 ’I” a 7!j Ir室が
4,5/+iT子%であるC o −Hf−Te3の3
成分系γ干ルノアス合金薄膜をスパッタリング1、′上
−:J ′IT形成して、第1の磁性4A薄膜2どする
。次にごの第1のイ磁性材薄11負2の表面レニ、コバ
ル1〜* LjtQ :i) !ニし、これに少量のク
ロムを添加したCo−・、−’、 r (、Lj 2成
分系合金薄膜をスパンタリン!)゛に表−JC形成し7
て、@2の磁性材N膜、′3とする。この磁性材NI膜
2.3の膜厚は、両者とも約0.37tmである1、こ
れら基材Iど第1の磁性材薄膜2ど第2の磁性11薄膜
3とからテープ状あるいは’3”Cス、ノ状の磁気記録
媒体が構成される4前記磁性材薄膜2,3は基(41の
両面に設ける場合もあう。
るための図である。ポリエステル、ボリイミ1−など′
のi′、iD’14房川1あるいは陽14i酸化し!ニ
アル−1.゛ニウム板などがI’、 /、:る基材1の
表面に、 CO含打率が9.3.3原子゛〆・、Hf占
有率が2.2原子%、 ’I” a 7!j Ir室が
4,5/+iT子%であるC o −Hf−Te3の3
成分系γ干ルノアス合金薄膜をスパッタリング1、′上
−:J ′IT形成して、第1の磁性4A薄膜2どする
。次にごの第1のイ磁性材薄11負2の表面レニ、コバ
ル1〜* LjtQ :i) !ニし、これに少量のク
ロムを添加したCo−・、−’、 r (、Lj 2成
分系合金薄膜をスパンタリン!)゛に表−JC形成し7
て、@2の磁性材N膜、′3とする。この磁性材NI膜
2.3の膜厚は、両者とも約0.37tmである1、こ
れら基材Iど第1の磁性材薄膜2ど第2の磁性11薄膜
3とからテープ状あるいは’3”Cス、ノ状の磁気記録
媒体が構成される4前記磁性材薄膜2,3は基(41の
両面に設ける場合もあう。
このrJIX tid録2瑳(本5c(川に1火むLう
にしC1主磁(−5とm1131/+磁礪(3どが配内
さ(6℃いる。主磁極5はHさが約1μIJ+!度の(
」σ)C、ガラスやポリイミ7− 1・樹11F7 /J:どからなる非磁性材の基Fjd
上にスパッタリングによっC形成さ、Iする。補助磁極
(jには、二I r/し7が所定ターン数だ番ブ巻装さ
れCいる。この」イル7に記録さ4yるべき信号電流を
流して主磁極!′1を補助磁極6側から励磁すると、主
磁極5の先端付近t;強い垂直磁界が発生する。これに
よつ゛C主磁極5の先端近傍にある磁性材薄膜29.3
が厚さ方向に磁化され、第2の磁性材薄膜3にデータが
記録される。第1の磁性材#膜2は第2磁性月薄膜3に
デー・りを磁気記録釘る際、磁路の一部を(薄膜rるの
E、:役立′)。
にしC1主磁(−5とm1131/+磁礪(3どが配内
さ(6℃いる。主磁極5はHさが約1μIJ+!度の(
」σ)C、ガラスやポリイミ7− 1・樹11F7 /J:どからなる非磁性材の基Fjd
上にスパッタリングによっC形成さ、Iする。補助磁極
(jには、二I r/し7が所定ターン数だ番ブ巻装さ
れCいる。この」イル7に記録さ4yるべき信号電流を
流して主磁極!′1を補助磁極6側から励磁すると、主
磁極5の先端付近t;強い垂直磁界が発生する。これに
よつ゛C主磁極5の先端近傍にある磁性材薄膜29.3
が厚さ方向に磁化され、第2の磁性材薄膜3にデータが
記録される。第1の磁性材#膜2は第2磁性月薄膜3に
デー・りを磁気記録釘る際、磁路の一部を(薄膜rるの
E、:役立′)。
本発明は前述のよっに、基材と、その基材の表面す、−
7f’+成された第1の磁性材薄nりと、その第1の磁
性材薄膜の□表面に形成さ、れC垂直異方性を有する第
2の磁性材菌膜とを備え、前記第2の磁性材菌膜が膜厚
方向1.二磁fヒされる磁気記録媒体において、前記第
1の磁性材簿膜が、コバル1−を主成分どし、それに少
、川のジル」ニウムとニオブを添加し/、′33成系の
アモルファス合金から構成され、その合金中にお:Jろ
ハフニラl−の含有率を1原子9− II − %以」二でか−)5原子%未満、タンタルの含有率を4
原子%以上でかつInn原子風下の範囲に規制したこと
を特徴とするものである。
7f’+成された第1の磁性材薄nりと、その第1の磁
性材薄膜の□表面に形成さ、れC垂直異方性を有する第
2の磁性材菌膜とを備え、前記第2の磁性材菌膜が膜厚
方向1.二磁fヒされる磁気記録媒体において、前記第
1の磁性材簿膜が、コバル1−を主成分どし、それに少
、川のジル」ニウムとニオブを添加し/、′33成系の
アモルファス合金から構成され、その合金中にお:Jろ
ハフニラl−の含有率を1原子9− II − %以」二でか−)5原子%未満、タンタルの含有率を4
原子%以上でかつInn原子風下の範囲に規制したこと
を特徴とするものである。
前述のアモルファス合金は、保磁力が低く、透磁率なら
びに飽和磁束密度が高く、しかもコバルト−クロム系合
金どの磁気特性がよく似通っており、コバルL・−り[
1ム系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。
びに飽和磁束密度が高く、しかもコバルト−クロム系合
金どの磁気特性がよく似通っており、コバルL・−り[
1ム系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。
そのため優れた記録、再生特性を有し、また第2の磁性
材薄膜を可及的に薄くすることができる。
材薄膜を可及的に薄くすることができる。
第1図は本発明に係るOo I−1f −T a系アモ
ルファス合金中のHf含有率ど名種磁気特性との関係を
示す特性図、第2図は前記合金中のTa含有率と客種磁
気特性との関係を示す特性図、第3図は前記合金と比較
例の合金との各周波数における磁気特性図、第4図は本
発明の実施例に係る磁気記録媒体を説明するだめの説明
図である。 1・・・基材、2・・・第1の磁性材薄膜、・3・・・
第2の磁性材薄膜。 第1図 Hf金含有 (at%) 第2図 To含@4i−(at%) 第3図 下 )ff夏数(MHz) 第4図 ]
ルファス合金中のHf含有率ど名種磁気特性との関係を
示す特性図、第2図は前記合金中のTa含有率と客種磁
気特性との関係を示す特性図、第3図は前記合金と比較
例の合金との各周波数における磁気特性図、第4図は本
発明の実施例に係る磁気記録媒体を説明するだめの説明
図である。 1・・・基材、2・・・第1の磁性材薄膜、・3・・・
第2の磁性材薄膜。 第1図 Hf金含有 (at%) 第2図 To含@4i−(at%) 第3図 下 )ff夏数(MHz) 第4図 ]
Claims (2)
- (1)騙((ど、乙のj&((の表面に形成された第1
の磁性材薄膜と、・C・の第1の磁性材薄膜の表面に形
成さ、ハ1て垂直穴1ノ(1を有する第2の磁性材薄膜
とを備え、前記第r2の磁性11薄膜が膜厚方向に磁化
される磁気記録媒体におい”C1前記第1の磁性材薄膜
が、コバAl・& 、1:成分どし、それに少量のハフ
ニウムとクンタルを添加した3成分系のアモルファスi
>金から構成され、−1の合金中におけるハフニー1す
11の^1j中& I Jail子′に以」二でかつ5
)ル(子%未満、タンタルのSfi率を4 )M子%以
」二でかつ101JK f’ %以1・の範囲に規制さ
れていることを特徴とする磁気記録媒体。 - (2)特i′(・請、ドの範囲第(1)項記載において
、前記第2の磁性材薄膜が」バルトおよびクロムを含む
コバ刀川・−り1」lい系合金薄1模から構成されてい
ることを特徴とする磁気記録媒体。 1−
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58128718A JPS6021508A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
KR1019840002396A KR890003038B1 (ko) | 1983-07-16 | 1984-05-03 | 자기기록 매체 |
US06/630,898 US4609593A (en) | 1983-07-16 | 1984-07-16 | Magnetic recording medium |
DE19843426178 DE3426178A1 (de) | 1983-07-16 | 1984-07-16 | Magnetischer aufzeichnungstraeger |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58128718A JPS6021508A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6021508A true JPS6021508A (ja) | 1985-02-02 |
JPH037125B2 JPH037125B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=14991709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58128718A Granted JPS6021508A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4609593A (ja) |
JP (1) | JPS6021508A (ja) |
KR (1) | KR890003038B1 (ja) |
DE (1) | DE3426178A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4731300A (en) * | 1985-03-07 | 1988-03-15 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
US4798765A (en) * | 1985-03-28 | 1989-01-17 | Victor Company Of Japan Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
DE3610431A1 (de) * | 1985-03-28 | 1986-10-02 | Victor Company Of Japan, Ltd., Yokohama, Kanagawa | Quermagnetisierungsaufzeichnungsmedium |
US4786553A (en) * | 1986-03-28 | 1988-11-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium |
JP2548769B2 (ja) * | 1988-03-23 | 1996-10-30 | アルプス電気株式会社 | 耐熱性非晶質合金 |
US8577892B2 (en) * | 2009-06-05 | 2013-11-05 | Microsoft Corporation | Utilizing affinity groups to allocate data items and computing resources |
US10127295B2 (en) * | 2009-06-05 | 2018-11-13 | Microsoft Technolofy Licensing, Llc | Geographic co-location service for cloud computing |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5451804A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Shiyunichi Iwasaki | Magnetic recording medium |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5819474A (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-04 | Victor Co Of Japan Ltd | 機能性メツキ膜の製法 |
JPS5850639A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-25 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化記録媒体 |
JPS5855557A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-04-01 | Takeshi Masumoto | 鉄族系非晶質合金 |
JPS5979434A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Seiko Epson Corp | 磁気記録媒体 |
JPS5998322A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-06 | Alps Electric Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-07-16 JP JP58128718A patent/JPS6021508A/ja active Granted
-
1984
- 1984-05-03 KR KR1019840002396A patent/KR890003038B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1984-07-16 DE DE19843426178 patent/DE3426178A1/de active Granted
- 1984-07-16 US US06/630,898 patent/US4609593A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5451804A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Shiyunichi Iwasaki | Magnetic recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3426178C2 (ja) | 1988-06-01 |
US4609593A (en) | 1986-09-02 |
KR890003038B1 (ko) | 1989-08-19 |
JPH037125B2 (ja) | 1991-01-31 |
DE3426178A1 (de) | 1985-01-31 |
KR850001597A (ko) | 1985-03-30 |
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