JPS6021017A - 走査光子顕微鏡の光学系 - Google Patents
走査光子顕微鏡の光学系Info
- Publication number
- JPS6021017A JPS6021017A JP12767183A JP12767183A JPS6021017A JP S6021017 A JPS6021017 A JP S6021017A JP 12767183 A JP12767183 A JP 12767183A JP 12767183 A JP12767183 A JP 12767183A JP S6021017 A JPS6021017 A JP S6021017A
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- JP
- Japan
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- point
- sample
- optical axis
- image
- lens
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/16—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use in conjunction with image converters or intensifiers, or for use with projectors, e.g. objectives for projection TV
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本元明は、光スポットの走査と、これによって発生する
光電圧の検出とによって半導体の電気特性の分布を計測
する装置に係り、ＩＷ像度を向上させる光学系に関する
。
光電圧の検出とによって半導体の電気特性の分布を計測
する装置に係り、ＩＷ像度を向上させる光学系に関する
。
〔発明の背Ｊｉｔ ］
従来の走査光子３＃ｒｊ微鏡の光学系の例を第１図に示
す。第１図において、例えば陰極線管のように輝点の走
査を基本原理として発光する光源１の輝点からの発光を
、レンズ２によって集光し、例えばガラス板３及びその
下面に塗付した透明導電被膜４を通して、半導体ウニ・
・試料５０表面に結像する。この結果、半導体ウエノ・
５内で光電圧が誘起されるが、光源１のＭＡの発光を断
続光とすると試料５中には交流光電圧が誘起されるので
、透明導電被膜４及び金属製支持台６を用いて、容量結
合によって光電圧を取出し、光源１の輝点走査と同期し
た画像表示装置により光電圧の分布を濃淡画像として表
示する。
す。第１図において、例えば陰極線管のように輝点の走
査を基本原理として発光する光源１の輝点からの発光を
、レンズ２によって集光し、例えばガラス板３及びその
下面に塗付した透明導電被膜４を通して、半導体ウニ・
・試料５０表面に結像する。この結果、半導体ウエノ・
５内で光電圧が誘起されるが、光源１のＭＡの発光を断
続光とすると試料５中には交流光電圧が誘起されるので
、透明導電被膜４及び金属製支持台６を用いて、容量結
合によって光電圧を取出し、光源１の輝点走査と同期し
た画像表示装置により光電圧の分布を濃淡画像として表
示する。
ところが、第１図の例において、レンズ２の光軸上の輝
点Ａが試料表面の点Ａ′で最良の結像状態になるように
光学系の配置を調整したとすると、光軸から離れた、例
えば点Ｂにある輝点ｔよ、レンズ２の像面湾曲収差によ
って、点Ｂ′に結像され、試料５の表面では点にならな
い。一般に光源１の発光面が平面であるとすると、この
発光面の各点の像は、第１図の破線で示したような曲面
に沿つて結像され、この結果、走査光子顕微鏡としての
解像度は、光す１１１近傍（点Ｎ′近傍）では良くても
、周辺域では悪く、いわゆるボケだ画像しか得られない
と言う問題がある。
点Ａが試料表面の点Ａ′で最良の結像状態になるように
光学系の配置を調整したとすると、光軸から離れた、例
えば点Ｂにある輝点ｔよ、レンズ２の像面湾曲収差によ
って、点Ｂ′に結像され、試料５の表面では点にならな
い。一般に光源１の発光面が平面であるとすると、この
発光面の各点の像は、第１図の破線で示したような曲面
に沿つて結像され、この結果、走査光子顕微鏡としての
解像度は、光す１１１近傍（点Ｎ′近傍）では良くても
、周辺域では悪く、いわゆるボケだ画像しか得られない
と言う問題がある。
本発明の目的は、従来の走査光子顕微鏡の光学系におけ
る像面湾曲収差による画像の周辺部でのＭ像の低下を防
ぐ走査光子顕微鏡の光学系を提供することにある。
る像面湾曲収差による画像の周辺部でのＭ像の低下を防
ぐ走査光子顕微鏡の光学系を提供することにある。
一般にレンズ結イモ１；系において、像面側の光路中に
、Ｊｌｌ＋折率ｎ１厚さｄの透明媒質板を挿入すると、
その実効的な光路長は、屈折の効果により、ΔＺ ＝
＝ ｄ ・・・・山・・（１）１ で示されるΔＺだけ短かくなる。換言すると、結像点は
、透明〃１）質を挿入しない場合に比較して、ΔＺだけ
、レンズから遠い方向に移動する。従って、第１１ＰＩ
において、ガラス板３の厚みを部分によって変化させ、
第１図中破線で示した湾曲像面が試料５の表面に一致す
るように補正することが可能である。第１図に示すよう
に、この補正［ｌは光軸７から離れる程大きく、従って
、ガラス板３の厚さも光軸７から離れる程厚くすればよ
い。
、Ｊｌｌ＋折率ｎ１厚さｄの透明媒質板を挿入すると、
その実効的な光路長は、屈折の効果により、ΔＺ ＝
＝ ｄ ・・・・山・・（１）１ で示されるΔＺだけ短かくなる。換言すると、結像点は
、透明〃１）質を挿入しない場合に比較して、ΔＺだけ
、レンズから遠い方向に移動する。従って、第１１ＰＩ
において、ガラス板３の厚みを部分によって変化させ、
第１図中破線で示した湾曲像面が試料５の表面に一致す
るように補正することが可能である。第１図に示すよう
に、この補正［ｌは光軸７から離れる程大きく、従って
、ガラス板３の厚さも光軸７から離れる程厚くすればよ
い。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。本実
施例は、第１図に示した従来の走査光子顕微鏡の光学系
における透明電極を形成する並行平板のガラス板３のレ
ンズ側の面を曲面としだものである。すなわち、第２図
において光源ｌの各点における輝点がすべて試料５の表
面に結像されるように、ガラス板３の厚さを場所によっ
て変化させる。上記ガラス板３の曲面の形状は、レンズ
２による像面湾曲収差の量を基本に、光線追跡等の手法
によって決定する。まだ、レンズ２の像面湾曲収差の量
はレンズ２に関する光線追跡、又は実験的手法によって
決定することが可能である。
施例は、第１図に示した従来の走査光子顕微鏡の光学系
における透明電極を形成する並行平板のガラス板３のレ
ンズ側の面を曲面としだものである。すなわち、第２図
において光源ｌの各点における輝点がすべて試料５の表
面に結像されるように、ガラス板３の厚さを場所によっ
て変化させる。上記ガラス板３の曲面の形状は、レンズ
２による像面湾曲収差の量を基本に、光線追跡等の手法
によって決定する。まだ、レンズ２の像面湾曲収差の量
はレンズ２に関する光線追跡、又は実験的手法によって
決定することが可能である。
本実施例によれば、光源１の光軸上の点Ａにある輝点け
、試料表面上の点Ａ′に結像されると同時に光源１の光
軸から離れだ点、例えば点Ｂにある輝点も試料表面上の
点Ｂ′に結像されるので、像面湾曲収差を補正する効果
がある。
、試料表面上の点Ａ′に結像されると同時に光源１の光
軸から離れだ点、例えば点Ｂにある輝点も試料表面上の
点Ｂ′に結像されるので、像面湾曲収差を補正する効果
がある。
以」二説明したように、本発明によれば、走査光子顕微
鏡において、レンズ系の像面湾曲収差を補正することが
できるので、従来の方法における画像の周辺部での解像
度の低下を防ぎ、画面の全域にわたって鮮鋭な画像を得
ることができ、この結果、大形の半導体ウェハの全体観
察を精細に行えるという効果がある。
鏡において、レンズ系の像面湾曲収差を補正することが
できるので、従来の方法における画像の周辺部での解像
度の低下を防ぎ、画面の全域にわたって鮮鋭な画像を得
ることができ、この結果、大形の半導体ウェハの全体観
察を精細に行えるという効果がある。
第１図は、従来の走査光子顕微鏡の光学系の構成図、第
２図は、本発明の一実施例の光学系の構成図である。 １・・・光源、２・・・レンズ、３・・・ガラス板、４
・・・導電暦 １ 図 第−２図
２図は、本発明の一実施例の光学系の構成図である。 １・・・光源、２・・・レンズ、３・・・ガラス板、４
・・・導電暦 １ 図 第−２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、輝点の走査によって発光する光源と、上記輝点を試
料面に結像するレンズ系と、輝点照射によって試料内で
発生する光電圧を引出すために杯料上に配置した透明電
極とから構成され、上記 パ透明電極の肉厚は、上記レンズ系の光軸に直父する面
内において、光軸からの距離に対応して増加させられて
おり、それにより上記レンズ系の像面湾曲収差を補正す
ることを特徴とする走査光子顕微鏡の光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12767183A JPS6021017A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 走査光子顕微鏡の光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12767183A JPS6021017A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 走査光子顕微鏡の光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021017A true JPS6021017A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=14965834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12767183A Pending JPS6021017A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 走査光子顕微鏡の光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021017A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6478209A (en) * | 1987-09-21 | 1989-03-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | Image sensor with aberration compensating lens and its manufacture |
| CN100390427C (zh) * | 2002-07-11 | 2008-05-28 | 雅马哈发动机株式会社 | 连杆的断裂分切结构 |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP12767183A patent/JPS6021017A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6478209A (en) * | 1987-09-21 | 1989-03-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | Image sensor with aberration compensating lens and its manufacture |
| CN100390427C (zh) * | 2002-07-11 | 2008-05-28 | 雅马哈发动机株式会社 | 连杆的断裂分切结构 |
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