JPS60209133A - 圧力変換器 - Google Patents
圧力変換器Info
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- JPS60209133A JPS60209133A JP60005092A JP509285A JPS60209133A JP S60209133 A JPS60209133 A JP S60209133A JP 60005092 A JP60005092 A JP 60005092A JP 509285 A JP509285 A JP 509285A JP S60209133 A JPS60209133 A JP S60209133A
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- JP
- Japan
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- barrier
- transducer
- pressure
- housing
- elastomer
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/006—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of metallic strain gauges fixed to an element other than the pressure transmitting diaphragm
- G01L9/0064—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of metallic strain gauges fixed to an element other than the pressure transmitting diaphragm the element and the diaphragm being in intimate contact
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の要約〕
水１．５インチ程度の極めて低い圧力を測定する変換器
につき開示する。液密エラストマーバリヤに回旋部を形
成して、比較的大きい直線的変位をもたらすようにした
バリヤを最小質量の剛性検知部材に結合して、その変位
を検知部材を変換器ハウジングに接続するネック部の上
に装着されたひずみ計によって検知する。
につき開示する。液密エラストマーバリヤに回旋部を形
成して、比較的大きい直線的変位をもたらすようにした
バリヤを最小質量の剛性検知部材に結合して、その変位
を検知部材を変換器ハウジングに接続するネック部の上
に装着されたひずみ計によって検知する。
本発明は、水１６５〜５インチ程度の圧力差を検知しう
るが、極めて頑丈かつ安価である改良された低圧変換器
に関するものである。さらに詳細には、本発明は、頑丈
な検知部材に結合されたエラストマーバリヤからなる複
合ダイヤフラムを備え、検知部材をエラストマーバリヤ
に対する支持体として作用させると共に変位力の集中装
置またはコレクタとして作用させるような低圧変換器に
関するものである。変位力は検知部材を変換器ハウジン
グに接続する狭いネック部に集中し、ここでひずみ計に
より検出される。
るが、極めて頑丈かつ安価である改良された低圧変換器
に関するものである。さらに詳細には、本発明は、頑丈
な検知部材に結合されたエラストマーバリヤからなる複
合ダイヤフラムを備え、検知部材をエラストマーバリヤ
に対する支持体として作用させると共に変位力の集中装
置またはコレクタとして作用させるような低圧変換器に
関するものである。変位力は検知部材を変換器ハウジン
グに接続する狭いネック部に集中し、ここでひずみ計に
より検出される。
従来極めて低い圧力を測定しうる変換器は一般に脆い装
置であった。何故なら、極めて低い圧力において変換に
利用しうるエネルギは極めて低く、したがって極めて感
度の良い装置を必要としたからである。このように脆く
かつ感度の良い装置は、製造困難かつ高価である。さら
に、極めて低い圧力で操作する場合、検知バリヤを変位
させる際に消費されるエネルギは極めて多く、殆んどひ
すみ検知部材に出力を与えず、したがってひずみ計から
は極めて低い電気出力しか得られない。
置であった。何故なら、極めて低い圧力において変換に
利用しうるエネルギは極めて低く、したがって極めて感
度の良い装置を必要としたからである。このように脆く
かつ感度の良い装置は、製造困難かつ高価である。さら
に、極めて低い圧力で操作する場合、検知バリヤを変位
させる際に消費されるエネルギは極めて多く、殆んどひ
すみ検知部材に出力を与えず、したがってひずみ計から
は極めて低い電気出力しか得られない。
したがって、本発明の目的は、水１．５〜５インチ程度
という極めて低い圧力でさえ検知しうるような低圧変換
器を提供することである。
という極めて低い圧力でさえ検知しうるような低圧変換
器を提供することである。
−Ｇ’ｈに、本発明の変換器は、エラストマーバリヤの
材質よりも剛質の材料で形成された検欠部材にエラスト
マーバリヤを結合させて構成した複合ダイヤフラムから
なり、極めて低い圧えから生ずる僅かな変位力でさえひ
ずみ針によイ測定のため集中させる。
材質よりも剛質の材料で形成された検欠部材にエラスト
マーバリヤを結合させて構成した複合ダイヤフラムから
なり、極めて低い圧えから生ずる僅かな変位力でさえひ
ずみ針によイ測定のため集中させる。
さらに詳細には、本発明によれば、電気信月を伝送する
ための一体的手段を備えるハウジングと；このハウジン
グに周辺部が接続されて沼密バリヤを形成するエラスト
マーバリヤと；エラストマーバリヤの材質よりも実質的
に剛い材料で形成され、かつハウジング内に固定装着さ
れた環状部と、エラストマーバリヤに接続されて、この
エラストマーバリヤに対し圧力を印加した際に変位する
可動パドルと、このパドルを前記環状部に接続する狭い
接続ネック部とからなる検知部材と；接続ネック部に位
置しかつ一体的手段に電気接続されて検知部材の変位を
検知する電気信号を伝送するひずみ針装置とを備えるこ
とを特徴とする水１．５〜５インチ程度の圧力を測定す
る圧力変換器が提供される。
ための一体的手段を備えるハウジングと；このハウジン
グに周辺部が接続されて沼密バリヤを形成するエラスト
マーバリヤと；エラストマーバリヤの材質よりも実質的
に剛い材料で形成され、かつハウジング内に固定装着さ
れた環状部と、エラストマーバリヤに接続されて、この
エラストマーバリヤに対し圧力を印加した際に変位する
可動パドルと、このパドルを前記環状部に接続する狭い
接続ネック部とからなる検知部材と；接続ネック部に位
置しかつ一体的手段に電気接続されて検知部材の変位を
検知する電気信号を伝送するひずみ針装置とを備えるこ
とを特徴とする水１．５〜５インチ程度の圧力を測定す
る圧力変換器が提供される。
本発明の圧力変換器は頑丈かつ安価であって、引張応力
の発生を防止し、かつ低圧において検知部材の比較的大
きい直線的変位を、可能にする。さらに、本発明の変換
器によれば、ひずみエネルギのほぼ全部を剛質検知部材
により吸収して長時間にわたるエラストマーバリヤの変
形を減少させ、か（して誤差を減らすと共に再現性を増
大させる。
の発生を防止し、かつ低圧において検知部材の比較的大
きい直線的変位を、可能にする。さらに、本発明の変換
器によれば、ひずみエネルギのほぼ全部を剛質検知部材
により吸収して長時間にわたるエラストマーバリヤの変
形を減少させ、か（して誤差を減らすと共に再現性を増
大させる。
本発明の完成した変換器１０を第１図および第２図に示
し、これは２つの部分、すなわち低正側】１と高圧側１
２とにおけるハウジングと、装着ブラケット１３と、配
線具１４とからなっている。好ましくは、ハウジング部
材１１および１２は成形プラスチックで形成される。高
圧側ハウジング１２には、センサを大過圧入力から保護
するよう、最大変位の開所に過負荷停止部２９を設ける
。同様に低圧側ハウジング１１は、同じ目的の過負荷停
止部３０を備える。配線具１４は慣用の設計であり、ひ
ずみ計２５を付勢して、ひずみ計２５からの信号を慣用
の回路板（図示せず）まで伝送する。
し、これは２つの部分、すなわち低正側】１と高圧側１
２とにおけるハウジングと、装着ブラケット１３と、配
線具１４とからなっている。好ましくは、ハウジング部
材１１および１２は成形プラスチックで形成される。高
圧側ハウジング１２には、センサを大過圧入力から保護
するよう、最大変位の開所に過負荷停止部２９を設ける
。同様に低圧側ハウジング１１は、同じ目的の過負荷停
止部３０を備える。配線具１４は慣用の設計であり、ひ
ずみ計２５を付勢して、ひずみ計２５からの信号を慣用
の回路板（図示せず）まで伝送する。
変換器ハウジング部材１１および１２ば、それぞれボー
ス（図示せず）を収容するための取付部３１および３１
を有する。取付部３１および３１′ は配管３２およ
び３２′ を包囲し、これら配管は変換器１０の内部に
連通して、この変換２：（を高圧源および低圧源に接続
し、その圧力差を変換器により検知する。
ス（図示せず）を収容するための取付部３１および３１
を有する。取付部３１および３１′ は配管３２およ
び３２′ を包囲し、これら配管は変換器１０の内部に
連通して、この変換２：（を高圧源および低圧源に接続
し、その圧力差を変換器により検知する。
変換器１０の内部部材はエラストマーバリヤ１５と、検
知部材１６と、ガスケット１７とを備える。ハウジング
部材１１および１２にばざら穴部１８を設けて、ねじ１
９とナツト２ｏとにより全アセンブリを結合することが
できる。
知部材１６と、ガスケット１７とを備える。ハウジング
部材１１および１２にばざら穴部１８を設けて、ねじ１
９とナツト２ｏとにより全アセンブリを結合することが
できる。
変換器の内部部材は、穴部１８と整列してねじ１９を賞
通させるための対応開孔部を有する。
通させるための対応開孔部を有する。
変換器を組み立てる際、エラストマーバリヤ１５と検知
部材１６とを互いに結合して複合ダイヤフラムを形成す
る。エラストマーバリヤ１５は、その性質上、伸縮また
は変形に対し敏感である。したがって、これが吸収する
エネルギは長時間にわたり変化して、変換器出方が一定
入力圧の下で時間と共に増大するような「クリ−ビー」
センサをもたらす極めて剛質の検知部材１６に対するエ
ラストマーバリヤ１５の結合ば、バリヤ１５による極め
て低いエネルギ吸収をもた４す。かくして、生ずるクリ
ープが著しく減少する。
部材１６とを互いに結合して複合ダイヤフラムを形成す
る。エラストマーバリヤ１５は、その性質上、伸縮また
は変形に対し敏感である。したがって、これが吸収する
エネルギは長時間にわたり変化して、変換器出方が一定
入力圧の下で時間と共に増大するような「クリ−ビー」
センサをもたらす極めて剛質の検知部材１６に対するエ
ラストマーバリヤ１５の結合ば、バリヤ１５による極め
て低いエネルギ吸収をもた４す。かくして、生ずるクリ
ープが著しく減少する。
エラストマーバリヤ１５は好ましくはシリコーンゴムで
作成されるが、たとえばブナゴムのような他の適するエ
ラストマー材料も使用することもできる。エラストマー
バリヤ１５をカラー３４の周りでハウジング部材１１お
よび１２に接続して、液密バリヤを形成する。エラスト
マーバリヤ１５には回旋部２１ （第４図参照）を設け
、この回旋部ば引張応力の発生を防止しかつ低圧下でバ
リヤの比較的大きい直線的変位をもたらすよう作用する
。回旋部２１は、エラストマーバリヤ１５にその検知表
面３３とそのカラー３４との間で形成されたトラフ状の
リングであり、これにより変換器ハウジング内に固定さ
れる。回旋部２１は、エラストマーバリヤ１５が１氏圧
下で比較的大きい距離で変位するのを可能にし、しかも
エラストマー自身に顕著な引張力を与えない。第２図か
ら判るように、エラストマーバリヤ１５の表面３３は変
換器１０の低圧側の方向に僅かに片寄り、その結果変換
器が陰圧の程度を測定しうるような僅かの予備負荷をも
たらす。
作成されるが、たとえばブナゴムのような他の適するエ
ラストマー材料も使用することもできる。エラストマー
バリヤ１５をカラー３４の周りでハウジング部材１１お
よび１２に接続して、液密バリヤを形成する。エラスト
マーバリヤ１５には回旋部２１ （第４図参照）を設け
、この回旋部ば引張応力の発生を防止しかつ低圧下でバ
リヤの比較的大きい直線的変位をもたらすよう作用する
。回旋部２１は、エラストマーバリヤ１５にその検知表
面３３とそのカラー３４との間で形成されたトラフ状の
リングであり、これにより変換器ハウジング内に固定さ
れる。回旋部２１は、エラストマーバリヤ１５が１氏圧
下で比較的大きい距離で変位するのを可能にし、しかも
エラストマー自身に顕著な引張力を与えない。第２図か
ら判るように、エラストマーバリヤ１５の表面３３は変
換器１０の低圧側の方向に僅かに片寄り、その結果変換
器が陰圧の程度を測定しうるような僅かの予備負荷をも
たらす。
検知部材１６は、エラストマーバリヤ１５の材質よりも
ずっと剛質の材料で形成される。検知部材１６は、好ま
しくはたとえばアルミニウムのような金属薄板からスタ
ンピングされる。
ずっと剛質の材料で形成される。検知部材１６は、好ま
しくはたとえばアルミニウムのような金属薄板からスタ
ンピングされる。
穴部２２を、組み立ての際のねじ１９を通すために設け
る。複数の穴部２３を設けて検知部月１６の質量を減少
させると共に、その加速感度を最小化させる。図示する
ように、検知部材１６は単一の金属片で作成されかつ環
状部２６とパドル２７とからなり、これらを互いに接続
ネック部２４により結合する。部材１６を金属円板から
スタンピングする場合、パドル２７は狭い接続ネック部
２４以外ば環状部２６から完全に分離される。組み立て
られた変換器において、環状部２６は完全に固定され、
ねじ１９とナツト２０とによりハウジング部材１１と１
２との間に固定される。他方、パドル２７ばエラストマ
ーバリヤ１５にしっかり結合され、その結果圧力が液密
バリヤ１５に印加されると変位する。パドル２７が変位
すると、これは力をネック部２４に付与し、このネック
部は一端部が固定環状部２６に結合されかつ他端部が変
位自在なパドル２７に結合されているので屈曲する。
る。複数の穴部２３を設けて検知部月１６の質量を減少
させると共に、その加速感度を最小化させる。図示する
ように、検知部材１６は単一の金属片で作成されかつ環
状部２６とパドル２７とからなり、これらを互いに接続
ネック部２４により結合する。部材１６を金属円板から
スタンピングする場合、パドル２７は狭い接続ネック部
２４以外ば環状部２６から完全に分離される。組み立て
られた変換器において、環状部２６は完全に固定され、
ねじ１９とナツト２０とによりハウジング部材１１と１
２との間に固定される。他方、パドル２７ばエラストマ
ーバリヤ１５にしっかり結合され、その結果圧力が液密
バリヤ１５に印加されると変位する。パドル２７が変位
すると、これは力をネック部２４に付与し、このネック
部は一端部が固定環状部２６に結合されかつ他端部が変
位自在なパドル２７に結合されているので屈曲する。
パドル２７は固定環状部２６に対しネック部２４により
接続されているので、歪みをその変位に際しネック部２
４に付与する。バリヤ１５とパドル２７との変位により
発生した力は、支持ネック部に集中してひずみ計２５に
より検出される。ひずみ計２５は、好ましくは高度にド
ープされた半導体型であるが、ホイル型のひずみ計も使
用することができる。ひずみ計２５は、第５図に図示し
たように配線具１４に接続される。この回路はり、Ｃ電
圧を与えてひずみ計２５を付勢すると共に、配線具１４
に対しひずみ計２５により発生した比例電圧信号をリレ
ーする。
接続されているので、歪みをその変位に際しネック部２
４に付与する。バリヤ１５とパドル２７との変位により
発生した力は、支持ネック部に集中してひずみ計２５に
より検出される。ひずみ計２５は、好ましくは高度にド
ープされた半導体型であるが、ホイル型のひずみ計も使
用することができる。ひずみ計２５は、第５図に図示し
たように配線具１４に接続される。この回路はり、Ｃ電
圧を与えてひずみ計２５を付勢すると共に、配線具１４
に対しひずみ計２５により発生した比例電圧信号をリレ
ーする。
接続部３５は小さい励起信号（たとえば＋５ボルトの信
号）を部材１６の表面に溶接された薄いリードによりひ
すみ計２５の下端部に与える。ひずみ計２５の上端部お
よびひずみ計２５′の右端部を同様なリードにより接続
部３Ｇに接続し、かつひずみ計２５′ の左端部を同様
なリードにより回路の共通接続部３７に接続し、かくし
て検知部材１６に半ホイートストンブリッジを完成する
。接続部３５および３７を、抵抗体３９と４０および出
力３８を有する標準的回路板（図示せず）に接続して、
ホイートストンブリッジを完成する。
号）を部材１６の表面に溶接された薄いリードによりひ
すみ計２５の下端部に与える。ひずみ計２５の上端部お
よびひずみ計２５′の右端部を同様なリードにより接続
部３Ｇに接続し、かつひずみ計２５′ の左端部を同様
なリードにより回路の共通接続部３７に接続し、かくし
て検知部材１６に半ホイートストンブリッジを完成する
。接続部３５および３７を、抵抗体３９と４０および出
力３８を有する標準的回路板（図示せず）に接続して、
ホイートストンブリッジを完成する。
ひずみ計２５および２５ を、絶縁接着剤によりネック
部２４に堅固に結合して短絡を防止する。この接着剤を
、さらに同じ目的でひずみ計と接続部３５．３６および
３７との間のリードに設ける。
部２４に堅固に結合して短絡を防止する。この接着剤を
、さらに同じ目的でひずみ計と接続部３５．３６および
３７との間のリードに設ける。
配線具１４を、ひずみ計２５および２５′ に対し、接
続部３５．３６および３７にて電気接続する。好ましく
は、検知部材１６における接続部３５．３６および３７
はピン２８により配線具１４に電気接続され、これらピ
ンはハウジング部材１２中へ組み込みうるが、他の任意
適当な電気接続手段を使用することもできる。
続部３５．３６および３７にて電気接続する。好ましく
は、検知部材１６における接続部３５．３６および３７
はピン２８により配線具１４に電気接続され、これらピ
ンはハウジング部材１２中へ組み込みうるが、他の任意
適当な電気接続手段を使用することもできる。
本発明の上記構成によれば、極めて低い圧力差にも敏感
であり、しかも極めて頑丈かつ安価である低圧変換器が
得られる。
であり、しかも極めて頑丈かつ安価である低圧変換器が
得られる。
第１図は本発明による完成変換器の側面図、第２図は本
発明による変換器の各部材の分解図、 第３図は検知部材の平面図、 第４図はエラストマーバリ十部材の側面図、第５図はひ
ずみ計の略配線図である。 １０、 、 、変換器 １１，１２．、、ハウジング部
材１．３．、、ブラケット １４．、、配線具１５、、
、エラストマーバリヤ １６． 、 、検知部＋；＋１
７、、、ガスケット １８．’、、穴部１９、 、 、
ねじ ２０．、、ナンド２１、、、回旋部 ２２．２３
． 、 、穴部２４、、、ネック部 ２５． 、 、ひ
ずみ計２６、、、環状部 ２７．、、パドル ２８、、、ピン ２９，３０．、、停止部３１、、、ホ
ース ３２．、、配管 ａ３．．：検知表面 ３４．、、カラ一部３５．３６．
３７．、、接続部 ３８．、、出力３９．４０．、、抵
抗体
発明による変換器の各部材の分解図、 第３図は検知部材の平面図、 第４図はエラストマーバリ十部材の側面図、第５図はひ
ずみ計の略配線図である。 １０、 、 、変換器 １１，１２．、、ハウジング部
材１．３．、、ブラケット １４．、、配線具１５、、
、エラストマーバリヤ １６． 、 、検知部＋；＋１
７、、、ガスケット １８．’、、穴部１９、 、 、
ねじ ２０．、、ナンド２１、、、回旋部 ２２．２３
． 、 、穴部２４、、、ネック部 ２５． 、 、ひ
ずみ計２６、、、環状部 ２７．、、パドル ２８、、、ピン ２９，３０．、、停止部３１、、、ホ
ース ３２．、、配管 ａ３．．：検知表面 ３４．、、カラ一部３５．３６．
３７．、、接続部 ３８．、、出力３９．４０．、、抵
抗体
Claims (7)
- （１）電気信号を伝送するための一体的手段（３５゜３
６、３７）を備えるハウジング（ｌＯ）と；このハウジ
ングに周辺部が接続されて、液密バリヤを形成するエラ
ストマーバリヤ（１５）と；エラストマーバリヤの材質
よりも実質的に剛い材料で形成され、かつハウジング内
に固定装着された環状部（２Ｇ）と、エラストマーバリ
ヤ（１５）に接続されてこのエラストマーバリヤに対し
圧力を印加した際に変位する可動パドル（２７）と、こ
のパドルを前記環状部に接続する狭い接続ネック部（２
４）とからなる検知部材（１６）と；接続ネック部に位
置しかつ一体的手段に電気接続されて検知部）Ａの変位
を検知する電気信号を伝送するひずみ計装置（２５，２
５’ ）とを備えることを特徴とする水１．５〜５イン
チ程度の圧力を測定するための圧力変換器。 - （２） エラストマーバリヤに回旋部（２１）を形成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の変換器
。 - （３）検知部材に複数の開孔部（２３）を設けたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の変
換器。 - （４）エラストマーバリヤをハウジング内に入れて、陰
圧を測定し得るよう僅かな予備負荷を与えたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記
載の変換器。 - （５）ハウジングが一体的な過負荷停止部（２９゜３０
）を備えることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至
第４項のいずれかに記載の変換器。 - （６） ひずみ計装置が２個のひずみ計（２５，２５）
からなり、これらを電気接続して半ホイートストンブリ
ッジを形成することを特徴とする特ｉ！ｌ−請求の範囲
第１項乃至第５項のいずれかに記載の変換器。 - （７） 一体的手段が端子ピン（３５，３６，３７）か
らなることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６
項のいずれかに記載の変換器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/571,443 US4545255A (en) | 1984-01-17 | 1984-01-17 | Low pressure transducer |
| US571443 | 1995-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60209133A true JPS60209133A (ja) | 1985-10-21 |
Family
ID=24283720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005092A Pending JPS60209133A (ja) | 1984-01-17 | 1985-01-17 | 圧力変換器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4545255A (ja) |
| JP (1) | JPS60209133A (ja) |
| CA (1) | CA1228749A (ja) |
| DE (1) | DE3501445A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60111129A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 圧力センサ |
| FR2622008B1 (fr) * | 1987-10-15 | 1990-01-19 | Commissariat Energie Atomique | Jauges de contrainte a fluage reglable et procede d'obtention de telles jauges |
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| US5410908A (en) * | 1993-12-20 | 1995-05-02 | Data Instruments, Inc. | Measuring the quantity of a gas in a tank |
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- 1984-01-17 US US06/571,443 patent/US4545255A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1985-01-14 CA CA000472023A patent/CA1228749A/en not_active Expired
- 1985-01-17 JP JP60005092A patent/JPS60209133A/ja active Pending
- 1985-01-17 DE DE19853501445 patent/DE3501445A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
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|---|---|
| US4545255A (en) | 1985-10-08 |
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| CA1228749A (en) | 1987-11-03 |
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