JPS60205419A - 光ビ−ム走査装置 - Google Patents
光ビ−ム走査装置Info
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- JPS60205419A JPS60205419A JP59060830A JP6083084A JPS60205419A JP S60205419 A JPS60205419 A JP S60205419A JP 59060830 A JP59060830 A JP 59060830A JP 6083084 A JP6083084 A JP 6083084A JP S60205419 A JPS60205419 A JP S60205419A
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- JP
- Japan
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- light beam
- lambda
- scanning
- plate
- polarizing
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- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/129—Systems in which the scanning light beam is repeatedly reflected from the polygonal mirror
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の分野)
本発明は1回転多面鏡、ガルバノミラ−、バイモルフミ
ラー等の同転または揺動する反射面で光ヒーム企反射さ
せる光ビーム走査装置FIに関するものである。
ラー等の同転または揺動する反射面で光ヒーム企反射さ
せる光ビーム走査装置FIに関するものである。
(発明の技術的背子および従来技術)
回転多面鏡、ガルバノミラ−、バイモルフミラー等を用
いた光ビーム走査装置では、光ビームの反射面に而倒れ
があったりその回転軸の軸ぶれ(ウオブリング)がある
と、走査ビームが副走査方向に変動し、いわゆる走査線
ピッチむらが発生する。この走査線ピッチむらは、書込
みまたは読出しを行う画像情報の品質を著しく低下させ
る。
いた光ビーム走査装置では、光ビームの反射面に而倒れ
があったりその回転軸の軸ぶれ(ウオブリング)がある
と、走査ビームが副走査方向に変動し、いわゆる走査線
ピッチむらが発生する。この走査線ピッチむらは、書込
みまたは読出しを行う画像情報の品質を著しく低下させ
る。
そこでこの走査線ピッチむらを除去する方法が従来より
種々提案されている。この既提案のものは、補正用光偏
向器を備え電気的に補正を行うものと(特開昭53−1
46643号、特開昭55−15197号、特開昭57
−150817号。
種々提案されている。この既提案のものは、補正用光偏
向器を備え電気的に補正を行うものと(特開昭53−1
46643号、特開昭55−15197号、特開昭57
−150817号。
特開昭53−111.745号公報等参照)、特殊な光
学系を用いて補正するものとに大別される。
学系を用いて補正するものとに大別される。
しかしながら前者の電気的に補正を行うものは。
走査線のずれを検出するセンサや複雑な光学系および電
気系が必要になるという問題がある。
気系が必要になるという問題がある。
特殊な光学系?用いるものとしては、第1図に示すよう
に1回転多面鏡1で反射された尤ビーム2を1回転軸3
に直交する稜線を持つ2枚の反射鏡4,5で再び回転多
面鏡1に戻し、走査ビーム6をt4#るようにしたもの
がある(米国特許第3897132号明細占参I(+
)。しかしながらこの方法では走査ビーム6が回転軸3
に対して垂IMな方向にないため5走査ビーム6が走査
面トに描く走査線は弓形化するという問題がある。
に1回転多面鏡1で反射された尤ビーム2を1回転軸3
に直交する稜線を持つ2枚の反射鏡4,5で再び回転多
面鏡1に戻し、走査ビーム6をt4#るようにしたもの
がある(米国特許第3897132号明細占参I(+
)。しかしながらこの方法では走査ビーム6が回転軸3
に対して垂IMな方向にないため5走査ビーム6が走査
面トに描く走査線は弓形化するという問題がある。
そこで第2図に示すように1反射鏡4.5の稜線方向の
II!It 、)iから光ビーム2を入射し、他伸方か
ら1「+1転軸:3にほぼ直交する゛1芝面に走査ビー
ノ\(jご射出することが提案された(特開昭51−6
563号公報会照)6しかしながらこの場合には、光ビ
ーム2は反射面となす角度が相当小さくなるように斜め
に入射されなければならず、所定のビーム径の光ビーム
2を反射するためには反射面を相当大きくする必要が生
じる。このため回転多面鏡が大型化し、その駆動系も大
型化するという問題がある。
II!It 、)iから光ビーム2を入射し、他伸方か
ら1「+1転軸:3にほぼ直交する゛1芝面に走査ビー
ノ\(jご射出することが提案された(特開昭51−6
563号公報会照)6しかしながらこの場合には、光ビ
ーム2は反射面となす角度が相当小さくなるように斜め
に入射されなければならず、所定のビーム径の光ビーム
2を反射するためには反射面を相当大きくする必要が生
じる。このため回転多面鏡が大型化し、その駆動系も大
型化するという問題がある。
(発明の目的)
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、
比較的簡単な光学系で走査線のピッチむらや弓形化をほ
ぼ完全に除去することができ、またlu1転多而p面反
射鏡企小型にでき、従ってその駆動系も小型化すること
が可能な光ビーム走査装置を提供すること2目的とする
。
比較的簡単な光学系で走査線のピッチむらや弓形化をほ
ぼ完全に除去することができ、またlu1転多而p面反
射鏡企小型にでき、従ってその駆動系も小型化すること
が可能な光ビーム走査装置を提供すること2目的とする
。
(発明の構成)
本発明によれば、前記目的は2組の偏光プリズムと2組
のR板を用い、偏光プリズムの選択的透過・反射特性を
利用して達成される。すなわち。
のR板を用い、偏光プリズムの選択的透過・反射特性を
利用して達成される。すなわち。
前記目的は回転軸を中心に回転または揺動する反射面で
光ビームを反射させる光ビーム走査装置において、仔い
にはぼ1α交する偏光膜面の稜線が前記回転軸と略1a
交するように前記反射面に対向して配設された第1およ
び第2の偏光プリズムと。
光ビームを反射させる光ビーム走査装置において、仔い
にはぼ1α交する偏光膜面の稜線が前記回転軸と略1a
交するように前記反射面に対向して配設された第1およ
び第2の偏光プリズムと。
これらの各偏光プリズムと前記反射面との間にそれぞれ
配設された第1および第2の乞板とを備えることを特徴
とする光ビーム走査装置によって達成される。この本発
明の光ビーム走査装置においては、前記第1の偏光プリ
ズムおよび第1の夕飯2通して光ビームを入射させ、前
記第2の気板および第2の偏光プリズムを通して走査ビ
ームを射出させるように構成される。
配設された第1および第2の乞板とを備えることを特徴
とする光ビーム走査装置によって達成される。この本発
明の光ビーム走査装置においては、前記第1の偏光プリ
ズムおよび第1の夕飯2通して光ビームを入射させ、前
記第2の気板および第2の偏光プリズムを通して走査ビ
ームを射出させるように構成される。
(実1酊:r)
以下図面にL!・づき1本発明の詳細な説明する。
?I′V3図は本発明の先ビーム走査装置の一実l11
i!a扛を示すllllf面図、々r41てはその動作
説明図である。
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説明図である。
こオ【らの図でねり10は回転多面鏡であり、そのit
lMの反射面12の法線は回転軸14と11「角に交叉
するように作られている。16.18は第1および第2
の偏光プリズムであり、互いに直交する偏光膜面16a
、18aを備えている。これら各偏光膜面16a、18
aの直交する稜線20が回転−1f14に1μ交するよ
うに各偏光プリズム1G。
lMの反射面12の法線は回転軸14と11「角に交叉
するように作られている。16.18は第1および第2
の偏光プリズムであり、互いに直交する偏光膜面16a
、18aを備えている。これら各偏光膜面16a、18
aの直交する稜線20が回転−1f14に1μ交するよ
うに各偏光プリズム1G。
18は配設されている。これらの偏光プリズム16゜1
8と回転多面鏡10との間には、それぞれ第1および第
2の気板22,24が配設されている。
8と回転多面鏡10との間には、それぞれ第1および第
2の気板22,24が配設されている。
この実fIill?様に用いられる光源としては、一定
波長の直線偏光を射出するレーザ、例えば半導体レーザ
やブリュースタ窓を有するレーザが好ましい。このよう
なi&[!偏光の入射光ビーム26は。
波長の直線偏光を射出するレーザ、例えば半導体レーザ
やブリュースタ窓を有するレーザが好ましい。このよう
なi&[!偏光の入射光ビーム26は。
回転軸14に1α交するように第1の偏光プリズム16
に入射さl−1,る。この時入射光ビーム26の電界の
成分は図の紙面に平行となるように、すなわちP偏光と
なるように光源の向きが決められる。
に入射さl−1,る。この時入射光ビーム26の電界の
成分は図の紙面に平行となるように、すなわちP偏光と
なるように光源の向きが決められる。
この結果入射光ビーム26は、第1の偏光プリズム16
で損失することなくそのすべてが第1の丸板22に入る
。この包板22はP偏光の直線偏光である入射光ビーム
26を火だけ位相なずらし。
で損失することなくそのすべてが第1の丸板22に入る
。この包板22はP偏光の直線偏光である入射光ビーム
26を火だけ位相なずらし。
円偏光の光ビーム28に変えるものである。この円偏光
の光ビーム28は反射面]2で反射されて再びこの第1
の封板22企通過するが、この時再び人の位相ずれを生
じる。この結果鉛板22を通過した光ビーム30は、入
射光ビーム26の直線偏向から90°回転した直線偏光
、すなわちS偏光となる0このS偏光の光ビーム30は
、第1.第2の偏光プリズム16.18の各偏向面16
a。
の光ビーム28は反射面]2で反射されて再びこの第1
の封板22企通過するが、この時再び人の位相ずれを生
じる。この結果鉛板22を通過した光ビーム30は、入
射光ビーム26の直線偏向から90°回転した直線偏光
、すなわちS偏光となる0このS偏光の光ビーム30は
、第1.第2の偏光プリズム16.18の各偏向面16
a。
18aで反射されてその進行方向が180°変更され、
今度は第2の大板24に入る。この時光ビーム30は入
の位相ずれを受け1円偏光の光ビーム32となって反射
面12に垂直に当たり9反射される。この反射された円
偏光の光ビーム32は。
今度は第2の大板24に入る。この時光ビーム30は入
の位相ずれを受け1円偏光の光ビーム32となって反射
面12に垂直に当たり9反射される。この反射された円
偏光の光ビーム32は。
第2の’/IFj、 F通って乞の位相のずれを受けP
偏光の直線偏成である尤ビーム34となる。反射面12
は回転軸14を中心に回転しているので、この光ビーム
34は回転軸14に対し垂1fif′fr:なす平面上
てロワ4向さ第1る走査ビーム34となる。この走査ビ
ーム;34はfθレンズなどの集束レンズ36を通り、
走査面381・にスポット状に結像される。
偏光の直線偏成である尤ビーム34となる。反射面12
は回転軸14を中心に回転しているので、この光ビーム
34は回転軸14に対し垂1fif′fr:なす平面上
てロワ4向さ第1る走査ビーム34となる。この走査ビ
ーム;34はfθレンズなどの集束レンズ36を通り、
走査面381・にスポット状に結像される。
今回転多面禮、10の反射面12に、この多面鏡10の
jJll王時の加に誤差や回転軸14への取(」p差が
あったり、あるいは回転lll1114の軸ぶれがある
と、この反q−+面12は回転軸14と平↑J゛てなく
なる。第3図で12aはこの時の反射面を示す。
jJll王時の加に誤差や回転軸14への取(」p差が
あったり、あるいは回転lll1114の軸ぶれがある
と、この反q−+面12は回転軸14と平↑J゛てなく
なる。第3図で12aはこの時の反射面を示す。
しかしながら、2つの偏向面16a、18aは直交する
ので、光ビーム28.32は常に平行となり、最終的に
射出される走査ビーム34aは、前it、! 34と平
行になる。径ってこの走査ビーム34aは(l(ljレ
ンズ36を通り走査面38にでは走査ビーム34と同一
の位置に結像する。すなわち反射iri! l 2 a
の傾きのり動によるIlg 響は完全に(J消さ第1る
。なお第3図ではこの時の光路が点線で示されている。
ので、光ビーム28.32は常に平行となり、最終的に
射出される走査ビーム34aは、前it、! 34と平
行になる。径ってこの走査ビーム34aは(l(ljレ
ンズ36を通り走査面38にでは走査ビーム34と同一
の位置に結像する。すなわち反射iri! l 2 a
の傾きのり動によるIlg 響は完全に(J消さ第1る
。なお第3図ではこの時の光路が点線で示されている。
このように第2の偏光プリズム18から射出される走査
ビーム34.34aは、集束レンズ36に入るまでは常
に平行でしかも回転軸14に対し垂直な平面Lにあるの
で、走査偏向角が大きくなっても、走査前38−ヒの結
像点の走査軌跡である走査線は全く弓形化せず、常に直
線の走査線が得られる。また入射光ビーム26の延長線
が回転軸14と交わるように入射光ビーム26を入射さ
せれば9反射面12で反射される円偏光の光ビーム28
の反射点は、常に回転軸14を通る平面内に位置する。
ビーム34.34aは、集束レンズ36に入るまでは常
に平行でしかも回転軸14に対し垂直な平面Lにあるの
で、走査偏向角が大きくなっても、走査前38−ヒの結
像点の走査軌跡である走査線は全く弓形化せず、常に直
線の走査線が得られる。また入射光ビーム26の延長線
が回転軸14と交わるように入射光ビーム26を入射さ
せれば9反射面12で反射される円偏光の光ビーム28
の反射点は、常に回転軸14を通る平面内に位置する。
このため反射面12の回転軸14に直交する方向の幅を
小さくでき1回転多面鏡10が小型になる。これに伴っ
てこの回転多面鏡] (lの駆動モータも小型化できる
。
小さくでき1回転多面鏡10が小型になる。これに伴っ
てこの回転多面鏡] (lの駆動モータも小型化できる
。
以上の実施網様では光源にP偏光の直線偏ソCを射出す
るレーザ2用いているが1円偏光、グ円偏向の入射ソロ
ビーム26を用いて、第1の偏光プリズムJ6の偏光特
性によりそのP偏光成分のみ?第1の釘板22に導くよ
うにしてもよい。またお板を用いることから、入射光ビ
ーム26は+11− 波長のものが好ましいのは勿論で
あるが、波長分布にある程1(広がりのある光ビーム2
6を用いても。
るレーザ2用いているが1円偏光、グ円偏向の入射ソロ
ビーム26を用いて、第1の偏光プリズムJ6の偏光特
性によりそのP偏光成分のみ?第1の釘板22に導くよ
うにしてもよい。またお板を用いることから、入射光ビ
ーム26は+11− 波長のものが好ましいのは勿論で
あるが、波長分布にある程1(広がりのある光ビーム2
6を用いても。
効率がトがることはあるものの所期の効果を得ることは
[1丁能である。
[1丁能である。
なお偏光膜面16a、18aは正確に直交させなくても
、また稜線20は回転軸14に正確に直交していなくて
も、所期の効果は得られ、そのような場合も本発明は包
含する。さらに各偏光プリ 4ズム15.+sは、この
実施陣様のように一体化せず、別体としてもよい。
、また稜線20は回転軸14に正確に直交していなくて
も、所期の効果は得られ、そのような場合も本発明は包
含する。さらに各偏光プリ 4ズム15.+sは、この
実施陣様のように一体化せず、別体としてもよい。
この実施ψシ様においては9回転多面鏡1()が用いら
れているが、ガルバノミラ−やバイモルフミラーなどの
即動する反射面ご用いる光偏向器のウオブリングを補正
するのにも本発明は適用できる。
れているが、ガルバノミラ−やバイモルフミラーなどの
即動する反射面ご用いる光偏向器のウオブリングを補正
するのにも本発明は適用できる。
(発明の効果)
本弁明は以l−のように、2組の偏光プリズムおよび大
板を用い、偏光プリズムの卒択透過・反射特性をう士く
利111シて略直交する偏光膜面によりi(、ビームを
−1(1回転多面鏡の反射面に戻し9反射面の#iきに
よる走査線のピンチむらをjJ消ず。従つて走査ビーム
は第2の偏光プリズムを透過させて取出すことができる
ので、この走査ビームを反射面の回転軸に対して垂IM
な平面に射出させることができ、走査線の弓形化をなく
すことが可能になる。さらに入射光ビームは反射面に対
して重直に近い角度で入射できるから1反射面を小さく
シ。
板を用い、偏光プリズムの卒択透過・反射特性をう士く
利111シて略直交する偏光膜面によりi(、ビームを
−1(1回転多面鏡の反射面に戻し9反射面の#iきに
よる走査線のピンチむらをjJ消ず。従つて走査ビーム
は第2の偏光プリズムを透過させて取出すことができる
ので、この走査ビームを反射面の回転軸に対して垂IM
な平面に射出させることができ、走査線の弓形化をなく
すことが可能になる。さらに入射光ビームは反射面に対
して重直に近い角度で入射できるから1反射面を小さく
シ。
かつその駆動系を小型化できる。
第1.および第2図は従来の光ビーム走査装置6の説明
図、印23図は本発明の一実施態様の側面図。 第41Aはその動作説明図である。 10・回転多面鏡、12−・反射面。 I4・・回転dl+、 16.18 偏光プリズム。 16a、18a−偏光膜面、 20・稜線。 22.24・・k板、26・・入射光ビーム。 34・・走査ビーム。 特;1′1出顆大 富士写真フィルム株式会ン(代理人
弁理士 山 1) 文 雄 「−系完ネ山11日11□F (I−1発)1眉和59
イ「5JJ24日 特+i11+長官 若杉和夫殿 1 、 ’11件の表示 昭和59年特胎順第60830号 2 発明の名称 光ヒーム走査装置 3、補1Fをする者 ・1警ヂ1との関係 特 +iM 出 朝 人任 所
神奈川県南足柄市中招210番地名称 (520)富士
写真フィル1、株式会ン1代表者 大 西 39) 4、代理人 (1所 東jlj都港1ヌ、西新橋11116番21吋
大和銀行虎)門ビル (上品591−7558)氏名(
8222) 5N’l’十 山 111 文 M2S、
補正命令の11+1 自発 6、補11:、により増加する発明の数 07、補11
−の対象 すI#11,11の「発明の詳細な説明」の欄8 補止
の内容 明細11)第3頁第12行において 「入射させなければならず」とあるのを「入射させたと
しても」と補止する。 (以」二)
図、印23図は本発明の一実施態様の側面図。 第41Aはその動作説明図である。 10・回転多面鏡、12−・反射面。 I4・・回転dl+、 16.18 偏光プリズム。 16a、18a−偏光膜面、 20・稜線。 22.24・・k板、26・・入射光ビーム。 34・・走査ビーム。 特;1′1出顆大 富士写真フィルム株式会ン(代理人
弁理士 山 1) 文 雄 「−系完ネ山11日11□F (I−1発)1眉和59
イ「5JJ24日 特+i11+長官 若杉和夫殿 1 、 ’11件の表示 昭和59年特胎順第60830号 2 発明の名称 光ヒーム走査装置 3、補1Fをする者 ・1警ヂ1との関係 特 +iM 出 朝 人任 所
神奈川県南足柄市中招210番地名称 (520)富士
写真フィル1、株式会ン1代表者 大 西 39) 4、代理人 (1所 東jlj都港1ヌ、西新橋11116番21吋
大和銀行虎)門ビル (上品591−7558)氏名(
8222) 5N’l’十 山 111 文 M2S、
補正命令の11+1 自発 6、補11:、により増加する発明の数 07、補11
−の対象 すI#11,11の「発明の詳細な説明」の欄8 補止
の内容 明細11)第3頁第12行において 「入射させなければならず」とあるのを「入射させたと
しても」と補止する。 (以」二)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 回転軸を中心に回転または揺動する反射面で光ビームを
反射させる光ビーム走査装置において。 互いにほぼIU交する偏光膜面の稜線が前記回転軸と略
直交するように前記反q<を面に対向して配設された第
1および第2の偏光プリズムと、これらの各偏光プリズ
ムと111ノ記反射而との間にそI]ぞれ配設された第
1および第2のλ板とを備えることを特徴とする光ビー
ム走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59060830A JPS60205419A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 光ビ−ム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59060830A JPS60205419A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 光ビ−ム走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60205419A true JPS60205419A (ja) | 1985-10-17 |
Family
ID=13153663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59060830A Pending JPS60205419A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 光ビ−ム走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60205419A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1528424A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical scanner apparatuses and optical scanning methods |
WO2005096055A3 (en) * | 2004-03-31 | 2007-01-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Projection system with scanning device |
US11933964B2 (en) | 2020-07-15 | 2024-03-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP59060830A patent/JPS60205419A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1528424A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical scanner apparatuses and optical scanning methods |
US7142340B2 (en) | 2003-10-31 | 2006-11-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical scanner apparatuses and optical scanning methods |
WO2005096055A3 (en) * | 2004-03-31 | 2007-01-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Projection system with scanning device |
US11933964B2 (en) | 2020-07-15 | 2024-03-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
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