JPS60195160A - Composite sheet - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a composite sheet having remarkably improved thermal conductivity and suitable for electronic material and electrical apparatus, by compounding a specific aluminum nitride to an organic polymeric compound. CONSTITUTION:(A) 100pts.(wt). of an organic polymeric compound having a molecular weight of 3,000-1,000,000, preferably 5,000-500,000 is compounded with (B) 50-1,000pts., preferably 100-950pts. of aluminum nitride powder having an average particle diameter of <=2mum, containing particles having diameter of <=3mum accounting for >=70vol% of the powder, and having an oxygen-content of <=3wt% and an aluminum nitride purity of >=95%, and the composition is formed in the form of a sheet by conventional method.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は新規なシートラ提供する。詳しくは（１）有様
高分子化合物と（４）平均粒子径が２μｍ以下で、３μ
ｍ以下の粒子のものを７０容量チ以上の割合で含有し且
つ酸素含有お゛が３．０重量％以下及び窒化アルミニウ
ムの純度が９５チ以上の簀化アルミニウム粉末とより構
成されている複合シートである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a novel seat truck. In detail, (1) a specific polymer compound and (4) an average particle size of 2 μm or less, 3 μm.
Composite sheet composed of silica aluminum powder containing particles of 70% by volume or more, containing 3.0% by weight or less of oxygen, and having an aluminum nitride purity of 95% or more. It is.

従来、楢イ３１粕０１分子化合物に無機粉末を配合した
累材を用いた複合シートは公知で、該有機尚分子化合物
ケ無機粉末の柚々の組合せが提案されている。一般には
得られる複合シートに嶽求される性状に応じて特定の無
機粉末が選択して使用される。即ち複合シートの用途に
応じて要求される性状は混合される無機粉末の性状によ
って影響される場合が多く、如何なる性状を有する無機
粉末を選択するかが大きな技術開発の焦点となる。Conventionally, a composite sheet using a composite material in which an inorganic powder is blended with a molecular compound of Narai 31 and Kasu 01 is known, and various combinations of the organic and molecular compound and inorganic powder have been proposed. Generally, a specific inorganic powder is selected and used depending on the properties desired for the resulting composite sheet. That is, the properties required depending on the use of the composite sheet are often influenced by the properties of the inorganic powder to be mixed, and the selection of the inorganic powder having the properties is a major focus of technological development.

本殆明者等は従来、種々のセラミックの開発會鋭意行っ
て来た。その結果、新規な窒化アルミニウム粉末の製造
に成功し既に提案するに至った。史に研死′ｆ：続けた
結果、上記新規な電化アルミニウム粉末は高熱伝導性の
性状を与えるだけでなく、はとんど制限なく柚々の有様
−分子化合物とよく混合されることを見出しこの知見に
基づき本発明を完成し、ここ如提案するに至った。The present inventors have been actively involved in development of various ceramics. As a result, we have succeeded in producing a new aluminum nitride powder and have already proposed it. As a result of continued research, it was found that the above-mentioned new electrified aluminum powder not only provides properties of high thermal conductivity, but also mixes well with the state-molecular compounds of Yuzu without any restrictions. Heading Based on this knowledge, we have completed the present invention and have come to propose the following.

即ち、本発明は（１）有機高分子化合物と（１１）平均
粒子径が２μｍ以下で、３μｍ以下の粒子のものを７０
谷解チ以上の割合で含有し且つ酸素含有゛）、ｊが３．
０　％Ｆ−ｉｉＨ％以下及び窒化アルミニウムの純度が
９５チ以上の窒化アルミニウム粉末とより構ｒＪνされ
てなる複合シートである。That is, the present invention uses (1) an organic polymer compound and (11) particles having an average particle size of 2 μm or less and 3 μm or less.
Contains oxygen in a proportion greater than 100%, and j is 3.
This is a composite sheet composed of aluminum nitride powder having a purity of 0% F-iiH% or less and an aluminum nitride purity of 95% or more.

本発明で用いる有機−分子化合物は特に限定されず公知
のものが使用出来る。一般には分子′址３０００〜１０
００．０００好ましくは５０００〜５００．０（１０の
有機高分子化合物が好瀬である。The organic molecular compound used in the present invention is not particularly limited, and known compounds can be used. In general, the molecular weight is 3000 to 10
00.000 Preferably 5000 to 500.0 (10 organic polymer compounds are suitable).

また該廟機高分子化合物は天然のもの或いは合成の′も
のになんら区別されず使用出来る。例えば天然の有機高
分子化合物としては天然ゴムがその代表的なものである
。また合成の有機高分子化合物は熱可塑性樹脂又は熱硬
化性樹脂のいずれ金も特に１次定されイ使用出来る。該
熱可塑（Ｖ１脂の代表的なものを・ρ１１承すれば、ス
チレンーブタジエンーラバン、クロロプレンゴム、シリ
コーンゴム等のゴム状有機動分子化合物；エチレン、プ
ロピレン、ブテン、スチレン等のオレフィンの単独重合
体又は共電合体：塩化ビニル、塩化ビニリデン、四弗化
エチレン、６弗化プロピレン等の含ハロゲンビニル化合
物の単独重合体又は共重合体；ポリエステル；ポリアミ
ド；ポリｔｍ　ｆｉｇ：ビニル；ポリアクリレート；ポ
リアクリロニトリル；ポリカーボネー）：ｒｇｇｈビニ
ル−エチレン共重合体等が好適に使用される。また前記
熱硬化作柄Ｊｌｆｆの代表的なものを例示すると、フェ
ノール樹脂；ホルムアルデヒドおよびケトン樹脂；メラ
ミン樹脂；スルホンアミド樹脂：アルキド）ｒｔｌ　Ｉ
」’１：エボギシ樹脂；不飽困１ポリエステル樹脂等が
好適に使用される。Furthermore, the polymeric compound can be used without any distinction whether it is natural or synthetic. For example, natural rubber is a typical natural organic polymer compound. Furthermore, synthetic organic polymer compounds such as thermoplastic resins or thermosetting resins can be used, especially if gold is primarily determined. The thermoplastic (Typical examples of V1 fats are rubber-like organic organic compounds such as styrene-butadiene-laban, chloroprene rubber, and silicone rubber; individual olefins such as ethylene, propylene, butene, and styrene. Polymer or co-electropolymer: homopolymer or copolymer of halogen-containing vinyl compounds such as vinyl chloride, vinylidene chloride, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene; polyester; polyamide; polytm fig: vinyl; polyacrylate; Polyacrylonitrile; polycarbonate): rggh vinyl-ethylene copolymer, etc. are preferably used. Typical examples of the thermosetting Jlff include: phenol resin; formaldehyde and ketone resin; melamine resin; sulfonamide resin: alkyd) rtl I
'1: Evogishi resin; unsaturated 1 polyester resin, etc. are preferably used.

本弁明に於けるイ…の取分は下記特性を有する窒化アル
ミニウム粉末である。Part 1 in this defense is an aluminum nitride powder having the following properties.

即ち、平均粒子径２μｍ以下で、３μｍ以下の粒子のも
のな７０呑−チ以上の割合で含有し且つば紫含有量３．
０重拒チ以下及び屋化アルミニウムの純度が９５チ以上
の空化アルミニウム粉末である。尚上記窒化アルミニウ
ムの純度は次ぎのような定毅にしたがう。即ち窒化アル
ミニウムはアルミニウムと窒素の１＝１の化合物であり
、これ以外のもの全原則としてすべて不純物として取扱
う。但し窒化アルミニウム粉末の表面は空気中で不可避
的に酸化されＡＬ−Ｎ結合がＡＬ−０結合に置代ってい
るので、このＡＬ−０結合しているアルミニウムは陽イ
オン不利（物とはみなさない。またｆｉ前記における平
均粒子イ・【とは光透過式の粒度分布測定器による体積
基準の中間粒子径をいう。That is, it contains particles with an average particle size of 2 μm or less and 3 μm or less in a ratio of 70% or more, and has a purple content of 3.
Vacuum aluminum powder with a purity of 0% or less and a purity of 95% or more. The purity of the aluminum nitride is determined according to the following criteria. That is, aluminum nitride is a 1=1 compound of aluminum and nitrogen, and all other substances are generally treated as impurities. However, the surface of aluminum nitride powder is inevitably oxidized in the air, and the AL-N bond replaces the AL-0 bond, so the aluminum with this AL-0 bond has a cation disadvantage (it cannot be considered as a substance). In addition, the average particle diameter in the above refers to the volume-based median particle diameter measured by a light transmission type particle size distribution analyzer.

前記のような性状を有する窒化アルミニウム粉末は新月
、なものである。本発明に於いては上記性状ｋｍする瞥
化アルミニウムの製法までも限定するものではないが一
般に好適に使用される代表的な方法ヲレ１（示すると次
ぎの通りである。The aluminum nitride powder having the above-mentioned properties is Shingetsu. Although the present invention does not limit the method for producing grained aluminum having the above-mentioned properties, the following is a representative method that is generally suitably used.

即ち、 （１）平均粒子径が２μｍ以下のアルミニウム微μｍ以
下のカーボン微粉末とを水、アルコール類、炭化水素等
の液体分散Ｗ？鉢体中緊冨に混合し、そのさい該アルミ
ニウム微粉末対該カーボン微粉末の重置比は１：０．３
６〜１：１であり： （２）得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はア
ンモニアの雰囲気下で１４　（１０〜１７００℃の温度
で焼成し； （３）　次いで得られた微粉末ｆ、酸素を含む雰囲気下
で６００〜９００℃の温度で加熱して未反応のカーボン
を加熱除去し、窒化アルミニウム含量が少くとも９５重
ａ俤であり、結合酸素の１預が最大３．０車ｋ）係好ま
しくは１．５重量％であり、且つ不純物としての金）／
Ｊス化合物の台間、が金属として最大０．３重量％であ
る平均粒子径が２μｒｎ以下の窒化アルミニウム粉末を
生ｂｖせしめる、 ことによって製造することができる。That is, (1) Aluminum with an average particle size of 2 μm or less and fine carbon powder of 2 μm or less is dispersed in a liquid such as water, alcohol, hydrocarbon, etc. Thoroughly mix in the pot body, at which time the ratio of the aluminum fine powder to the carbon fine powder is 1:0.3.
(2) The intimate mixture obtained is suitably dried and calcined under an atmosphere of nitrogen or ammonia at a temperature of 10 to 1700 °C; (3) The resulting fine powder is then f. Unreacted carbon is removed by heating at a temperature of 600 to 900°C in an oxygen-containing atmosphere, and the aluminum nitride content is at least 95 F/A, and the combined oxygen content is at most 3.0 k) preferably 1.5% by weight and gold as an impurity)/
It can be produced by producing aluminum nitride powder having an average particle size of 2 μrn or less and containing a maximum of 0.3% by weight of the JS compound as a metal.

また上記方法ではアルミナとカーボンは特定ミナ微粉末
としては平均粒子径が２μｍ以下の微粉末を用いる必要
があり、好のましくは少なくとも９９．０　重搦％より
好ましくは少なくとも９９．９重量％の純度のものが用
いられる。またカーボン微粉末は灰分内含有量最大０．
２重ｒｔ％好ましくは最大０．１重量％のものとして用
いる必要がある。また該カーボンの平均粒子径は１μｍ
以下の微粒子として用いる必要がある。さらにｄ亥カー
ボンとしてはカーボンブラック、黒鉛化カーボン等が使
用されうるが一般にはカーボンブラックが好ましい。そ
して窒化アルミニウム粉末中σ）不純物としての金属化
合物の含１ｉを滅するためには上記原料となるアルミナ
に該不純物となる金７１．＋ｉ　ｒＪＭ、分例えば、珪
素、マンガン。Further, in the above method, it is necessary to use alumina and carbon as a specific sinter fine powder having an average particle size of 2 μm or less, preferably at least 99.0% by weight, more preferably at least 99.9% by weight. purity is used. Furthermore, the carbon fine powder has a maximum ash content of 0.
It is necessary to use 2wt%, preferably a maximum of 0.1wt%. The average particle diameter of the carbon is 1 μm.
It is necessary to use it as the following fine particles. Furthermore, carbon black, graphitized carbon, etc. can be used as the carbon, but carbon black is generally preferred. In order to eliminate the presence of metal compounds as impurities in the aluminum nitride powder, it is necessary to add gold as the impurity to alumina, which is the raw material. +i rJM, min. For example, silicon, manganese.

鉄、クロム、ニッケル、コバルト、　ｔｌｍ、　亜鉛。Iron, chromium, nickel, cobalt, tlm, zinc.

チタン等を陽イオンＦｊＭ分とする化合物が全組として
０．３　＋、ｌｒ　）ｉｉ％以下好ましくは０．２庫Ｉ
ｉ１．チ以下更に好ましくは０．１重置係以下のもの金
柑いるのか好ましい。勿論上記不純物成分は前記アルミ
ナ及びカーボンの原料全湿式混合する場合も、混合装置
から混入することもあるので一般にはこれらの不純物成
分が窒化アルミニウム粉末中に混入するのｆ：避けるた
めに、窒化アルミニウム自身あるいは９９．９重相チ以
上の高純度アルミナとするのが好ましい。また混合装い
′の原料と接する面をすべてプラスチック製とするがプ
ラスチックでコーティングすることもできる。The total amount of compounds containing titanium, etc. as cation FjM is 0.3 +, lr)ii% or less, preferably 0.2%.
i1. It is preferable that the amount of kumquats is less than or equal to 0.1, more preferably less than 0.1. Of course, the above-mentioned impurity components may be mixed in from the mixing device even when the alumina and carbon raw materials are wet-mixed, so generally these impurity components are mixed into the aluminum nitride powder. It is preferable to use high-purity alumina with a self-containing phase or a high-purity alumina with a double phase of 99.9 or higher. In addition, all surfaces of the mixing device that come into contact with the raw materials are made of plastic, but they can also be coated with plastic.

該プラスチックとしては特に限定されず例えばポリエチ
レン、ポリプロピレン、ナイロン、ポリエステル、ポリ
ウレタン等が使用できる。この場合、プラスチック中に
は安定剤として種々の金Ａ１モ成分を含む場合があるの
で、予めチェックして使用するようにすべきである。The plastic is not particularly limited, and for example, polyethylene, polypropylene, nylon, polyester, polyurethane, etc. can be used. In this case, since the plastic may contain various gold A1 components as stabilizers, it should be checked in advance before use.

前記性状の空化アルミニウム粉末はそのま〜或いは液体
分散媒体中で有機高分子化合物と混合すればよいが、有
機高分子化合物の種類によっては混合に除し、カップリ
ング剤で被俊して使用すると良好な場合がある。鵡カッ
プリング剤は特に限定されず有機高分子化合物に無機化
合物を混入するときにカップリング剤とに使用されうろ
ことが公知のものを特に制限されず使用４出来る。一般
にはｌ＋ｌえば、アミノミラン、ビニルシラン、エポキ
シシラン、有情チタネート化合物等のシランカツノリン
グ剤或いは表面処理剤等が好適に使用される。Empty aluminum powder with the above properties may be used as is or mixed with an organic polymer compound in a liquid dispersion medium, but depending on the type of organic polymer compound, it may be used after being mixed and treated with a coupling agent. Then, it may be good. The coupling agent is not particularly limited, and any known coupling agent that is used as a coupling agent when an inorganic compound is mixed into an organic polymer compound can be used without particular limitation. In general, silane cutting agents or surface treatment agents such as aminomilane, vinylsilane, epoxysilane, and titanate compounds are preferably used.

前記有機高分子化合物と前記９化アルミニウム粉末との
混合割合は得られるシートに要求される性状によって異
なり一概に限定出来ないが一般には有機高分子化合物１
００重量部に対し、て窒化アルミニウム粉末を５０〜１
００（ＨＪＪ部、好ましくは１００〜９５０重知部、更
に好ましくは３００〜９００ｉ量部の範囲から選べば良
好適である。The mixing ratio of the organic polymer compound and the aluminum 9ide powder varies depending on the properties required for the resulting sheet, and cannot be unconditionally determined, but in general, the organic polymer compound 1.
50 to 1 part of aluminum nitride powder per 00 parts by weight
00 (HJJ parts), preferably from 100 to 950 parts, more preferably from 300 to 900 parts.

前記有機高分子化合物と窒化アルミニウム粉末との混合
物から本発明のシートを製造する方法は％’＋に限定さ
れず公知のシートの製法が採用出来る。例えば有機高分
子化合物をして熱硬化作柄ＪＪｉｆ　ｋ用いる場合は、
前記混合物を加温下例えば５０〜８０℃心度の温度下に
混合し、該混Ａ　’４１／ｌ　Ｌｉ　ｒＶ、Ｕ’！　Ｗ
二Ｕｒ−１”、　Ｙ　１４＞　’ＦＪｈ　Ｌ　タｉｋ　
−７１１１庄−トＶ　階Ｌ　Ｎは常圧下にず萌化温度ま
で加熱してシートに成形する方法が採用される。また有
機高分子化合物が熱可塑性樹脂の場合は熱可塑性樹脂と
前記窒化アルミニウムとの混合物をシート状に加熱成形
する方法が一般的である。また有機高分子化合物がシリ
コーンゴムなどのゴム状物質の場合は有機溶媒にシリコ
ーンゴムを溶解し、窒化アルミニウムを加え、得られる
スラリーに必要に応じて触媒を加えた後、例えばドクタ
ーブレード法などの＋ｂ゛でシート状物を成形し、該シ
ート状物ケ加熱例えば１６０〜１８０℃でプレス加硫し
て目的の複合シート金得ることも出来る。The method for manufacturing the sheet of the present invention from the mixture of the organic polymer compound and aluminum nitride powder is not limited to %'+, and any known sheet manufacturing method can be employed. For example, when using an organic polymer compound and thermosetting crop,
The mixture is mixed under heating, for example, at a temperature of 50 to 80°C, and the mixture A'41/l Li rV,U'! W
2Ur-1”, Y 14>’FJh L tik
-7111 Sho-to V Floor LN is formed into a sheet by heating it to the budding temperature, not under normal pressure. Furthermore, when the organic polymer compound is a thermoplastic resin, it is common to heat-form a mixture of the thermoplastic resin and the aluminum nitride into a sheet shape. In addition, when the organic polymer compound is a rubbery substance such as silicone rubber, the silicone rubber is dissolved in an organic solvent, aluminum nitride is added, and a catalyst is added to the resulting slurry as necessary, followed by a method such as a doctor blade method. The desired composite sheet metal can also be obtained by forming a sheet-like material at +b' and press-vulcanizing the sheet-like material by heating, for example, at 160 to 180°C.

本発明の複合シートは熱伝導率が著しく改良されたシー
トとなるので例えばパワートランジスター、サイリスタ
ーなどの電子材料で放熱を必要とする箇所の絶縁シート
として有効に使用される。また熱硬化付樹脂と前記窒化
アルミニウム粉末とより構成されてなる複合シートは高
放熱樹脂基板として例えばＩＣ基板に使用される。Since the composite sheet of the present invention has significantly improved thermal conductivity, it can be effectively used as an insulating sheet for parts of electronic materials such as power transistors and thyristors that require heat dissipation. Further, a composite sheet composed of a thermosetting resin and the aluminum nitride powder is used as a high heat dissipation resin substrate, for example, for an IC substrate.

本発明の複合シートの開発によって、特に高放熱、絶縁
を心安とする重子材料、電気様器としての用途がより広
く拡がるもので本発明の寄与は計り知れないものである
。The development of the composite sheet of the present invention will expand its use as a heavy-coat material with high heat dissipation and reliable insulation, and as an electric generator, and the contribution of the present invention is immeasurable.

本発明を更に具体的に説明するための以下実施例を添げ
て説明−Ｃるが本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。EXAMPLES In order to explain the present invention more specifically, the present invention will be described below with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

実施例　１ 純度９９．９９％（不純物分析値を表１に示す）で平均
粒子径が０．５２μｍで３μ電以下の粒子の割合が９５
　ｖｏ１％のアルミナ１００重量部と、灰分０．０８ｖ
ｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラック５
０重量部とを、ナイｐン製ポットとティ０／コーテイン
グしたボールを用いエタノールを分散媒体として均一に
ボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高純度
黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３／／ｍｔｎで
連続的に供給しながら１６００℃の温度で６時間加熱し
た。得られた反応混合物を空気中で７５０℃の温度で４
時間加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した。得られ
た白色の粉末はＸ線回折分析（Ｉｒａｙ　ｄｉｆｆｒａ
ｃｔｉｏｎ　ａｎａｌｙｓｉｓ　）　の結果、単相（ｓ
ｉｎｇｌｅ　ｐｈａｓｅ　）　のｈｌｗであり、ムｌ、
０．の回折ピークは無かった。また骸粉末の平均粒子径
を粒度分布測定器（相場製作所製０ムＰム−５００）を
用いて測定したところ１゜３１μｍであり、３／”以下
が９０容量％を占めた。走査製電子顕微鏡による観察で
はこの粉末は平均０．７μｍ程度の均一な粒子であった
。Example 1 The purity is 99.99% (impurity analysis values are shown in Table 1), the average particle diameter is 0.52 μm, and the ratio of particles with a particle diameter of 3 μm or less is 95%.
VO1% alumina 100 parts by weight and ash content 0.08v
Carbon black 5 with an average particle size of 0.45 μm at t%
0 parts by weight were uniformly mixed in a ball mill using a pot made by Naipun and a ball coated with Tee 0, using ethanol as a dispersion medium. After drying the resulting mixture, it was placed in a flat plate made of high-purity graphite and heated at a temperature of 1600° C. for 6 hours while continuously supplying nitrogen gas at 3//mtn in an electric furnace. The resulting reaction mixture was heated in air at a temperature of 750°C for 4 hours.
The mixture was heated for a period of time to oxidize and remove unreacted carbon. The obtained white powder was subjected to X-ray diffraction analysis (Iray diffraction analysis).
As a result of the cation analysis), a single phase (s
ingle phase) is hlw, mul,
0. There was no diffraction peak. In addition, the average particle size of the powder was measured using a particle size distribution analyzer (OmuPmu-500 manufactured by Aiba Seisakusho) and found to be 1°31 μm, with 90% by volume being 3/” or less.Scan Electronics When observed under a microscope, this powder was found to be uniform particles with an average size of about 0.7 μm.

また比表面積の測定値は４．　Ｏｔｎ”　／　ｔであっ
た。Also, the measured value of specific surface area is 4. It was Otn”/t.

この粉末の分析値を表２に示す。The analytical values of this powder are shown in Table 2.

表　Ｉ　Ａｌ１０ｇ粉末分析値 ）Ｉｌｌ　０３含有＠　９９．９９％ ・元　素　含有量（ＰＰＭ） Ｍｇ　＜ｓ ｏ　ｒ　＜　１　０ Ｂ　１　３０ Ｚｎ　（！５ Ｆ　θ　２２ ０ｕ　＜５ ０　ａ　（２Ｏ Ｎ　１　１５ Ｔ　１　〈　５ 表　２　人ｌｙ粉末分析値 ｈ１ｍ含有量　９７．８％ 元　素　含有量 Ｍｇ　＜　５　（ＰＰＭ） ａｒ　２１　Ｃ１＞ ８１　１２５　＜１　） Ｚｎ　９（＃） Ｆθ　２０（＃） Ｏｕ　＜ｓ　（〆　） Ｍｆｌ　５（＃） Ｈｌ　２７　（’　） Ｔ１　〈　５　（ｌ　） ｏｏ　＜５　（ｒ） 、　１６４．Ｂ　（ｖｔ９ｃ） Ｎ　、５３．４（＃） ０　１．１　（Ｉ　） ｏ　ｏ、１１（ｚ） このようＫして得られた窒化アルミニウム粉末を２％の
シランカップリング剤（日本ユニカー社製Ａ−１７２）
水溶液と接触させた後ｒ過して、室温で減圧乾燥した。Table I Al10g powder analysis value) Ill 03 content @ 99.99% ・Element content (PPM) Mg <s or < 1 0 B 1 30 Zn (!5 F θ 22 0u < 5 0 a (2O N 1 15 T 1 < 5 Table 2 Human ly powder analysis value h1m Content 97.8% Element Content Mg < 5 (PPM) ar 21 C1> 81 125 <1) Zn 9 (#) Fθ 20 (#) Ou < s (〆) Mfl 5 (#) Hl 27 (') T1 < 5 (l) oo <5 (r), 164.B (vt9c) N, 53.4 (#) 0 1.1 (I) o o , 11(z) The aluminum nitride powder thus obtained was treated with a 2% silane coupling agent (A-172 manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.).
After contacting with an aqueous solution, it was filtered and dried under reduced pressure at room temperature.

次いでエポキシ樹脂（シール化学社製エビコー）１００
１）に硬化剤としてジシアノジアミドおよびベンジルジ
メチルアミンを各々４重服％、０．２重１％添加した後
ロール式混線機で８０℃の温度で混練した。混練しなが
ら前記シランカップリング剤処理した窒化アルミニウム
粉末を樹脂１００重１部に対して７００重量部添加し均
一に混合した。Next, epoxy resin (Ebiko manufactured by Seal Chemical Co., Ltd.) 100
Dicyanodiamide and benzyldimethylamine were added as curing agents to 1) at 4 weight % and 0.2 weight 1 %, respectively, and then kneaded at a temperature of 80° C. using a roll mixer. While kneading, 700 parts by weight of the aluminum nitride powder treated with the silane coupling agent was added to 1 part by weight of resin and mixed uniformly.

得られた混合物は室温で粉砕し、この粉末を１００　Ｋ
９７ｃｍ”の圧力、１６０℃の温度で３０分間予備硬化
させた。次いで無加圧下で１８０℃の温度で硬化処理を
し、厚さ１．２ｆｉのシートを得た。得られたシートの
熱伝導率を理学電機板のレーザーフラッジ−決然定数測
定装置を用いて測定したところ０．０１２ｃａ’ｌ　／
　ｃｔｔ＊　ｓｅｃ　＊　ｘであった。The resulting mixture was ground at room temperature and the powder was heated at 100 K.
It was precured for 30 minutes at a pressure of 97 cm" and a temperature of 160°C. Then, a curing treatment was performed at a temperature of 180°C without applying pressure to obtain a sheet with a thickness of 1.2 fi. Thermal conductivity of the obtained sheet When the rate was measured using Rigaku Denki's Laser Flood-Determined Constant Measuring Device, it was 0.012ca'l/
ctt*sec*x.

実施例　２ 実施例１と同じ方法で、エポキシ樹脂と窒化アルミニウ
ム粉末の配合比を変えて実験した結果を表３に示す。Example 2 Table 3 shows the results of an experiment conducted in the same manner as in Example 1, but with different blending ratios of epoxy resin and aluminum nitride powder.

表　３ 実施例　６ 加熱加硫型のシリコーンゴム１００＃をトリクロロエタ
ン７００ｇに溶解させた後実施例１で用いたものと同じ
シランカップリング剤処理した窒化アルミニウム粉末６
００ｔを加え均一に攪拌しながら真空脱泡した。得られ
たスラリーをポリエチレンシート上に塗布し乾燥後温度
１６５℃で４０分プレス加硫した。得られた厚さ０．６
１ｍのシートの熱伝導率は０．０１’　Ｏｃａｘ　／儂
・ｅｅｃ＠にであった０ 実施例　４ 実施例３で得られたのと同じ、窒化アルミニウム粉末を
含むシリコーンゴムスラリーをドクターブレード法で約
０．３ｍの厚さにシート成形し乾燥した。このシート３
枚の各々の間にシラ二／カップリング剤（前記と同じも
の）処理をした厚さｌ］、Ｑ５ｍのガラスクロス２枚を
はさんで１６５℃で４０分プレス加硫した。得られた複
合シートを作成した。このシートの熱伝導率は０、０１
０　ｃａｌ　／Ｃ１ｎ”　ｇｅｅ　＠　Ｋであった０実
施例　５ ポリグロビレンホモポリマ−（メルトインデックス＝４
）１００重１部に安定剤（Ｂｕｔｙｌａｔｅｈｙａｒｏ
ｘｙｔｏｌｕｅｎｅ　）　０．３１１Ｌ１部および実施
例１で用いたものと同じシランカップリング剤処理をし
た窒化アルミニウム粉末６５０重量部を加えプラベンダ
ープラスチコーダーを用いローター回転数５０　ｒｐｍ
で２００℃の温度で２０分間混練した。これを２枚のフ
ーロ板の間にはさみ２２０℃で１０分子熱後、１００Ｋ
Ｐ／ｃ！ＩＬ！、２２０℃の条件下で加圧成形して厚さ
１．８ｕのシートを作成した。このシートの熱伝導率は
０．００７０ａｌ　／ｃａＩＩｓｅａ　ｅ　Ｋであった
。Table 3 Example 6 Aluminum nitride powder 6 which was treated with the same silane coupling agent as that used in Example 1 after dissolving 100 # of heat-vulcanized silicone rubber in 700 g of trichloroethane.
00t was added, and the mixture was degassed under vacuum while stirring uniformly. The obtained slurry was applied onto a polyethylene sheet, dried, and then press-vulcanized at a temperature of 165° C. for 40 minutes. Obtained thickness 0.6
The thermal conductivity of a 1 m sheet was 0.01'Ocax/儂・eec@0 Example 4 The same silicone rubber slurry containing aluminum nitride powder as obtained in Example 3 was prepared using a doctor blade method. A sheet was formed to a thickness of about 0.3 m and dried. This sheet 3
Two sheets of glass cloth treated with a silane/coupling agent (same as above) and having a thickness of 5 m were sandwiched between each sheet, and press vulcanization was performed at 165° C. for 40 minutes. The resulting composite sheet was created. The thermal conductivity of this sheet is 0.01
Example 5 Polyglobylene homopolymer (melt index = 4)
) 100 weight 1 part stabilizer (Butylatehyaro)
xytoluene) 1 part of 0.311L and 650 parts by weight of aluminum nitride powder treated with the same silane coupling agent as used in Example 1 were added, and the rotor was rotated at 50 rpm using a Prabender plastic coder.
The mixture was kneaded for 20 minutes at a temperature of 200°C. This was sandwiched between two Fluoro plates and heated at 220℃ for 10 molecules, then heated to 100K.
P/c! IL! A sheet having a thickness of 1.8 u was prepared by pressure molding at 220°C. The thermal conductivity of this sheet was 0.0070al/caIIseaK.

特許出願人 徳山曹達株式会社 手続掬ｎ−１１三書（自発） 昭和５９年５月　９口 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、’ｌｓｌ’ｌの表示　特願昭５９−４９２１１号２
、発明の名称　複合シート ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　０口」県徳山市御影町１番１号徳山曹達株式会
行　東京本部 特許情報部　電話５９７−５１１１ ４、補正命令の目付　自　発 「）、補止の対象 明！１ｌＩｌ書のｒ発明の詳細な説明」の欄６゜補ＩＥ
の内科 （１）明ｉｎ書　５Ｔｔ　７行目 ｒＡＬ」をｒＡＩＪに補正する。Patent Applicant: Tokuyama Soda Co., Ltd. Procedural Summary n-11 (Voluntary) May 1980 9 Director General of the Patent Office Kazuo Wakasugi 1, Indication of 'lsl'l Patent Application No. 1983-49211 2
, Name of the invention Composite sheet 3, Relationship with the case of the person making the amendment Patent applicant address 0 units 1-1 Mikage-cho, Tokuyama-shi, Prefecture Tokuyama Soda Co., Ltd. Tokyo Headquarters Patent Information Department Telephone 597-5111 4. Amendment Eye of the order Self-initiated "), Subject of supplementation! 1lIl Book r Detailed explanation of the invention" column 6゜Supplementary IE
``Internal Medicine (1) Clear Book 5Tt Line 7 rAL'' is corrected to rAIJ.

以　上that's all

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）　（＋）有機高分子化合物と（１１）平均粒子径
が２μｍ以下で、３μｍ以下の粒子のものを７０容量係
以上の割合で含有し且つ酸素含有ｔｉ二が３．０重量％
以下及び窒化アルミニウムの純度が９５チ以上の窒化ア
ルミニウム粉末とより構成されてプよる複合シート。(1) Contains (+) an organic polymer compound and (11) particles with an average particle diameter of 2 μm or less and 3 μm or less in a ratio of 70% by volume or more, and contains 3.0% by weight of oxygen-containing Ti2.
A composite sheet consisting of aluminum nitride powder having a purity of 95 degrees or more and an aluminum nitride powder having a purity of 95 degrees or more. （２）有機高分子化合物が分子ｉ：５０００以上を有す
る有機高分子化合物である特許請求の範囲（１）記載の
複合シート。(2) The composite sheet according to claim (1), wherein the organic polymer compound has a molecule i of 5000 or more. （３）複合シートが、有機高分子化合物１００重量部に
対して窒化アルミニウム粉末５０〜１０００重量部の組
成比で構成されている特許請求の範囲（１）記載の複合
シート。(3) The composite sheet according to claim (1), wherein the composite sheet has a composition ratio of 50 to 1000 parts by weight of aluminum nitride powder to 100 parts by weight of the organic polymer compound.