JPS60181601A - Profile measuring machine - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To enable a highly accurate measurement by detecting the angle of inclination of an arm with a deviation dimension detector when a stylus abuts on a deviation dimension inspecting surface with the known deviation dimension from the reference line to confirm the accurate position of the stylus tip. CONSTITUTION:The movement of an arm support body 21 in the direction X as connected to a nut 19 is detected with an X-direction detector 18. An arm 1 having a stylus 2 mounted at the tip thereof is supported rotatably on the support body 21 and the displacement of the stylus 2 tip in the direction Y is detected with Y-direction detector 22. In addition, a deviation dimension reference body 23 having a deviation dimension inspecting surface 24 is mounted detachably, where the deviation dimension H from the reference line T is known. Then, the angle of inclination of the arm 1 when the tip of the stylus 2 abuts the inspecting surface 24 is detected with the detector 22 serving as a deviation dimension detector whereby a fine deviation DELTAH is determined from the deviation demension H. The angle of inclination of the arm 1 when the stylus 2 moves abutting on the surface of an object 26 to be measured is also detected with the detector 22. Based on these detection values, a circular arc error is corrected.

Description

【発明の詳細な説明】 ［枝体１介野］ 本発明は、アー１、先端のスタイラスを被４１１１夏物
に当接移動させたときのアームの前肩角度の変化かトン
被４１１１疋物の輪郭（形状）をｘｌｌｌ　；ｉ−する
輪郭測ヵ“機に関する。Detailed Description of the Invention [Branch Body 1 Intersection] The present invention is based on the change in the front shoulder angle of the arm when the stylus at the tip is brought into contact with the object 4111 and the outline of the object 4111. This invention relates to a contour measuring machine that calculates (shape) xllll;i-.

［、ｌ−・士（Ｉｋ碕ｊ 回動支点を中心に回動自在に支持したアーノ、先端に取
Ｕけたスタイラスを被４１１１定物の表面１．に１１接
さゼつつ、前記回動支点と被測定物とを所定カ向に沿っ
て相対移動させ、このときのアートの前肩角度の変化か
ら被測定物の輪郭をａｌｌｌ定する、輪９１ｉ　ＡＩＲ
定機か知られており、）゛／体物の連続４１１定〈５・
に広く用いられている。[,l-・し(Ik碕j) Arno was supported rotatably around a rotational fulcrum, and while the stylus with a U-shaped tip was in contact with the surface 1 of the fixed object, and the object to be measured relative to each other along a predetermined direction, and the outline of the object to be measured is determined from the change in the front shoulder angle of the art at this time.
It is known that the fixed machine is)゛/Continuation of physical objects 411 fixed〈5.
widely used.

このような輪郭みＩｌｌ　、’＆機においては、アーム
を円弧圧動させるにもかかわらす、ア〜Ｊ、の傾刺角度
を検出するのはＩｌいにｌｌ′ｌ交するＸ方向およびＹ
方向Ｃ；＋”ｒ　Ｉ　ＩＡＡｌ１ｆＩ）のり、々１こ設
けられた検出器である。そのため、例えは、第１図にお
いて、アーＬ、１ヶ回動支−１！、０を中・しに所＞ｉ
Ｊ角度だＵ回動させて／′−１，１の先端のスタイラス
２かＹ方向に・１法ｙた＋−ｔ　ｌ冒したと、勾を赴！
　；Ｉ；すると、このＹ方向の変（Ｉ′／　ｙについて
はそのまま検出されるか、　−力、ＸＸ方向変位δにつ
いては１回動支点Ｏが不動であるところから何ら検出さ
れないこととなる。即ち　円弧＋１−’ｊ　Ｘ゛δかｌ
ニジるのである。In a machine with such a contour, even though the arm is moved in a circular arc, the tilting angles of A to J are detected in the X and Y directions that intersect with each other.
Direction C; location>i
Rotate the stylus at the J angle and move the stylus 2 at the tip of 1 to the Y direction.
;I;Then, either this displacement in the Y direction (I'/y) is detected as is, or -force and displacement δ in the XX direction are not detected at all since the one-turn fulcrum O is immobile. That is, arc +1-'j X゛δ or l
It's because of the difference.

１４′、つて、かかる輪郭４１１１疋機において１“１
！、精１＾Ａ１１ｌ　ｉ：を達成噌−るには、中に各構
成部品の加１および紹１゛ｌ枯世を高めるたけでなく、
前記内張誤Ｘδを極微化さゼるよう補１１シな旬らはな
らない。14', in such a contour 4111
! , In order to achieve this, we must not only increase the addition and introduction of each component, but also
Supplementary measures must not be taken to minimize the above-mentioned inner line error Xδ.

円ｙｉ誤差δを補１１する「段としてはり一′り機構′
へを用いた機械式と、検出器の出カイ、１りを操作する
上気式とかあるか、重鎮式袖！１−「段にｌオ１例えは
　既に本山Ｍｌ人が提案したように（精分１１／ｌ　５
４−２６３８７じ）、前記円弧誤差δル＼次式％式％（
１） で表わされることに清１１　Ｌ、この式（１）をｌｌ′
ｌ接用いて、或いはこの式（１）の近イリ式を用いて、
前記アーム１の長さｌおよびＹ方向の変位ｙの人々に相
″１する゛重鎮Ｉ１１を演神処理して円弧１Ｓ１差δを
打消すよう利用しようとするものかある。``Step beam mechanism'' that compensates for the circle yi error δ
There is a mechanical type that uses the air, and an upper air type that operates the output of the detector. 1 - ``The analogy is ``Dan ni l O 1'', as Motoyama Ml has already proposed (Seibun 11/l 5
4-26387), the arc error δ rule\Next formula % formula % (
1) It is clear that L is expressed as ll'
Using the l-contact or using the near Illian equation of this equation (1),
There is an attempt to use the heavy weight I11, which corresponds to the people with the length l of the arm 1 and the displacement y in the Y direction, to cancel out the difference δ in the arc 1S1.

ところで１回動支点０を通過するＸ方向の仮想線、別ご
ずれは、回動支点０の移動軌跡を小ず仮想線をノ、（準
線Ｔとすると、）、１；、　／ｌｌ線Ｔに沿った回動支
点Ｏの移動１ｊｌｉかＸ方向の変位として検出されるも
のであるが、ここにおいて、前記の式（１）はスクイラ
ス２の先端かノ、（べＩ＋線Ｔ−ｉ−に１１確に位置し
ていることを萌１ｈｉにして成Ｘ／するものである。と
ころか、アー／−，１やスクイラス２の加１製作時の精
度やＭｌ　ｓ”ｉ、交換時の取イ・ｊ））６分のＭ１１
′／′、精度、更には、固定の際の綿伺力等の影響によ
り、スタイラス２かノ、ｑ　７１１３線Ｔ七から位置ず
れしていることかある。それにもかかわらず、従来は、
スタイラス２の先端が基準線Ｔ　Ｊ−に正確に位置して
いるか台か１を確認する一ｒ段かなく、確認するとして
も組）／て後に、別個に用意した他の測定機器類によ−
り困難な実測作業を９１つていたため、鎮剥であり、ｆ
１業能−（にか極めて低く、しかも、ノルベト線１．か
らの１１：確なオれを確認することか困難であった。By the way, the imaginary line in the X direction that passes through the rotation fulcrum 0, and the deviation are as follows: The movement trajectory of the rotation fulcrum 0 is the small imaginary line. It is detected as the movement 1jli of the rotational fulcrum O along T or the displacement in the It is possible to develop the product by taking the fact that it is exactly located at i・j)) M11 for 6 minutes
The stylus 2 may be misaligned from the q7113 line T7 due to the influence of the precision, the stylus 2, and the force applied during fixation. Nevertheless, traditionally,
Check whether the tip of the stylus 2 is accurately positioned on the reference line TJ- or not, or even if it is checked, use other measuring instruments prepared separately. −
Because there were 91 difficult actual measurement tasks to be carried out, it was decided that the f
1 performance was extremely low, and moreover, it was difficult to confirm the exact deviation from the Norbet line 1. to 11.

また、ｌとしてスタイデス２の被測定物表面への゛１′
１接ＪＢ随を支障なく　４ｉわせるため、第２図に示さ
れるように、スクイラス２の先端カリ＾準線Ｔから、Ｉ
　法Ｈだけ偏（１′ｔ、　Ｌ、ている場合もある。この
ような」］７１合には、前出の式（１）をそのまま用い
ることはできず、前記偏位；Ｊ法Ｈを、Ｙ方向の変位ｙ
に加）’）　（減力）シたときにも、スタイラス２の先
端が基ぺＩ・線Ｔから１１．錆に偏位−１法Ｈだけ離・
れた位置にあるか否かを容易に確認する１段はなかった
。In addition, as l, ゛1' to the surface of the object to be measured of Stydes 2
In order to make the first contact JB 4i without any trouble, as shown in Fig. 2, from the tip of the stylus 2,
In such a case, the above equation (1) cannot be used as is, and the deviation; , displacement y in the Y direction
Even when the stylus 2 is pressed, the tip of the stylus 2 is 11. Deflection to rust - 1 method H apart
There was no single step that could be easily checked to see if it was in the correct position.

こうしたＩＩ情から従来、各構成部品の加Ｉ、組）°ノ
精度を高め、１１つ、内張誤差を゛重鎮式或いは機械式
と袖１１する１段を講しても、必ずしも、１Ｘｂ精瓜な
測定結果を１１することができなかった。Due to these II circumstances, conventionally, even if one step was taken to improve the accuracy of each component's addition and assembly, and to reduce the lining error by using a heavy weight type or mechanical type, it was not always possible to achieve 1Xb precision. I was unable to obtain accurate measurement results.

［発明の目的］ 本発明の目的は、スクイラス先端の１１−確な４Ｑ置を
容易に＆＃＋Ｒ，することかでき、高精度な測定結果を
ｆｌＩることのできる輪郭１１１１１定機を提供するこ
とにある。[Object of the Invention] The object of the present invention is to provide a contour 11111 positioning machine that can easily set the tip of the stylus to a precise 4Q position and obtain highly accurate measurement results. There is a particular thing.

［発明の構成］ そのため、本発明は、先端側にスータイラスを右するア
ームを基端側の回動支点を中心にしてアー１、支持体に
回動自在に支持し、スタイラスを被Ａｌｌ宝物に当接さ
せながら被測定物とアーム支持体とを所定方向に相〉、
■移動させたときのアームの傾斜角度をＹ方向検出器で
検出するとともに、アームの円弧遅動に起因する円弧Ｉ
ｌ差を補＋Ｅする円弧誤差補１１日丁段を備えた輪郭測
定機において、前記相対移動方向と平行で前記回動支点
を通過する基？ｌｌｉ線からの偏ドｔ、−４法が既知の
偏位・Ｊ法検査面を設けるとともに、この偏位；Ｊ法検
査面にスクイラスを当接させたときのアームの傾斜角度
を検出する偏位・Ｊ法検出器を設置す、この偏位スｊ法
検出器によりスタイラス先端の正確な位４を把握するこ
とをｕｆ能にして前記目的を達成しようとするものであ
る。なお、ここでいう「偏位Ｊには偏位零を含むものと
する。[Structure of the Invention] Therefore, in the present invention, an arm holding a stylus on the distal side is rotatably supported on a support body around a rotational fulcrum on the proximal side, and the stylus is attached to the object. Align the object to be measured and the arm support in a predetermined direction while making contact with each other.
■The inclination angle of the arm when it is moved is detected by the Y-direction detector, and the arc I due to the arc slow movement of the arm is detected.
In a contour measuring machine equipped with a circular error compensation stage that compensates for the difference in +E, a base that passes through the rotational fulcrum in parallel to the relative movement direction. In addition to providing a J-method test surface with a known deviation of t and -4 method from the lli line, this deviation; The purpose is to achieve the above object by installing a position/J method detector, which makes it possible to grasp the exact position of the tip of the stylus. Note that the "deviation J" here includes zero deviation.

［実施例の説明］ 以１・、本発明の実施例を図面に基ついて説明する。[Explanation of Examples] Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

ｉ′５３図には本発明に係る輪郭側カニ′機の一実施例
か小され、図中、ペース１．　ｌ　ｌには皮相１２か１
’／設され、支相１２にはシ１降箱１３が支）シされ、
＋ｉＩ降箱１３はハンＩ・ル１４の駆動により支＋１．
１２に１Ｃ）ってシ１降するようになっている。また、
　Ｍｌｌ降車１３、内部に駆動モータ１５を備え、この
駆動モータ１５の回転は歯中吐動機構１６を介して送り
ねしｌ１１１１１７に伝えられ、この送りねし＋１ｄｌ
ｌ　７の回転１ｊ、即ち送りＪｌｌはロータリエンコー
タ′９のＸ方向検出器１８により検出されるようになっ
ている。送りねし輔１７にはナンド部旧１９が螺合され
、送りねじ輔１７の回転にイ゛ｒないＸ方向に移動する
ようにされている。このナンド部材１９にはアーノ、支
４１体２１か接わ“シされ、アーム支持体２１はナンド
部材１９とともにＸ方向に移動するようになっている。Figure i'53 shows an embodiment of the contour side crab machine according to the present invention, and in the figure, pace 1. l l has apparent 12 or 1
' / is installed, and the support 12 is supported by the 1 lowering box 13,
+iI unloading box 13 is supported by +1.
1C) is set to drop by 1 at 12. Also,
The Mll unloading 13 is equipped with a drive motor 15 inside, and the rotation of this drive motor 15 is transmitted to the feed dog l111117 via the tooth drive mechanism 16, and this feed dog +1dl
The rotation 1j of l7, ie, the feed Jll, is detected by the X direction detector 18 of the rotary encoder '9. A NAND portion 19 is screwed into the feed screw 17 so that it can move in the X direction without any interference with the rotation of the feed screw 17. An arm support 41 body 21 is brought into contact with this NAND member 19, so that the arm support 21 moves together with the NAND member 19 in the X direction.

アーノ、支４１１体２１には、アームｌかそのノ、（端
側の回動支点０を中心にして回動自在に支十〜され、ま
た、アーＡ　Ｉの先端側にはスタイラス２か取伺けられ
ている。アームｌの途中には差動ｌ・ランス等のＹ方向
検出器２２か１没けられ、スタイラス２の先端のＹ方向
の変位が検出されるようになっている。The support 411 body 21 is equipped with an arm l (which is rotatable around a rotational fulcrum 0 on the end side), and a stylus 2 is attached to the tip side of the arm l. A Y-direction detector 22 such as a differential lance or the like is inserted in the middle of the arm l, so that displacement of the tip of the stylus 2 in the Y-direction is detected.

・　アーム支持体２１の適宜位置には偏位＝Ｊ法基準休
体３か着脱可能に取利けもれ、この偏位＝Ｊ゛法基準休
２体には偏位手ツノ、検査面２４か形成されている。検
査面２４はＸ方向に向けられ、スタイラス２か！／ｌ接
ＩＩ丁能にされるとともに、偏位ＮＪ法検査面２４と）
、（べ１・線Ｔとの距離、別パすれば、偏位＝Ｊ法検査
面２４の）、（べＩＩ線Ｔかもの偏位（Ｊ法Ｈは既知で
ある。偏位・ｊ法検査血２４にスタイラス２の先端を１
′１接させたときのアーム１の傾斜角は偏位・」沃検出
器により検出されるか１本実施例では、前記Ｙ方向検出
器２２がこれを兼ねており、偏位・ＪＩＩｌｌ、の検出
と通畠の輪郭測定とについてνＪ換使川用きるようにな
っている。この偏位＾ｊ／Ｉｌ、検出器を＊ｌｉ　Ｉｌ
ｌするＹ方向検出器２２によりスタイラス２の先端の偏
位Ｎ１°法Ｈからの微小なずれΔＨが検出される。- At an appropriate position on the arm support 21, a deflection = J method reference rest 3 is detachably removed, and this deviation = J method reference rest 2 has a deflection hand horn and an inspection surface 24. or is formed. The inspection surface 24 is oriented in the X direction, and the stylus 2! /L contact II is made and the deviation NJ method inspection surface 24)
, (distance from Be 1 and line T, if separated, deviation = J method inspection surface 24), (Be II line T and deviation (J method H is known. Deflection and j method Place the tip of the stylus 2 on the test blood 24.
The inclination angle of the arm 1 when they are in contact with each other is detected by the deflection detector. It is now possible to use νJ Kasushigawa for detection and measurement of the contour of the hatch. This deviation ^j/Il, the detector *li Il
A small deviation ΔH of the tip of the stylus 2 from the deviation N1° method H is detected by the Y direction detector 22.

また、ペース１１には万力台２５が設けられ、万力台２
５Ｈに載置された被測定物２６の表面」二をスタイラス
２か当接移動ｎ（能とされ、このときのアー１．２の傾
斜角度がＹ方向検出器２２で検出されるようになってい
る。In addition, the pace 11 is provided with a vise stand 25, and the vise stand 25 is provided.
The stylus 2 is brought into contact with the surface of the object 26 placed on the surface 5H, and the inclination angle of the surface 1.2 at this time is detected by the Y-direction detector 22. ing.

第４図には本実施例の゛電気系統が示され、図中、Ｘ方
向検出器１８で検出される回動支点０の変位ｊｄＸはこ
れに相当する電気量Ｅ　（ｘ）として円・弧誤差補ｉＥ
　手段３１に出力され、Ｙ方向検出器２２の出力値けは
信す調整１■３２へ送られ、このイ１１壮調整部３２に
は測定／検出切換手段３３が接続され、このｒ１段３３
のジノ換操作により信号調整部３２からは、スタイラス
７の先端の基準線Ｔがらの変位＋ＩＸｙに相当する電気
１ｊ：Ｅ（ｙ）、および、前記微小なずれΔＨに相当す
る電気ＩＥ（八〇　）か選択的に出力されるようになっ
ている。FIG. 4 shows the electrical system of this embodiment, and in the figure, the displacement jdX of the rotational fulcrum 0 detected by the Error compensation iE
The output value of the Y-direction detector 22 is sent to the adjustment unit 32, and the measurement/detection switching unit 33 is connected to this adjustment unit 32.
As a result of the Gino conversion operation, the signal adjustment unit 32 outputs an electric current of 1j:E(y) corresponding to the displacement +IXy of the tip of the stylus 7 from the reference line T, and an electric IE (80 y) corresponding to the minute deviation ΔH. ) or are selectively output.

また、Ｅ　（ｙ）は円弧誤差補正手段３１に人力され、
Ｅ（△Ｈ）は偏位表示装置３４に入力されてこの偏位表
示装置３４においてΔＨが表示されるが、Ｅ（ΔＨ）は
必要により、円弧誤差補正手段３１或いは偏位＝ｊ法段
設定手段５に入力されるようにＪっていてもよい。この
偏位′ＮＪＮ投法手段３５により前記偏位寸法Ｈに相当
する電気量Ｅ（Ｈ）が設定され、円弧誤差補正手段３１
では、これに人力される電気量Ｅ　（ｘ）　、　Ｅ　（
ｙ）　、　Ｅ（ΔＨ）、Ｅ　（Ｈ）に前出の式（１）或
いはこの近似式を用いる等して必要な演算が施されてＥ
（ｙ′）およびＥ（ｙ′）が算出され、これらがＸ−Ｙ
レコーダ等の記録Ａ１．３６に入力されて測定結果が記
録される。Further, E (y) is manually input to the arc error correction means 31,
E(ΔH) is input to the deviation display device 34, and ΔH is displayed on the deviation display device 34. However, E(ΔH) can be input to the arc error correction means 31 or the deviation=j modulus setting, if necessary. The information may be inputted to the means 5. The electric quantity E (H) corresponding to the deviation dimension H is set by the deviation 'NJN projection means 35, and the arc error correction means 31
Then, the amount of electricity that is manually applied to this is E (x), E (
y), E(ΔH), and E(H) are subjected to necessary calculations, such as using the above formula (1) or this approximate formula, to obtain E.
(y') and E(y') are calculated, and these are X-Y
The measurement result is inputted to a recorder A1.36 such as a recorder, and the measurement result is recorded.

ここで、円弧誤差補正手段３１で施される演算式の一例
を示せば次の通りである。Here, an example of the calculation formula performed by the arc error correction means 31 is as follows.

Ｅ（！　’）＝　Ｅ＋ｘ）−Ｅ（δン ＝Ｅ（ｘ）−（Ｅ山所式Ｐ−丁一匠η？）＝　Ｅ（ス） ・・・・　（２） Ｅ（Ｙ　’）　”　Ｅ（ＹＪ±（Ｅ＜Ｈ＞十Ｅ（ΔＨ）
）　・・・・　（３）式（２）、（：３）中Ｅ（δ）、
Ｅ（１）は大々円弧誤差δ、アーＬ、　ｌの長さｌに相
当する電気部である。なお、円弧＋ｊ！ｌ差補！Ｉ−ｒ
段３１は電気式＝限らす、例えばリンク機構等を用いた
機械式のものであってもよい。機械式である場合、ずれ
ΔＨを直接円弧１σ（差の補１［操作に利用するもので
なければ、スタイラス２を調整或いは交換する等してΔ
Ｈが、４容される範囲内まで調整し直す等してもよい。E(!')= E+x)-E(δn=E(x)-(Eyamasho style P-Ding Issho η?)=E(su)...(2) E(Y')"E(YJ±(E<H>10E(ΔH)
)... (3) E(δ) in formula (2), (:3),
E(1) is an electrical part corresponding to the length l of the circular arc error δ, L, l. In addition, arc +j! l difference! I-r
The stage 31 is not limited to an electric type, but may be a mechanical type using a link mechanism, for example. In the case of a mechanical type, the deviation ΔH can be directly calculated by adjusting the arc 1σ (complementary difference 1 [if not used for operation, adjust or replace the stylus 2, etc.)
The adjustment may be made so that H is within the range of 4 volumes.

このような本実施例によれば次のような効果がある。This embodiment has the following effects.

（５）偏位寸法基準体２４と偏位寸法検出器（Ｙ方向検
出器２２）とを１１チけであるため、スタイラス２の先
端の＋１−確な位置、別詐すれば、スタイラス２の１１
÷確な長さを確認することができる。しかも、偏位；］
法検査面２４を設けるだけで、輪郭測定のために本来的
に備えられているＹ方向検出器２２を偏位＝Ｊ法検出器
として兼用できる。従って、極めて簡ｒｌ′Ｉな構造を
伺加するだけで偏位＼Ｊ′法Ｉ（からのずれΔＨを確認
することができる。(5) Since the deflection dimension reference body 24 and the deflection dimension detector (Y direction detector 22) are only 11 pieces, the tip position of the stylus 2 is +1 - accurate. 11
÷You can check the exact length. Moreover, the deviation;]
By simply providing the method inspection surface 24, the Y direction detector 22, which is originally provided for contour measurement, can also be used as a deviation=J method detector. Therefore, it is possible to confirm the deviation ΔH from the deviation \J' method I (by simply adding an extremely simple structure.

＋ｂ）偏位＝Ｊ法基準体２３はアーム支持体２１に着脱
可能に取伺けられているため、この偏位寸法基準体２３
を種々の＝Ｊ法のものと交換することにより、検査面２
４を種々の値に設定することができる。そのため、スタ
イラス２の長さに応じたスタイラス２の先端の基＊！ｌ
ａＴからの正確な偏位寸沃位：Ｍｔ（或いはスタイラス
２の実Ｘｊ法）を確認することができ、スタイラス２の
長さ別の種類を増大させることができ、１１つ、各個の
製造も容易なものとさせても測定精度」二問題がない。+b) Deflection = Since the J method reference body 23 is removably attached to the arm support 21, this deviation dimension reference body 23
By replacing with those of various =J methods, the inspection surface 2
4 can be set to various values. Therefore, the base of the tip of the stylus 2 according to the length of the stylus 2 *! l
Accurate deviation position from aT: Mt (or the actual Xj method of stylus 2) can be confirmed, the length of stylus 2 can be increased by different types, and 11 and each individual manufacturing method can be confirmed. Even if it is made easy, there are no problems with measurement accuracy.

〈６）設定した偏位；Ｊ法ＨからのずれΔＨをも円弧謂
差補ＩＬ回路３１における補正操作に利用するもである
ため、この点からも、正確なＪｌｌｌｌｌｌ全結果こと
ができる。この場合、 （１）円弧誤差補正手段３１が電気式であるときは特に
次のような効果がある。(6) Set deviation: Since the deviation ΔH from the J method H is also used for the correction operation in the arc correction IL circuit 31, from this point as well, accurate Jllllllll results can be obtained. In this case: (1) When the arc error correction means 31 is of an electric type, the following effects are particularly obtained.

■、基準＃ｉＡＴにスタイラス２の先端を一致させる方
法でも、Ｈだけずらせる方法でも、ΔＨを調整できるか
ら正確ａｌｌｌ定ができる。(2) Whether by aligning the tip of the stylus 2 with the reference #iAT or by shifting it by H, ΔH can be adjusted, so all can be determined accurately.

１１、自動補正を°行わせて（第４図中破線部参照）Δ
Ｉ］を都度手調整しなくともよいようにできる。11. Perform automatic correction ° (see broken line in Figure 4) Δ
[I] does not have to be manually adjusted each time.

（２）円弧誤差補止手段３１か機械式であるときは、偏
位；ｊ゛法検査面２４にスタイラス２の先端を・！つ接
させたときの偏位寸法検出器としてのＹ方向検出器２２
を指標としながら、スタイラス２の交換等を行うことが
でき、その後誤差なく測定できる。(2) When the arc error correction means 31 is mechanical, the tip of the stylus 2 is placed on the inspection surface 24 using the deflection method. Y direction detector 22 as a deviation dimension detector when brought into contact with each other
Using this as an index, the stylus 2 can be replaced, etc., and subsequent measurements can be made without error.

なお、実施にあたり、偏位鷲」法検査面２４にスタイラ
ス２を当接させたときのアーＡ　１の傾斜角度を検出す
る偏位；ｊ法検出器は前記Ｙ方向検出器２２が兼用され
る場合に限らず、Ｙ方向検出器２２とは別個に設けても
よい。＜Ｈし、このＹ方向検出器２２を兼用させれば、
巾に切換手段３２を操作するだけで本来的な測定値であ
るＹ方向の偏位および偏位＼Ｊ法ＨからのずれΔＨを共
にめることができるため、極めて便宜である。In addition, in carrying out the method, the Y direction detector 22 is also used as the deflection/j method detector that detects the inclination angle of A1 when the stylus 2 is brought into contact with the inspection surface 24. It is not limited to this case, and it may be provided separately from the Y direction detector 22. <H, and if this Y direction detector 22 is also used,
This is extremely convenient because the deviation in the Y direction and the deviation ΔH from the deviation\J method H, which are the original measured values, can be calculated together by simply operating the switching means 32 in the width direction.

また、偏位＝Ｊ法検査体２３はアーム支持体２１に固Ｗ
的に取伺けられる等してもよいか、交換Ｉ＋）能でｉ′
れば被Δｌｉｔ定物２６の測定に対して邪魔になる恐れ
がないとともに、偏位寸法Ｈを種々の値に設定できると
いう効果がある。In addition, the deflection=J method inspection body 23 is fixed to the arm support 21.
Is it okay to ask someone about this, etc.?
This has the effect that there is no risk of interfering with the measurement of the Δlit constant object 26, and that the deviation dimension H can be set to various values.

［発明の効果］ 」二連のように本発明によれば、スタイラス先端の正確
な位置を容易に確認することができ、高精度な測定結果
を得ることができる輪郭測定機を゛提供できる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, it is possible to provide a contour measuring machine that can easily confirm the exact position of the tip of the stylus and can obtain highly accurate measurement results.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は動作状態にあるスタイラスを拡大して示す側面
図、第２図は静止状態にある前記以外のスタイラスを拡
大して示す側面図、第３図は本発明に係る輪郭測定機の
一実施例の全体構成を示す側面図、第４図は前記実施例
の電気系統を示すブロフク図である。 １・・・アーム、２・・・スタイラス、１８・・・Ｘ方
向検出器、２１・・・アーム支持体、２２・・・Ｙ方向
検出器、２３・・・偏位寸法基準体、２４・・・偏位寸
法基準面、２６・・・被測定物、３１・・・円弧誤差補
正手段、３３・・・測定／検査切換手段、３５・・・偏
位寸法設定１段、３６・・・記録計。 第１図 第２図 第３図 ４FIG. 1 is an enlarged side view of a stylus in an operating state, FIG. 2 is an enlarged side view of a stylus other than the above in a resting state, and FIG. 3 is a side view of a contour measuring machine according to the present invention. FIG. 4 is a side view showing the overall configuration of the embodiment, and FIG. 4 is a block diagram showing the electrical system of the embodiment. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Arm, 2... Stylus, 18... X direction detector, 21... Arm support body, 22... Y direction detector, 23... Deflection dimension reference body, 24... ...Displacement dimension reference plane, 26...Measurement object, 31...Circular error correction means, 33...Measurement/inspection switching means, 35...Displacement dimension setting 1 stage, 36... Recorder. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】 （１，）先グみ；側にスクイラスを有するアーｌ、を基
端側の回動支点を中心にしてアーｌ−支持体に回動１’
−１４１に支１’ｌｌ＋シ、スクイラスを被４１１１疋
物に出接させなから被４１す宝物と７−１、支持体とを
所′Ａテ方向に相ダｌ移動させたときのア−ｌ、の前胴
角度をＹ方向検出器で検出するとともに、アーＬ、の円
弧ｉ下切に起因するｌ’ｌ弧＋、′！’ｊ　／Ｙｊを抽
＋Ｉするｌ’ｌ弧誤差補ｔ１ｒ段をぴ１１えた輪郭側）
ジ機にわいて、前記相対移動方向と・１・１■Ｃ前記回
動支点を通ｌｌ１ｌｉ＋するノ、（準線からの偏イ：ｔ
　ｚＪ法か１１４知の偏イ１“ｔ・］／）、検査面を設
け、かつ　この偏イ）”７・ｊ法検査面にスタイラスを
当接させたときのア−ｌ・の傾ネ４角度を検出する偏佼
；１法検出器を設けた、−とを＋１％徴と４−る輪郭Ａ
ｌ１１定機。 ｔ、”　）　４’ｌ’　＋Ｍ、請求の範囲第ｔ　ｑ＋に
おいて、前記偏位、１ツノ、検出！：りは、前記Ｙ方向
検出器を兼用することを！ｔ！＋　を贅と噌る輪郭側疋
機。 （３）’ｔ！ｌ：蒐１請求の範囲第１り１または第２　
ｘｎにおいて、前記偏位−ｊツノ；検査面を、前記アー
ノー１支１１体に着１１（３可能に取（＝１ける偏位＝
Ｊｌ〕、検貞体に形成増−ることを特徴とする輪郭４１
１１定機。[Scope of Claims] (1,) Tip: Rotate the arm with the stylus on the side 1' to the arm support around the rotational fulcrum on the proximal end side.
-141 supports 1'll+shi, Squillus does not come into contact with the object 4111, and the treasure 41 and 7-1, when the support body is phase-moved in the direction of A-1. The front trunk angle of , is detected by the Y-direction detector, and the l'l arc +, '! caused by the lower cut of the arc i of A L, ! 'j/Yj + I l'l arc error compensation t1r stage (contour side)
For the machine, the direction of relative movement and the rotational fulcrum point are 1.1C.
If the stylus is brought into contact with the inspection surface using the zJ method or the 114 method, an inspection surface is provided, and the stylus is brought into contact with the inspection surface using the zJ method. Deflection for detecting angle; 1 method: Contour A with - and +1% sign provided with 4- method detector
l11 regular machine. t, ”) 4'l' +M, in the claim tq+, the deviation, 1 horn, detection!: ri, the Y direction detector is also used!t!+ is extravagantly Contour side gutter machine. (3)'t!l: 蒐1 Claims 1st 1st or 2nd
At xn, the deviation -j horn;
Jl], outline 41 characterized by increasing formation in the body of the examiner
11 fixed machine.