JPS60179925A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic recording medium having excellent corrosion resistance and durability by forming a thin ferromagnetic metallic film consisting essentially of Co on a base body then forming a protective layer consisting of ferromagnetic metallic oxide consisting essentially of Co in a gaseous O2 atmossphere. CONSTITUTION:A ferromagnetic metallic material 14 is deposited by evaporation on a base body film 5 while said film is delivered from a stock roll 6 and is moved along a can 3 in a vacuum vessel 1 of a vapor deposition device provided adjacently with the vacuum vessels 1, 2 thereby forming a thin ferromagnetic metallic film 15. Such base body is fed to the vessel 2 and while the base body is fed along a can 4, an inert gas contg. gaseous O2 is supplied through an introducing pipe 18 and a ferromagnetic metallic oxide layer consisting essentially of Co is formed as a protective layer 19. The deterioration in the magnetic characteristic of the magnetic metallic layer 15 by the effect of oxygen in air, etc. is thus prevented and the magnetic recording medium having good adhesiveness between the protective layer 19 and the layer 15 and excellent durability is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体およびその製造方法に関し、さらに詳しくは強磁性金
属薄膜層上にさらに強磁性金属の酸化物からなる保護膜
層を設けた前記の磁気記録媒体およびその製造方法に関
する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer as a recording layer, and a method for manufacturing the same, and more specifically to a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer as a recording layer. The present invention relates to the above-mentioned magnetic recording medium provided with a protective film layer consisting of the same, and a method for manufacturing the same.

〔背景技術〕[Background technology]

強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記録媒体は、
通富、金属もしくはそれらの合金などを真空蒸着等によ
って基体フィルム上に被着してつくられ、高密度記録に
適した特性を有するが、反面空気中の酸素によって酸化
され易く、この酸化によって最大磁束密度などの磁気特
性が劣化するなどの雌点がある。A magnetic recording medium whose magnetic recording layer is a ferromagnetic metal thin film layer is
It is made by depositing metals or their alloys on a base film by vacuum deposition, etc., and has characteristics suitable for high-density recording, but on the other hand, it is easily oxidized by oxygen in the air, and this oxidation causes maximum There are negative points such as deterioration of magnetic properties such as magnetic flux density.

このため、従来から強磁性金属薄膜層上に、非磁性金属
からなる保護膜層を設けたり、あるいは強磁性金属薄膜
層を構成する強磁性金属の柱状結晶の表面を酸化して強
磁性金属の酸化物層で覆ったり（特公昭５６−２３２０
８号）して耐食性を改善することが行われている。とこ
ろが、非磁性金属からなる保護膜層を設ける方法では保
護膜層が強磁性金属とは全く異なるものであるため強磁
性金属薄膜層との接着性が良好でなく、磁気ヘツド等と
の摺接によって剥離する場合もあって耐久性に劣り、ピ
ンホール等も生じ易くて耐食性も充分に改善されない。For this reason, conventional methods have been to provide a protective film layer made of non-magnetic metal on the ferromagnetic metal thin film layer, or to oxidize the surface of the ferromagnetic metal columnar crystals that make up the ferromagnetic metal thin film layer. covered with an oxide layer (Special Publication No. 56-2320)
No. 8) to improve corrosion resistance. However, in the method of providing a protective film layer made of non-magnetic metal, the protective film layer is completely different from ferromagnetic metal, so the adhesion with the ferromagnetic metal thin film layer is not good, and sliding contact with magnetic heads, etc. In some cases, it may peel off, resulting in poor durability, pinholes, etc. are likely to occur, and corrosion resistance is not sufficiently improved.

また強磁性金属の柱状結晶の表面を強磁性金属の酸化物
層で覆う方法では、酸化によって柱状結晶が小さくなり
、表面積が大きくなるため、酸化が進行するほどかえっ
て耐食性が悪くなる傾向があり、耐食性は充分に改善さ
れない。In addition, in the method of covering the surface of columnar crystals of ferromagnetic metal with a layer of ferromagnetic metal oxide, the columnar crystals become smaller due to oxidation and the surface area increases, so the more oxidation progresses, the worse the corrosion resistance tends to be. Corrosion resistance is not sufficiently improved.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明はかかる現状に鑑み種々検討を行った結果なさ
れたもので、その目的とするところは基体上の強磁性金
属薄膜層」二に強磁性金属薄膜層と同じ強磁性金属の酸
化物からなる保護膜層を設けることにより、耐食性およ
び耐久性に優れた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体を提供
することにある。This invention was made as a result of various studies in view of the current situation, and its purpose is to create a ferromagnetic metal thin film layer on a substrate, which is made of the same ferromagnetic metal oxide. The object of the present invention is to provide a ferromagnetic metal thin film magnetic recording medium that has excellent corrosion resistance and durability by providing a protective film layer.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明は、基体上にコバルトを主成分とする強磁性金
属からなる強磁性金属薄膜層を形成し、しかる後、酸素
ガス雰囲気中でコバルトを主成分とする強磁性金属を真
空蒸着して、コバルトを主成分とする強磁性金属の酸化
物からなる保護膜層を形成し、強磁性金属薄膜層上に強
磁性金属薄膜層と同じコバルトを主成分とする強磁性金
属の酸化物からなる保護膜層を設けたものであり、強磁
性金属薄ＮＯＲとの接着性を良好にして耐久性を改善し
、かつ耐食性を充分に向上したものである。This invention involves forming a ferromagnetic metal thin film layer made of a ferromagnetic metal mainly composed of cobalt on a substrate, and then vacuum-depositing a ferromagnetic metal mainly composed of cobalt in an oxygen gas atmosphere. A protective film layer made of a ferromagnetic metal oxide containing cobalt as a main component is formed on the ferromagnetic metal thin film layer, and a protection film layer made of a ferromagnetic metal oxide containing cobalt as a main component is formed on the ferromagnetic metal thin film layer. A film layer is provided, which improves the adhesion to the thin ferromagnetic metal NOR, improves durability, and sufficiently improves corrosion resistance.

以下、図面を参照しながら説明する。This will be explained below with reference to the drawings.

第１図はこの発明の磁気記録媒体を製造する真空蒸着装
置の１例の概略断面図をポしたものであり、１および２
は真空槽で隣接して設けられている。３は真空槽１の中
央部に配設された円筒状キャン、４ば真空槽２の中央部
に配設された円筒状キャンであり、ポリエステルフィル
ム等の基体５は原反ロール６よりガイドロール７を介し
て円筒状キャン３の周側面に沿って移動し、さらにガイ
ドロール８，９および真空槽２内のガイドロールＩＯを
介して円筒状キャン４の周側面に沿って移動し、ガイド
ロール１１を介して巻き取りロール１２に巻き取られる
。この間真空槽１内の円筒状キャン３の周側面に沿って
移動する基体５に対して、真空槽１の下部に配設した強
磁性材蒸発源１３からコバルトを主成分とする強磁性金
属１４が加熱蒸発され、基体５上に第２図に示すような
コバルトを主成分とする強磁性金属の柱状結晶からなる
強磁性金属薄膜層１５が形成される。そして続い“ζ強
磁性金属薄膜層１５が形成された基体５が真空槽２内の
円筒状キャン４の周側面に沿って移動する間に、真空槽
２の下部に配設した強磁性材蒸発源１６からコバルトを
主成分とする強磁性金属１７が加熱蒸発されると同時に
真空槽２の側壁に取りつけたガス導入管１８から酸素ガ
スが導入され、第２図に示すように強磁性金属薄膜層１
５上にさらにコバルトを主成分とする強磁性金属の酸化
物からなる保護膜層１９が形成される。２０および２１
はそれぞれ真空槽１および２に取りつりられた排気系で
あり、真空槽１および２はこれら−の排気系２０および
２１によって所定の真空度に真空排気される。FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of one example of a vacuum evaporation apparatus for manufacturing the magnetic recording medium of the present invention, and shows 1 and 2.
are located adjacent to each other in a vacuum chamber. 3 is a cylindrical can disposed in the center of the vacuum chamber 1; 4 is a cylindrical can disposed in the center of the vacuum chamber 2; 7, along the circumferential side of the cylindrical can 3, and further moves along the circumferential side of the cylindrical can 4 via guide rolls 8, 9 and the guide roll IO in the vacuum chamber 2, 11 and then wound onto a take-up roll 12. During this time, a ferromagnetic metal 14 containing cobalt as a main component is sent from a ferromagnetic material evaporation source 13 disposed at the bottom of the vacuum chamber 1 to the base 5 moving along the circumferential side of the cylindrical can 3 in the vacuum chamber 1. is heated and evaporated, and a ferromagnetic metal thin film layer 15 made of columnar crystals of a ferromagnetic metal containing cobalt as a main component is formed on the substrate 5 as shown in FIG. Then, while the substrate 5 on which the ferromagnetic metal thin film layer 15 is moved along the circumferential side of the cylindrical can 4 in the vacuum chamber 2, the ferromagnetic material disposed at the bottom of the vacuum chamber 2 evaporates. A ferromagnetic metal 17 whose main component is cobalt is heated and evaporated from a source 16, and at the same time oxygen gas is introduced from a gas introduction tube 18 attached to the side wall of the vacuum chamber 2, forming a ferromagnetic metal thin film as shown in FIG. layer 1
A protective film layer 19 made of a ferromagnetic metal oxide containing cobalt as a main component is further formed on the ferromagnetic metal oxide. 20 and 21
are exhaust systems attached to vacuum chambers 1 and 2, respectively, and vacuum chambers 1 and 2 are evacuated to a predetermined degree of vacuum by these exhaust systems 20 and 21.

このように基体５上にはコバルトを主成分とする強磁性
金属からなる強磁性金属薄膜層１５が一旦形成され、し
かる後、この強磁性金属薄膜層１５上に強磁性金属薄膜
層を形成したのと同じコバルト主成分とする強磁性金属
の酸化物からなる保護膜層１９が形成されるため、強磁
性金属の酸化物からなる保護膜層１９の強磁性金属薄膜
層１５に対する接着性がよく、耐久性が改善される。ま
た強磁性金属薄膜層１５ば柱状結晶の表面が酸化される
のではなく、コバルトを主成分とする強磁性金属の柱状
結晶で構成された強磁性金属薄膜層１５上に強磁性金属
の酸化物からなる保護膜層１９が形成され、この保護膜
層１９によって強磁性金属薄膜層１５の表面が完全に覆
われるため、強磁性金属薄膜１’ｔｉ’ｉ　１５を構成
する柱状結晶が小さくなることもなく、強磁性金属薄膜
Ｊｔｉ１５の耐食性が充分に向」ニされ、酸化が進行す
るほど耐食性は良好になる。In this way, the ferromagnetic metal thin film layer 15 made of a ferromagnetic metal containing cobalt as a main component was once formed on the substrate 5, and then a ferromagnetic metal thin film layer was formed on this ferromagnetic metal thin film layer 15. Since the protective film layer 19 made of ferromagnetic metal oxide having cobalt as the main component is formed, the adhesion of the protective film layer 19 made of ferromagnetic metal oxide to the ferromagnetic metal thin film layer 15 is good. , durability is improved. In addition, the surface of the columnar crystal of the ferromagnetic metal thin film layer 15 is not oxidized, but the ferromagnetic metal oxide is formed on the ferromagnetic metal thin film layer 15, which is composed of columnar crystals of a ferromagnetic metal whose main component is cobalt. Since the surface of the ferromagnetic metal thin film layer 15 is completely covered by the protective film layer 19, the columnar crystals constituting the ferromagnetic metal thin film 1'ti'i 15 become smaller. Therefore, the corrosion resistance of the ferromagnetic metal thin film Jti15 is sufficiently improved, and the more the oxidation progresses, the better the corrosion resistance becomes.

このようにして強磁性金属薄膜Ｎ１５上に強磁性金属の
酸化物からなる保護膜層１９を形成する際、真空槽２内
におりる酸素ガスのガス圧は、５ＸＩＯ−１−ルー５Ｘ
１０−’トールの範囲内にするのが好ましく、６Ｘ１０
−’）−ルより低くすると非磁性酸化物が形成されず、
５Ｘ’ＩＯ−”トールより高くすると電子銃を作動させ
ることができない。When forming the protective film layer 19 made of ferromagnetic metal oxide on the ferromagnetic metal thin film N15 in this way, the gas pressure of the oxygen gas flowing into the vacuum chamber 2 is 5XIO-1-5X
Preferably within the range of 10-' torr, 6X10
-') - If the temperature is lower than 1, no non-magnetic oxide will be formed;
If the value is higher than 5X'IO-'' toll, the electron gun cannot be operated.

また、強磁性金属薄膜層１５１に形成される強磁性金属
の酸化物からなる保護膜層１９の厚みは、５０〜３００
人の範囲内であることが好ましく、５０人より薄くては
耐食性を充分に向上させることができず、３００人より
厚くするとこの強磁性金属の酸化物からなｐ保護膜層が
非磁性であるためスペーシングロスが大きくなって電磁
変換特性に悪影響を及ばずおそれがある。Further, the thickness of the protective film layer 19 made of ferromagnetic metal oxide formed on the ferromagnetic metal thin film layer 151 is 50 to 300 mm.
It is preferable that the thickness is within the range of 50 mm.If it is thinner than 50 mm, corrosion resistance cannot be sufficiently improved, and if it is thicker than 300 mm, the p protective film layer made of ferromagnetic metal oxide is non-magnetic. Therefore, the spacing loss may increase and the electromagnetic conversion characteristics may not be adversely affected.

強磁性金属″！／ｓ膜層の形成材料としては、コバルト
の他、コバルトにＮｉ、、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｓｉ、ＡＩ、Ｐ
ｄ等の元素を含有させたコバルトを主成分とする合金が
好ましく使用され、これらのコバルトを主成分とする強
磁性金属からなる強磁性金属薄膜層は、真空蒸着の他、
イオンブレーティング、スパッタリング、メッキ等の手
段によっても基体上に被着形成される。In addition to cobalt, the materials for forming the ferromagnetic metal ``!/s film layer include cobalt with Ni, Fe, Cr, Si, AI, and P.
Cobalt-based alloys containing elements such as d are preferably used, and these ferromagnetic metal thin film layers made of cobalt-based ferromagnetic metals can be formed by vacuum deposition,
It can also be deposited on the substrate by means such as ion blasting, sputtering, and plating.

また、強磁性金属薄膜層上にさらに形成する強磁性金属
の酸化物からなる保護膜層の形成材料としては、前記の
強磁性金属薄膜層の形成材料と全く同じものが好適なも
のとして使用され、この保護膜層は酸素ガス雰囲気中で
真空蒸着することによって強磁性金属薄膜層上に被着形
成される。Furthermore, as the material for forming the protective film layer made of a ferromagnetic metal oxide to be further formed on the ferromagnetic metal thin film layer, the same material as that for the above-mentioned ferromagnetic metal thin film layer is preferably used. This protective film layer is deposited on the ferromagnetic metal thin film layer by vacuum deposition in an oxygen gas atmosphere.

基体としては、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等一般に使用されている高分子成形物からなるプラスチ
ックフィルム 磁性金属からなる金属フィルムが使用される。As the substrate, a plastic film made of commonly used polymer moldings such as polyester, polyimide, polyamide, etc., and a metal film made of magnetic metal are used.

〔実施例〕〔Example〕

次に、この発明の実施例について説明する。 Next, embodiments of the invention will be described.

実施例１ 第１図に示す真空蒸着装置を使用し、厚さ１０μのポリ
エステルフィルム５を原反ロール６よりガイドロール７
を介して円筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、さ
らにガイドロール８，９および真空槽２内のガイドロー
ル１０を介して円筒状キャン４の周側面に沿って移動さ
せ、巻き取りロール１２に巻き取るようにセットした。Example 1 Using the vacuum evaporation apparatus shown in FIG.
It is moved along the circumferential side of the cylindrical can 3 via the guide rolls 8 and 9 and the guide roll 10 in the vacuum chamber 2, and then moved along the circumferential side of the cylindrical can 4 via the guide rolls 8 and 9 and the guide roll 10 in the vacuum chamber 2. I set it to wind up at 12.

同時に真空槽１内の強磁性材蒸発源１３内に００１４を
セットし、真空槽２内の強磁性材蒸発源１６内に同じＣ
ｏ’１７をセットした。次いで、排気系２０で真空槽ｌ
内をＩＸＩＯ−’）−ルまで真空排気し、また排気系２
１で真空槽２内をｉｘｉｏ−’トールまで真空排気する
とともにガス導入管１８から真空槽２内に酸素ガスを導
入して酸素ガス圧をＩＸＩＯ−’トールとし、真空槽ｌ
の強磁性材蒸発源１３内の００１４を加熱蒸発してポリ
エステルフィルム５上にＣＯからなる厚さが１０００人
の強磁性金属薄膜層１５を形成し、次いで、真空槽２の
強磁性材蒸発ｉＪＭ１６内のＣ０１７を加熱蒸発して前
記のＣｏからなる厚さが１０００人の強磁性金属薄膜ｉ
ｉ１５上に、Ｃｏの酸化物からなる厚さが２００人の保
護膜層１９を形成した。この保護膜層はＥＳＣＡおよび
電子線回折の解析の結果、Ｃｏ３０４であることが判明
した。しかる後、所定の１Ｊに裁断して磁気テープをつ
くった。At the same time, set 0014 in the ferromagnetic material evaporation source 13 in the vacuum chamber 1, and set the same C in the ferromagnetic material evaporation source 16 in the vacuum chamber 2.
I set o'17. Next, the exhaust system 20 opens the vacuum chamber l.
Evacuate the interior to the IXIO-')-le, and exhaust system 2
At step 1, the inside of the vacuum chamber 2 is evacuated to ixio-' torr, and oxygen gas is introduced into the vacuum chamber 2 from the gas introduction pipe 18 to make the oxygen gas pressure IXIO-' torr, and the vacuum chamber is evacuated to ixio-' torr.
0014 in the ferromagnetic material evaporation source 13 is heated to evaporate to form a ferromagnetic metal thin film layer 15 made of CO with a thickness of 1000 on the polyester film 5, and then the ferromagnetic material evaporation iJM 16 in the vacuum chamber 2 By heating and evaporating the C017 in
A protective film layer 19 made of Co oxide and having a thickness of 200 mm was formed on the i15. As a result of ESCA and electron diffraction analysis, this protective film layer was found to be Co304. After that, it was cut into a predetermined size of 1J to make a magnetic tape.

実施例２ 実施例１において、真空槽２内の酸素ガスのガス圧をＩ
ＸＩＯ−’）−ルからｔｘｔｏ−！ｉトールに唆更した
以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくった。こ
のときのＣＯの酸化物からなる保護膜層は、ＥＳＣＡお
よび電子線回折の解析の結果、Ｃｏ３０４およびＣｏｏ
であることが判明した。Example 2 In Example 1, the gas pressure of oxygen gas in the vacuum chamber 2 was
XIO-')-le to txto-! A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the i-thor was used. As a result of ESCA and electron diffraction analysis, the protective film layer made of CO oxide at this time was found to be composed of Co304 and Co304.
It turned out to be.

実施例３ 実施例１において、真空槽２の強磁性相蒸発源１６内に
セットする強磁性金属をＣｏからＣｏ　−Ｃｒ合金（重
量比９’１３）に変更した以外は、実施例１と同様にし
て磁気テープをつくった。このときのＣｏ−Ｃｒ合金の
酸化物からなる保護膜層は、ＥＳＣＡおよび電子線回折
の解析の結果、Ｃｏ３０４およびＣｒ２０３であること
が判明した。Example 3 Same as Example 1 except that the ferromagnetic metal set in the ferromagnetic phase evaporation source 16 of the vacuum chamber 2 was changed from Co to a Co-Cr alloy (weight ratio 9'13). and made magnetic tape. As a result of ESCA and electron diffraction analysis, it was found that the protective film layer made of the Co--Cr alloy oxide was Co304 and Cr203.

比較例１ 実施例１において、真空槽２の強磁性材蒸発源１６内に
、強磁性金属ｃｏに代えてＡ１を七ソ１〜した以外は、
実施例１と同様にして磁気テープをつくった。このとき
のＡＩの酸化物からなる保護１ｉＪｆｉは、ＥＳＣＡお
よび電子線回折の解析の結果、Ａｌ２Ｏ３であることカ
ー判明した。Comparative Example 1 In Example 1, except that A1 was placed in the ferromagnetic material evaporation source 16 of the vacuum chamber 2 in place of the ferromagnetic metal co,
A magnetic tape was made in the same manner as in Example 1. As a result of ESCA and electron diffraction analysis, it was found that the protected layer 1iJfi consisting of an oxide of AI was Al2O3.

比較例２ 第３図に示すように、真空槽２２内に円筒状キャン２３
を配設し、基体５を原反ロール２４からガイドロール２
５を介して円筒状キャン２３の周側面に沿って移動させ
、ガイドロール２６を介して巻き取りロール２７に巻き
取るようにし、かっ血空槽２２の側壁ビガス導入管２８
を取りつけた真空蒸着装置を使用し、真空槽２２の下部
に配設した強磁性材蒸発源２９内にＣｏ３０をセ・ノド
するとともにガ゛ス導入管２８から酸素ガスを導入し、
酸素ガス圧をｌＸｌ０−５）−ルにして強磁性材蒸発源
２９内の００３０を加熱蒸発して真空蒸着を行い、基体
５上に表面が酸化された柱状結晶のＣｏで構成された強
磁性金属薄膜層を形成した。Comparative Example 2 As shown in FIG.
The substrate 5 is moved from the raw roll 24 to the guide roll 2.
5, along the circumferential side of the cylindrical can 23, and is wound up on a take-up roll 27 via a guide roll 26, and the big gas inlet pipe 28 on the side wall of the blood congestion tank 22 is moved along the circumferential side of the cylindrical can 23.
Using a vacuum evaporation device equipped with a vacuum evaporator, Co30 is injected into a ferromagnetic material evaporation source 29 disposed at the bottom of a vacuum chamber 22, and oxygen gas is introduced from a gas introduction pipe 28.
The 0030 in the ferromagnetic material evaporation source 29 is heated and evaporated at an oxygen gas pressure of 1X10-5) to perform vacuum deposition, and a ferromagnetic material composed of Co columnar crystals with an oxidized surface is deposited on the substrate 5. A metal thin film layer was formed.

しかる後、所定の中に裁断して磁気テープをつくった。After that, they were cut into predetermined sizes to make magnetic tape.

比較例３ 実施例１において、真空槽２内での酸素ガス雰囲気下に
おけるＣ、ｏの真空蒸着を省き、保護膜層の形成を省い
た以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくった。Comparative Example 3 A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1, except that the vacuum deposition of C and O in an oxygen gas atmosphere in the vacuum chamber 2 was omitted and the formation of the protective film layer was omitted. .

各実施例および各比較例で得られた磁気テープについて
、摩擦測定機を用い、２０℃、５０％Ｒ１（の恒温恒湿
槽内で、磁気テープを１００回摺動させて摩擦係数の変
化を測定し、耐久性を調べた。また、得られた磁気テー
プを６０℃、９０％ＲＨΦ条件下に放置し、時間の経過
に伴う最大磁束密度の劣化率を、放置前の磁気テープの
最大磁束密度を１００％として測定し、耐食性を調べた
。The magnetic tapes obtained in each example and each comparative example were slid 100 times in a constant temperature and humidity chamber at 20°C and 50% R1 using a friction measuring machine to measure changes in the coefficient of friction. The obtained magnetic tape was left under conditions of 60°C and 90% RHΦ, and the deterioration rate of the maximum magnetic flux density over time was evaluated as the maximum magnetic flux of the magnetic tape before being left unused. The density was set as 100% and the corrosion resistance was examined.

第４図は摩擦係数の変化を、また第５図は最大磁束密度
の劣化率の変化をそれぞれグラフで表したもので、それ
ぞれグラフＡは実施例１で得られた磁気テープ、グラフ
Ｂは実施例２で得られた磁気テープ、グラフＣは実施例
３で得られた磁気テープ、グラフＤは比較例１で得られ
た磁気テープ、グラフＥは比較例２で得られた磁気テー
プ、グラフＦは比較例３で得られた磁気テープを示す。Figure 4 graphs the changes in the coefficient of friction, and Figure 5 graphs the changes in the deterioration rate of the maximum magnetic flux density. Graph A is the magnetic tape obtained in Example 1, and graph B is the graph obtained from the magnetic tape obtained in Example 1. The magnetic tape obtained in Example 2, graph C is the magnetic tape obtained in Example 3, graph D is the magnetic tape obtained in Comparative Example 1, graph E is the magnetic tape obtained in Comparative Example 2, graph F shows the magnetic tape obtained in Comparative Example 3.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

第４図および第５図に示すグラフから明らかなように比
較例１ないし３で得られた磁気テープは、摺動回数が多
くなるにつれて摩擦係数が高くなり、耐久性が悪いが、
この発明で得られた磁気テープ（実施例１〜３）はいず
れも１００回ＩＲ動後も摩擦係数はほとんど変化せず、
このことからこの発明によって得られる磁気記録媒体は
強磁性金属の酸化物からなる保護膜層の強磁性金属薄膜
層に対する接着性が改善された結果、耐久性に優れてい
ることがわかる。また、最大磁束密度の劣化率も同様に
、比較例１ないし３で得られた磁気テープは、時間の経
過に伴って劣化率が非者シに大きくなるが、この発明で
得られた磁気テープ（実施例１〜３）はいずれも時間が
経過してもそれほど劣化率が大きくならず、このことか
らこの発明によって得られる磁気記録媒体は耐食性に優
れていることがわかる。As is clear from the graphs shown in FIGS. 4 and 5, the magnetic tapes obtained in Comparative Examples 1 to 3 have a higher friction coefficient as the number of sliding increases, and have poor durability.
All of the magnetic tapes obtained by this invention (Examples 1 to 3) showed almost no change in friction coefficient even after 100 IR motions.
This shows that the magnetic recording medium obtained by the present invention has excellent durability as a result of the improved adhesion of the protective film layer made of a ferromagnetic metal oxide to the ferromagnetic metal thin film layer. Similarly, the deterioration rate of the maximum magnetic flux density of the magnetic tapes obtained in Comparative Examples 1 to 3 increases significantly over time, but the deterioration rate of the magnetic tapes obtained by the present invention In all of Examples 1 to 3, the deterioration rate did not increase so much over time, and this shows that the magnetic recording medium obtained by the present invention has excellent corrosion resistance.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図はこの発明の磁気記録媒体を製造するのに使用す
る真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図はこの
発明によって得られた磁気テープの部分拡大断面図、第
３図は従来の磁気記録媒体を製造するのに使用する真空
蒸着装置の１例を示す概略断ｎ＋ｉ図、第４図はこの発
明で得られた磁気テープの摩擦係数と摺動回数との関係
図、第５図はこの発明で得られた磁気テープの劣化率と
経過時間との関係図である。 ｌ、２・・・真空槽、３．４・・・円筒状キャン、５・
・・基体（ポリエステルフィルム）、１３．１６・・・
強磁性材蒸発源、１４．１７・・・強磁性金属、１５・
・・強磁性金属″／Ｗ膜層、１８・・・ガス導入管、１
９・・・強磁性金属の酸化物からなる保護膜層 特許出願人　日立マクセル株式会社 第２図 第３図 ！４４図 摺動Ｉす１数（回） 第５図 経過時間（週）FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a vacuum evaporation apparatus used to manufacture the magnetic recording medium of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the magnetic tape obtained by the present invention, and FIG. 4 is a schematic cross-sectional n+i diagram showing an example of a vacuum evaporation apparatus used to manufacture a conventional magnetic recording medium, and FIG. FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the deterioration rate and elapsed time of the magnetic tape obtained by the present invention. l, 2... Vacuum chamber, 3.4... Cylindrical can, 5.
...Base (polyester film), 13.16...
Ferromagnetic material evaporation source, 14.17... Ferromagnetic metal, 15.
...Ferromagnetic metal''/W film layer, 18...Gas introduction tube, 1
9...Protective film layer made of ferromagnetic metal oxide Patent applicant Hitachi Maxell Ltd. Figure 2 Figure 3! Figure 44 Number of sliding movements (times) Figure 5 Elapsed time (weeks)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、基体上にコバルトを主成分とする強磁性金属からな
る強磁性金属薄膜層を形成し、この強磁性金属薄膜層の
表面にコバルトを主成分とする強磁性金属の酸化物から
なる保護膜層を形成したことを特徴とする磁気記録媒体 ２、基体上にコバルトを主成分とする強磁性金属からな
る強磁性金属薄膜層を形成し、しかる後、酸素ガス雰囲
気中でコバルトを主成分とする強磁性金属を真空蒸着し
て、コバルトを主成分とする強磁性金属の酸化物からな
る保護膜層を強磁性金属薄膜層上に形成することを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法[Scope of Claims] 1. A ferromagnetic metal thin film layer made of a ferromagnetic metal whose main component is cobalt is formed on a substrate, and a ferromagnetic metal film whose main component is cobalt is formed on the surface of this ferromagnetic metal thin film layer. A magnetic recording medium 2 characterized in that a protective film layer made of an oxide is formed, a ferromagnetic metal thin film layer made of a ferromagnetic metal whose main component is cobalt is formed on a substrate, and then in an oxygen gas atmosphere. Magnetic recording characterized in that a ferromagnetic metal mainly composed of cobalt is vacuum-deposited to form a protective film layer made of an oxide of a ferromagnetic metal mainly composed of cobalt on the ferromagnetic metal thin film layer. Media manufacturing method